JP5288892B2 - スタックモジュール、及びそれを備えるカード及びシステム - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 172
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 20
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16135—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/16145—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
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- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06513—Bump or bump-like direct electrical connections between devices, e.g. flip-chip connection, solder bumps
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- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
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- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06527—Special adaptation of electrical connections, e.g. rewiring, engineering changes, pressure contacts, layout
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- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
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- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
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Description
S1、S3 第1選択ライン
S2、S4 第2選択ライン
IO1、IO2 入出力ライン
105a、205a 第1単位モジュール
105b、205b 第2単位モジュール
110a、210a 第1単位基板
110b、210b 第2単位基板
120 選択ターミナル
125 選択パッド
130 入出力ターミナル
135a、235a 第1貫通電極
135b、235b 第2貫通電極
140a、240a 第3貫通電極
140b、240b 第4貫通電極
145a、245a 第1再配線層
145b、245b 第2再配線層
150a、250a 第3再配線層
150b、250b 第4再配線層
180、280 パッケージ基板
185、285 導電性バンプ
300 カード
400 システム
Claims (22)
- 各々選択ターミナルを有し、互いに積層され、奇数層に配された、同一の配線構造を有する少なくとも1つの第1単位基板、及び偶数層に配された、前記第1単位基板と異なる同一の配線構造を有する少なくとも1つの第2単位基板を備える複数の単位基板と、
前記第1単位基板それぞれの前記選択ターミナルにそれぞれ個別に電気的に連結され、前記複数の単位基板の少なくとも1つを貫通して前記複数の単位基板の最下部に延びた、第1選択ラインと、
前記第2単位基板それぞれの前記選択ターミナルにそれぞれ個別に電気的に連結され、前記複数の単位基板の少なくとも1つを貫通して前記複数の単位基板の最下部に延びた第2選択ラインと、を備え、
前記第1選択ラインと前記第2選択ラインは、前記選択ターミナルを基準に互いに逆方向に配されたことを特徴とするスタックモジュール。 - 前記第1選択ライン及び前記第2選択ラインは、前記選択ターミナルから始まって互いに逆方向に階段式に延びることを特徴とする請求項1に記載のスタックモジュール。
- 前記第1選択ライン及び前記第2選択ラインの前記第1単位基板を貫通する部分は、上下に整列されたことを特徴とする請求項1に記載のスタックモジュール。
- 前記第1選択ライン及び前記第2選択ラインの前記第2単位基板を貫通する部分は、上下に整列されたことを特徴とする請求項1に記載のスタックモジュール。
- 前記第1単位基板を貫通し、前記第1単位基板それぞれの前記選択ターミナルの両側に配されたN個以上の第1貫通電極と、
前記第1貫通電極に連結され、前記選択ターミナル方向に各々延びたN個以上の第1再配線層と、
前記第2単位基板を貫通し、前記第2単位基板それぞれの前記選択ターミナルの両側に各々配されたN個以上の第2貫通電極と、
前記第2貫通電極に連結され、前記第2単位基板それぞれの前記選択ターミナル方向に各々延びたN個以上の第2再配線層と、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のスタックモジュール。 - 前記第1配線層は、前記第1単位基板上に配され、前記第2配線層は、前記第2単位基板上に配されたことを特徴とする請求項5に記載のスタックモジュール。
- 前記第1貫通電極の一部は、前記第2再配線層の一部と連結され、前記第2貫通電極の一部は、前記第1配線層の一部と連結されたことを特徴とする請求項5に記載のスタックモジュール。
- 前記Nが偶数である場合、前記第1貫通電極及び前記第2貫通電極は、前記選択ターミナルの両側にN/2個ずつ各々配されることを特徴とする請求項5に記載のスタックモジュール。
- 前記Nが奇数である場合、前記第1貫通電極及び前記第2貫通電極は、前記選択ターミナルの両側に(N+1)/2個ずつ各々配されることを特徴とする請求項5に記載のスタックモジュール。
- 前記第1単位基板及び前記第2単位基板は、互いに端部が整列され、前記第2貫通電極は、前記第1貫通電極と交互に前記第2単位基板内に配されたことを特徴とする請求項5に記載のスタックモジュール。
- 前記第2貫通電極各々は、前記第1貫通電極の隣接した2つの中央に配されたことを特徴とする請求項10に記載のスタックモジュール。
- 前記第1単位基板及び前記第2単位基板は、その端部が交互に積層されたことを特徴とする請求項5に記載のスタックモジュール。
- 前記第2単位基板の端部は、前記第1単位基板の端部から前記第1貫通電極及び前記第2貫通電極のピッチほど移動したことを特徴とする請求項12に記載のスタックモジュール。
- 前記N個の単位基板は、1つ以上の入出力ターミナルをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のスタックモジュール。
- 前記複数の単位基板それぞれの前記1つ以上の入出力ターミナルを共通で連結するように前記複数の単位基板を貫通する1つ以上の入出力ラインをさらに備えることを特徴とする請求項14に記載のスタックモジュール。
- 前記1つ以上の入出力ラインは、前記1つ以上の入出力ターミナルをさらに貫通するように配されたことを特徴とする請求項15に記載のスタックモジュール。
- 前記第1単位基板及び前記第2単位基板は、その端部が交互に積層され、前記1つ以上の入出力ラインは、上下にジグザグ状に配されたことを特徴とする請求項15に記載のスタックモジュール。
- 前記複数の単位基板の下に配されたパッケージ基板をさらに備え、前記第1選択ライン及び前記第2選択ラインは、前記パッケージ基板に電気的に連結されたことを特徴とする請求項1に記載のスタックモジュール。
- 前記パッケージ基板に付着された1つ以上の導電性バンプをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のスタックモジュール。
- 前記複数の単位基板は、半導体チップを備えることを特徴とする請求項1に記載のスタックモジュール。
- 請求項1ないし20のいずれか1項に記載のスタックモジュールで構成されたメモリと、
前記メモリを制御し、前記メモリとデータを送受信する制御器と、を備えることを特徴とするカード。 - 請求項1ないし20のいずれか1項に記載のスタックモジュールで構成されたメモリと、
前記メモリとバスとを通じて通信するプロセッサーと、
前記バスと通信する入出力装置と、を備えることを特徴とするシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070055729A KR100874926B1 (ko) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | 스택 모듈, 이를 포함하는 카드 및 이를 포함하는 시스템 |
KR10-2007-0055729 | 2007-06-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008306187A JP2008306187A (ja) | 2008-12-18 |
