JP2997766B2 - ダイシング装置 - Google Patents
ダイシング装置Info
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- JP2997766B2 JP2997766B2 JP6534098A JP6534098A JP2997766B2 JP 2997766 B2 JP2997766 B2 JP 2997766B2 JP 6534098 A JP6534098 A JP 6534098A JP 6534098 A JP6534098 A JP 6534098A JP 2997766 B2 JP2997766 B2 JP 2997766B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はダイシング装置に係
り、特に半導体ウェーハ（ワーク）をダイス状に切断す
るダイシング装置に関する。
り、特に半導体ウェーハ（ワーク）をダイス状に切断す
るダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のダイシング装置は、装置本体にワ
ーク切断部、カセット収納部、及び搬送手段を有してい
る。前記カセット収納部には、多数枚のウェーハが収納
されたカセットが収納されており、このカセットに収納
されたウェーハは、前記搬送手段によって１枚ずつ引き
出されて前記ワーク切断部まで搬送される。このワーク
切断部においてウェーハは、所定の切断位置に位置合わ
せされた後、ワーク切断部の切断刃（ブレード）によっ
てダイス状に切断される。そして、切断終了したウェー
ハは、搬送手段によって前記カセット収納部に搬送され
て元のカセットの所定の棚に収納される。以上が、従来
のダイシング装置による１枚のウェーハの処理工程の流
れである。
ーク切断部、カセット収納部、及び搬送手段を有してい
る。前記カセット収納部には、多数枚のウェーハが収納
されたカセットが収納されており、このカセットに収納
されたウェーハは、前記搬送手段によって１枚ずつ引き
出されて前記ワーク切断部まで搬送される。このワーク
切断部においてウェーハは、所定の切断位置に位置合わ
せされた後、ワーク切断部の切断刃（ブレード）によっ
てダイス状に切断される。そして、切断終了したウェー
ハは、搬送手段によって前記カセット収納部に搬送され
て元のカセットの所定の棚に収納される。以上が、従来
のダイシング装置による１枚のウェーハの処理工程の流
れである。
【０００３】ところで、従来のダイシング装置に適用さ
れるカセットは、多数枚のウェーハを収納することがで
きる大型のカセットである。このカセットは通常、同一
型番のウェーハが収納されて取り扱われるため、同一型
番のウェーハを多数枚連続処理する場合に有利である。
れるカセットは、多数枚のウェーハを収納することがで
きる大型のカセットである。このカセットは通常、同一
型番のウェーハが収納されて取り扱われるため、同一型
番のウェーハを多数枚連続処理する場合に有利である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のダイシング装置は、型番の異なるウェーハを１枚若
しくは少数枚割り込み処理したい場合にも、前記大型の
カセットで取り扱わなければならず、非常に手間がかか
るという欠点がある。また、ダイシング装置は、危険防
止等の理由によって、連続運転中におけるカセットの交
換や設置を装置側で制限している。このため、従来のダ
イシング装置は、型番の異なるウェーハを連続して枚葉
処理する場合、そのウェーハをセットする毎にダイシン
グ装置を停止しなければならないので、効率が悪いとい
う欠点がある。また、運転中において、加工品質等の抽
出検査のために切断されたワークをカセットから取り出
したい場合にも、ダイシング装置を一時停止しなければ
ならないので、稼働効率が悪くなるという欠点がある。
来のダイシング装置は、型番の異なるウェーハを１枚若
しくは少数枚割り込み処理したい場合にも、前記大型の
カセットで取り扱わなければならず、非常に手間がかか
るという欠点がある。また、ダイシング装置は、危険防
止等の理由によって、連続運転中におけるカセットの交
換や設置を装置側で制限している。このため、従来のダ
イシング装置は、型番の異なるウェーハを連続して枚葉
処理する場合、そのウェーハをセットする毎にダイシン
グ装置を停止しなければならないので、効率が悪いとい
う欠点がある。また、運転中において、加工品質等の抽
出検査のために切断されたワークをカセットから取り出
したい場合にも、ダイシング装置を一時停止しなければ
