JP5207902B2 - バルク音響波共振子および電子部品 - Google Patents
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Description
前記圧電体層の前記第1主面に配置された第1電極と、
前記圧電体層の前記第2主面に、前記圧電体層を挟み前記第1電極と対向するように配置された第2電極と、
前記第2電極の前記圧電体層に接する面と反対側の面に配置される第3電極であって、平面視で、前記第2電極と接する第1領域と、前記第1領域から延び前記第2電極の配置された領域から突出する第2領域とを有する第3電極と、
を備えるバルク音響波共振子である。
前記圧電体層に比べて誘電率の低い媒体が内部に充填された、前記バルク音響波共振子を収容するパッケージと、を有する電子部品である。
また、突出する第2領域18bが変形して圧電体層15に接することなく、安定して保持することができる。その結果、安定して特性を維持することのできるものとなる。
11 基板
15 圧電体層
15a 第1主面
15b 第2主面
16 第1電極
17 第2電極
18 第3電極
18a 第1領域
18b 第2領域
19 低誘電率体
20 共振部
100 絶縁層
Claims (6)
- 第1主面と第2主面とを有する圧電体層と、
前記圧電体層の前記第1主面に配置された第1電極と、
前記圧電体層の前記第2主面に、前記圧電体層を挟み前記第1電極と対向するように配置された第2電極と、
前記第2電極の前記圧電体層に接する面と反対側の面に配置される第3電極であって、平面視で、前記第2電極と接する第1領域と、前記第1領域から延び前記第2電極の配置された領域から突出する第2領域とを有する第3電極と、
を備えるバルク音響波共振子であって、
前記第2電極は、前記第2電極の延びる方向と直交する方向からの断面視で、前記第3電極の前記第2領域に臨む端部において、前記圧電体層と接する側の面で形成する内角の角度が45°以上90°以下である音響波共振子。 - 第1主面と第2主面とを有する圧電体層と、
前記圧電体層の前記第1主面に配置された第1電極と、
前記圧電体層の前記第2主面に、前記圧電体層を挟み前記第1電極と対向するように配置された第2電極と、
前記第2電極の前記圧電体層に接する面と反対側の面に配置される第3電極であって、平面視で、前記第2電極と接する第1領域と、前記第1領域から延び前記第2電極の配置された領域から突出する第2領域とを有する第3電極と、
を備えるバルク音響波共振子であって、
前記第3電極は、平面視で前記第2領域の外縁部から前記第1領域の外縁部までの距離が0μmより大きく3μmより小さい音響波共振子。 - 前記第2電極は、前記第3電極の前記第2領域に臨む端部において、前記圧電体層側に比べ前記第3電極側が突出している、請求項2に記載のバルク音響波共振子。
- 前記圧電体層、前記第1電極、前記第2電極及び前記第3電極を含む共振子本体が配置された基板をさらに備える、請求項1乃至3のいずれかに記載のバルク音響波共振子。
- 第1主面と第2主面とを有する圧電体層と、
前記圧電体層の前記第1主面に配置された第1電極と、
前記圧電体層の前記第2主面に、前記圧電体層を挟み前記第1電極と対向するように配置された第2電極と、
前記第2電極の前記圧電体層に接する面と反対側の面に配置される第3電極であって、平面視で、前記第2電極と接する第1領域と、前記第1領域から延び前記第2電極の配置された領域から突出する第2領域とを有する第3電極と、
を備えるバルク音響波共振子であって、
前記第3電極の前記第2領域と前記第1電極との間に配置された、前記圧電体層に比べて誘電率の低い低誘電率体をさらに含む、請求項1乃至4のいずれかに記載のバルク音響波共振子。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載のバルク音響波共振子と、
前記圧電体層に比べて誘電率の低い媒体が内部に充填された、前記バルク音響波共振子を収容するパッケージと、を有する電子部品。
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