JP5245757B2 - 防塵機構を備えた基板搬送装置およびシステム、これらを用いた半導体製造装置 - Google Patents
防塵機構を備えた基板搬送装置およびシステム、これらを用いた半導体製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5245757B2 JP5245757B2 JP2008297260A JP2008297260A JP5245757B2 JP 5245757 B2 JP5245757 B2 JP 5245757B2 JP 2008297260 A JP2008297260 A JP 2008297260A JP 2008297260 A JP2008297260 A JP 2008297260A JP 5245757 B2 JP5245757 B2 JP 5245757B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- seal belt
- opening
- seal
- substrate transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
しかし、これら従来の基板搬送装置による構成では、アーム支持部材と支柱内の直線案内機構とが物理的に接続されているため、支柱の側面にはアーム支持部材が上下する範囲で、必ず開口部が必要となっている。
本発明はこのような問題点に鑑み、支柱に沿って上下するアーム部を備える搬送装置において、防塵効果が高く、アーム部が複数になっても対応でき、且つ、外部の汚損が無い防塵機構を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱外面に設けられた直線状の開口部を介して前記支柱内に設けられた案内機構へと接続されて、前記案内機構に従って、前記開口部の開口を移動する支持部材と、前記開口部を封じて、前記支柱内部と外部とを隔離するシールベルトと、を備え、前記案内機構によって前記支持部材が移動しても、前記シールベルトによって前記支柱の内部が外部に露出しないよう構成され、前記シールベルトが、その両端を前記支柱内部に固定されるとともに、前記支持部材に回転可能に支持されたローラに巻装されて、前記開口部を封じるように張架され、前記ローラは、前記開口部に対して略均一の隙間を隔てて、前記シールベルトの一端とともに前記シールベルトを張架する位置に配置された第一ローラと、前記開口部から見て前記第一ローラよりも奥手に配置されるとともに、前記第一ローラに巻装されて折り返された前記シールベルトを前記シールベルトの一端側に折り返すよう前記シールベルトが巻装される第二ローラと、前記第二ローラに対し前記支柱の長手方向に一定の角度を持ち且つ前記第二ローラからのシールベルトを前記開口部側に折り返すよう配置された第三ローラと、前記第三ローラに対し平行で且つ前記シールベルトを前記開口部の長手方向に対し一定の角度を持って折り返されるよう配置された第四ローラと、前記第四ローラに平行で且つ前記シールベルトを前記開口部の奥手側へ折り返すよう配置された第五ローラと、前記第五ローラに平行で且つ前記第五ローラよりも奥手に配置されるとともに、前記シールベルトを前記シールベルトの一端の方向に折り返すよう巻装される第六ローラと、前記第六ローラに対し前記支柱の長手方向に一定の角度を持ち且つ前記第六ローラからの前記シールベルトを前記開口部側へ折り返すよう配置された第七ローラと、前記第七ローラからの前記シールベルトを折り返すよう巻装されるとともに、前記開口部に対して略均一の隙間を隔てて、前記シールベルトの他端とともに前記シールベルトを張架する位置に配置された第八ローラと、を備えたものである。
また、請求項2に記載の発明は、前記第一ローラから第四ローラおよび前記第五ローラから第八ローラにおいて、前記シールベルトを螺旋状に巻装されることにより、常に前記シールベルトの一面のみを前記第一ローラから前記第八ローラに接触させるものである。
また、請求項3に記載の発明は、前記隙間が、前記支持部材が移動しても前記シールベルトと前記開口部とが接触しないように設けられたものである。
また、請求項4に記載の発明は、前記開口部が、前記支柱外面に互いに並行して設けられた3つの開口からなり、前記3つの開口のうち1つの開口には、前記支持部材を前記案内機構に従って回転駆動する駆動部の出力軸が通り、残りの2つの開口には、前記案内機構と前記支持部材とを接続する案内部材が通るよう構成されたものである。
また、請求項5に記載の発明は、前記3つの開口のそれぞれに、前記シールベルトが設けられたものである。
また、請求項6に記載の発明は、前記案内機構に対して前記支持部材が複数接続され、前記シールベルトが、その両端を前記支柱内部に固定されるとともに、前記複数の支持部材にそれぞれ回転可能に支持されたローラに巻装されて、前記開口部を封じるように張架されたものである。
また、請求項7に記載の発明は、請求項1の基板搬送装置と、前記基板搬送装置を制御するコントローラとを備えたものである。
また、請求項8に記載の発明は、請求項7記載の基板搬送システムを備えたものである。
請求項3記載の発明によると、シールベルトと開口部とが接触しない程度の隙間をもって構成させることができるので、従来のようにシールベルト全体が回転する場合に比して微小な隙間となり、更に粉塵を排出させることを低減できる。
請求項4記載の発明によると、支持部材の剛性を確保しながら支持部材の移動機構を構成できる。
請求項5記載の発明によると、3つの開口となってもそれぞれの開口にシールベルトを簡単に設けることが可能である。
請求項6記載の発明によると、支持部材が複数になっても、簡単にシールベルトによる防塵機構を増設していくことが可能である。
請求項7および8記載の発明によると、基板搬送システムまたは半導体製造装置に本発明による基板搬送装置を備えたので、発塵の少ない基板搬送システムとすることができ、半導体製造においては歩留まりを向上させることができる。
