JP6509553B2 - スパッタリング装置 - Google Patents
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Claims (3)
- 処理すべき基板とターゲットとが対向配置される真空チャンバを備え、真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、ターゲットに電力投入して基板とターゲットとの間にプラズマを形成し、ターゲットをスパッタリングして飛散したスパッタ粒子を基板に付着、堆積させるスパッタリング装置であって、
基板とターゲットとの間に、スパッタ粒子の基板への入射角度を所定の角度範囲に規制する複数の透孔を有する規制板を備えるものにおいて、
ターゲットと規制板との間に、規制板の透孔の孔軸と同じ孔軸を有する透孔が複数開設された電極板と、電極板の電位を規制板の電位よりも高い正の電位に保持する保持手段とを更に備え、
前記電極板の板厚は3〜5mmの範囲内であり、
前記保持手段は、電極板と規制板との間の電位差が90V以上110V以下になるように前記電極板の電位を保持することを特徴とするスパッタリング装置。 - 処理すべき基板とターゲットとが対向配置される真空チャンバを備え、真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、ターゲットに電力投入して基板とターゲットとの間にプラズマを形成し、ターゲットをスパッタリングして飛散したスパッタ粒子を基板に付着、堆積させるスパッタリング装置であって、
基板とターゲットとの間に、スパッタ粒子の基板への入射角度を所定の角度範囲に規制する複数の透孔を有する規制板を備えるものにおいて、
ターゲットと規制板との間に、規制板の透孔の孔軸と同じ孔軸を有する透孔が複数開設された電極板と、電極板の電位を規制板の電位よりも高い正の電位に保持する保持手段とを更に備え、
前記保持手段は、電極板と規制板との間の電位差が70V以上160V以下になるように前記電極板の電位を保持することを特徴とするスパッタリング装置。 - 前記ターゲットの周囲を覆って下方に延びる筒状のシールド部材を更に備え、前記シールド部材の内面に前記電極板が固定され、前記保持手段は、前記シールド部材に正の電位を印加する電源であることを特徴とする請求項1または2記載のスパッタリング装置。
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