JPH10332020A - ガス制御バルブ - Google Patents
ガス制御バルブInfo
- Publication number
- JPH10332020A JPH10332020A JP14500597A JP14500597A JPH10332020A JP H10332020 A JPH10332020 A JP H10332020A JP 14500597 A JP14500597 A JP 14500597A JP 14500597 A JP14500597 A JP 14500597A JP H10332020 A JPH10332020 A JP H10332020A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve seat
- seat member
- flow path
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Valve Housings (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
ス流量を調整できるガス制御バルブを提供する。 【解決手段】 バルブベース接続面63bから弁座59
のリング内外にわたって貫通する第1流路孔65と第2
流路孔66とを有する弁座部材63と、バルブベース1
6と、弁座部材63のバルブベース接続面63bとバル
ブベース16の弁座部材接続面16aとの間に介在し二
重リング状に配され、第1流路孔65と第1ポート流路
21とを連通しこれらと第2流路孔66及び第2ポート
流路22との間をシールする内側シール用ガスケット6
1と、第2流路孔66と第2ポート流路22とを連通し
外部との間のシールをする外側シール用ガスケット62
とを有する。内側シール用ガスケット61は内周面にオ
リフィス61aを備え、ガス流量を調整でき。また、内
側シール部材61は容易に交換できる。
Description
有するガス制御バルブに関し、特に好適には半導体製造
工程で使用されるプロセスガス等のガスの流通を制御す
るためのガス制御バルブに関するものである。
ン等のウェハーの処理に関し、数枚のウェハーを同時に
処理する枚葉処理の形態の他、一枚毎に処理する単数処
理を行う場合が増加している。これに伴い各種の処理装
置の大きさを小さくすることが求められ、処理に使用さ
れるエッチングガス等のプロセスガスの流通を制御する
ためのガス制御バルブも、小型のものが求められてい
る。
スの中には、水素ガスのように流量(ガス濃度)を管理
する必要のあるガスもあり、このようなガスの流路に
は、図5に示すように、配管系HH’の間に、開閉弁
(ガス制御バルブ)200の他に、流量調整弁300を
設置しその流量を制限することが行われる。この場合、
通常は、装置や配管を設置した時点で流量調整弁300
のマイクロヘッド302を調整することで、調整弁本体
301内の図示しない弁の開度を調整し、その後は、開
閉弁200の操作(弁の開閉)のみでガスの制御を行う
事が多い。即ち、流量調整弁300のマイクロヘッド3
02を用いて調整するのは、設置当初のみの場合が多か
った。一方、この様な系においては高価な流量調整弁3
00を用いるために装置全体の価格が高くなる上、流量
調整弁がある分だけスペースを消費し、小型化の要求に
も反していた。また、流量調整弁を配管系に接続する作
業や漏れ検査をするための手間も掛かっていた。
る貫通孔(流路)の一部又は全部の径を小さくしてオリ
フィスを構成し、ガス制御バルブ自身に流量を制御する
機能を持たせることが考えられる。しかし、この様な構
造では、流量を所望の値に調整したい場合にバルブを分
解して弁座全体を交換する事が必要となり、構造によっ
ては弁体を取り外したりバルブ全体を配管系から取り外
す必要があるなど調整(交換)が面倒である。
ィス板をシールリングと弁座またはオリフィス押えとの
間に配置して、弁座やオリフィス押えをねじ込んで固定
することも考えられるが、やはり、弁座やオリフィス押
えを取り外さなければオリフィスを交換・調整できな
い。また、既に配管系に取り付けられたガス制御バルブ
中から弁座やオリフィス板を取り出す必要があるが、上
記したように処理装置全体の大きさが小さくされ近接し
た位置に他の機器が設置されていることも多く、この様
な場合には特に交換等が困難となる。
のであって、流量調整機能を有し、しかも、オリフィス
の交換調整容易なガス制御バルブの提供を目的とする。
に請求項1に記載の手段は、弁体とリング状弁座とが当
接および離間可能に構成されたポペット弁を有し、該リ
ング状弁座のリング内に開口する第1流路孔に連通しか
つ該リング状弁座の近傍に配置されたオリフィスを有す
るガス制御バルブにおいて、上記リング状弁座を保持す
る弁座部材であって、該弁座部材をバルブベース接続面