ならないので、稼働効率が悪くなるという欠点がある。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ワークの割り込み処理を容易に行うことができ
ると共に、ダイシング装置を停止せずにワークの連続枚
葉処理やワークの抽出検査を行うことができるダイシン
グ装置を提供する。
もので、ワークの割り込み処理を容易に行うことができ
ると共に、ダイシング装置を停止せずにワークの連続枚
葉処理やワークの抽出検査を行うことができるダイシン
グ装置を提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワークを切断する切断刃を備えたワーク
切断部と、多数枚のワークが収納されたカセットを収納
するカセット収納部と、該カセット収納部と前記ワーク
切断部との間でワークを搬送する搬送手段とを有するダ
イシング装置において、前記ダイシング装置本体に、少
なくとも１枚のワークを収納する、前記カセットよりも
コンパクトな大きさのカセットを収納する収納部を複数
設け、該複数の収納部と前記ワーク切断部との間でワー
クを搬送可能とすると共に、前記カセット収納部から取
り出されて前記ワーク切断部で切断されたワークを前記
コンパクトな大きさのカセットを収納する収納部に搬送
可能としたことを特徴とする。
成するために、ワークを切断する切断刃を備えたワーク
切断部と、多数枚のワークが収納されたカセットを収納
するカセット収納部と、該カセット収納部と前記ワーク
切断部との間でワークを搬送する搬送手段とを有するダ
イシング装置において、前記ダイシング装置本体に、少
なくとも１枚のワークを収納する、前記カセットよりも
コンパクトな大きさのカセットを収納する収納部を複数
設け、該複数の収納部と前記ワーク切断部との間でワー
クを搬送可能とすると共に、前記カセット収納部から取
り出されて前記ワーク切断部で切断されたワークを前記
コンパクトな大きさのカセットを収納する収納部に搬送
可能としたことを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、通常のカセットが収納さ
れるカセット収納部の他に、特殊カセットが収納される
特殊カセット収納部を複数設けている。この特殊カセッ
トは、１枚若しくは少数枚のワークを収納するコンパク
トな大きさのカセットなので取り扱いが簡便になり、ワ
ークの割り込み処理が容易になる。また、本発明によれ
ば、特殊カセット収納部を複数設けているので、枚葉ワ
ークの切断中に、次の枚葉ワークを特殊カセット収納部
にセットすることができる。これにより、本発明は、ワ
ークの連続枚葉処理を効率良く行うことができる。
れるカセット収納部の他に、特殊カセットが収納される
特殊カセット収納部を複数設けている。この特殊カセッ
トは、１枚若しくは少数枚のワークを収納するコンパク
トな大きさのカセットなので取り扱いが簡便になり、ワ
ークの割り込み処理が容易になる。また、本発明によれ
ば、特殊カセット収納部を複数設けているので、枚葉ワ
ークの切断中に、次の枚葉ワークを特殊カセット収納部
にセットすることができる。これにより、本発明は、ワ
ークの連続枚葉処理を効率良く行うことができる。
【０００８】更に、本発明では、カセット収納部から取
り出されてワーク切断部で切断されたワークを、特殊カ
セット収納部に向けて搬送し、特殊カセットに収納して
取り出すようにした。従来のように、切断後のワークを
元のカセット収納部に収納すると、そのワークを抽出検
査するためにはダイシング装置を一時停止しなければな
らないが、本発明では、特殊カセットに収納したので、
ダイシング装置を停止せずにワークの抽出検査を行うこ
とができる。
り出されてワーク切断部で切断されたワークを、特殊カ
セット収納部に向けて搬送し、特殊カセットに収納して
取り出すようにした。従来のように、切断後のワークを
元のカセット収納部に収納すると、そのワークを抽出検
査するためにはダイシング装置を一時停止しなければな
らないが、本発明では、特殊カセットに収納したので、
ダイシング装置を停止せずにワークの抽出検査を行うこ
とができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るダイシング装置について詳説する。図１は、本発明が
適用された半導体ウェーハのダイシング装置１の斜視図
であり、図２はその平面図である。図１に示すように、
前記ダイシング装置１は、主として切断部１０、洗浄部
２０、カセット収納部３０、エレベータ部（搬送手段）
４０、及び搬送装置（搬送手段）５０等から構成されて
いる。
