JP5218049B2 - 露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Description
本願は、2006年5月31日に出願された特願2006−151208号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
上記のスキャニングステッパにおいては、1つのショット領域の露光を終える度にマスクステージ及び基板ステージの走査方向が逆向きにされて順次露光処理が行われる。つまり、ショット領域毎にプラススキャンとマイナススキャンとが交互に繰り返される。このため、スキャニングステッパでは、ショット領域を露光する度にマスクステージ及び基板ステージの加減速が行われることになる。
また、以下の特許文献2には、第1,第2のレチクルステージを設けて、第1のレチクルステージが走査中に第2のレチクルステージを反対方向に移動させて、第1のレチクルステージの走査終了後にウェハステージの連続移動と連動させて第2のレチクルステージを用いた露光を行う露光方法が開示されている。かかる露光方法では、ウェハ上に設定されたショット領域のうちの1列分のショット領域の露光をウエハステージの加減速なしに行うことができる。
レチクルの大きさは、縮小投影系の投影光学系が多く用いられることから、ウエハの大きさと比較して大きくなり(例えば4〜5倍)、レチクルを移動させるためのレチクルステージにおいては、移動ストロークが大きくなる。そのため、レチクルステージを駆動するためのリニアモータの固定子が大型化してレチクルステージが重量化したり、ステージ駆動に伴う発熱量が多くなり、空気揺らぎ等、位置決め精度が低下する要因が増加するという問題が生じる。
また、本発明の別の目的は、コストの大幅な上昇を招かずにステージの加減速の回数を低減させることができ、その結果として露光精度を向上させることができる露光装置及び露光方法を提供することである。
本発明の第1の態様に従えば、第1物体(M)上のパターンを照明ビーム(EL)で照明して、該パターンの像で第2物体(P)上の被露光領域(SA1〜SAn)を露光する露光装置(EX)において、照明ビーム(EL)を、第1物体(M)上で、所定の走査方向に沿って走査させる走査装置(22)と、第1物体(M)を走査した照明ビーム(EL)を、第2物体(P)上の被露光領域(SA1〜SAn)上に導光する導光装置(DK)とを備え、前記導光装置は、前記照明ビームが入射して前記パターンの像を前記被露光領域に投影する投影光学系と、前記第1物体を走査した前記照明ビームを反射して前記投影光学系に入射させる入射装置とを有するを備える露光装置が提供される。
本発明の第7の態様に従えば、第1物体上に形成されたパターンを照明ビームで照明して、パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光装置であって、照明ビームを、第1物体上で所定の走査方向に沿って走査させる走査装置と、第1物体を走査した照明ビームを、第2物体上に導く導光装置と、第2物体を載置可能であり、且つ照明ビームの第1物体上での走査と同期して第2物体を移動せしめるステージ装置と、を備え、導光装置は、照明ビームが入射してパターンの像を被露光領域に投影する投影光学系と、第1物体を走査した照明ビームを反射して投影光学系に入射させる入射装置とを有することを特徴とする露光装置が提供される。
本発明の第8の態様に従えば、第1物体上に形成されたパターンを照明ビームで照明して、パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光方法であって、照明ビームを、第1物体上で所定の走査方向に沿って走査させる工程と、第1物体を走査した照明ビームを、第2物体上に導く工程と、第2物体を載置可能なステージ装置を、照明ビームの第1物体上での走査と同期して移動せしめる工程とを有し、照明ビームを導く工程は、第1物体に対する照明ビームの走査と同期して、第1物体を走査した照明ビームの光路を移動させる工程と、パターンの像を被露光領域に投影する投影光学系に入射させる工程とを有することを特徴とする露光方法が提供される。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、第1物体としてのマスクMを保持して移動可能なマスクステージ1と、第2物体としての基板Pを保持して移動可能な基板ステージ(ステージ装置)2と、マスクMのパターンを露光光(照明ビーム)ELで照明する照明系ILと、マスクMを照明した露光光ELを基板P上のショット領域(被露光領域)に導光する導光装置DKと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置3とを備えている。導光装置DKは、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板P上に投影する投影光学系PLと、マスクMを照明した露光光ELを投影光学系PLに入射させる入射装置LDとを備えている(詳細については後述する)。
