JPH10332020A

JPH10332020A - ガス制御バルブ

Info

Publication number: JPH10332020A
Application number: JP14500597A
Authority: JP
Inventors: Masato Ito; 正人伊藤; Toshiyasu Inagaki; 俊康稲垣
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1997-06-03
Filing date: 1997-06-03
Publication date: 1998-12-15
Anticipated expiration: 2017-06-03
Also published as: JP3941844B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】容易に交換・調整できるオリフィスを備えガ
ス流量を調整できるガス制御バルブを提供する。【解決手段】バルブベース接続面６３ｂから弁座５９
のリング内外にわたって貫通する第１流路孔６５と第２
流路孔６６とを有する弁座部材６３と、バルブベース１
６と、弁座部材６３のバルブベース接続面６３ｂとバル
ブベース１６の弁座部材接続面１６ａとの間に介在し二
重リング状に配され、第１流路孔６５と第１ポート流路
２１とを連通しこれらと第２流路孔６６及び第２ポート
流路２２との間をシールする内側シール用ガスケット６
１と、第２流路孔６６と第２ポート流路２２とを連通し
外部との間のシールをする外側シール用ガスケット６２
とを有する。内側シール用ガスケット６１は内周面にオ
リフィス６１ａを備え、ガス流量を調整でき。また、内
側シール部材６１は容易に交換できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ポペット型の弁を
有するガス制御バルブに関し、特に好適には半導体製造
工程で使用されるプロセスガス等のガスの流通を制御す
るためのガス制御バルブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体製造工程において、シリコ
ン等のウェハーの処理に関し、数枚のウェハーを同時に
処理する枚葉処理の形態の他、一枚毎に処理する単数処
理を行う場合が増加している。これに伴い各種の処理装
置の大きさを小さくすることが求められ、処理に使用さ
れるエッチングガス等のプロセスガスの流通を制御する
ためのガス制御バルブも、小型のものが求められてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、プロセスガ
スの中には、水素ガスのように流量（ガス濃度）を管理
する必要のあるガスもあり、このようなガスの流路に
は、図５に示すように、配管系ＨＨ’の間に、開閉弁
（ガス制御バルブ）２００の他に、流量調整弁３００を
設置しその流量を制限することが行われる。この場合、
通常は、装置や配管を設置した時点で流量調整弁３００
のマイクロヘッド３０２を調整することで、調整弁本体
３０１内の図示しない弁の開度を調整し、その後は、開
閉弁２００の操作（弁の開閉）のみでガスの制御を行う
事が多い。即ち、流量調整弁３００のマイクロヘッド３
０２を用いて調整するのは、設置当初のみの場合が多か
った。一方、この様な系においては高価な流量調整弁３
００を用いるために装置全体の価格が高くなる上、流量
調整弁がある分だけスペースを消費し、小型化の要求に
も反していた。また、流量調整弁を配管系に接続する作
業や漏れ検査をするための手間も掛かっていた。

【０００４】そこで、リング状弁座のリング内を貫通す
る貫通孔（流路）の一部又は全部の径を小さくしてオリ
フィスを構成し、ガス制御バルブ自身に流量を制御する
機能を持たせることが考えられる。しかし、この様な構
造では、流量を所望の値に調整したい場合にバルブを分
解して弁座全体を交換する事が必要となり、構造によっ
ては弁体を取り外したりバルブ全体を配管系から取り外
す必要があるなど調整（交換）が面倒である。

【０００５】また、流路にオリフィスを形成したオリフ
ィス板をシールリングと弁座またはオリフィス押えとの
間に配置して、弁座やオリフィス押えをねじ込んで固定
することも考えられるが、やはり、弁座やオリフィス押
えを取り外さなければオリフィスを交換・調整できな
い。また、既に配管系に取り付けられたガス制御バルブ
中から弁座やオリフィス板を取り出す必要があるが、上
記したように処理装置全体の大きさが小さくされ近接し
た位置に他の機器が設置されていることも多く、この様
な場合には特に交換等が困難となる。

