JP5182089B2 - 露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
この露光装置によれば、第二移動部材の軽量化及び小型化が可能となるので、第二移動部材の高速且つ高精度な移動が実現できる。
したがって、露光装置の高スループット化が図られるので、高性能で安価なデバイスを製造することが可能となる。
図1は、本発明の実施形態に係る露光装置EXの概略構成を示す図である。
レチクルステージRSTは、投影光学系PLの光軸AXに垂直な平面内、すなわち、XY平面内で2次元移動可能及びθZ方向に微小回転可能である。
レチクルステージRSTは、リニアモータ等のレチクルステージ駆動部RSTDにより駆動される。レチクルステージ駆動部RSTDは、制御装置CONTにより制御される。
なお、レチクルホルダRHの詳細構成については、後述する。
なお、投影光学系PLは、縮小系、等倍系及び拡大系のいずれでもよい。投影光学系PLの先端部の光学素子は鏡筒PKに対して着脱(交換)可能に設けられる。
図2は、ウエハステージWSTの構成を示す斜視図である。
本発明は、例えば以下のような変更をも含むものとする。
各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。
なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
Claims (7)
- 所定面に対して移動可能な第一移動部材と、
物体を保持すると共に前記第一移動部材に対して移動可能な第二移動部材と、
前記物体に照射されるエネルギビームの特性を計測する計測装置と、
を備え、
前記計測装置は、
前記エネルギビームを受光する又は出射する第一計測光学部材と、
前記第一計測光学部材で受光されたエネルギビームを伝送する又は前記第一計測光学部材で出射されるエネルギビームを伝送する第二計測光学部材と、
前記第一移動部材前記第二移動部材から離間して配置されて、前記第二計測光学部材を介して出射されたエネルギビームを受光するセンサ部と、
を含み、
前記第二計測光学部材が前記第一移動部材に設置され、
前記第一計測光学部材が前記第二移動部材に設置されることを特徴とする露光装置。 - 前記計測装置は、
前記第二計測光学部材に伝送されたエネルギビームを出射する又は前記第二計測光学部材に伝送されるエネルギビームを受光する第三計測光学部材と、
を含み、
前記第三計測光学部材が前記第一移動部材に設置されることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記第二移動部材は、6自由度に移動可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記第二移動部材を前記第一移動部材に対して移動させる駆動装置をさらに備え、
該駆動装置の一部が前記第一移動部材に設置されていることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第一移動部材及び前記第二移動部材は、感光基板を保持する基板ステージであることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第一移動部材及び前記第二移動部材は、パターンが形成されたマスクを保持するマスクステージであることを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の露光装置。
- リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法であって、前記リソグラフィ工程において請求項1から請求項6のうちいずれか一項にに記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイスの製造方法。
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