るダイシング装置について詳説する。図１は、本発明が
適用された半導体ウェーハのダイシング装置１の斜視図
であり、図２はその平面図である。図１に示すように、
前記ダイシング装置１は、主として切断部１０、洗浄部
２０、カセット収納部３０、エレベータ部（搬送手段）
４０、及び搬送装置（搬送手段）５０等から構成されて
いる。
【００１０】このダイシング装置１によるウェーハＷの
切断工程を説明すると、まず、カセット収納部３０に複
数枚収納されている加工前のウェーハＷは、エレベータ
部４０によって順次引き出され、そして、引き出された
ウェーハＷは図２に示す位置Ｐ４にセットされる。次
に、このウェーハＷは、搬送装置５０によって位置Ｐ１
のプリロードステージを介して切断部１０のカッティン
グテーブル（位置Ｐ２）上に載置される。ここで、ウェ
ーハＷはカッティングテーブルに吸着保持される。吸着
保持されたウェーハＷは、アライメント部１８、１９に
よってウェーハＷ上のパターンが画像認識され、これに
基づいてアライメントされる。そして、アライメントさ
れたウェーハＷは、切断部１０の矢印Ａ、Ｂで示すＹ軸
方向移動と、カッティングテーブルの矢印Ｃ、Ｄで示す
Ｘ軸方向移動とによって、２本のストリートが同時に切
断される。最初の２本のストリートが切断されると、切
断部１０のスピンドルをストリートのピッチ分だけＹ軸
方向に移動させ、そして、カッティングテーブルを再び
Ｘ軸方向に移動させる。これによって、次の２本のスト
リートが切断される。この切断動作を繰り返して行い、
一方向（Ｘ方向）の全てのストリートの切断が終了する
と、カッティングテーブルを９０°回動させて、前記切
断したストリートに直交する他方向（図２上でＹ方向）
のストリートを順次切断する。これにより、ウェーハＷ
は最終的にダイス状に切断される。なお、本実施の形態
では、アライメント部１８、１９を切断部１０の上流側
に設けたが、これに限られるものではなく、切断部１０
の各キャリッジ７２、７４に設けても良い。
切断工程を説明すると、まず、カセット収納部３０に複
数枚収納されている加工前のウェーハＷは、エレベータ
部４０によって順次引き出され、そして、引き出された
ウェーハＷは図２に示す位置Ｐ４にセットされる。次
に、このウェーハＷは、搬送装置５０によって位置Ｐ１
のプリロードステージを介して切断部１０のカッティン
グテーブル（位置Ｐ２）上に載置される。ここで、ウェ
ーハＷはカッティングテーブルに吸着保持される。吸着
保持されたウェーハＷは、アライメント部１８、１９に
よってウェーハＷ上のパターンが画像認識され、これに
基づいてアライメントされる。そして、アライメントさ
れたウェーハＷは、切断部１０の矢印Ａ、Ｂで示すＹ軸
方向移動と、カッティングテーブルの矢印Ｃ、Ｄで示す
Ｘ軸方向移動とによって、２本のストリートが同時に切
断される。最初の２本のストリートが切断されると、切
断部１０のスピンドルをストリートのピッチ分だけＹ軸
方向に移動させ、そして、カッティングテーブルを再び
Ｘ軸方向に移動させる。これによって、次の２本のスト
リートが切断される。この切断動作を繰り返して行い、
一方向（Ｘ方向）の全てのストリートの切断が終了する
と、カッティングテーブルを９０°回動させて、前記切
断したストリートに直交する他方向（図２上でＹ方向）
のストリートを順次切断する。これにより、ウェーハＷ
は最終的にダイス状に切断される。なお、本実施の形態
では、アライメント部１８、１９を切断部１０の上流側
に設けたが、これに限られるものではなく、切断部１０
の各キャリッジ７２、７４に設けても良い。
【００１１】切断終了したウェーハＷは、カッティング
テーブルによって位置Ｐ２に戻された後、搬送装置５０
によって位置Ｐ３の洗浄部２０のスピナテーブルに搬送
される。ここでウェーハＷは、洗浄水により洗浄された
後、エアブローによって乾燥される。乾燥したウェーハ
Ｗは、搬送装置５０によって位置Ｐ４に搬送され、エレ
ベータ部４０によってカセット部３０に向けて搬送され
所定のカセットに収納される。以上が前記ダイシング装
置１による１枚のウェーハＷの切断工程の流れである。
テーブルによって位置Ｐ２に戻された後、搬送装置５０
によって位置Ｐ３の洗浄部２０のスピナテーブルに搬送
される。ここでウェーハＷは、洗浄水により洗浄された
後、エアブローによって乾燥される。乾燥したウェーハ
Ｗは、搬送装置５０によって位置Ｐ４に搬送され、エレ
ベータ部４０によってカセット部３０に向けて搬送され
所定のカセットに収納される。以上が前記ダイシング装
置１による１枚のウェーハＷの切断工程の流れである。
【００１２】ダイシング装置１の切断部１０は図２に示