【０００６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、流量調整機能を有し、しかも、オリフィス
の交換調整容易なガス制御バルブの提供を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載の手段は、弁体とリング状弁座とが当
接および離間可能に構成されたポペット弁を有し、該リ
ング状弁座のリング内に開口する第１流路孔に連通しか
つ該リング状弁座の近傍に配置されたオリフィスを有す
るガス制御バルブにおいて、上記リング状弁座を保持す
る弁座部材であって、該弁座部材をバルブベース接続面
から該リング状弁座のリング内にわたって貫通する上記
第１流路孔を有する弁座部材と、上記弁座部材に接続さ
せるための弁座部材接続面と該弁座部材接続面に開口す
る第１ポート流路とを有するバルブベースと、上記弁座
部材のバルブベース接続面と上記バルブベースの弁座部
材接続面との間に配されたリング状シール部材であっ
て、上記第１流路孔と上記第１ポート流路とを連通し、
内周面に上記オリフィスが形成されてなるシール部材
と、を有することを特徴とするガス制御バルブを要旨と
する。

【０００８】本発明によれば、オリフィスをシール部材
の内周面に形成したので、流量調整のためオリフィスの
径を変えるのに弁座等の交換をする必要がなくシール部
材の交換で足りる。また、オリフィスが形成されている
シール部材は、弁座部材とバルブベースとの間に配され
ているので、配管系からガス制御バルブ全体を取り外す
必要はなく、バルブベースから弁座部材を取り外すこと
で、シール部材を容易に交換できる。なお、シール部材
の材質としては、使用するガスに侵されない材質で、オ
リフィスの径が経時的に変化しないものを選択すると良
い。具体的には、例えばステンレス鋼、ニッケル等の金
属やＰＣＴＦＥ等のフッ素系樹脂などが挙げられる。ま
た、オリフィスの径は、要求される流量や圧力等を勘案
して適宜選択すればよく、いくつかのオリフィス径を持
つシール部材を予め用意しておけば、調整が容易とな
る。

【０００９】なお、弁座部材は、弁座部材に空けた貫通
孔を通じてボルトでバルブベースに締結されるようにす
ると、ボルトを取り外すことで弁座部材がバルブベース
から取り外せるのでより好ましい。この場合、ボルトを
バルブベース接続面とは反対側の面から締め付けるよう
にするとよい。隣接して配置したガス制御バルブその他
の機器の有無に拘わらずボルトを締め付け・取り外しが
できるため、ガス制御バルブその他の機器を隣接させて
高い密度で配置することができ、これらの機器を用いた
装置の小型化を図ることができるからである。

【００１０】さらに上記目的を達成するために請求項２
に記載の手段は、前記シール部材は、前記弁座部材のバ
ルブベース接続面と前記バルブベースの弁座部材接続面
とに挟まれて押圧されることによりシールすることを特
徴とする請求項１に記載のガス制御バルブを要旨とす
る。

【００１１】本発明によれば、シール部材は、弁座部材
とバルブベースとで挟まれて押圧されているので、確実
にシールができ、ガスが外部や他の流路に漏れることが
なくなる。

【００１２】さらに上記目的を達成するために請求項３
に記載の手段は、前記弁座部材は、該弁座部材をバルブ
ベース接続面から該リング状弁座のリング外にわたって
貫通する第２流路孔とを有し、前記バルブベースは、前
記弁座部材接続面に開口する少なくとも１つの第２ポー
ト流路を有し、上記弁座部材のバルブベース接続面と上
記バルブベースの弁座部材接続面との間に前記シール部
材を内側リングとする同心二重リング状に配されたリン
グ状シール部材であって、上記第２流路孔と第２ポート
流路とを連通しこれらと外部との間のシールをする外側
シール部材と、を備えることを特徴とする請求項１また
は２に記載のガス制御バルブを要旨とする。

