JP5186495B2 - 振動型アクチュエータ及びそれを備えた駆動装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係る駆動装置1は、図2に示すように、ステージ11と、超音波アクチュエータ2と、該超音波アクチュエータ2を駆動制御する制御装置(図示省略)とを備えている。
次に、本発明の実施形態2に係る超音波アクチュエータ202について説明する。
次に、本発明の実施形態3に係る超音波アクチュエータ302について説明する。
続いて、本発明の実施形態4に係る超音波アクチュエータ402について説明する。
続いて、本発明の実施形態5に係る超音波アクチュエータ502について説明する。
続いて、本発明の実施形態6に係る超音波アクチュエータ602について説明する。
本発明は、前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
11 ステージ(可動体)
2 超音波アクチュエータ(振動型アクチュエータ)
4 アクチュエータ本体
40a 長辺側面(設置面)
40b 短辺側面(設置面)
8,208,308,408,508,508b,608,708 駆動子
80,280,380,580,780 貫通孔(減肉部)
480 凹部(減肉部)
680 切欠部(減肉部)
83 環状体
84 吸振部材
85 吸着部材
Claims (11)
- 圧電素子で構成、又は圧電素子を含んで構成され、振動方向が異なる複数の振動を行うアクチュエータ本体と、
前記アクチュエータ本体と別体で形成されて、前記アクチュエータ本体の一の側面である設置面上に取り付けられて、該アクチュエータ本体の振動に従って周回運動することで駆動力を出力する駆動子とを備え、
前記駆動子には、減肉部が設けられ、
前記減肉部は、前記駆動子に穿孔された孔である振動型アクチュエータ。 - 前記孔は、その軸が前記設置面と平行な方向を向くように穿孔されている請求項1に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記減肉部の内部には、吸振部材が配設されている請求項1に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記孔は、前記設置面と反対側に開口する凹部であって、
前記凹部の開口端縁部は、前記駆動子の当接対象に対して当接する当接部に構成されている請求項1に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記アクチュエータ本体は、屈曲振動と縦振動とを行う請求項1に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記設置面は、前記アクチュエータ本体における屈曲振動の振動方向を向く面であって、
前記駆動子は、前記設置面との取付面が球面状に形成されて、該設置面に対して点接触状に取り付けられている請求項5に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記設置面上において前記駆動子と該設置面との接触部を囲むように設けられた環状体をさらに備え、
前記駆動子は、さらに前記環状体を介して前記アクチュエータ本体の前記設置面に取り付けられている請求項6に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記設置面は、前記アクチュエータ本体における屈曲振動の振動方向を向く面であって、
前記駆動子は、前記設置面との取付面が円柱の側周面状に形成されて、該円柱の軸方向が前記直交方向と一致する状態で該設置面に対して線接触状に取り付けられている請求項5に記載の振動型アクチュエータ。 - 相対移動可能な固定体及び可動体と、
前記固定体及び可動体の間に介設される請求項1に記載の振動型アクチュエータとを備えた駆動装置であって、
前記振動型アクチュエータは、前記駆動子が前記固定体及び可動体の一方に当接する状態で該固定体及び可動体の他方に配設されている駆動装置。 - 前記孔は、前記固定体及び可動体の一方側に開口する凹部であって、
前記駆動子は、前記凹部の開口端縁部を介して前記固定体及び可動体の一方に当接している請求項9に記載の駆動装置。 - 前記減肉部の内部には、吸着部材が配設されている請求項10に記載の駆動装置。
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