そして、本発明では、図2のように、シールベルト5の両端が支柱9内部の上下(天井と床)に固定されて、ベルトが張られるように設置されている。また、シールベルト5と開口部12との隙間23を、ベルトが開口部と擦れない程度に小さくなるよう設置されている。シールベルト5にはポリウレタンやポリエステルといった素材のものを使用する。
図5が示すように、支持部材4には、上記で説明した回転モータ31が設置されている。回転モータ31には減速機32が接続されていて、その出力軸にはピニオン33が接続されている。ピニオン33は、支柱9内部のラック34と噛合っている。出力軸は、開口部12aから支柱9の内部へ挿入されている。また、図3(b)が示すように、支柱9の内部には、支持部材4に対して、開口部12a、12bを介して固定される案内部材4aが設けられている。案内部材4aは支持部材4に対して完全に拘束されるので、実質的に同一部材である。上記の減速機32の出力軸およびピニオン33は、案内部材4aに設けられた貫通穴を通って、支持部材4とは反対側の面に突出し、ラック34と噛合っている。同じく、案内部材4aの支持部材4とは反対の面には、支柱9の延在方向に沿うようにリニアガイド22が設置されており、このリニアガイド22のガイドブロック22aと案内部材4aとが接続されている。即ち以上の構成によれば、開口部12aが減速機32や回転モータ31などの動力が上下するための開口であり、左右の12bは支持部材4がリニアブロック22aに接続されて支持されながら上下するための開口である。
次に3つの開口部12のうち、中央の開口部12aを覆うシ−ルベルト5aについて説明する。シ−ルベルト5aのロ−ラに対する巻装の構成は、上記のシ−ルベルト5bと実質的にほぼ同一である。しかし、図4、図5に示されているように、案内部材4aの略中央には支持部材4側から貫通穴43を通って回転モ−タ31の出力軸と減速機32とピニオン33が突出している。すなわち、第一ロ−ラ35〜第八ロ−ラ42に巻装されたシ−ルベルト5aが囲む範囲に回転モ−タ31の出力軸が案内部材4aと同様に存在する。
また、シ−ルベルト5がロ−ラに対し螺旋状に巻装されているため、常にシ−ルベルトの内面(支柱9の内側に向いた面)がロ−ラと接触するため、磨耗及びシ−ルベルト5の外面に付着した異物を巻き込むことにより発生するシ−ルベルト5外面の汚損を防止することができる。また、支柱9の中央部の開口部12aを覆うシ−ルベルト5aがピニオン33の真下を通過することが無い構成のため、ピニオン33とラック34を潤滑する潤滑剤の滴下によるシ−ルベルト5aへの付着等の汚損を防止することができる。
また、図4のように、上下に移動するアーム部を複数設けて、それらが互いに自由に上下に移動するように構成したい場合も、本発明によれば、図6のように同一構成の支持部材4(案内部材4a)を多段に接続していけば容易に構成することができる。
2 ハンド
3 アーム
4 支持部材
4a 案内部材
5 シールベルト
6 アーム部
9 支柱
10 旋回ステージ
11 台座
12 開口部
13 コントローラ
21 直線摺動軸受
22 リニアガイド
22a リニアブロック
23 隙間
31 回転モータ
32 減速機
33 ピニオン
34 ラック
35 第一ローラ
36 第二ローラ
37 第三ローラ
38 第四ローラ
39 第五ローラ
40 第六ローラ
41 第七ローラ
42 第八ローラ
43 貫通穴
Claims (8)
- 基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱外面に設けられた直線状の開口部を介して前記支柱内に設けられた案内機構へと接続されて、前記案内機構に従って、前記開口部の開口を移動する支持部材と、前記開口部を封じて、前記支柱内部と外部とを隔離するシールベルトと、を備え、前記案内機構によって前記支持部材が移動しても、前記シールベルトによって前記支柱の内部が外部に露出しないよう構成され、前記シールベルトが、その両端を前記支柱内部に固定されるとともに、前記支持部材に回転可能に支持されたローラに巻装されて、前記開口部を封じるように張架され、前記ローラは、前記開口部に対して略均一の隙間を隔てて、前記シールベルトの一端とともに前記シールベルトを張架する位置に配置された第一ローラと、前記開口部から見て前記第一ローラよりも奥手に配置されるとともに、前記第一ローラに巻装されて折り返された前記シールベルトを前記シールベルトの一端側に折り返すよう前記シールベルトが巻装される第二ローラと、前記第二ローラに対し前記支柱の長手方向に一定の角度を持ち且つ前記第二ローラからのシールベルトを前記開口部側に折り返すよう配置された第三ローラと、前記第三ローラに対し平行で且つ前記シールベルトを前記開口部の長手方向に対し一定の角度を持って折り返されるよう配置された第四ローラと、前記第四ローラに平行で且つ前記シールベルトを前記開口部の奥手側へ折り返すよう配置された第五ローラと、前記第五ローラに平行で且つ前記第五ローラよりも奥手に配置されるとともに、前記シールベルトを前記シールベルトの一端の方向に折り返すよう巻装される第六ローラと、前記第六ローラに対し前記支柱の長手方向に一定の角度を持ち且つ前記第六ローラからの前記シールベルトを前記開口部側へ折り返すよう配置された第七ローラと、前記第七ローラからの前記シールベルトを折り返すよう巻装されるとともに、前記開口部に対して略均一の隙間を隔てて、前記シールベルトの他端とともに前記シールベルトを張架する位置に配置された第八ローラと、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