【００１３】本発明によれば、弁座部材には第２流路孔
が、バルブベースには第２ポート流路が形成されてお
り、オリフィスが形成されたシール部材の径方向外側に
外側シール部材を同心二重リング状に配して第２流路孔
と第２ポート流路とを連通している。従って、第２流路
についても配管から取り外す必要はなく、弁座部材をバ
ルブベースから取り外すことできるので、さらにオリフ
ィスを有するシール部材の交換が容易となる。また、同
心二重リング状にシール部材と外側シール部材とが配さ
れているので、バルブベースに複数の第２ポート流路が
形成されている場合にも、弁座部材やシール部材、外側
シール部材を変更する必要がないので、多種類のバルブ
ベースに対応できる。

【００１４】なお、前記弁座部材を前記バルブベースか
ら取り外したときに、前記シール部材も、弁座部材と共
に取り外されるようになしてあると好ましい。弁座部材
を取り外した後に、配管系に接続されているバルブベー
スの弁座部材接続面上に残されたシール部材を取り出す
必要がなくなり、取り外した弁座部材を別の場所に運ん
だ上で、弁座部材からシール部材を脱着すればよいの
で、狭い場所でシール部材の交換作業をする必要がなく
容易に交換ができる。さらに、外側シール部材も弁座部
材と共に取り外せるようにしておくとより交換が容易と
なり好ましい。

【００１５】さらに、前記シール部材が、内周面にオリ
フィスを有し、弁座部材のバルブベース接続面にリング
状に設けられたシール部材用凹部に一部が圧入されたリ
ング状樹脂であると好ましい。シール部材が、シール部
材用凹部に一部が圧入されているので、弁座部材を取り
外すと共にシール部材が取り外せる。また、シール部材
は樹脂であるので、シール部材用凹部に対して着脱容易
でシール部材の交換が容易である。また、シール部材が
樹脂なので、変形能が大きく確実にシールができる。具
体的には、フッ素系樹脂、たとえば、ＰＣＴＦＥ（三フ
ッ化塩化エチレン樹脂）、ＰＴＦＥ（４フッ化エチレン
樹脂）等が挙げられ、これらは耐腐食性が高いので好ま
しい。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の好適な実施形態を図とと
もに説明する。図１は本発明の実施形態に係るパイロッ
ト型ガス制御バルブの縦断面図である。ガス制御バルブ
１０は、ガス制御バルブ本体１０ａおよびバルブベース
１６からなる。このガス制御バルブ本体１０ａは、弁座
部材６３、中間部材５７、パイロット弁シリンダ５１等
からなる。一方、バルブベース１６は、図中右側に開口
する第１ポート２１および同左側に開口する第２ポート
２２を有し、第１ポート垂直流路部２１ａおよび第２ポ
ート垂直流路部２２ａがバルブベース上面（弁座部材接
続面）１６ａに開口している。

【００１７】このバルブベース１６の弁座部材接続面１
６ａには、弁座部材６３が接続されている。本例では、
弁座部材６３は、これを図中上下方向に貫通する貫通孔
（図示しない）に挿通したボルト６４によってバルブベ
ース１６に締結されている。この弁座部材６３の略中央
に形成された第１流路孔６５とその脇に形成された第２
流路孔６６は、それぞれバルブベース１６の第１ポート
垂直流路部２１ａおよび第２ポート垂直流路部２２ａに
連通している。

【００１８】このバルブベース１６の弁座部材接続面１
６ａと弁座部材６３のバルブベース接続面６３ｂとの間
に、同心状に配置されたリング状の内側シール用ガスケ
ット６１および外側シール用ガスケット６２は、第１ポ
ート流路２１と第１流路孔６５、および第２ポート流路
２２と第２流路孔６６とを連通しつつ、両ポート間およ
び外部とのシールを保つ。即ち、ボルト６４によってバ
ルブベース１６と弁座部材６３とがガスケット６１，６
２を介して締結されているので、ガスケット６１，６２
の上面とバルブベース接続面６３ｂとの間、およびガス
ケット６１，６２の下面と弁座部材接続面１６ａとの間
は強く密着して気密を保つ。従って、第１ポート流路２
１と第２ポート流路２２との間でガスが漏れる（いわゆ
る裏漏れ）も防止され、また、第２ポート流路２２のガ
スが外部に漏れることも防止される。