JP5288892B2 true JP5288892B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=40095692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008148504A Active JP5288892B2 (ja) | 2007-06-07 | 2008-06-05 | スタックモジュール、及びそれを備えるカード及びシステム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8004848B2 (ja) |
JP (1) | JP5288892B2 (ja) |
KR (1) | KR100874926B1 (ja) |
TW (1) | TWI459301B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4340517B2 (ja) | 2003-10-30 | 2009-10-07 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US8400781B2 (en) * | 2009-09-02 | 2013-03-19 | Mosaid Technologies Incorporated | Using interrupted through-silicon-vias in integrated circuits adapted for stacking |
US8343810B2 (en) * | 2010-08-16 | 2013-01-01 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor device and method of forming Fo-WLCSP having conductive layers and conductive vias separated by polymer layers |
CN103066041B (zh) * | 2012-12-17 | 2015-08-26 | 三星半导体(中国)研究开发有限公司 | 芯片堆叠结构及其制造方法 |
WO2015048199A1 (en) * | 2013-09-24 | 2015-04-02 | Rambus Inc. | High capacity memory system |
KR20150114233A (ko) | 2014-04-01 | 2015-10-12 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 및 이의 제조방법 |
WO2016080973A1 (en) * | 2014-11-19 | 2016-05-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | A resistive random-access memory in printed circuit board |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5130894A (en) * | 1990-11-26 | 1992-07-14 | At&T Bell Laboratories | Three-dimensional circuit modules |
US5527716A (en) * | 1992-02-04 | 1996-06-18 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of making integrated-circuit stacked-cell solar module |
JPH06342874A (ja) | 1993-06-01 | 1994-12-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | 高集積半導体装置 |
US5579207A (en) * | 1994-10-20 | 1996-11-26 | Hughes Electronics | Three-dimensional integrated circuit stacking |
JP2870530B1 (ja) * | 1997-10-30 | 1999-03-17 | 日本電気株式会社 | スタックモジュール用インターポーザとスタックモジュール |
US6451624B1 (en) * | 1998-06-05 | 2002-09-17 | Micron Technology, Inc. | Stackable semiconductor package having conductive layer and insulating layers and method of fabrication |
JP3360655B2 (ja) | 1999-07-08 | 2002-12-24 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
TW472330B (en) * | 1999-08-26 | 2002-01-11 | Toshiba Corp | Semiconductor device and the manufacturing method thereof |
JP2001177051A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Toshiba Corp | 半導体装置及びシステム装置 |
JP3980807B2 (ja) * | 2000-03-27 | 2007-09-26 | 株式会社東芝 | 半導体装置及び半導体モジュール |
KR100364635B1 (ko) | 2001-02-09 | 2002-12-16 | 삼성전자 주식회사 | 칩-레벨에 형성된 칩 선택용 패드를 포함하는 칩-레벨3차원 멀티-칩 패키지 및 그 제조 방법 |
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JP4175241B2 (ja) * | 2003-11-07 | 2008-11-05 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2005317861A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP4794218B2 (ja) * | 2004-06-25 | 2011-10-19 | パナソニック株式会社 | スレーブ装置、マスタ装置及び積層装置 |
JP4504798B2 (ja) * | 2004-12-16 | 2010-07-14 | パナソニック株式会社 | 多段構成半導体モジュール |
JP2008535273A (ja) * | 2005-03-31 | 2008-08-28 | スタッツ・チップパック・リミテッド | 上面および下面に露出した基板表面を有する半導体積層型パッケージアセンブリ |
JP4520355B2 (ja) * | 2005-04-19 | 2010-08-04 | パナソニック株式会社 | 半導体モジュール |
JP2008187061A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Elpida Memory Inc | 積層メモリ |
-
2007
- 2007-06-07 KR KR1020070055729A patent/KR100874926B1/ko active IP Right Grant
-
2008
- 2008-05-23 US US12/126,313 patent/US8004848B2/en active Active
- 2008-06-04 TW TW097120789A patent/TWI459301B/zh active
- 2008-06-05 JP JP2008148504A patent/JP5288892B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080107677A (ko) | 2008-12-11 |
US8004848B2 (en) | 2011-08-23 |
TWI459301B (zh) | 2014-11-01 |
JP2008306187A (ja) | 2008-12-18 |
TW200849106A (en) | 2008-12-16 |
KR100874926B1 (ko) | 2008-12-19 |
US20080304242A1 (en) | 2008-12-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110525 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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