JP5234419B2 - 半導体樹脂モールド用離型フィルム - Google Patents
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Description
本発明に従えば、以下の離型フィルムが提供される。
〔1〕離型層(I)と、これを支持するプラスチック支持層(II)と、当該離型層と支持層の間に形成された、金属または金属酸化物からなるガス透過抑制層(III)とを有する離型フィルムであって、前記離型層(I)がフッ素樹脂から形成され、
前記プラスチック支持層(II)の170℃における200%伸長時強度が、1MPa〜100MPaであり、
かつ、前記離型フィルムの170℃におけるキシレンガス透過性が10-15(kmol・m/(s・m2・kPa))以下であり、さらに前記離型フィルムの少なくとも片面に算術表面粗さが0.15〜3.5μmである梨地加工が施されていることを特徴とするガスバリア性半導体樹脂モールド用離型フィルム。
〔2〕前記フッ素樹脂が、エチレン/テトラフルオロエチレン系共重合体である前記〔1〕に記載の離型フィルム。
〔3〕前記プラスチック支持層(II)が、エチレン/ビニルアルコール共重合体から形成される前記〔1〕又は〔2〕に記載の離型フィルム。
〔4〕前記ガス透過抑制層(III)が、前記プラスチック支持層(II)上に形成され前記〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の離型フィルム。
〔5〕前記ガス透過抑制層(III)が、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び酸化マグネシウムからなる群から選択される少なくとも一つの酸化物層である前記〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の離型フィルム。
〔6〕前記ガス透過抑制層(III)が、アルミニウム、スズ、クロム及びステンレススチールからからなる群から選択される少なくとも一つの金属層である前記〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の離型フィルム。
〔7〕前記ガス透過抑制層(III)上に樹脂保護層(III')が形成される前記〔1〕〜〔6〕のいずれかに記載の離型フィルム。
I: 離型層
II: プラスチック支持層
III: 金属酸化物蒸着層等のガスバリア層(ガス透過抑制層)
III’: 樹脂保護層
本発明の半導体樹脂モールド用離型フィルム1は、図1に示すように、少なくとも離型性に優れた離型層(I)と、これを支持するプラスチック支持層(II)とからなり、当該離型層と支持層の間に金属または金属酸化物からなるガス透過抑制層(III)が形成される層構成を有するとともに、その170℃におけるキシレンガス透過性が10-15(kmol・m/(s・m2・kPa))以下であることを特徴とする。
本発明の離型フィルムにおける離型層(I)とは、半導体素子の被封止面に向けて配置され、金型内に注入されたモールド樹脂と接することになる層であり、硬化後のモールド樹脂に対する充分な離型性を付与する層である。
本発明の離型フィルムにおけるプラスチック支持層(II)は、離型層(I)を積層し、これを支持して、離型フィルムに必要な剛性や強度を付与する層である。また、離型層(I)は当該支持層に積層されることにより、高価なETFE等の使用量を少なくすることができる。
また、強度がこれより小さいとプラスチック支持層の厚みにもよるが、封止樹脂圧力等によってプラスチック支持層の樹脂が離型フィルム外へにじみ出て装置を汚染する要因となる。プラスチック支持層が、上記規定の伸張時強度を有すると、離型フィルムは高温で柔らかく、凹凸が大きな形状の金型への金型追従性に優れるため好ましい。
本発明の離型フィルムは、たとえば図1に示すように、離型層(I)とプラスチック支持層(II)の間に金属または金属酸化物からなるガス透過抑制層(III)が形成されていることを特徴とする。
本発明の離型フィルムにおいては、金属または金属酸化物からなるガス透過抑制層(III)上に、外部衝撃等から保護のための樹脂保護層(III’)が形成されていることも好ましい態様である。
なお、場合によっては非晶質カーボンにより樹脂保護層(III’)を形成することもできる。
本発明の離型フィルムは、170℃におけるキシレンガス透過性が10-15(kmol・m/(s・m2・kPa))以下であるガスバリア性半導体樹脂モールド用離型フィルムである。
本発明の離型フィルムは、図1に示すような、離型層(I)/ガス透過抑制層(III)/プラスチック支持層(II)からなる層構成を基本とするが、図3に示すような離型層(I)/樹脂保護層(III’)/ガス透過抑制層(III)/プラスチック支持層(II)からなる層構成;図4に示す離型層(I)/ガス透過抑制層(III)/プラスチック支持層(II)/離型層(I)からなる層構成;または図5に示す離型層(I)/樹脂保護層(III’)/ガス透過抑制層(III)/プラスチック支持層(II)/離型層(I)からなる層構成;さらには図6に示す離型層(I)/ガス透過抑制層(III)/プラスチック支持層(II)/ガス透過抑制層(III)/離型層(I)からなる層構成等のフィルムであってもよい。また、ガス透過抑制層(III)と樹脂保護層(III’)は数層に積層されていてもよく、この場合にはプラスチック支持層(II)の上に樹脂保護層(III’)があり、その上にガス透過抑制層(III)、さらに樹脂保護層(III’)と積層を重ねていってもよい。