- 前記第一ローラから第四ローラおよび前記第五ローラから第八ローラにおいて、前記シールベルトを螺旋状に巻装されることにより、常に前記シールベルトの一面のみを前記第一ローラから前記第八ローラに接触させることを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記隙間は、前記支持部材が移動しても前記シールベルトと前記開口部とが接触しないように設けられたことを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送装置。
- 前記開口部は、前記支柱外面に互いに並行して設けられた3つの開口からなり、前記3つの開口のうち1つの開口には、前記支持部材を前記案内機構に従って回転駆動する駆動部の出力軸が通り、残りの2つの開口には、前記案内機構と前記支持部材とを接続する案内部材が通るよう構成されたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の基板搬送装置。
- 前記3つの開口のそれぞれに、前記シールベルトが設けられたことを特徴とする請求項4記載の基板搬送装置。
- 請求項1記載の基板搬送装置において、前記案内機構に対して前記支持部材が複数接続され、前記シールベルトが、その両端を前記支柱内部に固定されるとともに、前記複数の支持部材にそれぞれ回転可能に支持されたローラに巻装されて、前記開口部を封じるように張架されたことを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1の基板搬送装置と、前記基板搬送装置を制御するコントローラとを備えたことを特徴とする基板搬送システム。
- 請求項7記載の基板搬送システムを備えたことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008297260A JP5245757B2 (ja) | 2007-12-27 | 2008-11-20 | 防塵機構を備えた基板搬送装置およびシステム、これらを用いた半導体製造装置 |
KR1020080122220A KR101076481B1 (ko) | 2007-12-27 | 2008-12-04 | 방진 기구를 구비한 기판 반송 장치 및 시스템, 이들을 이용한 반도체 제조 장치 |
TW97148771A TW200944459A (en) | 2007-12-27 | 2008-12-15 | Substrate conveying system and semiconductor manufacturing apparatus using the same |
CN2008101765895A CN101471274B (zh) | 2007-12-27 | 2008-12-25 | 基板搬运***及利用其的半导体制造装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007336296 | 2007-12-27 | ||
JP2007336296 | 2007-12-27 | ||
JP2008297260A JP5245757B2 (ja) | 2007-12-27 | 2008-11-20 | 防塵機構を備えた基板搬送装置およびシステム、これらを用いた半導体製造装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009173444A JP2009173444A (ja) | 2009-08-06 |
JP2009173444A5 JP2009173444A5 (ja) | 2011-06-23 |
JP5245757B2 true JP5245757B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=40828586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008297260A Expired - Fee Related JP5245757B2 (ja) | 2007-12-27 | 2008-11-20 | 防塵機構を備えた基板搬送装置およびシステム、これらを用いた半導体製造装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5245757B2 (ja) |
CN (1) | CN101471274B (ja) |
TW (1) | TW200944459A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101773169B1 (ko) * | 2016-02-12 | 2017-08-31 | 현대로보틱스주식회사 | 기판 반송용 로봇 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5304601B2 (ja) * | 2009-11-10 | 2013-10-02 | 株式会社安川電機 | アーム機構およびそれを備えた真空ロボット |
JP5480605B2 (ja) * | 2009-12-01 | 2014-04-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置および基板処理システム |
KR101477835B1 (ko) * | 2010-07-15 | 2014-12-30 | 현대중공업 주식회사 | 랙-피니언 구동형 로봇용 승강 조립체의 오염 정화 유닛 |
JP2013153108A (ja) * | 2012-01-26 | 2013-08-08 | Yaskawa Electric Corp | 基板位置決め装置 |
JP5663638B2 (ja) * | 2012-10-11 | 2015-02-04 | 株式会社ティーイーエス | 基板移送装置 |
JP6220197B2 (ja) * | 2013-09-09 | 2017-10-25 | 川崎重工業株式会社 | ロボット |