【００１９】さらに、内側シール用ガスケット６１は、
図２にその断面形状を示すように、その内周面のうち図
中上側の内径が細くされてオリフィス６１ａを構成して
いる。即ち、第１ポート流路２１と第１流路孔６５の間
にオリフィス６１ａが挿入されたこととなり、このオリ
フィス６１ａにより第１ポート流路２１と第１流通孔６
５との間を流れるガスの流量が制限される。要求される
ガス流量は、オリフィスの径ｄの寸法によって調整でき
るので、例えば、径ｄが大、中、小の３段階とした内側
シール部材６１を用意しておけば、シール部材６１の交
換で流量を調整できる。また、オリフィス６１ａは、第
１流路孔６５の体積を小さくするため、後述する弁座５
９の近傍に配される。弁開直後のガス流量のオーバーシ
ュートをできるだけ小さくするためである。

【００２０】弁座部材６３の上面には、略有底円筒状に
形成された突出部６３ａが形成され、この突出部６３ａ
内の底部には第１流路孔６５と第２流路孔６６とが開口
している。突出部６３ａの底部にはリング状の弁座５９
が設けられ、弁座５９のリング内に第１流路孔６５が開
口し、リングの外に第２流路孔６６が開口するようにし
て、この２つの流路孔６５，６６の開口間を遮るように
している。

【００２１】この弁座５９の上方には、ダイヤフラム５
４を介して弁体５８が弁座５９に対して当接または離間
可能に保持されポペット弁タイプのダイヤフラム弁体を
形成している。また、突出部６３ａの内周に形成された
雌ねじに螺合する中間部材５７によって図中下方に押圧
されるダイヤフラム固定ブラケット５６と、弁座部材６
３とでダイヤフラム５４の外周が固定されている。これ
により、第１、第２流路孔間を流通するガスが上方に漏
れることが防止される。

【００２２】中間部材５７の中央部にあけた貫通孔５７
ａには、ピストンロッド５３が上下方向に摺動可能に貫
挿、保持されている。このピストンロッド５３にはピス
トン５２が組み付けられ、両者は一体化されている。

【００２３】中間部材５７の上方には、パイロット弁シ
リンダ５１が中間部材５７と螺合して固設されている。
パイロット弁シリンダ５１の内側には、ピストン５２さ
らにこのピストン５２を介してピストンロッド５３や弁
体５８を下向き（弁閉方向）に付勢するための復帰バネ
５５が取り付けられている。また、パイロット弁シリン
ダ５１の中心軸に沿って、図中上面に開口する駆動空気
用ポート６０が形成されている。また、ピストンロッド
５３の中心軸には、ピストンロッド５３の図中上端から
ロッド膨出部５３ａよりも下方に達する深さでロッド中
心孔５３ｃが形成され、さらに、ロッド膨出部５３ａの
直下には、ピストンロッド５３を径方向（図中左右方
向）に貫通しロッド中心孔５３ｃを横断する連通孔５３
ｄが形成されている。これにより、中間部材５７の上面
とピストン５２の下面とがなす空間Ｖが連通孔５３ｄ、
ロッド中心孔５３ｃを通じて駆動空気用ポート６０に連
通するようにされている。

【００２４】このように構成されたガス制御バルブ１０
は、駆動空気用ポート６０から圧縮空気が送られていな
い状態では、弁閉状態となる。即ち、ピストン５２、ピ
ストンロッド５３が復帰バネ５５により下向き（弁閉方
向）に付勢されているため、ピストンロッド５３が弁体
５８を図中下方に押圧して、第１または第２ポート内の
プロセスガス等のガス圧に抗して、ダイヤフラム５４を
介して弁座５９に弁体５８を当接させる。従って、第１
ポート流路２１と第２ポート流路２２とは遮断（シー
ル）されている。