すように、一対の切断装置１４、１６を有し、この切断
装置１４、１６は、モータ６０、６２、スピンドル６
４、６６、及びスピンドル６４、６６の先端部に装着さ
れたブレード６８、７０を備えている。前記切断装置１
４、１６は、スピンドル移動機構によってＹ軸方向に各
々独立して移動される。本実施の形態では、前記スピン
ドル移動機構としてリニアモータが適用されている。リ
ニアモータの原理、及び詳細な構造は周知であるのでこ
こでは省略する。
すように、一対の切断装置１４、１６を有し、この切断
装置１４、１６は、モータ６０、６２、スピンドル６
４、６６、及びスピンドル６４、６６の先端部に装着さ
れたブレード６８、７０を備えている。前記切断装置１
４、１６は、スピンドル移動機構によってＹ軸方向に各
々独立して移動される。本実施の形態では、前記スピン
ドル移動機構としてリニアモータが適用されている。リ
ニアモータの原理、及び詳細な構造は周知であるのでこ
こでは省略する。
【００１３】一方、図１に示すようにダイシング装置１
のカセット収納部３０は、４段構造に構成されており、
上から順にインスペクションカセット収納部（特殊カセ
ット収納部）３２、第１カセット収納部３４、第２カセ
ット収納部３６、及びユーティリティカセット収納部
（特殊カセット収納部）３８から構成されている。前記
第１、第２カセット収納部３４、３６は、通常のカセッ
トが収納される収納部である。これらのカセット収納部
３４、３６に収納されたカセットは、各々の扉３５、３
７に設けられた把手３５Ａ、３７Ａで扉３５、３７を開
くことにより、ダイシング装置本体から取り出すことが
できる。前記通常のカセットとは、同一型番のウェーハ
が多数枚収納される大型のカセットである。
のカセット収納部３０は、４段構造に構成されており、
上から順にインスペクションカセット収納部（特殊カセ
ット収納部）３２、第１カセット収納部３４、第２カセ
ット収納部３６、及びユーティリティカセット収納部
（特殊カセット収納部）３８から構成されている。前記
第１、第２カセット収納部３４、３６は、通常のカセッ
トが収納される収納部である。これらのカセット収納部
３４、３６に収納されたカセットは、各々の扉３５、３
７に設けられた把手３５Ａ、３７Ａで扉３５、３７を開
くことにより、ダイシング装置本体から取り出すことが
できる。前記通常のカセットとは、同一型番のウェーハ
が多数枚収納される大型のカセットである。
【００１４】前記ユーティリティカセット収納部３８に
収納される本実施の形態のユーティリティカセット（特
殊カセット）８０を図３に示す。このユーティリティカ
セット８０は、２枚の側板８２、８２、天板８４、及び
背板８６から構成され、多数枚のウェーハを収納する通
常のカセットと比較してコンパクトな大きさに構成され
ている。前記２枚の側板８２、８２は、天板８４で上部
が連結され、下部が開放されている。また、２枚の側板
８２、８２は後部が前記背板８６によって連結されてい
る。更に、２枚の側板８２、８２の対向する内壁面に
は、少数枚のウェーハＷを収納するための棚８８、８８
…が水平方向に等間隔で形成されている。これらの棚８
８は、割り込み処理をしたい少数ロットのウェーハＷを
収納する段数だけ有すれば良いので、本実施の形態では
５段に形成されている。なお、棚数は５段に限定される
ものではない。
収納される本実施の形態のユーティリティカセット（特
殊カセット）８０を図３に示す。このユーティリティカ
セット８０は、２枚の側板８２、８２、天板８４、及び
背板８６から構成され、多数枚のウェーハを収納する通
常のカセットと比較してコンパクトな大きさに構成され
ている。前記２枚の側板８２、８２は、天板８４で上部
が連結され、下部が開放されている。また、２枚の側板
８２、８２は後部が前記背板８６によって連結されてい
る。更に、２枚の側板８２、８２の対向する内壁面に
は、少数枚のウェーハＷを収納するための棚８８、８８
…が水平方向に等間隔で形成されている。これらの棚８
８は、割り込み処理をしたい少数ロットのウェーハＷを
収納する段数だけ有すれば良いので、本実施の形態では
５段に形成されている。なお、棚数は５段に限定される
ものではない。
【００１５】前記天板８４の上面には、ウェーハＷが載
置される載置面８５が形成されている。この載置面８５
は、載置されたウェーハＷが天板８４上で大きくズレな
いように棚８８と同じ寸法で形成されている。したがっ
て、前記載置面８５にセットされるウェーハＷは、ユー
ティリティカセット８０の上方からセットされた後、ユ
ーティリティカセット収納部３８に収納されて切断部１
０に搬送される。なお、ウェーハＷは、フレーム９０に
