JP5211666B2 - 絶縁ゲートトランジスタ - Google Patents
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Description
14 ゲート電極
14a 連結部
14b 櫛歯
C1,C2 コンタクト部
C2a〜C2f 曲率縮小部
Claims (14)
- 半導体基板の主面側において、ストライプ状のゲート電極が、複数本並んで配置されてなる絶縁ゲートトランジスタであって、
隣り合った前記ゲート電極の間に配置され、コンタクトホールを介して、前記半導体基板の主面側の表層部に形成された拡散領域に配線接続する金属配線層のストライプ状のコンタクト部が、該ストライプ状の両端に、中央部のストライプ幅の1/2より大きな曲率半径の円弧、または前記円弧と直線で構成されるパターン形状のコンタクト部分で、90°以下の鋭角の角部を有さないパターン形状のコンタクト部分からなり、最大幅が前記ストライプ幅より大きい、曲率縮小部を有してなることを特徴とする絶縁ゲートトランジスタ。 - 前記曲率縮小部が、円のリング形状であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記曲率縮小部が、楕円のリング形状であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記曲率縮小部が、角部が丸められた正方形のリング形状であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記曲率縮小部が、角部が丸められた長方形のリング形状であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記曲率縮小部が、円形状であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記曲率縮小部が、楕円形状であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記曲率縮小部が、角部が丸められた正方形状であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記曲率縮小部が、角部が丸められた長方形状であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記金属配線層が、チタン(Ti)/窒化チタン(TiN)/タングステン(W)の積層体からなることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記ゲート電極が、長方形のリング形状を有してなり、
各ゲート電極における前記長方形の短辺の中央に、それぞれ、櫛歯状に形成されたゲート引き出し配線の櫛歯の先端が接続されてなり、
前記曲率縮小部が、
隣り合って配置された前記ゲート電極の短辺を連ねるライン、前記櫛歯状のゲート引き出し配線の隣り合った櫛歯および該櫛歯の連結部の間に配置されてなることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の絶縁ゲートトランジスタ。 - 前記櫛歯の幅をW1とし、前記ゲート電極における長方形の長辺の中心線から前記櫛歯までの間隔をW2としたとき、W1/W2が、1以上、7以下であることを特徴とする請求項11に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記櫛歯の幅をW1とし、前記ゲート電極における短辺から前記櫛歯の連結部までの間隔をW3としたとき、W1=W3であることを特徴とする請求項11または12に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
- 前記絶縁ゲートトランジスタが、IGBTであり、
前記コンタクト部が、エミッタ拡散領域に接続するコンタクト部であることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか一項に記載の絶縁ゲートトランジスタ。
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