JP6839993B2 (ja) * | 2017-02-09 | 2021-03-10 | 日本電産サンキョー株式会社 | 搬送システム |
CN115818254B (zh) * | 2023-02-16 | 2023-05-02 | 秦皇岛市奥晶玻璃制品有限公司 | 一种电磁屏蔽玻璃加工上料装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04300194A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-23 | Yamaha Corp | 直動機構の防塵装置 |
JP3113411B2 (ja) * | 1992-03-18 | 2000-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置 |
JPH08279545A (ja) * | 1995-04-06 | 1996-10-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
JP2007303523A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Nsk Ltd | アクチュエータ |
-
2008
- 2008-11-20 JP JP2008297260A patent/JP5245757B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-15 TW TW97148771A patent/TW200944459A/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-12-25 CN CN2008101765895A patent/CN101471274B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101773169B1 (ko) * | 2016-02-12 | 2017-08-31 | 현대로보틱스주식회사 | 기판 반송용 로봇 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101471274A (zh) | 2009-07-01 |
JP2009173444A (ja) | 2009-08-06 |
TWI369330B (ja) | 2012-08-01 |
CN101471274B (zh) | 2010-08-18 |
TW200944459A (en) | 2009-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5245757B2 (ja) | 防塵機構を備えた基板搬送装置およびシステム、これらを用いた半導体製造装置 | |
JP4240079B2 (ja) | 防塵機構を備えた基板搬送装置 | |
JP2005136411A (ja) | 基板の運搬システム及び運搬方法 | |
JP5195745B2 (ja) | 基板搬送ロボット | |
JP6220197B2 (ja) | ロボット | |
JP2011119556A (ja) | 水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置 | |
JP5006411B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
KR101680993B1 (ko) | 산업용 로봇 | |
CN107530890A (zh) | 机器人***及机器人 | |
KR101076481B1 (ko) | 방진 기구를 구비한 기판 반송 장치 및 시스템, 이들을 이용한 반도체 제조 장치 | |
KR101338858B1 (ko) | 개별적으로 구동되는 핸드를 갖는 기판 이송 장치 및 그 제어 방법 | |
JP2015123551A (ja) | 多関節ロボット | |
KR101382145B1 (ko) | 이송 진공로봇 | |
JPH11255487A (ja) | 搬送装置 | |
JP2009023020A (ja) | 防塵機構を備えた基板搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置 | |
JPH10209241A (ja) | 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 | |
TWI810407B (zh) | 行走車系統 | |
JP2005236218A (ja) | 半導体ウエハの搬送ロボット、及びそれを備えた処理装置 | |
KR101899387B1 (ko) | 대면적 기판의 이송장치 | |
JP2009170567A (ja) | 搬送装置 | |
JP2015123548A (ja) | 多関節ロボット | |
JP2010153687A (ja) | 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置 | |
JP2006159318A (ja) | 搬送ロボットおよびその搬送方法 | |
KR20150025186A (ko) | 케이블베어 및 이를 포함하는 기판 이송장치 | |
JP5309324B2 (ja) | 基板搬送システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110509 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110509 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111122 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |