CN110600395B - 处理装置 - Google Patents

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Abstract

提供处理装置，其判别所安装的卡盘工作台的种类。处理装置具有：卡盘工作台，其具有载置被处理物的保持面，对被处理物进行保持；工作台基台，其供卡盘工作台装卸自如地固定；伺服电动机，其使工作台基台旋转；处理单元，其对卡盘工作台所保持的被处理物进行处理；和判定单元，其判定安装在工作台基台上的卡盘工作台的种类，判定单元具有：转矩记录部，其将使工作台基台旋转时伺服电动机所输出的转矩按照安装在工作台基台上的卡盘工作台的每个种类记录；判定部，其测量使安装有卡盘工作台的工作台基台旋转时的伺服电动机所输出的转矩，将测量到的转矩与记录在转矩记录部中的各转矩进行比照，判定卡盘工作台的种类；和通知部，其通知判定的结果。

Description

处理装置
技术领域
本发明涉及能够对被处理物实施加工、清洗等处理的处理装置。
背景技术
在从硅基板、蓝宝石基板等被处理物形成包含半导体器件或光器件的器件芯片的工序中，使用各种处理装置。例如使用如下的处理装置：将形成有多个器件的被处理物按照每个器件进行分割的切削装置；进行激光加工的激光处理装置；对该被处理物进行磨削而薄化至规定的厚度的磨削装置；对加工后的被处理物进行清洗的清洗装置；等等。即，在处理装置中，实施被处理物的加工或清洗等处理。
这些处理装置具有对被处理物进行保持的卡盘工作台以及对被处理物实施规定的处理的处理单元。卡盘工作台在上表面上具有多孔质部件，在内部具有与该多孔质部件连接的吸引源。当在卡盘工作台上载置被处理物并使吸引源进行动作时，对被处理物作用负压而将被处理物吸引保持于卡盘工作台上。处理装置利用处理单元对保持于卡盘工作台的被处理物进行处理。
在这些处理装置中，能够更换卡盘工作台，为了利用卡盘工作台对各种大小的被处理物进行吸引保持，安装具有与该被处理物的大小、形状等相对应的保持面的卡盘工作台。若未在处理装置中安装与被处理物对应的卡盘工作台，则不能正确地保持被处理物，不仅无法实施适当的处理，而且有时因处理对被处理物施加预料之外的冲击等而产生破损。
另外，公知有不更换卡盘工作台而能够保持多个大小的被处理物的卡盘工作台(参照专利文献1)。当使用该卡盘工作台时，能够省略更换卡盘工作台的作业。但是，在使用该卡盘工作台的情况下，由于该卡盘工作台自身和与该卡盘工作台连接的吸引机构的结构复杂，因此被处理物的处理成本上升。
专利文献1：日本特开平7-153721号公报
关于卡盘工作台，通常由处理装置的使用者等根据被处理物的种类、大小等选定适当的卡盘工作台，并安装在处理装置上。但是，有时处理装置的该使用者等在卡盘工作台的选定上出现失误而将不适当的卡盘工作台安装在处理装置中。为了防止卡盘工作台的安装的错误，要配备参与确认的人员或是在处理装置中安装大型的确认机构，这些会导致被处理物的处理成本增大。
发明内容
本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供处理装置，能够对所安装的卡盘工作台的种类进行判别。
