JP5264039B2 - 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 - Google Patents
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Description
12 サセプタ
18 真空排気部
26 シャワーヘッド
40 原料ガス供給部
46 原料ガス供給管
42 還元ガス供給部
44 パージガス供給部
70 原料容器
72 キャリアガス供給部
74 開閉バルブ(導入バルブ)
80 流量制御器(MFC)
82,84,86,88 開閉バルブ
98 開閉バルブ(廃棄バルブ)
100 コントローラ
104(104A,104B,‥‥) リザーブタンク
106,110 排気バイパス管
108,112 リリーフ弁
Claims (12)
- 減圧可能な処理容器内に被処理基板を配置して、成膜処理の処理時間中に第1の反応ガスを供給する第1のステップと第2の反応ガスを前記第1の反応ガスと別々または同時に供給する第2のステップとを含む1サイクル内に前記第1の反応ガスと前記第2の反応ガスとの化学反応により前記基板上に1原子または1分子の層を形成し、前記サイクルを所定回数繰り返して前記基板上に所望の薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
前記処理容器に排気バルブを介して接続される真空排気部と、
所定の固体原料または液体原料を気化させて原料ガスを生成する原料ガス生成部と、
前記原料ガス生成部にキャリアガスを供給するキャリアガス供給部と、
前記原料ガス生成部で生成された前記原料ガスを前記第1の反応ガスとして前記処理容器に送るための原料ガス供給路と、
前記原料ガス供給路に設けられる第1の開閉バルブと、
前記原料ガス供給路と前記真空排気部とを結ぶ第1の排気バイパス管と、
前記第1の排気バイパス管に設けられる廃棄バルブと、
前記第2のステップの期間中に前記処理容器に前記第2の反応ガスを供給する第2の反応ガス供給部と、
前記成膜処理に先立ち、前記原料ガス供給路に残存している前記原料ガスを廃棄するために、前記第1の開閉バルブを閉状態に保持して前記廃棄バルブを開状態に制御し、前記成膜処理の処理時間を通じて、前記廃棄バルブを閉状態に保持するとともに、前記第1の開閉バルブを前記第1のステップの期間中だけ開状態に制御し、かつ前記第1の開閉バルブが閉状態から開状態に切り換わる直前に前記第1の開閉バルブよりも上流側の前記原料ガス供給路と前記原料ガス生成部とに所要量以上の原料ガスが充填されておくように、前記キャリアガス供給部を制御するコントローラと
を有し、
前記第1の開閉バルブが閉状態から開状態に切り換わって前記第1のステップが開始された時に、前記原料ガス供給路と前記原料ガス生成部とに充填されていた前記原料ガスが一気に放出されて前記処理容器に導入される、
薄膜形成装置。 - 前記キャリアガス供給部が、
前記キャリアガスを送出するキャリアガス供給源と、
前記キャリアガス供給源からの前記キャリアガスを前記原料ガス生成部に送るためのキャリアガス供給路と、
前記キャリアガス供給路に設けられる第2の開閉バルブと
を有し、
前記コントローラが、
前記第1の開閉バルブが閉状態から開状態に切り換わるのとほぼ同時に、前記第2の開閉バルブを閉状態から開状態に切り換え、
前記第1の開閉バルブが開状態から閉状態に切り換わる時に、所定の遅延時間を置いて前記第2の開閉バルブを開状態から閉状態に切り換える、
請求項1に記載の薄膜形成装置。 - 前記キャリアガス供給部が、
前記キャリアガスを送出するキャリアガス供給源と、
前記キャリアガス供給源からの前記キャリアガスを前記原料ガス生成部に送るためのキャリアガス供給路と、
前記キャリアガス供給路に設けられる流量制御器と
を有し、
前記コントローラが、
前記第1の開閉バルブが開状態から閉状態に切り換わる時に、所定の遅延時間を置いて前記キャリアガスの流量を減少させるように前記流量制御器を制御し、
前記第1の開閉バルブが閉状態から開状態に切り換わる時に、所定の勾配で前記キャリアガスの流量を増大させるように前記流量制御器を制御する、
請求項1に記載の薄膜形成装置。 - 前記原料ガス供給路と前記キャリアガス供給路とを結ぶキャリアガスバイパス管と、
前記キャリアガスバイパス管に設けられるバイパスバルブと
を有し、
前記コントローラが、前記原料ガス供給路に残存している前記原料ガスを廃棄する際に、前記キャリアガス供給路に残存しているキャリアガスも一緒に廃棄するように、前記廃棄バルブを開状態に切り換えている間に前記バイパスバルブを開状態に切り換える、
請求項2または請求項3に記載の薄膜形成装置。 - 前記原料ガス供給路と前記真空排気部とを結ぶ第2の排気バイパス管と、
前記成膜処理の処理時間を通じて、前記原料ガス供給路内の圧力が所定値を超えるときに前記原料ガスを前記真空排気部へ逃がすために前記第2の排気バイパス管に設けられる第1の圧力開放手段と
を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の薄膜形成装置。 - 前記キャリアガス供給路と前記真空排気部とを結ぶ第3の排気バイパス管と、
前記成膜処理の処理時間を通じて、前記キャリアガス供給路内の圧力が所定値を超えるときに前記原料ガスを前記真空排気部へ逃がすために前記第3の排気バイパス管に設けられる第2の圧力開放手段と
を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の薄膜形成装置。 - 前記原料ガス生成部が、前記固体原料または液体原料を収容し、かつ前記キャリアガス供給路および前記原料ガス供給路と連通する原料容器を有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の薄膜形成装置。
- 前記成膜処理の処理時間を通じて、前記第1の開閉バルブが閉状態になっている期間中に前記原料ガスを吸い込み、前記第1の開閉バルブが開状態になった時に前記原料ガスを吐き出すように前記原料ガス供給路に設けられる充填容量調整手段を有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の薄膜形成装置。
- 前記原料ガスが凝結するのを防ぐために前記原料ガス供給路を加熱する加熱部を有する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の薄膜形成装置。
- 前記第1の反応ガスと前記第2の反応ガスとをプラズマ状態で化学反応させるためのプラズマ励起部を有する、請求項1〜9のいずれか一項に記載の薄膜形成装置。
- 前記被処理基板に吸着されずに残留している余分な原料ガスを排出し、または未反応で残留している余分な反応ガスを排出するために、所定のタイミングで前記処理容器内にパージガスを供給するパージガス供給部を有する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の薄膜形成装置。
- 被処理基板を出し入れ可能に収容する減圧可能な処理容器と、前記処理容器に排気バルブを介して接続される真空排気部と、所定の固体原料または液体原料を気化させて原料ガスを生成する原料ガス生成部と、前記原料ガス生成部にキャリアガスを供給するキャリアガス供給部と、前記原料ガス生成部で生成された前記原料ガスを第1の反応ガスとして前記処理容器に送るための原料ガス供給路と、前記原料ガス供給路に設けられる第1の開閉バルブと、前記原料ガス供給路と前記真空排気部とを結ぶ第1の排気バイパス管と、前記第1の排気バイパス管に設けられる廃棄バルブと、前記第2の反応ガスを前記処理容器に供給するための第2の反応ガス供給部と、少なくとも前記キャリアガス供給部、前記第1の開閉バルブおよび前記廃棄バルブを制御するコントローラとを備える薄膜形成装置を用いて、成膜処理の処理時間中に第1の反応ガスを供給する第1のステップと第2の反応ガスを前記第1の反応ガスと別々または同時に供給する第2のステップとを含む1サイクル内に前記第1の反応ガスと前記第2の反応ガスとの化学反応により前記基板上に1原子または1分子の層を形成し、前記サイクルを所定回数繰り返して前記基板上に所望の薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記成膜処理に先立ち、前記原料ガス供給路に残存している前記原料ガスを廃棄するために、前記第1の開閉バルブを閉状態に保持して前記廃棄バルブを開状態に制御する工程と、
前記成膜処理の処理時間を通じて、前記廃棄バルブを閉状態に保持する工程と、
前記成膜処理の処理時間を通じて、前記第1の開閉バルブを前記第1のステップの期間中だけ開状態に制御する工程と、
前記成膜処理の処理時間を通じて、前記第1の開閉バルブが閉状態から開状態に切り換わる直前に前記第1の開閉バルブよりも上流側の前記原料ガス供給路と前記原料ガス生成部とに所要量以上の原料ガスが充填されておくように、前記キャリアガス供給部を制御する工程と
を有し、
前記第1の開閉バルブが閉状態から開状態に切り換わって前記第1のステップが開始された時に、前記原料ガス供給路と前記原料ガス生成部とに充填されていた前記原料ガスが一気に放出されて前記処理容器に導入される、
薄膜形成方法。
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