JP5276681B2 - 光変調器 - Google Patents
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Description
特許文献1に開示されたゼロチャープを実現するための概念を、DQPSK型LN光変調器に適用した例を第1の従来技術の概略上面図として図7に示す。図8は、進行波電極を省略して光導波路構造のみ示している。DQPSK型の構造は、ペアレントマッハツェンダ光導波路の分岐導波路上にチャイルドマッハツェンダ光導波路が形成されたネスト型の構造となっている。
上記課題を解決するために、本発明の請求項3に記載の光変調器は、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するためのマッハツェンダ光導波路を含んでなる光導波路と、前記基板の一方の面側に形成され、前記光を変調する高周波電気信号を印加するための高周波電気信号用として複数の中心導体及び複数の接地導体からなる進行波電極を具備する光変調器において、前記光導波路は、ペアレントマッハツェンダ光導波路の分岐光導波路上にチャイルドマッハツェンダ光導波路をそれぞれ有するネスト型光導波路であり、前記チャイルドマッハツェンダ光導波路における一方の光導波路上の一部に前記中心導体が配置され、他方の光導波路上の一部に前記接地導体が配置されており、当該接地導体は、隣接する前記チャイルドマッハツェンダ光導波路における共通の接地導体となっており、各チャイルドマッハツェンダ光導波路において、前記中心導体の両側に位置する前記接地導体が、当該中心導体の上方をまたいで、材料が金、銅、アルミのいずれかでなるワイヤーまたはリボンにより接続されており、前記ワイヤーまたはリボンは、隣接する前記チャイルドマッハツェンダ光導波路において、前記光の導波方向に向かって交互に前記接地導体の組み合わせを換えて配置されていることを特徴としている。
図1に本発明の第1の実施形態に関する概略上面図を示す。ここで、10は金ワイヤーである。図からわかるように、本実施形態では金ワイヤー10を接地導体5a、5b、5c間に光の導波方向に対して交わる方向(略直交)に張って構成している。図1のB−B´における断面図を図2に示す。
図5に本発明の第2の実施形態に関する概略上面図を示す。ここで、12は金ワイヤーである。本実施形態では、接地導体5aと5b、接地導体5cと5bにおいて、光の伝搬方向に交互に金ワイヤー12を張って構成している。この構造では第1の実施形態と同程度の良好な電気的クロストーク抑圧効果を有しつつ、第1の実施形態よりも張るべき金ワイヤー12の本数が少なくなるので、より製作性が良く、かつ金ワイヤー12によるインピーダンス低下の影響もより少ないと言うことができる。
図6に本発明の第3の実施形態に関する概略上面図を示す。ここで、13は金ワイヤーである。本実施形態では、接地導体5aと5b、接地導体5cと5bに張っている金ワイヤー13を光の伝搬方向に対して斜めになるように構成している。これにより、中心導体4aと4bの間で電気的クロストークを発生させる電気力線と金ワイヤー13が平行でなくなり、互いに角度をなすので、金ワイヤー13がそれらの電気力線をより効率良くトラップすることができる。
以上の説明において、金ワイヤーを使用すると説明してきたが、中心導体の両側に位置する接地導体を導体により接続することによって電気力線が隣の中心導体に飛ぶのを抑える(電気的クロストークを抑圧する)のが本発明の思想であるので、金ワイヤーの代わりに金あるいはその他の導体(アルミニウム、銅、鉄、タングステン等)からなるリボンを用いてもよい。
2:SiO2バッファ層
3:マッハツェンダ光導波路(光導波路)
3a、3b、3c、3d:相互作用光導波路
4:進行波電極(電極)
4a、4b、4c、4d:高周波電気信号用進行波電極の中心導体
5a、5b、5c:高周波電気信号用進行波電極の接地導体
6a、6b、6c、6d、6e、6c´、6c´´、6e´、6e´´:リッジ部
7a、7b、7c、7d、7c´、7d´:凹部
8a、8b、9、11:電気力線
10:12、13:金ワイヤー
20a、20b、20c、20d:チャイルドマッハツェンダ光導波路のバイアス電極
21a、21b:ペアレントマッハツェンダ光導波路のバイアス電極
I:非分極反転領域
II:分極反転領域
Claims (3)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するためのマッハツェンダ光導波路を含んでなる光導波路と、前記基板の一方の面側に形成され、前記光を変調する高周波電気信号を印加するための高周波電気信号用として複数の中心導体及び複数の接地導体からなる進行波電極を具備する光変調器において、
前記複数の中心導体のうちの少なくとも1つの中心導体の両側に位置する前記接地導体が、当該中心導体の上方をまたいで、材料が金、銅、アルミのいずれかでなるワイヤーまたはリボンにより接続され、当該ワイヤーまたはリボンが前記光の導波方向に対し直交でない角度で交差することを特徴とする光変調器。 - 前記光導波路は、ペアレントマッハツェンダ光導波路の分岐光導波路上にチャイルドマッハツェンダ光導波路をそれぞれ有するネスト型光導波路であることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するためのマッハツェンダ光導波路を含んでなる光導波路と、前記基板の一方の面側に形成され、前記光を変調する高周波電気信号を印加するための高周波電気信号用として複数の中心導体及び複数の接地導体からなる進行波電極を具備する光変調器において、
前記光導波路は、ペアレントマッハツェンダ光導波路の分岐光導波路上にチャイルドマッハツェンダ光導波路をそれぞれ有するネスト型光導波路であり、
前記チャイルドマッハツェンダ光導波路における一方の光導波路上の一部に前記中心導体が配置され、他方の光導波路上の一部に前記接地導体が配置されており、当該接地導体は、隣接する前記チャイルドマッハツェンダ光導波路における共通の接地導体となっており、
各チャイルドマッハツェンダ光導波路において、前記中心導体の両側に位置する前記接地導体が、当該中心導体の上方をまたいで、材料が金、銅、アルミのいずれかでなるワイヤーまたはリボンにより接続されており、
前記ワイヤーまたはリボンは、隣接する前記チャイルドマッハツェンダ光導波路において、前記光の導波方向に向かって交互に前記接地導体の組み合わせを換えて配置されていることを特徴とする光変調器。
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