根据本发明的一个方式，提供处理装置，其特征在于，该处理装置具有：卡盘工作台，其具有载置被处理物的保持面，对该被处理物进行保持；工作台基台，其供该卡盘工作台装卸自如地固定；伺服电动机，其使该工作台基台绕旋转轴旋转，该旋转轴沿着与安装在该工作台基台上的该卡盘工作台的该保持面垂直的方向；处理单元，其对该卡盘工作台所保持的该被处理物进行处理；以及判定单元，其对安装在该工作台基台上的该卡盘工作台的种类进行判定，该判定单元具有：转矩记录部，其将当使该工作台基台旋转时该伺服电动机所输出的转矩按照安装在该工作台基台上的卡盘工作台的每个种类进行记录；判定部，其对使安装有该卡盘工作台的该工作台基台旋转时的该伺服电动机所输出的转矩进行测量，将测量到的该转矩与记录在该转矩记录部中的各转矩进行比照，判定该卡盘工作台的种类；以及通知部，其通知该判定部所实施的判定的结果。
优选该判定部所测量的转矩是该工作台基台达到规定的转速为止的加速时的转矩和从规定的转速到停止为止的减速时的转矩中的一方或双方。
另外，优选该处理单元是对该被处理物进行清洗的清洗单元。
本发明的一个方式的处理装置具有：工作台基台，其供卡盘工作台装卸自如地固定；以及伺服电动机，其使工作台基台旋转。卡盘工作台装卸自如地固定在工作台基台上。在使安装在工作台基台上的卡盘工作台旋转时，通过伺服电动机使工作台基台旋转。
该处理装置具有判定单元，该判定单元对安装在工作台基台上的卡盘工作台的种类进行判定。判定单元具有转矩记录部，该转矩记录部按照安装在工作台基台上的卡盘工作台的每个种类记录伺服电动机所输出的转矩。另外，判定单元还具有判定部，该判定部对使安装有卡盘工作台的工作台基台旋转时伺服电动机所输出的转矩进行测量，将测量得到的转矩与记录在转矩记录部中的各转矩进行比照。
该判定部将与记录在转矩记录部中的各转矩中的与测量得到的该转矩一致的转矩相关联的卡盘工作台的种类判定为安装在该工作台基台上的卡盘工作台的种类。该处理装置能够对所安装的卡盘工作台的种类进行判定，因此也能够在所判定的该卡盘工作台的种类不适于要处理的被处理物的情况下发出警告等。
因此，根据本发明的一个方式，提供处理装置，能够对所安装的卡盘工作台的种类进行判别。
附图说明
图1是示意性示出处理装置的一例的立体图。
图2是示意性示出作为处理单元的一例的清洗单元的立体图。
图3的(A)是示意性示出卡盘工作台的剖视图，图3的(B)是示意性示出其他的卡盘工作台的剖视图。
图4是示意性示出伺服电动机的转速与时间的关系的曲线图以及示意性示出伺服电动机的转矩与时间的关系的曲线图。
标号说明
1：被处理物；3：带；5：环状的框架；2：处理装置；4：基台；4a：突出部；4b、4c：开口部；4d：壳体；6：盒支承台；8：盒；10：移动工作台；12、38、38d、54：卡盘工作台；12a、38a、54a：保持面；12b、38b：夹具；38c、54c：固定螺钉；14：支承部；16、22：导轨；18、24：移动板；20、26：滚珠丝杠；28：脉冲电动机；30：切削单元；32：相机单元；34：切削刀具；36：清洗单元；40：清洗喷嘴；42：干燥喷嘴；44：显示监视器；46：警报灯；48：旋转轴；48a：工作台基台；48b：螺纹孔；48c：伺服电动机；50：判定单元；50a：转矩记录部；50b：判定部；52：电机驱动器；52a、56a、56b：曲线；52b：加速时；52c：减速时；58a、58b：转矩的差。
具体实施方式
参照附图，对本发明的一个方式的处理装置的实施方式进行说明。本实施方式的处理装置是在从硅基板、蓝宝石基板等被处理物形成器件芯片的工序中使用的处理装置，该器件芯片包含IC(Integrated Circuit：集成电路)等半导体器件或LED(light emittingdiode：发光二极管)等光器件。
该处理装置例如是按照每个器件对被处理物进行切削加工的切削装置、进行激光加工的激光处理装置、对该被处理物进行磨削而薄化至规定的厚度的磨削装置等。另外，该处理装置是对加工后的被处理物进行清洗的清洗装置。即，在处理装置中，对被处理物实施加工、清洗等处理。
