JP5293868B2 - 保持具、搭載装置、基板装置の製造方法 - Google Patents
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Description
(本実施形態に係るプリント配線基板装置の製造装置10の構成)
まず、本実施形態に係るプリント配線基板装置の製造装置10の構成を説明する。図1は、本実施形態に係るプリント配線基板装置の製造装置10の構成を示す斜視図である。なお、下記のX方向、−X方向、Y方向、−Y方向、Z方向(上方)及び−Z方向(下方)は、図中に示す矢印方向である。また、図中の「○」の中に「×」が記載されたものは、紙面の手前から奥へ向かう矢印を意味し、図中の「○」の中に「・」が記載されたものは、紙面の奥から手前へ向かう矢印を意味する。
プリント配線基板44に搭載される半導体素子12としては、例えば、長尺に形成された断面四角形状の半導体素子(例えば、LEDチップ)が用いられる。具体的には、半導体素子12は、例えば、幅(Y方向長さ)125μm、長さ(X方向長さ)6mm、高さ(Z方向長さ)300μmとされている。また、半導体素子12の上面12C(図8参照)には、回路パターンや発光素子等の機能部が設けられている。
図1に示されるように、供給部13は、ウエハ14を保持する保持部15と、保持部15をX方向(−X方向)及びY方向(−Y方向)へ移動させる移動機構17と、を備えている。ウエハ14が切断されることにより、ウエハ14から複数の半導体素子12が切り出されるようになっている。供給部13では、移動機構17が保持部15をX方向(−X方向)及びY方向(−Y方向)へ移動させることで、搭載対象の半導体素子12を予め定められた移送装置50によるピックアップ位置に位置させるようになっている。
素子位置決め部20は、半導体素子12が載せられる位置決め台30と、位置決め台30に載せられた半導体素子12を予め定められた位置に位置決めする位置決め部材22と、位置決め部材22をX方向(−X方向)及びY方向(−Y方向)へ移動させる移動機構29と、を備えている。
図1に示されるように、基板位置決め部40は、プリント配線基板44をX方向に搬送する一対の搬送部材(例えば、コンベア)42を備えている。一対の搬送部材42は、その間にプリント配線基板44が導入可能にY方向に離れて配置されている。基板位置決め部40では、一対の搬送部材42の間に導入されたプリント配線基板44を一対の搬送部材42が搬送し、一対の搬送部材42によって、プリント配線基板44がX方向、Y方向、Z方向において位置決めされるようになっている。
移送装置50は、吸着ノズル54で半導体素子12を吸着する吸引器52と、吸引器52を移動させる移動機構53と、を備えている。移送装置50では、吸引器52が、ピックアップ位置に位置する半導体素子12を吸引して半導体素子12を吸着ノズル54に吸着する。そして、移送装置50では、半導体素子12を吸着ノズル54に吸着した状態で、移動機構53によって吸引器52が矢印A方向に移動することで、半導体素子12を位置決め台30の高密度領域34Aに移送するようになっている。尚、移動機構53は、具体的には、X方向(−X方向)、Y方向(−Y方向)およびZ方向(−Z方向)に移動可能な三軸ロボットを例示することができる。
保持装置60は、吸着ノズル64を有する吸引器62と、吸着ノズル64に設けられた保持具の一例としてのコレット70と、吸引器62を移動させる移動機構63と、を備えている。保持装置60では、吸引器62が、素子位置決め部20で位置決めされた半導体素子12を吸引して半導体素子12をコレット70で吸着保持する。そして、保持装置60では、半導体素子12をコレット70で保持した状態において、移動機構63によって、コレット70を含む吸引器62が矢印B方向に移動することで、基板位置決め部40で位置決めされたプリント配線基板44に半導体素子12を搭載するようになっている。尚、移動機構63は、具体的には、X方向(−X方向)、Y方向(−Y方向)およびZ方向(−Z方向)に移動可能な三軸ロボットを例示することができる。
図5に示されるように、コレット70は、コレット本体72と、コレット本体72に設けられ半導体素子12の側面12Aに突き当たる第1面81(図8参照)が形成された形成部材86と、を備えている。
本実施形態に係るプリント配線基板装置の製造工程では、図1に示されるように、まず、供給部13において、移動機構17が保持部15をX方向(−X方向)及びY方向(−Y方向)へ移動させることで、搭載対象の半導体素子12を予め定められたピックアップ位置に位置させる(位置調整工程)。
本実施形態では、位置決め部材22によって位置決めされる半導体素子12は、その底面12Dが、高密度領域34Aの複数の吸引孔38を通じて吸引されることで、適度な移動抵抗が付与される。また、低密度領域34Bの吸引力が吸引路23を通じて、一対の突き当て部22Cの先端部に突き当てられた半導体素子12の側面12Aが吸引されることで、半導体素子12の突き当て状態が維持される。これにより、半導体素子12が正確に位置決めされる。
本実施形態に係るコレット70と、比較例に係るコレット170とにおいて、半導体素子12を保持して、当該半導体素子12に対して、下方よりニードルにて半導体素子12を傾かせる力を作用させて、確認試験を行った。本実施形態に係るコレット70の試験結果が、図10のグラフに示され、比較例に係るコレット170の試験結果が、図11のグラフに示されている。
次に、第1変形例に係るコレット700について説明する。図12は、第1変形例に係るコレット700の構成を示す斜視図である。なお、コレット70と同一の機能を有する部分については、同一符号を付して説明を適宜省略する。
次に、第2変形例に係るコレット800について説明する。図13は、第2変形例に係るコレット800の構成を示す斜視図である。ここでは、コレット700と異なる部分を説明し、コレット700と同一の機能を有する部分については、同一符号を付して説明を適宜省略する。
次に、第2変形例に係るコレット800の作用、及び、当該コレット800に対する比較例としてのコレット900の作用について説明する。
次に、変形例に係る保持装置300の構成について説明する。ここでは、保持装置60と異なる部分を説明し、保持装置60と同一の機能を有する部分については、同一符号を付して説明を適宜省略する。図21は、変形例に係る保持装置300の構成を示す概略図である。なお、図21では、各部の構成を簡略化して示している。