から該リング状弁座のリング内にわたって貫通する上記
第1流路孔を有する弁座部材と、上記弁座部材に接続さ
せるための弁座部材接続面と該弁座部材接続面に開口す
る第1ポート流路とを有するバルブベースと、上記弁座
部材のバルブベース接続面と上記バルブベースの弁座部
材接続面との間に配されたリング状シール部材であっ
て、上記第1流路孔と上記第1ポート流路とを連通し、
内周面に上記オリフィスが形成されてなるシール部材
と、を有することを特徴とするガス制御バルブを要旨と
する。
の内周面に形成したので、流量調整のためオリフィスの
径を変えるのに弁座等の交換をする必要がなくシール部
材の交換で足りる。また、オリフィスが形成されている
シール部材は、弁座部材とバルブベースとの間に配され
ているので、配管系からガス制御バルブ全体を取り外す
必要はなく、バルブベースから弁座部材を取り外すこと
で、シール部材を容易に交換できる。なお、シール部材
の材質としては、使用するガスに侵されない材質で、オ
リフィスの径が経時的に変化しないものを選択すると良
い。具体的には、例えばステンレス鋼、ニッケル等の金
属やPCTFE等のフッ素系樹脂などが挙げられる。ま
た、オリフィスの径は、要求される流量や圧力等を勘案
して適宜選択すればよく、いくつかのオリフィス径を持
つシール部材を予め用意しておけば、調整が容易とな
る。
孔を通じてボルトでバルブベースに締結されるようにす
ると、ボルトを取り外すことで弁座部材がバルブベース
から取り外せるのでより好ましい。この場合、ボルトを
バルブベース接続面とは反対側の面から締め付けるよう
にするとよい。隣接して配置したガス制御バルブその他
の機器の有無に拘わらずボルトを締め付け・取り外しが
できるため、ガス制御バルブその他の機器を隣接させて
高い密度で配置することができ、これらの機器を用いた
装置の小型化を図ることができるからである。
に記載の手段は、前記シール部材は、前記弁座部材のバ
ルブベース接続面と前記バルブベースの弁座部材接続面
とに挟まれて押圧されることによりシールすることを特
徴とする請求項1に記載のガス制御バルブを要旨とす
る。
とバルブベースとで挟まれて押圧されているので、確実
にシールができ、ガスが外部や他の流路に漏れることが
なくなる。
に記載の手段は、前記弁座部材は、該弁座部材をバルブ
ベース接続面から該リング状弁座のリング外にわたって
貫通する第2流路孔とを有し、前記バルブベースは、前
記弁座部材接続面に開口する少なくとも1つの第2ポー
ト流路を有し、上記弁座部材のバルブベース接続面と上
記バルブベースの弁座部材接続面との間に前記シール部
材を内側リングとする同心二重リング状に配されたリン
グ状シール部材であって、上記第2流路孔と第2ポート
流路とを連通しこれらと外部との間のシールをする外側
シール部材と、を備えることを特徴とする請求項1また
は2に記載のガス制御バルブを要旨とする。
が、バルブベースには第2ポート流路が形成されてお
り、オリフィスが形成されたシール部材の径方向外側に
外側シール部材を同心二重リング状に配して第2流路孔
と第2ポート流路とを連通している。従って、第2流路
についても配管から取り外す必要はなく、弁座部材をバ
ルブベースから取り外すことできるので、さらにオリフ
ィスを有するシール部材の交換が容易となる。また、同
心二重リング状にシール部材と外側シール部材とが配さ
れているので、バルブベースに複数の第2ポート流路が
形成されている場合にも、弁座部材やシール部材、外側
シール部材を変更する必要がないので、多種類のバルブ
ベースに対応できる。
ら取り外したときに、前記シール部材も、弁座部材と共
に取り外されるようになしてあると好ましい。弁座部材
を取り外した後に、配管系に接続されているバルブベー
スの弁座部材接続面上に残されたシール部材を取り出す
必要がなくなり、取り外した弁座部材を別の場所に運ん
だ上で、弁座部材からシール部材を脱着すればよいの
で、狭い場所でシール部材の交換作業をする必要がなく
容易に交換ができる。さらに、外側シール部材も弁座部
材と共に取り外せるようにしておくとより交換が容易と
なり好ましい。
フィスを有し、弁座部材のバルブベース接続面にリング
状に設けられたシール部材用凹部に一部が圧入されたリ
ング状樹脂であると好ましい。シール部材が、シール部
材用凹部に一部が圧入されているので、弁座部材を取り
外すと共にシール部材が取り外せる。また、シール部材
は樹脂であるので、シール部材用凹部に対して着脱容易
でシール部材の交換が容易である。また、シール部材が
樹脂なので、変形能が大きく確実にシールができる。具
体的には、フッ素系樹脂、たとえば、PCTFE(三フ
ッ化塩化エチレン樹脂)、PTFE(4フッ化エチレン
樹脂)等が挙げられ、これらは耐腐食性が高いので好ま
しい。