【００２５】次に、駆動空気用ポート６０から、ロッド
中心孔５３ｃ、連通孔５３ｄを通じて中間部材５７の上
面とピストン５２の下面とがなす空間Ｖ内に圧縮空気が
送られると、ピストン５２およびピストンロッド５３が
上向きに移動する。そして、ダイヤフラム５４および弁
体５８が、プロセスガスやパージガス等のガス圧力によ
り上向きに移動させられ、弁開となって第１ポート流路
２１と第２ポート流路２２とが連通して両者間をガスが
流通する。このように駆動空気用ポート６０に送る圧縮
空気を制御することにより、ダイヤフラム弁体（ダイヤ
フラム５４、弁体５８）の開閉を行い、第１ポート流路
２１と第２ポート流路２２との間のガスの流通を制御す
ることができることとなる。しかも、オリフィス６１ａ
によりガス流量が一定に制御され、前述のように流量調
整弁を用いなくとも、ガス流量が制限できるようにな
る。

【００２６】このようなガス制御バルブ１０が図中に破
線で示す配管系ＨＨ’に取り付けられた後に、ガス流量
を変更したいためにオリフィス６１ａの径を変更したい
場合、即ち、内側シール用ガスケット６１を交換したい
場合が発生したとする。この場合には、弁座部材６３を
バルブベース１６に締結しているボルト６４を取り外す
ことにより、弁座部材接続面１６ａから、弁座部材６３
およびそれよりも図中上方にある中間部材５７、パイロ
ット弁シリンダ５１等を取り外す。すなわち、バルブベ
ース１６以外のガス制御バルブ１０（ガス制御バルブ本
体１０ａ）を配管系ＨＨ’から取り外す。すると、バル
ブベース１６の弁座部材接続面１６ａ上に内側シール用
ガスケット６１および外側シール用ガスケット６２が残
される。従って、オリフィス６１ａが形成された内側シ
ール用ガスケット６１を容易に交換することができる。

【００２７】その後、必要な場合には外側シール用ガス
ケット６２を新しいものに交換したうえ、取り外したガ
ス制御バルブ本体１０ａを、バルブベース接続面６３ｂ
と弁座部材接続面１６ａとがガスケット６１，６２を介
して対向するようにしてバルブベース１６上にセット
し、ボルト６４を締め付ける。これでガス制御バルブ１
０のオリフィス６１ａの径を変更できたこととなる。

【００２８】従って、バルブベース１６を取り外すこと
なく、即ち、ガス制御バルブ１０全体を配管ＨＨ’から
取り外すことなく、弁座部材６３（ガス制御バルブ本体
１０ａ）を取り外すことができるので、狭い場所でも容
易にオリフィス６１ａが形成された内側シール用ガスケ
ット６１の交換作業ができる。また、弁座やオリフィス
押えを取り外す等の作業も必要がない。また、図中上方
からボルト６４を緩めて取り外すだけで、バルブベース
１６から弁座部材６３等が取り外せるので、近くに他の
機器があったとしても容易に取り外すことができる。さ
らに、弁座５９の交換・修理等のガス制御バルブ本体１
０ａの部品を調整したい場合にも、別の場所にガス制御
バルブ本体１０ａを運んだ後に交換等ができるので弁座
５９等を取り外しが容易で、第１流路孔６５等に傷を付
ける危険性も少なくなる。なお、バルブベース１６に、
複数のガス制御バルブ本体１０ａや他の機器を取り付け
られるように他のガス流路を設けて、いわゆるマニホー
ルドとしての機能を持たせるようにしてもよい。