图1是示意性示出本实施方式的处理装置的立体图。图1所示的处理装置2是对被处理物进行切削的切削装置。在处理装置2中，还实施切削后的被处理物的清洗。以下，在本实施方式中，以该处理装置2是切削装置的情况为例进行说明。
处理装置2具有对各构成要素进行支承的基台4。在该基台4的前方的突出部4a的上表面上设置有能够升降的盒支承台6。在盒支承台6的上表面上载置有对多个被处理物1进行收纳的盒8。另外，为了便于说明，在图1中仅示出了盒8的轮廓。
被处理物1例如是圆板状的晶片。在其正面侧设定有呈格子状排列的分割预定线(间隔道)，该正面被划分成多个区域。在所划分的各区域中形成IC、LED等器件，当沿着该分割预定线对被处理物1进行分割时，形成各个器件芯片。
另外，被处理物1也可以是除了由硅等半导体材料形成的圆板状的晶片以外的被处理物，对于被处理物1的材质、形状、构造等没有限制。例如，也可以使用由陶瓷、树脂、金属等材料形成的矩形的基板作为被处理物1。对于器件的种类、数量、配置等也没有限制。
在被处理物1的背面侧粘贴有直径比被处理物1的直径大的带3，在带3的外周部粘贴有由金属等形成的环状的框架5。被处理物1按照与带3和环状的框架5实现了一体化的框架单元的状态被收纳在盒8中，并被搬入至处理装置2进行处理。
处理装置2在基台4上具有箱形的壳体4d，主要的构成要素被收纳在壳体4d的内部。在图1中，为了便于说明，仅用双点划线示出壳体4d的轮廓。壳体4d在盒支承台6的附近具有未图示的搬入搬出口，具有被处理物1的框架单元经过该搬入搬出口而相对于壳体4d的内部搬入搬出。处理装置2具有搬送机构(未图示)，该搬送机构将收纳在盒支承台6上所载置的盒8中的框架单元取出，将该框架单元载置于后述的卡盘工作台12上。
在基台4的上表面的盒支承台6的附近形成有在X轴方向(前后方向、加工进给方向)上较长的矩形的开口部4b。在该开口部4b内设置有X轴移动工作台10。在X轴移动工作台10的上方设置有对被处理物1进行保持的卡盘工作台12。
在卡盘工作台12的上表面上配设有多孔质部件，该多孔质部件的上表面成为对被处理物1进行保持的保持面12a。该卡盘工作台12在外周部具有夹具12b，该夹具12b对载置于该保持面12a上的框架单元所包含的环状的框架5进行夹持。
该多孔质部件经由形成在卡盘工作台12和工作台基台的内部的吸引路径(未图示)而与吸引源(未图示)连接。当在该保持面12a上隔着带3而载置被处理物1并使吸引源进行动作而通过该吸引路和该多孔质部件将负压作用于被处理物1时，将被处理物1吸引保持在卡盘工作台12上。
卡盘工作台12固定在工作台基台(未图示)上，该工作台基台与伺服电动机(未图示)连接。当使该伺服电动机进行动作时，工作台基台进行旋转，固定在该工作台基台上的卡盘工作台12绕与保持面12a垂直的轴旋转。
在基台4的上表面的开口部4b的侧方设置有支承部14，该支承部14具有沿着与X轴方向垂直的Y轴方向向开口部4b的上方突出的臂部。在支承部14的该臂部的前表面上配设有与Y轴方向平行的一对Y轴导轨16。在Y轴导轨16上以能够滑动的方式安装有Y轴移动板18。
在Y轴移动板18的背面侧(后表面侧)设置有螺母部(未图示)，在该螺母部中螺合有与Y轴导轨16平行的Y轴滚珠丝杠20。在Y轴滚珠丝杠20的一个端部上连结有Y轴脉冲电动机(未图示)。当利用Y轴脉冲电动机使Y轴滚珠丝杠20旋转时，Y轴移动板18沿着Y轴导轨16在Y轴方向上移动。