もに説明する。図1は本発明の実施形態に係るパイロッ
ト型ガス制御バルブの縦断面図である。ガス制御バルブ
10は、ガス制御バルブ本体10aおよびバルブベース
16からなる。このガス制御バルブ本体10aは、弁座
部材63、中間部材57、パイロット弁シリンダ51等
からなる。一方、バルブベース16は、図中右側に開口
する第1ポート21および同左側に開口する第2ポート
22を有し、第1ポート垂直流路部21aおよび第2ポ
ート垂直流路部22aがバルブベース上面(弁座部材接
続面)16aに開口している。
6aには、弁座部材63が接続されている。本例では、
弁座部材63は、これを図中上下方向に貫通する貫通孔
(図示しない)に挿通したボルト64によってバルブベ
ース16に締結されている。この弁座部材63の略中央
に形成された第1流路孔65とその脇に形成された第2
流路孔66は、それぞれバルブベース16の第1ポート
垂直流路部21aおよび第2ポート垂直流路部22aに
連通している。
6aと弁座部材63のバルブベース接続面63bとの間
に、同心状に配置されたリング状の内側シール用ガスケ
ット61および外側シール用ガスケット62は、第1ポ
ート流路21と第1流路孔65、および第2ポート流路
22と第2流路孔66とを連通しつつ、両ポート間およ
び外部とのシールを保つ。即ち、ボルト64によってバ
ルブベース16と弁座部材63とがガスケット61,6
2を介して締結されているので、ガスケット61,62
の上面とバルブベース接続面63bとの間、およびガス
ケット61,62の下面と弁座部材接続面16aとの間
は強く密着して気密を保つ。従って、第1ポート流路2
1と第2ポート流路22との間でガスが漏れる(いわゆ
る裏漏れ)も防止され、また、第2ポート流路22のガ
スが外部に漏れることも防止される。
図2にその断面形状を示すように、その内周面のうち図
中上側の内径が細くされてオリフィス61aを構成して
いる。即ち、第1ポート流路21と第1流路孔65の間
にオリフィス61aが挿入されたこととなり、このオリ
フィス61aにより第1ポート流路21と第1流通孔6
5との間を流れるガスの流量が制限される。要求される
ガス流量は、オリフィスの径dの寸法によって調整でき
るので、例えば、径dが大、中、小の3段階とした内側
シール部材61を用意しておけば、シール部材61の交
換で流量を調整できる。また、オリフィス61aは、第
1流路孔65の体積を小さくするため、後述する弁座5
9の近傍に配される。弁開直後のガス流量のオーバーシ
ュートをできるだけ小さくするためである。
形成された突出部63aが形成され、この突出部63a
内の底部には第1流路孔65と第2流路孔66とが開口
している。突出部63aの底部にはリング状の弁座59
が設けられ、弁座59のリング内に第1流路孔65が開
口し、リングの外に第2流路孔66が開口するようにし
て、この2つの流路孔65,66の開口間を遮るように
している。
4を介して弁体58が弁座59に対して当接または離間
可能に保持されポペット弁タイプのダイヤフラム弁体を
形成している。また、突出部63aの内周に形成された
雌ねじに螺合する中間部材57によって図中下方に押圧
されるダイヤフラム固定ブラケット56と、弁座部材6
3とでダイヤフラム54の外周が固定されている。これ
により、第1、第2流路孔間を流通するガスが上方に漏
れることが防止される。
aには、ピストンロッド53が上下方向に摺動可能に貫
挿、保持されている。このピストンロッド53にはピス
トン52が組み付けられ、両者は一体化されている。
リンダ51が中間部材57と螺合して固設されている。
パイロット弁シリンダ51の内側には、ピストン52さ
らにこのピストン52を介してピストンロッド53や弁
体58を下向き(弁閉方向)に付勢するための復帰バネ
55が取り付けられている。また、パイロット弁シリン
ダ51の中心軸に沿って、図中上面に開口する駆動空気
用ポート60が形成されている。また、ピストンロッド
53の中心軸には、ピストンロッド53の図中上端から
ロッド膨出部53aよりも下方に達する深さでロッド中
心孔53cが形成され、さらに、ロッド膨出部53aの
直下には、ピストンロッド53を径方向(図中左右方
向)に貫通しロッド中心孔53cを横断する連通孔53
dが形成されている。これにより、中間部材57の上面
とピストン52の下面とがなす空間Vが連通孔53d、
ロッド中心孔53cを通じて駆動空気用ポート60に連
通するようにされている。
は、駆動空気用ポート60から圧縮空気が送られていな
い状態では、弁閉状態となる。即ち、ピストン52、ピ
ストンロッド53が復帰バネ55により下向き(弁閉方
向)に付勢されているため、ピストンロッド53が弁体
58を図中下方に押圧して、第1または第2ポート内の
プロセスガス等のガス圧に抗して、ダイヤフラム54を