接着テープ９２に貼り付けられた状態で１枚のワークを
なしている。
置される載置面８５が形成されている。この載置面８５
は、載置されたウェーハＷが天板８４上で大きくズレな
いように棚８８と同じ寸法で形成されている。したがっ
て、前記載置面８５にセットされるウェーハＷは、ユー
ティリティカセット８０の上方からセットされた後、ユ
ーティリティカセット収納部３８に収納されて切断部１
０に搬送される。なお、ウェーハＷは、フレーム９０に
接着テープ９２に貼り付けられた状態で１枚のワークを
なしている。
【００１６】前記の如く構成されたユーティリティカセ
ット８０は、図１に示すユーティリティカセット収納部
３８の棚３９を把手３９Ａで開いて収納される。したが
って、図３の載置面８５にセットされるウェーハＷは、
棚３９を開くだけでユーティリティカセット８０にセッ
トされる。以上説明したように、本実施の形態のダイシ
ング装置１は、通常のカセットが収納されるカセット収
納部３４、３６の他に、図３のユーティリティカセット
８０が収納されるユーティリティカセット収納部３８を
設け、更に、ユーティリティカセット８０の天板８４に
ウェーハＷの載置面８５を形成した。したがって、本実
施の形態のダイシング装置１は、ユーティリティカセッ
ト収納部３８からユーティリティカセット８０を引き出
して、その天板８４の載置面８５に、割り込み処理した
いウェーハＷを載置するだけでウェーハＷをセットする
ことができる。したがって、前記ダイシング装置１によ
れば、ウェーハＷの割り込み処理を容易に行うことがで
きる。
ット８０は、図１に示すユーティリティカセット収納部
３８の棚３９を把手３９Ａで開いて収納される。したが
って、図３の載置面８５にセットされるウェーハＷは、
棚３９を開くだけでユーティリティカセット８０にセッ
トされる。以上説明したように、本実施の形態のダイシ
ング装置１は、通常のカセットが収納されるカセット収
納部３４、３６の他に、図３のユーティリティカセット
８０が収納されるユーティリティカセット収納部３８を
設け、更に、ユーティリティカセット８０の天板８４に
ウェーハＷの載置面８５を形成した。したがって、本実
施の形態のダイシング装置１は、ユーティリティカセッ
ト収納部３８からユーティリティカセット８０を引き出
して、その天板８４の載置面８５に、割り込み処理した
いウェーハＷを載置するだけでウェーハＷをセットする
ことができる。したがって、前記ダイシング装置１によ
れば、ウェーハＷの割り込み処理を容易に行うことがで
きる。
【００１７】また、前記ユーティリティカセット８０に
少数枚のウェーハＷを収納できる棚８８、８８を形成し
たので、ユーティリティカセット８０を少数ロットの取
り扱い用カセットとして兼用することができる。更に、
本実施の形態では、第１、第２カセット収納部３４、３
６から取り出されてワーク切断部１０で切断されたウェ
ーハＷを、ユーティリティカセット収納部３２に向けて
搬送し、ユーティリティカセット８０に収納するよう
に、エレベータ部４０を制御している。従来装置では、
切断後のウェーハＷを元のカセット収納部に収納するよ
うにエレベータ部を制御しているので、そのウェーハＷ
を抽出検査するためにはダイシング装置を一時停止しな
ければならない。これに対して、本実施の形態では、切
断後のウェーハＷをユーティリティカセット８０に収納
したので、ダイシング装置１を停止せずにウェーハＷの
抽出検査を行うことができる。
少数枚のウェーハＷを収納できる棚８８、８８を形成し
たので、ユーティリティカセット８０を少数ロットの取
り扱い用カセットとして兼用することができる。更に、
本実施の形態では、第１、第２カセット収納部３４、３
６から取り出されてワーク切断部１０で切断されたウェ
ーハＷを、ユーティリティカセット収納部３２に向けて
搬送し、ユーティリティカセット８０に収納するよう
に、エレベータ部４０を制御している。従来装置では、
切断後のウェーハＷを元のカセット収納部に収納するよ
うにエレベータ部を制御しているので、そのウェーハＷ
を抽出検査するためにはダイシング装置を一時停止しな
ければならない。これに対して、本実施の形態では、切
断後のウェーハＷをユーティリティカセット８０に収納
したので、ダイシング装置１を停止せずにウェーハＷの
抽出検査を行うことができる。
【００１８】なお、ユーティリティカセット８０の載置
面８５にセットされるものは、切断処理用のウェーハＷ
に限定されず、ブレード６８、７０のドレッシング用ワ
ークでもよく、また、ブレード６８、７０の切断状況を
検査するための検査用ワークでも良い。これによって、