在Y轴移动板18的正面(前表面)上设置有与垂直于X轴方向和Y轴方向的Z轴方向平行的一对Z轴导轨22。在Z轴导轨22上以能够滑动的方式安装有Z轴移动板24。
在Z轴移动板24的背面侧(后表面侧)设置有螺母部(未图示)，在该螺母部中螺合有与Z轴导轨22平行的Z轴滚珠丝杠26。在Z轴滚珠丝杠26的一个端部上连结有Z轴脉冲电动机28。当利用Z轴脉冲电动机28使Z轴滚珠丝杠26旋转时，Z轴移动板24沿着Z轴导轨22在Z轴方向上移动。
在Z轴移动板24的下部设置有处理单元。作为切削装置的处理装置2所具有的处理单元例如是对被处理物1进行切削的切削单元30。该切削单元30具有圆环状的切削刀具34，该切削刀具34安装在作为旋转轴的主轴的一端侧。
另外，在与切削单元30相邻的位置设置有对被处理物1等进行拍摄的相机单元(拍摄单元)32。当通过相机单元32对卡盘工作台12所保持的被处理物1进行拍摄时，能够检测到设定在被处理物1的正面上的分割预定线(间隔道)。
当使Y轴移动板18在Y轴方向上移动时，切削单元30和相机单元32在Y轴方向上进行分度进给。另外，当使Z轴移动板24在Z轴方向上移动时，切削单元30和相机单元32进行升降。
在对被处理物1进行切削时，处理装置2使用相机单元32对设定在被处理物1的正面上的分割预定线的位置进行检测，使卡盘工作台12旋转而使该分割预定线的延伸方向与加工进给方向(X轴方向)一致。然后，使安装在切削单元30上的环状的切削刀具34旋转，使切削单元30下降至规定的高度，将卡盘工作台12进行加工进给，使切削刀具34切入至被处理物1。
在相对于开口部4b位于与盒支承台6相反的一侧的位置形成有圆形的开口部4c。在开口部4c内设置有用于对切削后的被处理物1进行清洗等处理的清洗单元36。即，处理装置2除了具有切削单元30之外，还具有清洗单元36作为处理单元。使用图2对设置在开口部4c的清洗单元36进行详细说明。图2是示意性示出作为处理单元的清洗单元36的立体图。
在开口部4c的内部设置有对被处理物1进行保持的卡盘工作台38。在卡盘工作台38的上表面上配设有多孔质部件，该多孔质部件的上表面成为对被处理物1进行保持的保持面38a。该多孔质部件经由形成在卡盘工作台38的内部的吸引路径(未图示)而与吸引源(未图示)连接。当在该保持面38a上载置包含被处理物1的框架单元并使吸引源进行动作而将负压作用于被处理物1时，将被处理物1吸引保持在卡盘工作台38上。
卡盘工作台38在外周部具有夹具38b，该夹具38b对载置于该保持面38a上的框架单元所包含的环状的框架5进行夹持。夹具38b在下端部具有重物，在上端部具有与环状的框架5接触的把持部。当使卡盘工作台38绕与保持面38a垂直的轴高速旋转时，重物部通过离心力而向外周侧移动，把持部向内周侧倾倒而对该环状的框架5进行把持。
图3的(A)是示意性示出卡盘工作台38的剖视图。如图3的(A)所示，卡盘工作台38安装在工作台基台48a上。该工作台基台48a以能够旋转的方式支承在伺服电动机48c的旋转轴48的上端。
在卡盘工作台38的外周部设置有固定螺钉38c的插通孔，在将卡盘工作台38安装到工作台基台48a时将该固定螺钉38c拧入设置在工作台基台48a的上表面上的螺纹孔48b中。另外，在工作台基台48a的上表面上在与其他大小的卡盘工作台54(参照图3的(B))的该插通孔对应的位置也设置有螺纹孔48b。在将卡盘工作台54安装到工作台基座48a时，将固定螺钉54c拧入该螺纹孔48b中。