介して弁座59に弁体58を当接させる。従って、第1
ポート流路21と第2ポート流路22とは遮断(シー
ル)されている。
中心孔53c、連通孔53dを通じて中間部材57の上
面とピストン52の下面とがなす空間V内に圧縮空気が
送られると、ピストン52およびピストンロッド53が
上向きに移動する。そして、ダイヤフラム54および弁
体58が、プロセスガスやパージガス等のガス圧力によ
り上向きに移動させられ、弁開となって第1ポート流路
21と第2ポート流路22とが連通して両者間をガスが
流通する。このように駆動空気用ポート60に送る圧縮
空気を制御することにより、ダイヤフラム弁体(ダイヤ
フラム54、弁体58)の開閉を行い、第1ポート流路
21と第2ポート流路22との間のガスの流通を制御す
ることができることとなる。しかも、オリフィス61a
によりガス流量が一定に制御され、前述のように流量調
整弁を用いなくとも、ガス流量が制限できるようにな
る。
線で示す配管系HH’に取り付けられた後に、ガス流量
を変更したいためにオリフィス61aの径を変更したい
場合、即ち、内側シール用ガスケット61を交換したい
場合が発生したとする。この場合には、弁座部材63を
バルブベース16に締結しているボルト64を取り外す
ことにより、弁座部材接続面16aから、弁座部材63
およびそれよりも図中上方にある中間部材57、パイロ
ット弁シリンダ51等を取り外す。すなわち、バルブベ
ース16以外のガス制御バルブ10(ガス制御バルブ本
体10a)を配管系HH’から取り外す。すると、バル
ブベース16の弁座部材接続面16a上に内側シール用
ガスケット61および外側シール用ガスケット62が残
される。従って、オリフィス61aが形成された内側シ
ール用ガスケット61を容易に交換することができる。
ケット62を新しいものに交換したうえ、取り外したガ
ス制御バルブ本体10aを、バルブベース接続面63b
と弁座部材接続面16aとがガスケット61,62を介
して対向するようにしてバルブベース16上にセット
し、ボルト64を締め付ける。これでガス制御バルブ1
0のオリフィス61aの径を変更できたこととなる。
なく、即ち、ガス制御バルブ10全体を配管HH’から
取り外すことなく、弁座部材63(ガス制御バルブ本体
10a)を取り外すことができるので、狭い場所でも容
易にオリフィス61aが形成された内側シール用ガスケ
ット61の交換作業ができる。また、弁座やオリフィス
押えを取り外す等の作業も必要がない。また、図中上方
からボルト64を緩めて取り外すだけで、バルブベース
16から弁座部材63等が取り外せるので、近くに他の
機器があったとしても容易に取り外すことができる。さ
らに、弁座59の交換・修理等のガス制御バルブ本体1
0aの部品を調整したい場合にも、別の場所にガス制御
バルブ本体10aを運んだ後に交換等ができるので弁座
59等を取り外しが容易で、第1流路孔65等に傷を付
ける危険性も少なくなる。なお、バルブベース16に、
複数のガス制御バルブ本体10aや他の機器を取り付け
られるように他のガス流路を設けて、いわゆるマニホー
ルドとしての機能を持たせるようにしてもよい。
6に第2ポート流路を2つ(22,22’)形成として
もよい。図3に示すバルブベース16においては、2つ
の第2ポート流路22,22’が、互いに直角をなして
(図中右方向と上方向)形成されており、第2ポート垂
直流路部22a、22a’が、同心をなして配置されて
いる内側シール用ガスケット61と外側シール用ガスケ
ット62との間のそれぞれ開口している。これにより、
例えば、第1ポート流路21から流入したプロセスガス
をガス制御バルブ10で制御して、第2ポート流路22
に流出、遮断できるほか、もう1つの第2ポート流路2
2’から不活性ガス(パージガス)を第2ポート流路2
2に流すようにすることができる。
が同心2重リング状に配されているので、両者の間に複
数の第2ポート流路22が開口していても、ガスケット
61,62や弁座部材63の形状を変える必要はない。
従って、ガスケット61,62や弁座部材63(あるい
はガス制御バルブ本体10a)を共通化して、多種類の
バルブベース16に対応する事ができる。なお、バルブ
ベース16の多種類化には、第2ポート流路の数や位置
が異なる場合の他、各ポートの継手の形状が例えばメタ
ル・ガスケット継手や2重食い込み継手などのように異
なる場合などがある。なお、図3において、各隅には、
ボルト64と締結するためのネジ孔16bが形成されて
いる。
示すように脱着可能としてもよい。即ち、弁座部材63
の第1流路孔65のすぐ下方に、この第1流路孔65に
連なって同軸状で、かつ第1流路孔よりもやや径大に形
成されたガスケット用凹部63dを形成しておく。そし
て、このガスケット用凹部63dに、PCTFE樹脂か
らなる内側シール用ガスケット61’を圧入して、弁座