ドレッシング用ワーク、及び検査用ワークのセッティン
グ及び取り扱いが非常に簡単になる。
面８５にセットされるものは、切断処理用のウェーハＷ
に限定されず、ブレード６８、７０のドレッシング用ワ
ークでもよく、また、ブレード６８、７０の切断状況を
検査するための検査用ワークでも良い。これによって、
ドレッシング用ワーク、及び検査用ワークのセッティン
グ及び取り扱いが非常に簡単になる。
【００１９】一方、図１に示したインスペクションカセ
ット収納部３２には、図４に示す枚葉処理用のウェーハ
Ｗを収納するインスペクションカセット１００が収納さ
れている。このインスペクションカセット１００は、１
枚のウェーハＷを収納するもので、図３に示したユーテ
ィリティカセット８０よりも更にコンパクトに構成され
ている。
ット収納部３２には、図４に示す枚葉処理用のウェーハ
Ｗを収納するインスペクションカセット１００が収納さ
れている。このインスペクションカセット１００は、１
枚のウェーハＷを収納するもので、図３に示したユーテ
ィリティカセット８０よりも更にコンパクトに構成され
ている。
【００２０】図４に示すように、前記インスペクション
カセット１００はトレイ状に構成され、その上面にはウ
ェーハＷの載置面１０２が形成されている。したがっ
て、枚葉処理用のウェーハＷは、インスペクションカセ
ット収納部３２の棚３３を把手３３Ａで開くだけで前記
インスペクションカセット１００に収納される。なお、
本実施の形態では、１枚のウェーハＷを収納するインス
ペクションカセット１００について説明したが、これに
限られるものではなく、例えば、図３に示したユーティ
リティカセット８０と同様に少数の棚８８を設けて少数
枚のウェーハＷを収納できるように構成しても良い。こ
のインスペクションカセット収納部３２とユーティリテ
ィカセット収納部３８とを併用することによって、枚葉
ウェーハＷの切断中に、次の枚葉ウェーハＷをインスペ
クションカセット収納部３２若しくはユーティリティカ
セット収納部３８にセットすることができる。これによ
り、本実施の形態は、ウェーハＷの連続枚葉処理を効率
良く行うことができる。
カセット１００はトレイ状に構成され、その上面にはウ
ェーハＷの載置面１０２が形成されている。したがっ
て、枚葉処理用のウェーハＷは、インスペクションカセ
ット収納部３２の棚３３を把手３３Ａで開くだけで前記
インスペクションカセット１００に収納される。なお、
本実施の形態では、１枚のウェーハＷを収納するインス
ペクションカセット１００について説明したが、これに
限られるものではなく、例えば、図３に示したユーティ
リティカセット８０と同様に少数の棚８８を設けて少数
枚のウェーハＷを収納できるように構成しても良い。こ
のインスペクションカセット収納部３２とユーティリテ
ィカセット収納部３８とを併用することによって、枚葉
ウェーハＷの切断中に、次の枚葉ウェーハＷをインスペ
クションカセット収納部３２若しくはユーティリティカ
セット収納部３８にセットすることができる。これによ
り、本実施の形態は、ウェーハＷの連続枚葉処理を効率
良く行うことができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るダイシ
ング装置によれば、少なくとも１枚のワークを収納す
る、多数枚のワークが収納されたカセットを収納するカ
セット収納部よりもコンパクトな大きさのカセットを収
納する収納部を複数設けたので、ワークの割り込み処理
が容易になり、また、ワークの連続枚葉処理を効率良く
行うことができる。
ング装置によれば、少なくとも１枚のワークを収納す
る、多数枚のワークが収納されたカセットを収納するカ
セット収納部よりもコンパクトな大きさのカセットを収
納する収納部を複数設けたので、ワークの割り込み処理
が容易になり、また、ワークの連続枚葉処理を効率良く
行うことができる。
【００２２】更に、本発明によれば、コンパクトな大き
さのカセットを収納する複数の収納部とワーク切断部と
の間でワークを搬送可能とすると共に、多数枚のワーク
が収納されたカセットを収納するカセット収納部から取
り出されて、前記ワーク切断部で切断されたワークを、
前記コンパクトな大きさのカセットを収納する収納部に
搬送可能としたので、ダイシング装置を停止せずにワー
クの抽出検査を行うことができる。
さのカセットを収納する複数の収納部とワーク切断部と
の間でワークを搬送可能とすると共に、多数枚のワーク
が収納されたカセットを収納するカセット収納部から取
り出されて、前記ワーク切断部で切断されたワークを、
前記コンパクトな大きさのカセットを収納する収納部に