【００２９】さらに、図３に示すようにバルブベース１
６に第２ポート流路を２つ（２２，２２’）形成として
もよい。図３に示すバルブベース１６においては、２つ
の第２ポート流路２２，２２’が、互いに直角をなして
（図中右方向と上方向）形成されており、第２ポート垂
直流路部２２ａ、２２ａ’が、同心をなして配置されて
いる内側シール用ガスケット６１と外側シール用ガスケ
ット６２との間のそれぞれ開口している。これにより、
例えば、第１ポート流路２１から流入したプロセスガス
をガス制御バルブ１０で制御して、第２ポート流路２２
に流出、遮断できるほか、もう１つの第２ポート流路２
２’から不活性ガス（パージガス）を第２ポート流路２
２に流すようにすることができる。

【００３０】このように、２つのガスケット６１，６２
が同心２重リング状に配されているので、両者の間に複
数の第２ポート流路２２が開口していても、ガスケット
６１，６２や弁座部材６３の形状を変える必要はない。
従って、ガスケット６１，６２や弁座部材６３（あるい
はガス制御バルブ本体１０ａ）を共通化して、多種類の
バルブベース１６に対応する事ができる。なお、バルブ
ベース１６の多種類化には、第２ポート流路の数や位置
が異なる場合の他、各ポートの継手の形状が例えばメタ
ル・ガスケット継手や２重食い込み継手などのように異
なる場合などがある。なお、図３において、各隅には、
ボルト６４と締結するためのネジ孔１６ｂが形成されて
いる。

【００３１】また、内側シール用ガスケットは、図４に
示すように脱着可能としてもよい。即ち、弁座部材６３
の第１流路孔６５のすぐ下方に、この第１流路孔６５に
連なって同軸状で、かつ第１流路孔よりもやや径大に形
成されたガスケット用凹部６３ｄを形成しておく。そし
て、このガスケット用凹部６３ｄに、ＰＣＴＦＥ樹脂か
らなる内側シール用ガスケット６１’を圧入して、弁座
部材６３と着脱可能に一体化している。また、この内側
シール用ガスケット６１’の内周面は軸方向略中央部分
において径小とされてオリフィス６１ａ’が形成されて
いる。なお、ガスケット用凹部６３ｄはその上端側面部
がリング状に凹んで形成されており、内側シール用ガス
ケット６１’のうちやや膨出するように形成された上端
側面部と係合することでガスケット６１’を抜けにくく
している。

【００３２】このようにすれば、弁座部材６３（ガス制
御バルブ本体１０ａ）をバルブベース１６から取り外し
たときに、内側シール用ガスケット６１’も弁座部材６
３とともに取り外すことができる。次いで、弁座部材６
３からガスケット６１’を脱着すれば、オリフィス６１
ａ’を交換することができる。従って、配管系ＨＨ’に
接続されているバルブベース１６上からガスケットを取
り出す必要がないので、さらに容易にオリフィスの交換
が可能となる。

【００３３】外側シール用ガスケットについて、同様な
構造により着脱可能としても良い。また、たとえば、図
４に示すように、外側シール用ガスケット６２’に開口
部が外周側に形成された断面略Ｃ型のステンレス製リン
グ状ガスケットを用いても良い。この場合には、この開
口部にガスケットリティーナ７０の内周縁を差し込むこ
とにより、リティーナ７０と係合させて一体とし、この
ガスケットリティーナ７０の厚さ方向に略Ｕ字状に屈曲
されバネ部を、弁座部材６３のバルブベース接続面６３
ｂに形成したリティーナ保持凹部６３ｃに挿入する。こ
の凹部６３ｃとバネ部とを弾性に係合させることで、ガ
スケットリティーナ７０および外側シール用ガスケット
６２’が弁座部材６３に着脱可能に保持される。