次に、保持装置300で保持された半導体素子12を、基板位置決め工程で位置決めされたプリント配線基板44に搭載する搭載工程について説明する。プリント配線基板装置の製造工程における搭載工程以外の工程については、前述の製造工程における各工程と同様であるので、ここでは、説明を省略する。図22は、本搭載工程における保持装置300の動作を示す動作図である。
上下移動部310が予め定められた量下降すると、その降下(移動)が停止し、半導体素子12のプリント配線基板44に対する押し込みが終了する。このとき、変位センサ340とフランジ部322の下面324との間隔は、例えば、距離bとされる。この距離bは、変位センサ340によって測定される。なお、この距離bは、プリント配線基板44のうねり等により部分的に傾斜していることや、プリント配線基板44の厚みが部分的に異なっていることによって、変動する。
本実施形態では、コレット70(コレット700)は、コレット本体72(コレット本体702)と形成部材86との2部品で構成されていたが、1部品で構成されていてもよく、また、3部品以上で構成されていてもよい。
12B 対向面
12 半導体素子
12E 稜線
20 素子位置決め部
40 基板位置決め部
70 コレット(保持具の一例)
74A 吸引口
81 第1面
82 第2面
90 吸引部
92 空間
314 支持部
322 フランジ部(変位部材の一例)
330 圧縮バネ(弾性部材の一例)
340 変位センサ(測定部の一例)
360 カム(規制部材の一例)
362 回転軸
Claims (8)
- 半導体素子の側面に突き当たる第1面と、
前記半導体素子における前記側面と対向する対向面と上面との稜線に突き当たることで前記半導体素子に対して線接触する第2面と、
前記側面が前記第1面に突き当たり、且つ、前記稜線が前記第2面に突き当たった状態に前記半導体素子が保持されるように、当該半導体素子に対して吸引力を作用させる吸引部と、
を備え、
前記対向面及び前記上面に対して非接触とされた保持具。 - 前記吸引部は、
前記第1面の一部に開口して形成され、前記第1面が突き当たった状態の前記側面の一部が非接触となる空間と、
前記空間から前記第2面が突き当たった状態の前記稜線までの間を負圧にする吸引口と、
を備えた請求項1に記載の保持具。 - 前記第2面における前記稜線に沿った長さは、前記第1面における前記稜線に沿った長さよりも短い請求項1又は2に記載の保持具。
- 半導体素子を位置決めする素子位置決め部と、
基板を位置決めする基板位置決め部と、
前記素子位置決め部で位置決めされた前記半導体素子を保持する請求項1〜3のいずれか1項に記載の保持具と、
前記保持具を移動して前記基板位置決め部に位置決めされた基板に前記半導体素子を搭載する移動機構と、
を備えた搭載装置。 - 前記移動機構は、前記第2面に沿って斜め上方へ前記保持具を移動させて、前記基板に搭載された半導体素子から前記保持具を退避させる請求項4に記載の搭載装置。
- 前記保持具を上下方向へ変位可能に支持する支持部と、
前記保持具を弾性力によって前記支持部に対して押し下げる弾性部材と、
前記保持具の前記支持部に対する変位量を測定する測定部と、
を備え、
前記移動機構は、前記支持部を前記基板に対して降下させ、前記保持具に保持された半導体素子を前記弾性部材の弾性力によって前記基板に対して押し込んで前記基板に搭載し、前記測定部が測定した変位量に基づき、前記保持具を前記第2面に沿って斜め上方へ移動させる移動開始タイミングを決定する請求項5に記載の搭載装置。 - 前記測定部は、前記測定部の上方へ配置され前記保持具と一体に変位する変位部材との距離に基づき、前記変位量を測定し、
前記変位部材と前記測定部との間には、前記変位部材の下方への変位を規制する規制部材が設けられている請求項6に記載の搭載装置。 - 半導体素子を位置決めする素子位置決め工程と、
基板を位置決めする基板位置決め工程と、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の保持具により、前記素子位置決め工程で位置決めされた前記半導体素子を保持し、前記基板位置決め工程で位置決めされた基板に当該半導体素子を搭載する搭載工程と、
を備えた基板装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012180966A JP5293868B2 (ja) | 2011-10-19 | 2012-08-17 | 保持具、搭載装置、基板装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011230012 | 2011-10-19 | ||
JP2011230012 | 2011-10-19 | ||
JP2012180966A JP5293868B2 (ja) | 2011-10-19 | 2012-08-17 | 保持具、搭載装置、基板装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013102128A JP2013102128A (ja) | 2013-05-23 |
JP5293868B2 true JP5293868B2 (ja) | 2013-09-18 |
Family
ID=48622454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5293868B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6593405B2 (ja) | 2017-08-31 | 2019-10-23 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005103659A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-21 | Sharp Corp | 吸着装置およびこれを用いた吸着方法 |
JP4061261B2 (ja) * | 2003-10-29 | 2008-03-12 | 京セラ株式会社 | ダイボンディング用コレット |
JP2007165594A (ja) * | 2005-12-14 | 2007-06-28 | Denso Corp | 電子部品の実装方法 |
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2012
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