搬送可能としたので、ダイシング装置を停止せずにワー
クの抽出検査を行うことができる。
【図１】本発明が適用されたダイシング装置の斜視図
【図２】図１に示したダイシング装置の平面図
【図３】ダイシング装置に収納されるインスペクション
カセットの斜視図
カセットの斜視図
【図４】ダイシング装置に収納されるユーティリティカ
セットの斜視図
セットの斜視図
１…ダイシング装置 １０…切断部 ３２…インスペクションカセット収納部 ３４…第１カセット収納部 ３６…第２カセット収納部 ３８…ユーティリティカセット収納部 ８０…ユーティリティカセット １００…インスペクションカセット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/301
Claims (1)
- 【請求項１】 ワークを切断する切断刃を備えたワーク
切断部と、多数枚のワークが収納されたカセットを収納
するカセット収納部と、該カセット収納部と前記ワーク
切断部との間でワークを搬送する搬送手段とを有するダ
イシング装置において、 前記ダイシング装置本体に、少なくとも１枚のワークを
収納する、前記カセットよりもコンパクトな大きさのカ
セットを収納する収納部を複数設け、該複数の収納部と
前記ワーク切断部との間でワークを搬送可能とすると共
に、前記カセット収納部から取り出されて前記ワーク切
断部で切断されたワークを前記コンパクトな大きさのカ
セットを収納する収納部に搬送可能としたことを特徴と
するダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6534098A JP2997766B2 (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6534098A JP2997766B2 (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | ダイシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11260762A JPH11260762A (ja) | 1999-09-24 |
| JP2997766B2 true JP2997766B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=13284129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6534098A Expired - Fee Related JP2997766B2 (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2997766B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011060898A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワーク収納カセット |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006179528A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置の検査方法及び検査プログラム |
| JP5286142B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2013-09-11 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| JP5308218B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2013-10-09 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
1998
- 1998-03-16 JP JP6534098A patent/JP2997766B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011060898A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワーク収納カセット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11260762A (ja) | 1999-09-24 |
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