本発明のガスバリア性離型フィルムの各層の厚みについてまとめて述べると各層の厚さは、離型層(I)は、通常3〜75μm、好ましくは6〜30μmである。プラスチック支持層(II)は通常1〜300μm、好ましくは6〜200μm、さらに好ましくは10〜100μmである。プラスチック支持層の上に形成されたガス透過抑制層(III)は、通常1〜100nm、好ましくは5〜50nm、さらに好ましくは10〜30nmである。ガス透過抑制層(III)等の上に形成された樹脂保護層(III’)は通常1〜1500nm、好ましくは10〜1000nm、さらに好ましくは50〜400nm程度である。
本発明の離型フィルムにおいて、表面層である離型層(I)、及びプラスチック支持層には、梨地加工が施されていてもよい。梨地加工が施される場合の表面層の表面の算術表面粗さは0.01〜3.5μmの範囲が好ましく、0.15〜2.5μmの範囲がより好ましい。表面の粗さがこの範囲にあると、成形品の外観不良を防止し、歩留まりを向上せしめるとともに、成形品にマーキングされるロット番号の視認性を向上する効果に優れる。
本発明の半導体モールド用離型フィルム自体は、半導体素子の樹脂モールディング工程において、従来の離型フィルムと同様に使用することができる。すなわち、成形金型内の所定位置に、モールドすべき半導体素子と、本発明の離型フィルムを設置し、型締め後、真空吸引して当該離型フィルムを金型面に吸着せしめ、半導体素子と金型面を被覆している半導体モールド用離型フィルムとの間にモールド樹脂を射出成形すればよい。硬化後のモールド樹脂と本発明の離型フィルムは容易に離型される。
JIS K 7126−1987に準じて差圧法にて測定した。ただし、試験温度は170℃、試料気体はキシレンガス、高圧側圧力は5kPa、試料フィルムの透過面直径は50mmとした。
170℃に保持した上部セルにキシレンガスを導入し、透過率測定フィルム(試料フィルム)を介して、真空に保持した下部セルにキシレンガスを透過せしめ、透過してきた当該キシレンガスの濃度(圧力)の時間変化を測定し、その定常状態における圧力変化から170℃環境下におけるキシレンガスの透過係数を算出した。
(1)離型層(I)として厚さ12μmのETFEフィルム(旭硝子社製、商品名:フルオンETFE)を用いた。なお、当該ETFEフィルムの片面(支持層と対向する面(接着面))に、接着性を向上させるため40W・min/m2の放電量でコロナ放電処理を施した。
(1)厚さ50μmの単体ETFEフィルム(旭硝子社製、商品名:フルオンETFE)を、そのまま離型フィルムサンプル(以下、「離型フィルム2」という。)として試験に使用した。
(1)プラスチック支持層(II)として、12μmのエチレン/ビニルアルコール共重合体(クラレ社製、商品名:エバールEF−F)を用い、その片面に金属としてアルミを10nmスパッタしてガス透過抑制層(III)を形成したフィルムを用い、樹脂保護層(III’)を形成しないこと以外は、実施例1と同様にして離型フィルム(以下、「離型フィルム3」という。)を得た。
離型フィルム3のキシレンガス透過係数は、1×10-16(kmol・m/(s・m2・kPa))であり、180°ピール試験による離型強度は、0(N/m)であった。結果を表1に示した。
なお、2006年4月25日に出願された日本特許出願2006−120573号、及び2006年7月12日に出願された日本特許出願2006−191872号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (7)
- 離型層(I)と、これを支持するプラスチック支持層(II)と、当該離型層と支持層の間に形成された、金属または金属酸化物からなるガス透過抑制層(III)とを有する離型フィルムであって、前記離型層(I)がフッ素樹脂から形成され、
前記プラスチック支持層(II)の170℃における200%伸長時強度が、1MPa〜100MPaであり、
かつ、前記離型フィルムの170℃におけるキシレンガス透過性が10-15(kmol・m/(s・m2・kPa))以下であり、さらに前記離型フィルムの少なくとも片面に算術表面粗さが0.15〜3.5μmである梨地加工が施されていることを特徴とするガスバリア性半導体樹脂モールド用離型フィルム。 - 前記フッ素樹脂が、エチレン/テトラフルオロエチレン系共重合体である請求項1に記載の離型フィルム。
- 前記プラスチック支持層(II)が、エチレン/ビニルアルコール共重合体から形成される請求項1又は2に記載の離型フィルム。
- 前記ガス透過抑制層(III)が、前記プラスチック支持層(II)上に形成される請求項1〜3のいずれかに記載の離型フィルム。
- 前記ガス透過抑制層(III)が、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び酸化マグネシウムからなる群から選択される少なくとも一つの酸化物層である請求項1〜4のいずれかに記載の離型フィルム。
- 前記ガス透過抑制層(III)が、アルミニウム、スズ、クロム及びステンレススチールからからなる群から選択される少なくとも一つの金属層である請求項1〜4のいずれかに記載の離型フィルム。
- 前記ガス透過抑制層(III)上に樹脂保護層(III')が形成される請求項1〜6のいずれかに記載の離型フィルム。
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