当使伺服电动机48c进行动作而使旋转轴48旋转时，能够使卡盘工作台38绕沿着与保持面38a垂直的方向的轴旋转。在伺服电动机48c上连接有对该伺服电动机48c的旋转进行控制的电动机驱动器52。电动机驱动器52能够按照使伺服电动机48c以规定的速度进行旋转的方式对伺服电动机48c进行控制，此时能够根据伺服电动机48c所消耗的电力等检测到转矩。
如图2所示，清洗单元36具有从上方对卡盘工作台38所保持的被处理物1喷出清洗液的清洗喷嘴40。另外，清洗单元36具有干燥喷嘴42，该干燥喷嘴42用于在被处理物1的清洗后将附着在被处理物1上的清洗液去除而使被处理物1干燥。清洗喷嘴40和干燥喷嘴42与在卡盘工作台38的外周侧沿着Z轴方向延伸的轴部的上端连接，通过使轴部旋转而能够在卡盘工作台38的上方移动。
在利用清洗单元36对切削后的被处理物1进行清洗处理时，首先，将框架单元载置于卡盘工作台38，将框架单元吸引保持在卡盘工作台38上。接着，使伺服电动机48c进行动作而使卡盘工作台38旋转。
然后，一边从清洗喷嘴40向下方喷出纯水等清洗液，一边使清洗喷嘴40的喷出口在被处理物1的上方往复移动，通过清洗液对被处理物1的正面进行清洗。然后，一边从干燥喷嘴42向下方喷出干燥空气等气体，一边使干燥喷嘴42的喷出口在被处理物1的上方往复移动，将附着在包含被处理物1的框架单元上的清洗液吹飞。包含清洗后的被处理物1的框架单元通过上述的搬送单元从卡盘工作台38搬送至盒8中。
如图1所示，在处理装置2的壳体4d的一个侧面上设置有触摸面板式的显示监视器44。在显示监视器44上显示由处理装置2实施的处理的内容、处理的进行状况等。另外，当处理装置2产生异常事态时，在显示监视器44上显示出警告。另外，处理装置2的使用者等能够使用显示监视器44对处理装置2输入各种指示。
在处理装置2的壳体4d的上表面上设置有警报灯46。警报灯46例如具有绿色的灯和红色的灯。在处理装置2没有异常而适当运转的情况下，警报灯46将绿色的灯点亮。另外，在处理装置2中产生了某种异常时，将红色的灯点亮，向处理装置2的使用者等发出警告。另外，显示监视器44和警报灯46还作为后述的判定单元50所具有的通知部发挥功能。
安装在处理装置2上的卡盘工作台12、38能够进行更换，由处理装置2的使用者或管理者等根据被处理物1的大小、形状等选择适当的卡盘工作台12、38并安装在处理装置2上。在图1中，图示了能够与卡盘工作台12进行更换的、保持面12a的大小不同的卡盘工作台12c。另外，在图1中，图示了能够与卡盘工作台38进行更换的、保持面38a的大小不同的卡盘工作台54。
图3的(A)是示意性示出固定在基台4的开口部4c内的卡盘工作台38的剖视图，图3的(B)是示意性示出固定在基台4的开口部4c内的其他卡盘工作台54的剖视图。例如，卡盘工作台38是对直径为300mm的圆板状的被处理物1进行保持的卡盘工作台，卡盘工作台54是对直径为8英寸的圆板状的被处理物1进行保持的卡盘工作台。如图3的(A)和图3的(B)所示，在工作台基台48a上安装所选择的卡盘工作台38、54。
在处理装置2的使用者或管理者弄错卡盘工作台的选择而将不适当的卡盘工作台安装在处理装置2中的情况下，无法适当地保持被处理物1。若无法适当地保持被处理物1，则不仅无法对被处理物1实施规定的处理，而且有时因处理对被处理物1施加预料之外的冲击等而产生破损。但是，当为了防止卡盘工作台的误安装而配备参与确认的人员、或者在处理装置2上安装大型的确认机构时，被处理物1的处理成本变高。
因此，本实施方式的处理装置2具有判定单元，该判定单元对安装在工作台基台48a上的卡盘工作台的种类进行判定。卡盘工作台的重量、形状根据卡盘工作台的种类而不同。因此，在对电动机驱动器52进行控制而使卡盘工作台按照规定的速度旋转时，电动机驱动器52所输出的转矩根据卡盘工作台的种类而不同。
例如，预先按照卡盘工作台的每个种类记录电动机驱动器52所输出的转矩。于是，通过将当使作为判定对象的卡盘工作台旋转时电动机驱动器52所输出的转矩与所记录的各转矩进行比照，能够判定该卡盘工作台的种类。以下，以图3的(A)和图3的(B)为例对处理装置2所具有的判定单元进行说明。
图3的(A)和图3的(B)示出与对伺服电动机48c的旋转进行控制的电动机驱动器52连接的判定单元50的结构的一例。判定单元50例如具有转矩记录部50a、判定部50b以及通知判定部50b所实施的判定的结果的通知部。
转矩记录部50a将当使工作台基台48a旋转时伺服电动机48c所输出的转矩按照安装在工作台基台48a上的卡盘工作台的每个种类进行记录。例如，预先将各个种类的卡盘工作台安装在工作台基台48a上，分别按照规定的加速度加速至规定的转速，然后按照规定的转速进行旋转，进而按照规定的加速度进行减速直至停止。此时，利用电动机驱动器52检测伺服电动机48c所输出的转矩，并记录在转矩记录部50a中。
在图4中，作为记录在转矩记录部50a中的转矩的一例，示出了表示工作台基台48a的转速和时间的关系的曲线52a以及表示伺服电动机48c所输出的转矩和时间的关系的曲线56a、56b。
例如，曲线56a是表示当将卡盘工作台38安装在工作台基台48a上时如曲线52a所示那样使工作台基台48a加速、旋转以及减速时由伺服电动机48c输出的转矩与时间的关系的曲线。另外，例如曲线56b是表示当将卡盘工作台54安装在工作台基台48a上时同样地使工作台基台48a加速、旋转以及减速时由伺服电动机48c输出的转矩与时间的关系的曲线。
对判定单元50所具有的判定部50b所实施的判定进行说明。判定部50b对电动机驱动器52进行控制而使安装有作为判定对象的卡盘工作台的工作台基台48a按照规定的转速进行旋转。然后，对此时伺服电动机48c所输出的转矩进行测量，将测量得到的转矩与记录在该转矩记录部50a中的各转矩进行比照。
例如，将工作台基台48a达到规定的转速为止的加速时52b所观测到的转矩或者将从规定的转速到停止为止的减速时52c所观测到的转矩与记录在转矩记录部50a中的各转矩进行比照。然后，选出记录在转矩记录部50a中的各转矩中的与所观测到的转矩一致的转矩。判定为作为判定对象的卡盘工作台的种类是当观测到所选出的该转矩时安装在工作台基台48a上的种类的卡盘工作台。
另外，从使处理装置2的处理高效的观点出发，推进伺服电动机48c的改良以便降低因伺服电动机48c的旋转而产生的摩擦。因此，在按照规定的转速进行旋转的期间所观测到的转矩极小，不适合作为比照中进行参考的转矩。与此相对，在工作台基台48a的加速时52b和减速时52c所观测到的转矩比较大，S/N比良好，因此，优选作为比照时使用的转矩。
特别是，在判定部50b通过电动机驱动器52对加速时52b所观测到的转矩以及减速时52c所观测到的转矩这双方进行测量并评价二者的差的情况下，S/N比变得特别良好，比照的精度变得极高。例如，如图4所示，曲线56a中的该转矩的差58a和曲线56b中的该转矩的差58b大不相同。因此，在卡盘工作台的种类的判定中不容易产生误判定。
与判定部50b所判定的卡盘工作台的种类相关的信息例如被发送至安装在处理装置2的壳体4d上的显示监视器44，显示在该显示监视器44上。例如，处理装置2的使用者等通过确认显示监视器44，能够确认安装在工作台基台48a上的卡盘工作台的种类。即，显示监视器44能够作为构成判定单元50的通知部发挥功能。
或者，该信息被发送至对处理装置2的各构成要素进行控制的控制单元(未图示)。在控制单元中预先登记有由处理装置2实施的处理的内容，例如登记有被处理物1的大小等信息。因此，该控制单元也可以对安装在工作台基台48a上的卡盘工作台的种类是否是适于保持被处理物1的卡盘工作台进行判定。
例如，当判定为在处理装置2上安装有不适当的卡盘工作台的情况下，可以将配置在壳体4d上的警报灯46的红色的灯点亮，向处理装置2的使用者等发出警告。即，警报灯46能够作为构成判断单元50的通知部发挥功能。
如以上所说明的那样，本实施方式的处理装置2具有判定单元50，因此能够自动地判别所安装的卡盘工作台的种类。因此，在安装有错误种类的卡盘工作台的情况下，能够在由处理装置2实施被处理物1的处理之前对处理装置2的使用者等发出警告。因此，不会在错误种类的卡盘工作台安装在工作台基台48a上的状态下实施被处理物1的处理。
在卡盘工作台的种类的判别中，只要在对伺服电动机48c进行控制的电动机驱动器52上连接判定单元50即可，不需要其他的机械结构。因此，能够廉价地实施卡盘工作台的种类的判定。
另外，本发明并不限于上述实施方式的记载，可以进行各种变更并实施。例如，在上述实施方式中，主要说明了处理单元是清洗单元36、由判定单元50对卡盘工作台38的种类进行判定的情况，但本发明的一个方式不限于此。例如，判定单元也可以与使位于切削单元30的下方的卡盘工作台12旋转的伺服电动机连接，也可以对该卡盘工作台12的种类进行判定。
另外，在上述实施方式中，主要说明了处理装置2是切削装置的情况，但本发明的一个方式并不限于此。例如，处理装置2也可以是对被处理物进行磨削的磨削装置、进行激光加工的激光加工装置等。本发明的一个方式能够适用于安装有卡盘工作台且具有使该卡盘工作台旋转的旋转机构的装置。
除此以外，上述实施方式的结构、方法等可以在不脱离本发明的目的的范围内适当变更并实施。

Claims (3)

1.一种处理装置，其特征在于，
该处理装置具有：
卡盘工作台，其具有载置被处理物的保持面，对该被处理物进行保持；
工作台基台，其供该卡盘工作台装卸自如地固定；
伺服电动机，其使该工作台基台绕旋转轴旋转，该旋转轴沿着与安装在该工作台基台上的该卡盘工作台的该保持面垂直的方向；
处理单元，其对该卡盘工作台所保持的该被处理物进行处理；以及
判定单元，其对安装在该工作台基台上的该卡盘工作台的种类进行判定，
该判定单元配置成：
将该伺服电动机所输出的转矩初步记录并且将被记录的转矩存储在存储装置中，其中，被记录的该转矩与能够安装于该工作台基台的不同卡盘工作台有关联；
记录当使该工作台基台伴随着安装于该工作台基台的该卡盘工作台旋转时该伺服电动机所输出的转矩；
对当使该工作台基台伴随着安装于该工作台基台的该卡盘工作台旋转时该伺服电动机所输出的转矩进行测量；
将测量到的该转矩与所记录的各转矩进行比照，判定安装于该工作台基台的该卡盘工作台的种类；以及
通知所判定出的该卡盘工作台的种类，
安装于该工作台基台的该卡盘工作台能够根据该被处理物的大小、形状适当选择而进行更换。
2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
该判定单元所测量的该转矩是该工作台基台达到规定的转速为止的加速时的转矩和从规定的转速到停止为止的减速时的转矩中的一方或双方。
3.根据权利要求1或2所述的处理装置，其特征在于，
该处理单元是对该被处理物进行清洗的清洗单元。
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