また、露光装置EXは、少なくとも投影光学系PLを収容するチャンバ装置19を備えている。本実施形態においては、チャンバ装置19には、少なくともマスクステージ1、基板ステージ2、照明系IL、投影光学系PL、及び導光装置DKが収容されている。
照明系ILから射出され、マスクMのパターン形成領域を照明した露光光ELは、マスクステージ1の第1開口1K、及びマスクステージ定盤6の第2開口6Kを通過した後、投影光学系PLに入射する。
ポリゴンミラー22は、外周に複数(図2では8つ)の反射面22a〜22hを有しており、その回転駆動は制御装置3によって制御される。
反射ミラー30は、制御装置3の制御下でポリゴンミラー22の回転駆動と同期してY軸方向に移動する構成となっている。
ここでは、説明の簡単のために、マスクのパターン形成領域に基板Pに転写すべき文字「F」のパターン(図4参照)が、例えばクロム(Cr)等からなる金属膜を所定形状にパターニングすることで形成されているものとする。
まず、露光シーケンスが開始されると、基板Pが基板ステージ2にロードされる(ステップS11)。尚、基板Pをロードしている最中に、必要であればマスクMの交換も行われる。
なお、このポリゴンミラー22の回転動作は、ステップS14よりも前の時点(例えばステップS12のEGA計測と並行して)で開始しておくようにしてもよい。
ここでは、マスクMのパターン領域を図2及び図5において左側から右側へ向けて一定速度(等速度)で走査する際の走査開始位置(ここでは基板ステージ2の加速工程や整定工程が終了して、実際にマスクMのパターン領域が基板Pに投影され始める位置を走査開始位置と称する(走査終了位置も同様))に対応する反射ミラー30及び補正光学系40の反射ミラー42の位置を添字sを付して表する。走査終了位置に対応する反射ミラー30及び補正光学系40の反射ミラー42の位置を添字eを付して表する。マスク中心に対応する反射ミラー30及び補正光学系40の反射ミラー42の位置を添字cを付して表する。
また、制御装置3は、マスクMに対する露光光ELの走査方向が逆転するのに伴って、走査開始位置に対応する位置30e及び位置42eに反射ミラー30、42をそれぞれ移動させる。つまり、第2列の各ショット領域SA3〜SA6を露光する際の反射ミラー30は、図5中において位置30eの位置から+Y方向へ位置30sまで移動し、反射ミラー42は位置42eから+Z方向へ位置42sまで移動する。
また、この第2列のショット領域SA3〜SA6への露光に際しても、反射ミラー30が位置30eから30sに移動するのに伴って、反射ミラー42が位置42eから42sに移動することにより、スリット光ELの光路長が一定に補正される。
また、本実施の形態では、基板Pに到達するスリット光ELの光路長の変動分を補正光学系40によって一定に補正しているので、光路長の変動に伴って基板Pに照射されるエネルギ量の変動を抑制でき、パターン線幅の変動等、基板Pに形成されるパターンの品質不良を抑えることができる。
次に、本発明の第2実施形態について図6を参照して説明する。本実施形態の露光装置の全体構成は、図2及び図5に示す第1実施形態の露光装置EXとほぼ同様の構成であるが、反射ミラー30の構成が異なっている。
図6は、第2実施形態に係る露光装置の概略構成図である。図6において、図2及び図5に示す第1実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
ポリゴンミラー22が反時計回り方向に回転するときは、反射ミラー30は図6中の+Y側の位置(図6に3枚示されている位置)に待機し、反射ミラー42は、図6中の位置42sの+X側の位置(図6に3枚示される位置)に待機する。なお、ポリゴンミラー22が時計回り方向に回転するときには、反射ミラー30は位置30eの下方(−Z方向)に待機し、反射ミラー42は位置42eの+X側の位置に待機するものとする。
各反射ミラー30及び40は、制御装置3の制御下で独立して移動する構成となっている。
すなわち、本実施形態では、一基の反射ミラー30を用いる場合のように、例えばショット領域SA1への露光後にショット領域SA2を露光する際に、マスクMの走査が開始される前に、位置30e、42eにある反射ミラー30、42を走査開始位置の30s、42sに移動させる必要がない。そのため、ポリゴンミラー22の回転速度及び反射ミラー30、42、基板ステージ2の移動速度を大きくしてスループットを向上させることが可能になる(ただし、この場合反射ミラー30が走査終了位置30eに達する前に、直前の走査で用いた反射ミラーを走査終了位置30eから退避させておく)。
続いて、本発明の第3実施形態について図7を参照して説明する。本実施形態の露光装置の全体構成は、図2及び図5に示す第1実施形態の露光装置EXに対して同時二重露光(多重露光)を行うべく、ポリゴンミラー、マスク、導光装置等の構成機器が別途一組設けられたものとなっている。以下、これについて詳述する。なお、図7図において、図2及び図5に示す第1実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
なお、偏光ビームスプリッタ51には、反射ミラー50で反射されたマスクMのパターン光も入射される。
なお、反射ミラー50で反射されたマスクMのパターン像による、基板P上のショット領域内における露光領域と、反射ミラー50bで反射されたマスクM’のパターン像による基板P上のショット領域内における露光領域とを重なり合うようにして投影されるようにしてもよいし(スリット合成方式)、あるいはショット内において各露光領域が走査方向(Y方向)に少しだけずれるようにして投影されるようにしてもよい(スリット分離方式)。この場合、偏光ビームスプリッタ51が不要となり、偏光方向の制約がなくなるメリットがある。
続いて、本発明の第4実施形態について図8及び図9を参照して説明する。本実施形態の露光装置の全体構成は、図2及び図5に示す第1実施形態の露光装置EXに対して、マスクを走査したスリット光を集約する集約光学系が入射装置LDに設けられたものである。以下、これについて詳述する。なお、図8及び図9において、図2及び図5に示す第1実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
集約光学系70は、Z軸方向に沿って配置された正面視台形の一対の台形光学部材(変位部材)71、72を有している。台形光学部材71は、スリット光ELの入射側にXY平面と平行な面71aを有し、スリット光ELの出射側にXY平面と平行な面を+Y側が−Z側へ向かうようにX軸周りに傾斜させた面71bを有している。
そして、台形光学部材72の−Z側には、マスクM及び集約光学系70を透過した露光光ELを補正光学系40へ向けて−Y方向に折り曲げる反射ミラー31が固定配置されている。
他の構成は、上記第1実施形態と同様である。
なお、本実施形態では、集約光学系70によりスリット光ELを所定位置に集約させる構成としたが、これに限定されるものではない。例えば集約光学系70によりスリット光ELを所定領域内に集約させ、この領域内で反射ミラー31を移動させてスリット光ELを補正光学系40に入射させる構成としてもよい。この構成でも、本実施形態と同様の作用・効果を得ることができる。また、本実施形態の集約光学系70を用いる場合でも、上記第3実施形態で説明した同時二重露光を、同様の構成をもう一基設けることによって実施することは可能である。
続いて、本発明の第5実施形態について図10乃至図12Cを参照して説明する。本実施形態では、第4実施形態で説明した集約光学系70の別形態について説明する。
なお、図10乃至図12において、図8及び図9に示す第4実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
他の構成は、上記第4実施形態と同様である。
続いて、本発明の第6実施形態について図13を参照して説明する。
本実施形態の露光装置の全体構成は、図2及び図5に示す第1実施形態の露光装置EXに対して、入射装置LDとしてポリゴンミラーが設けられた構成となっている。
以下、これについて詳述する。なお、図13の図において、図2及び図5に示す第1実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
なお、本実施形態においても、同様の構成のものをもう一基設けることにより、第3実施形態で説明したような同時二重露光を実施することが可能である。
続いて、本発明の第7実施形態について図15乃至図18Dを参照して説明する。
本実施形態では、上記第3実施形態と同様に、ポリゴンミラー、マスク、導光装置等の構成機器が別途一組設けられたものとなっているが、導光装置における入射装置及び補正光学系の構成が異なっている。以下、これについて詳述する。なお、図15乃至18Dにおいて、図7に示す第3実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
マスクM、M’には、図18Aに示すように、基板Pに倒立像で転写するパターンが互いに同一方向を向くように形成されている。
なお、反射ミラー50を反射した光は、偏光ビームスプリッタ(又はハーフミラー)51を介して投影光学系PLに入射するようになっている。
待機位置T2は、スリット光ELの反射ミラー43、44間の光路から離間した位置に設定されている。同様に、待機位置T1は、スリット光EL’の反射ミラー45、46間の光路から離間した位置に設定されている。
なお、この走査終了時にも、反射ミラー33Bが到達する前に反射ミラー33Aを待機位置T2へ移動させておく。
本実施形態において、マスクMの照明光、すなわち反射ミラー50からの反射光、及びマスクM’の照明光、すなわち反射ミラー51からの反射光を、投影光学系PLの中心(光軸)から走査方向(Y方向)に互いに少しずらした位置に入射させて、それぞれ基板P上に結像させている。
他の実施形態において、反射ミラー50からの反射光と、反射ミラー51からの反射光とをミラーで切り換えて、投影光学系PLの中心(光軸)に入射させてもよいし、図7と同様に、偏光ビームスプリッタまたはハーフミラーを用いて投影光学系PLの中心(光軸)に入射させてもよい。
続いて、本発明の第8実施形態について図19及び図20を参照して説明する。
本実施形態では、図7に示した上記第3実施形態と同様に、第2導光装置DK’(入射装置LD’)が併設され、また図13に示した上記第6実施形態と同様に、各入射装置にポリゴンミラーがそれぞれ設けられる構成となっている。また、本実施形態では、これらの第3、第6実施形態に対して投影光学系PLの構成が異なっている。
以下、これについて詳述する。なお、これらの図において、図7及び図13に示した実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
なお、図20において、投影光学系PLの入射側に太線で示した領域はスリット光ELが照射される照明領域IAであり、基板P上に太線で示した領域はスリット光ELが照射される露光領域EAである。
このように、本実施形態においても、ショット領域の列間で動作を停止させたり、変更させることなく、またポリゴンミラー22の回転方向も一定で連続的、且つ円滑な露光処理を実施することが可能になる。
続いて、本発明の第9実施形態について図21を参照して説明する。
本実施形態では、図19及び図20に示した上記第8実施形態に対して、スリット光EL、EL’によりマスクM、M’を走査するポリゴンミラーが個別に設けられている。以下、これについて詳述する。なお、この図において、図19及び図20に示した第8実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態において、マスクMの照明光、すなわち反射ミラー50からの反射光、及びマスクM’の照明光、すなわち反射ミラー125c’からの反射光を、投影光学系PLの中心(光軸)から走査方向(Y方向)に互いに少しずらした位置に入射させて、それぞれ基板P上に結像させている。
他の実施形態において、反射ミラー50からの反射光と、反射ミラー125c’からの反射光とをミラーで切り換えて、投影光学系PLの中心(光軸)に入射させてもよいし、図7と同様に、偏光ビームスプリッタまたはハーフミラーを用いて投影光学系PLの中心(光軸)に入射させてもよい。
この場合、上記第9実施形態では互いに逆方向に回転するポリゴンミラー22と22’、及び、ポリゴンミラー122と122’をそれぞれ同一方向に回転させることにより、基板P上に同じ向きに同時二重露光することが可能になる。この際、ポリゴンミラー22と22’の回転方向は、ポリゴンミラー122と122’の回転方向とは逆向きとなる。
従って、図21に示した露光装置EXでは、ポリゴンミラー22、22’(及びポリゴンミラー122、122’)の一方を一定の方向で回転させ、他方の回転方向を切り換えることにより、走査装置としてのポリゴンミラー22、22’の回転を反転させないショット領域列間の連続的な露光処理と、同時二重露光処理とを容易に切換・選択することが可能になる。
そして、ブラインド制御により第1パターンを第1列目のショット領域に倒立像で露光し、第2パターンを第2列目のショット領域に正立像で露光すればよい。この倒立像と正立像との切換は、制御装置3の制御により行われる。これにより、ポリゴンミラーの反転を伴わないショット領域列間の連続的な露光処理を実現することができる。
まず、ステップS10(設計ステップ)において、マイクロデバイスの機能・性能設計(例えば、半導体デバイスの回路設計等)を行い、その機能を実現するためのパターン設計を行う。引き続き、ステップS11(マスク製作ステップ)において、設計した回路パターンを形成したマスク(レチクル)を製作する。一方、ステップS12(ウエハ製造ステップ)において、シリコン等の材料を用いてウエハを製造する。
次に、ステップS13(ウエハ処理ステップ)において、ステップS10〜ステップS12で用意したマスクとウエハを使用して、後述するように、リソグラフィ技術等によってウエハ上に実際の回路等を形成する。次いで、ステップS14(デバイス組立ステップ)において、ステップS13で処理されたウエハを用いてデバイス組立を行う。このステップS14には、ダイシング工程、ボンティング工程、及びパッケージング工程(チップ封入)等の工程が必要に応じて含まれる。最後に、ステップS15(検査ステップ)において、ステップS14で作製されたマイクロデバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経た後にマイクロデバイスが完成し、これが出荷される。
ステップS21(酸化ステップ)おいては、ウエハの表面を酸化させる。ステップS22(CVDステップ)においては、ウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップS23(電極形成ステップ)においては、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップS24(イオン打込みステップ)においては、ウエハにイオンを打ち込む。以上のステップS21〜ステップS24のそれぞれは、ウエハ処理の各段階の前処理工程を構成しており、各段階において必要な処理に応じて選択されて実行される。
ウエハプロセスの各段階において、上述の前処理工程が終了すると、以下のようにして後処理工程が実行される。この後処理工程では、まず、ステップS25(レジスト形成ステップ)において、ウエハに感光剤を塗布する。引き続き、ステップS26(露光ステップ)において、上で説明したリソグラフィシステム(露光装置)及び露光方法によってマスクの回路パターンをウエハに転写する。次に、ステップS27(現像ステップ)においては露光されたウエハを現像し、ステップS28(エッチングステップ)において、レジストが残存している部分以外の部分の露出部材をエッチングにより取り去る。そして、ステップS29(レジスト除去ステップ)において、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらの前処理工程と後処理工程とを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
Claims (39)
- 第1物体上のパターンを照明ビームで照明して、該パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光装置において、
前記照明ビームを、前記第1物体上で、所定の走査方向に沿って走査させる走査装置と、
前記第1物体を走査した前記照明ビームを、前記第2物体上の前記被露光領域上に導く導光装置と、を備え、
前記導光装置は、前記照明ビームが入射して前記パターンの像を前記被露光領域に投影する投影光学系と、前記第1物体を走査した前記照明ビームを反射して前記投影光学系に入射させる入射装置とを有することを特徴とする露光装置。 - 第1物体上に形成されたパターンを照明ビームで照明して、該パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光装置であって、
前記照明ビームを、前記第1物体上で走査する走査装置と、
前記第2物体を載置可能であり、且つ前記照明ビームの前記第1物体上での前記走査と同期して前記第2物体を移動せしめるステージ装置と、を備え、
前記ステージ装置は、前記照明ビームの前記第1物体上での走査方向とは反対の方向に、前記第2物体を移動せしめることを特徴とする露光装置。 - 第1物体上に形成されたパターンを照明ビームで照明して、該パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光装置であって、
前記照明ビームを、前記第1物体上で所定の走査方向に沿って走査させる走査装置と、
前記第1物体を走査した前記照明ビームを、前記第2物体上に導く導光装置と、
前記第2物体を載置可能であり、且つ前記照明ビームの前記第1物体上での前記走査と同期して前記第2物体を移動せしめるステージ装置と、を備え、
前記ステージ装置は、前記照明ビームの前記第1物体上での走査方向とは反対の方向に、前記第2物体を移動せしめることを特徴とする露光装置。 - 第1物体上に形成されたパターンを照明ビームで照明して、該パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光装置であって、
前記照明ビームを、前記第1物体上で所定の走査方向に沿って走査させる走査装置と、
前記第1物体を走査した前記照明ビームを、前記第2物体上に導く導光装置と、
前記第2物体を載置可能であり、且つ前記照明ビームの前記第1物体上での前記走査と同期して前記第2物体を移動せしめるステージ装置と、を備え、
前記導光装置は、前記照明ビームが入射して前記パターンの像を前記被露光領域に投影する投影光学系と、前記第1物体を走査した前記照明ビームを反射して前記投影光学系に入射させる入射装置とを有することを特徴とする露光装置。 - 前記入射装置は、前記第1物体に対する前記照明ビームの走査と同期して移動する移動反射部材を有することを特徴とする請求項1又は4に記載の露光装置。
- 前記照明ビームの走査方向に応じて前記移動反射部材の移動方向を切り換える方向切換装置を有することを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 前記移動反射部材は、前記第1物体を走査した前記照明ビームを前記移動方向の一方側に反射する第1反射面と、前記移動方向の他方側に反射する第2反射面とを有し、
前記入射装置は、前記第1反射面で反射した前記照明ビームを前記投影光学系に入射させる第1反射系と、前記第2反射面で反射した前記照明ビームを前記投影光学系に入射させる第2反射系とを有することを特徴とする請求項6に記載の露光装置。 - 前記被露光領域は、前記照明ビームの走査方向に沿って複数設けられ、
前記移動反射部材は、前記複数の被露光領域のそれぞれに応じて設けられることを特徴とする請求項5から7のいずれかに記載の露光装置。 - 前記第1物体は、第1パターンと、該第1パターンを点対称に配置した第2パターンとを有し、
前記投影光学系は、前記第1パターンまたは前記第2パターンに応じて、前記被露光領域に投影する像を倒立像と正立像とで切り換える像切換装置を有することを特徴とする請求項1、4から8のいずれかに記載の露光装置。 - 前記入射装置は、前記第1物体を走査した前記照明ビームを所定位置に集約する集約装置を有することを特徴とする請求項1又は4に記載の露光装置。
- 前記集約装置は、前記照明ビームの光軸方向に移動し、入射した前記照明ビームの光路を互いの相対位置関係に応じた変位量で変位させる一対の変位部材と、
前記第1物体を走査した前記照明ビームの位置に応じて、前記一対の変位部材の相対位置関係を調整する調整装置とを有することを特徴とする請求項10に記載の露光装置。 - 前記一対の変位部材は、前記照明ビームの光路の変位方向が異なる第1領域と第2領域とを有し、
前記調整装置は、前記第1領域で変位した前記照明ビームの光路を第1位置に集約させ、前記第2領域で変位した前記照明ビームの光路を第2位置に集約させ、
前記入射装置は、前記第1位置と前記第2位置との間を移動して、集約された前記照明ビームを前記投影光学系に向けて反射する第2移動反射部材を有することを特徴とする請求項11に記載の露光装置。 - 前記走査装置は、ポリゴンミラーを有することを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の露光装置。
- 前記入射装置は、前記第1物体に対する前記照明ビームの走査と同期して回転する第2ポリゴンミラーを有することを特徴とする請求項1又は4に記載の露光装置。
- 前記第1物体とは独立しており且つ前記第2物体上に転写されるべきパターンを備える第3物体上で、前記第1物体を照明する第1照明ビームとは異なる第2照明ビームを、前記第1照明ビームの走査方向とは逆方向に走査させる第2走査装置と、
前記第3物体を走査した前記第2照明ビームを前記被露光領域に導く第2導光装置と、
を備え、
前記第2物体の移動方向が変更されることに応じて、前記第2物体上に導かれる照明ビームとして、前記第1照明ビームと前記第2照明ビームとを切り換えることを特徴とする請求項1から14のいずれかに記載の露光装置。 - 前記走査装置における前記照明ビームが反射する第3反射面、及び前記第2走査装置における前記第2照明ビームが反射する第4反射面をそれぞれ有するポリゴンミラーを備えることを特徴とする請求項15に記載の露光装置。
- 前記第1物体とは独立しており且つ前記第2物体上に転写されるべきパターンを備える第3物体上で、前記第1物体を照明する第1照明ビームとは異なる第2照明ビームを走査させる第2走査装置と、
前記第3物体を走査した前記第2照明ビームを前記被露光領域に導く第2導光装置と、
を備え、
前記第3物体を走査した前記第2照明ビームを、前記第1物体を走査した前記第1照明ビームとともに、前記第2物体上の前記被露光領域上に導くことを特徴とする請求項1から14のいずれかに記載の露光装置。 - 前記第1物体と前記第3物体とは、互いのパターンが同一方向を向くように配置されており、
前記第2走査装置は前記第2照明ビームを、前記走査装置が前記第1照明ビームを前記第1物体上で走査させる方向と同じ方向に同期して走査させることを特徴とする請求項17に記載の露光装置。 - 前記第1物体と前記第3物体とは、互いのパターンが180度異なる方向を向くように配置されており、
前記第2走査装置は前記第2照明ビームを前記第3物体上で、前記走査装置が前記第1照明ビームを前記第1物体上で走査させる方向とは反対方向に同期して走査させることを特徴とする請求項17に記載の露光装置。 - 前記走査装置、前記第2走査装置、前記導光装置、及び前記第2導光装置はそれぞれポリゴンミラーを備えており、
前記各走査装置のポリゴンミラーは同一方向に回転し、
前記各導光装置のポリゴンミラーは互いに同一方向であって、且つ前記各走査装置のポリゴンミラーとは反対方向に回転することを特徴とする請求項19に記載の露光装置。 - 前記第1物体を走査して前記被露光領域を照明する前記照明ビームの光路長のばらつきを補正する補正装置を有することを特徴とする請求項1から20のいずれかに記載の露光装置。
- 第1物体上のパターンを照明ビームで照明して、該パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光方法において、
前記照明ビームを、前記第1物体上で、所定の走査方向に沿って走査させる工程と、
前記第1物体を走査した前記照明ビームを、前記第2物体上の前記被露光領域上に導く工程と、を有し、
前記照明ビームを導く工程は、前記第1物体に対する前記照明ビームの走査と同期して、前記第1物体を走査した前記照明ビームの光路を移動させる工程と、前記パターンの像を前記被露光領域に投影する投影光学系に入射させる工程とを有することを特徴とする露光方法。 - 第1物体上に形成されたパターンを照明ビームで照明して、該パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光方法であって、
前記照明ビームを、前記第1物体上で走査する工程と、
前記第2物体を載置可能なステージ装置を、前記照明ビームの前記第1物体上での前記走査と同期して移動せしめる工程とを有し、
前記ステージ装置の移動は、前記照明ビームの前記第1物体上での走査方向とは反対の方向に、前記第2物体を移動せしめる工程を有することを特徴とする露光方法。 - 第1物体上に形成されたパターンを照明ビームで照明して、該パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光方法であって、
前記照明ビームを、前記第1物体上で所定の走査方向に沿って走査させる工程と、
前記第1物体を走査した前記照明ビームを、前記第2物体上に導く工程と、
前記第2物体を載置可能なステージ装置を、前記照明ビームの前記第1物体上での前記走査と同期して移動せしめる工程とを有し、
前記ステージ装置の移動は、前記照明ビームの前記第1物体上での走査方向とは反対の方向に、前記第2物体を移動せしめる工程を有することを特徴とする露光方法。 - 第1物体上に形成されたパターンを照明ビームで照明して、該パターンの像で第2物体上の被露光領域を露光する露光方法であって、
前記照明ビームを、前記第1物体上で所定の走査方向に沿って走査させる工程と、
前記第1物体を走査した前記照明ビームを、前記第2物体上に導く工程と、
前記第2物体を載置可能なステージ装置を、前記照明ビームの前記第1物体上での前記走査と同期して移動せしめる工程とを有し、
前記照明ビームを導く工程は、前記第1物体に対する前記照明ビームの走査と同期して、前記第1物体を走査した前記照明ビームの光路を移動させる工程と、前記パターンの像を前記被露光領域に投影する投影光学系に入射させる工程とを有することを特徴とする露光方法。 - 前記照明ビームの走査方向に応じて、前記照明ビームの光路の移動方向を切り換える工程を有することを特徴とする請求項22又は25に記載の露光方法。
- 前記照明ビームの走査方向に応じて、前記第1物体を走査した前記照明ビームを、前記照明ビームの光路の移動方向の一方側または他方側に反射させることを特徴とする請求項26記載の露光方法。
- 前記第1物体は、第1パターンと、該第1パターンを点対称に配置した第2パターンとを有し、
前記第1パターンに対する走査または前記第2パターンに対する走査に応じて、前記投影光学系が前記被露光領域に投影する像を倒立像と正立像とで切り換える工程を有することを特徴とする請求項22、25から27のいずれかに記載の露光方法。 - 前記第1物体を走査した前記照明ビームを所定位置に集約させる工程を有することを特徴とする請求項22、25から28のいずれかに記載の露光方法。
- 一対の変位部材の少なくとも一方を、前記照明ビームの光軸方向に移動させ、入射した前記照明ビームの光路を互いの相対位置関係に応じた変位量で変位させる工程を有することを特徴とする請求項29記載の露光方法。
- 前記一対の変位部材は、前記照明ビームの光路の変位方向が異なる第1領域と第2領域とを有し、
前記第1領域で変位した前記照明ビームの光路を第1位置に集約させる工程と、
前記第2領域で変位した前記照明ビームの光路を第2位置に集約させる工程と、
前記照明ビームの光路に前記第1領域及び前記第2領域との交差部が含まれる際に、前記照明ビームの光路を前記第1位置と前記第2位置との間の第3位置に集約させる工程とを有することを特徴とする請求項30記載の露光方法。 - 前記照明ビームの走査は、ポリゴンミラーを回転させる工程を有することを特徴とする請求項22から31のいずれかに記載の露光方法。
- 前記第1物体とは独立しており且つ前記第2物体上に転写されるべきパターンを備える第3物体上で、前記第1物体を照明する第1照明ビームとは異なる第2照明ビームを、前記第1照明ビームの走査方向とは逆方向に走査させる工程と、
前記第3物体を走査した前記第2照明ビームを前記被露光領域に導く工程と、
前記第2物体の走査方向が変更されることに応じて、前記第2物体上に導かれる照明ビームとして、前記第1照明ビームと前記第2照明ビームとを切り換える工程とを有することを特徴とする請求項22から32のいずれかに記載の露光方法。 - 前記第1照明ビームと前記第2照明ビームとを、ポリゴンミラーの互いに異なる反射面で反射させることを特徴とする請求項33に記載の露光方法。
- 前記第1物体とは独立しており且つ前記第2物体上に転写されるべきパターンを備える第3物体上で、前記第1物体を照明する第1照明ビームとは異なる第2照明ビームを走査させる工程と、
前記第3物体を走査した前記第2照明ビームを前記被露光領域に導く工程と、
前記第3物体を走査した前記第2照明ビームを、前記第1物体を走査した前記第1照明ビームとともに、前記第2物体上の前記被露光領域上に導く工程とを有することを特徴とする請求項22から32のいずれかに記載の露光方法。 - 前記第1物体と前記第3物体とが、互いのパターンが同一方向を向くように配置され、
前記第2照明ビームの走査は、前記第2照明ビームを、前記第1照明ビームを前記第1物体上で走査させる方向と同じ方向に同期して走査させる工程を有することを特徴とする請求項35に記載の露光方法。 - 前記第1物体と前記第3物体とが、互いのパターンが180度異なる方向を向くように配置され、
前記第2照明ビームの走査は、前記第2照明ビームを前記第3物体上で、前記第1照明ビームを前記第1物体上で走査させる方向とは反対方向に同期して走査させる工程を有することを特徴とする請求項35に記載の露光方法。 - 前記第1照明ビームの走査、前記第2照明ビームの走査、前記第1照明ビームの導光、及び前記第2照明ビームの導光のそれぞれでポリゴンミラーが用いられ、
前記第1及び第2照明ビームの走査では、前記ポリゴンミラーは同一方向に回転し、
前記第1及び第2照明ビームの導光では、前記ポリゴンミラーは互いに同一方向であって、且つ前記走査ステップにおける前記ポリゴンミラーとは反対方向に回転することを特徴とする請求項37に記載の露光方法。 - 前記第1物体を走査して前記被露光領域を照明する前記照明ビームの光路長のばらつきを補正する工程を有することを特徴とする請求項22から38のいずれかに記載の露光方法。
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