部材63と着脱可能に一体化している。また、この内側
シール用ガスケット61’の内周面は軸方向略中央部分
において径小とされてオリフィス61a’が形成されて
いる。なお、ガスケット用凹部63dはその上端側面部
がリング状に凹んで形成されており、内側シール用ガス
ケット61’のうちやや膨出するように形成された上端
側面部と係合することでガスケット61’を抜けにくく
している。
御バルブ本体10a)をバルブベース16から取り外し
たときに、内側シール用ガスケット61’も弁座部材6
3とともに取り外すことができる。次いで、弁座部材6
3からガスケット61’を脱着すれば、オリフィス61
a’を交換することができる。従って、配管系HH’に
接続されているバルブベース16上からガスケットを取
り出す必要がないので、さらに容易にオリフィスの交換
が可能となる。
構造により着脱可能としても良い。また、たとえば、図
4に示すように、外側シール用ガスケット62’に開口
部が外周側に形成された断面略C型のステンレス製リン
グ状ガスケットを用いても良い。この場合には、この開
口部にガスケットリティーナ70の内周縁を差し込むこ
とにより、リティーナ70と係合させて一体とし、この
ガスケットリティーナ70の厚さ方向に略U字状に屈曲
されバネ部を、弁座部材63のバルブベース接続面63
bに形成したリティーナ保持凹部63cに挿入する。こ
の凹部63cとバネ部とを弾性に係合させることで、ガ
スケットリティーナ70および外側シール用ガスケット
62’が弁座部材63に着脱可能に保持される。
1’および外側シール用ガスケット62’が弁座部材6
3に保持されるようにすると、バルブベース16から弁
座部材63(ガス制御バルブ本体10b)を取り外した
ときに、弁座部材63と共にガスケット61’、62’
も取り外されるので、上述した実施形態のように弁座部
材接続面16aからガスケットを取り出す必要がなく、
ガスケット61’、62’の交換がより容易になる。本
発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、発明
の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更して適用可能
である。
の発明によれば、バルブベースを配管系から取り外すこ
となくオリフィスが形成されたシール部材を取り外すこ
とができ、オリフィスの交換が容易となる。また、請求
項2に記載の発明によれば、シール部材は弁座部材とバ
ルブベースに挟まれて押圧されているので、確実にシー
ルでき、裏漏れや外部へのガス漏れを生じることがな
い。
第2流路についても配管から取り外す必要はなく、弁座
部材をバルブベースから取り外すことできるので、さら
にオリフィスを有するシール部材の交換が容易となる。
また、多種類のバルブベースに対応できる。
の縦断面図である。
ルブの縦断面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 弁体とリング状弁座とが当接および離間
可能に構成されたポペット弁を有し、該リング状弁座の
リング内に開口する第1流路孔に連通しかつ該リング状
弁座の近傍に配置されたオリフィスを有するガス制御バ
ルブにおいて、 上記リング状弁座を保持する弁座部材であって、該弁座
部材をバルブベース接続面から該リング状弁座のリング
内にわたって貫通する上記第1流路孔を有する弁座部材
と、 上記弁座部材に接続させるための弁座部材接続面と該弁
座部材接続面に開口する第1ポート流路とを有するバル
ブベースと、 上記弁座部材のバルブベース接続面と上記バルブベース
の弁座部材接続面との間に配されたリング状シール部材
であって、上記第1流路孔と上記第1ポート流路とを連
通し、内周面に上記オリフィスが形成されてなるシール
部材と、 を有することを特徴とするガス制御バルブ。 - 【請求項2】 前記シール部材は、前記弁座部材のバル
ブベース接続面と前記バルブベースの弁座部材接続面と
に挟まれて押圧されることによりシールすることを特徴
とする請求項1に記載のガス制御バルブ。 - 【請求項3】 前記弁座部材は、該弁座部材をバルブベ
ース接続面から該リング状弁座のリング外にわたって貫
通する第2流路孔とを有し、 前記バルブベースは、前記弁座部材接続面に開口する少
なくとも1つの第2ポート流路を有し、 上記弁座部材のバルブベース接続面と上記バルブベース
の弁座部材接続面との間に前記シール部材を内側リング
とする同心二重リング状に配されたリング状シール部材
であって、上記第2流路孔と第2ポート流路とを連通し
これらと外部との間のシールをする外側シール部材と、
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のガ
ス制御バルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14500597A JP3941844B2 (ja) | 1997-06-03 | 1997-06-03 | ガス制御バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14500597A JP3941844B2 (ja) | 1997-06-03 | 1997-06-03 | ガス制御バルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10332020A true JPH10332020A (ja) | 1998-12-15 |
JP3941844B2 JP3941844B2 (ja) | 2007-07-04 |
Family
ID=15375255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14500597A Expired - Fee Related JP3941844B2 (ja) | 1997-06-03 | 1997-06-03 | ガス制御バルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3941844B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006118052A1 (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Eagle Industry Co., Ltd. | 切替弁 |
EP1876378A1 (en) * | 2005-04-27 | 2008-01-09 | Eagle Industry Co., Ltd. | Seal structure and control valve using the same |
KR101085344B1 (ko) | 2010-02-10 | 2011-11-23 | 박태식 | 용접기용 가스제어밸브 |
JP2016510391A (ja) * | 2013-02-13 | 2016-04-07 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 大容量制御弁 |
CN111828634A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-27 | 安徽康赛特流体控制科技有限公司 | 一种基于弹性密封的调节阀 |
WO2022098620A1 (en) * | 2020-11-04 | 2022-05-12 | Swagelok Company | Valves with integrated orifice restrictions |
US11796077B2 (en) | 2020-11-06 | 2023-10-24 | Swagelok Company | Valve cavity cap arrangements |
-
1997
- 1997-06-03 JP JP14500597A patent/JP3941844B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006118052A1 (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Eagle Industry Co., Ltd. | 切替弁 |
EP1876378A1 (en) * | 2005-04-27 | 2008-01-09 | Eagle Industry Co., Ltd. | Seal structure and control valve using the same |
EP1876378A4 (en) * | 2005-04-27 | 2011-06-29 | Eagle Ind Co Ltd | SEAL STRUCTURE AND CONTROL VALVE THEREWITH |
US7987871B2 (en) | 2005-04-27 | 2011-08-02 | Eagle Industry Co., Ltd. | Switching valve |
JP4981663B2 (ja) * | 2005-04-27 | 2012-07-25 | イーグル工業株式会社 | 切替弁 |
KR101085344B1 (ko) | 2010-02-10 | 2011-11-23 | 박태식 | 용접기용 가스제어밸브 |
JP2016510391A (ja) * | 2013-02-13 | 2016-04-07 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 大容量制御弁 |