【００３４】このようにして内側シール用ガスケット６
１’および外側シール用ガスケット６２’が弁座部材６
３に保持されるようにすると、バルブベース１６から弁
座部材６３（ガス制御バルブ本体１０ｂ）を取り外した
ときに、弁座部材６３と共にガスケット６１’、６２’
も取り外されるので、上述した実施形態のように弁座部
材接続面１６ａからガスケットを取り出す必要がなく、
ガスケット６１’、６２’の交換がより容易になる。本
発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、発明
の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更して適用可能
である。

【００３５】

【発明の効果】以上に詳述したように、請求項１に記載
の発明によれば、バルブベースを配管系から取り外すこ
となくオリフィスが形成されたシール部材を取り外すこ
とができ、オリフィスの交換が容易となる。また、請求
項２に記載の発明によれば、シール部材は弁座部材とバ
ルブベースに挟まれて押圧されているので、確実にシー
ルでき、裏漏れや外部へのガス漏れを生じることがな
い。

【００３６】さらに、請求項３に記載の発明によれば、
第２流路についても配管から取り外す必要はなく、弁座
部材をバルブベースから取り外すことできるので、さら
にオリフィスを有するシール部材の交換が容易となる。
また、多種類のバルブベースに対応できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態にかかるパイロット型ガス制御バルブ
の縦断面図である。

【図２】内側シール部材の縦断面図である。

【図３】バルブベースの平面図である。

【図４】他の実施形態にかかるパイロット型ガス制御バ
ルブの縦断面図である。

【図５】従来のガス制御バルブの縦断面図である。

【符号の説明】

１０ガス制御バルブ１０ａ、１０ｂガス制御バルブ本体１６バルブベース１６ａ弁座部材接続面２１第１ポート流路２２第２ポート流路２１ａ第１ポート垂直流路部２２ａ第２ポート垂直流路部５１パイロット弁シリンダ５２ピストン５３ピストンロッド５４ダイヤフラム５５復帰バネ５６ダイヤフラム固定ブラケット５７中間部材５８弁体５９弁座６０駆動空気用ポート６１、６１’ 内側シール用ガスケット６１ａ、６１ａ’オリフィス６２、６２’ 外側シール用ガスケット６３弁座部材６３ｂバルブベース接続面６３ｃリティーナ保持凹部６３ｄガスケット用凹部６５第１流路孔６６第２流路孔７０ガスケットリティーナＨ、Ｈ’ 配管系

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弁体とリング状弁座とが当接および離間
可能に構成されたポペット弁を有し、該リング状弁座の
リング内に開口する第１流路孔に連通しかつ該リング状
弁座の近傍に配置されたオリフィスを有するガス制御バ
ルブにおいて、上記リング状弁座を保持する弁座部材であって、該弁座
部材をバルブベース接続面から該リング状弁座のリング
内にわたって貫通する上記第１流路孔を有する弁座部材
と、上記弁座部材に接続させるための弁座部材接続面と該弁
座部材接続面に開口する第１ポート流路とを有するバル
ブベースと、上記弁座部材のバルブベース接続面と上記バルブベース
の弁座部材接続面との間に配されたリング状シール部材
であって、上記第１流路孔と上記第１ポート流路とを連
通し、内周面に上記オリフィスが形成されてなるシール
部材と、を有することを特徴とするガス制御バルブ。
【請求項２】前記シール部材は、前記弁座部材のバル
ブベース接続面と前記バルブベースの弁座部材接続面と
に挟まれて押圧されることによりシールすることを特徴
とする請求項１に記載のガス制御バルブ。
【請求項３】前記弁座部材は、該弁座部材をバルブベ
ース接続面から該リング状弁座のリング外にわたって貫
通する第２流路孔とを有し、前記バルブベースは、前記弁座部材接続面に開口する少
なくとも１つの第２ポート流路を有し、上記弁座部材のバルブベース接続面と上記バルブベース
の弁座部材接続面との間に前記シール部材を内側リング
とする同心二重リング状に配されたリング状シール部材
であって、上記第２流路孔と第２ポート流路とを連通し
これらと外部との間のシールをする外側シール部材と、
を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のガ
ス制御バルブ。