CN111828634A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-27 | 安徽康赛特流体控制科技有限公司 | 一种基于弹性密封的调节阀 |
WO2022098620A1 (en) * | 2020-11-04 | 2022-05-12 | Swagelok Company | Valves with integrated orifice restrictions |
US11808381B2 (en) | 2020-11-04 | 2023-11-07 | Swagelok Company | Valves with integrated orifice restrictions |
US11796077B2 (en) | 2020-11-06 | 2023-10-24 | Swagelok Company | Valve cavity cap arrangements |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3941844B2 (ja) | 2007-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6039360A (en) | Couplings for fluid controllers | |
US11427911B2 (en) | Valve device, fluid control device and semiconductor manufacturing apparatus using the valve device | |
EP0892204A2 (en) | Improved diaphragm valve with leak detection | |
US11231026B2 (en) | Valve device | |
JPWO2018021277A1 (ja) | オリフィス内蔵弁および圧力式流量制御装置 | |
JPH0932954A (ja) | 流体制御器 | |
US11365830B2 (en) | Valve device, fluid control device and semiconductor manufacturing apparatus using the valve device | |
EP0745918B1 (en) | Fluid control device | |
TWI671615B (zh) | 流體控制裝置及使用該流體控制裝置的製品製造方法 | |
US11320056B2 (en) | Valve device | |
JPH10332020A (ja) | ガス制御バルブ | |
US8246087B1 (en) | Fluid coupling | |
US11162597B2 (en) | Flow path assembly and valve device | |
JPH10332003A (ja) | ガス制御バルブ | |
US20220186845A1 (en) | Flow path assembly, valve device, fluid control device, semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method using said flow path assembly | |
JP4184252B2 (ja) | リーク弁 | |
US11879560B2 (en) | Flow-path forming block and fluid control device provided with flow-path forming block | |
JP4549981B2 (ja) | 流体制御機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040408 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060929 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20061031 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070320 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070327 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110413 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120413 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |