JP5152606B2 - 液晶アレイ検査装置および液晶アレイ検査装置の信号処理方法 - Google Patents
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Description
2 ステージ
3 電子銃
4 検出器
5 電子線走査制御部
6 ステージ駆動制御部
7 制御部
10 信号処理部
11 記憶部
12 階調設定部
13 正常値算出部
13a 平均値演算部
13b 標準偏差演算部
13c 比較部
13d 正常値設定切替部
13e 正常値演算部
13e1 総和算出部
13e2 移動平均演算部
13e3 正常値設定部
13e4 領域記憶部
13f 正常値記憶部
14 基準値算出部
15 階調算出部
16 ピクセル階調値記憶部
17 階調値算出部
20 欠陥判定部
100 液晶基板
101 パネル
102 ピクセル
μp=Σi n(xi)
の式で表される。
σp2=Σi n(xi−μp) 2
の式で表される。上記平均値と標準偏差の式において、nはパネルが含むピクセルの個数である(S11)。
μi=((m-1)/n)・N+xi)/m
で表される。ここで、mは対象ピクセルに対する移動平均処理を行う際に用いるピクセルの個数である。
Claims (6)
- 液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を検出し、前記二次電子の検出強度に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置の信号処理方法であって、
正常な駆動状態のピクセルの検出強度を正常値とし、非駆動状態のピクセルの検出強度を基準値として、ピクセルの検出強度の階調を設定する階調設定工程と、
前記階調に従って各ピクセルから検出される検出強度に対応する階調値を算出する階調値算出工程と、
前記階調値と閾値とを比較することによって欠陥判定を行う欠陥判定工程とを備え、
前記階調設定工程は前記正常値を算出する正常値算出工程を有し、
前記正常値算出工程は、
全ピクセルを含むパネル全体の平均値と標準偏差を算出し、
各ピクセルの検出強度を、前記平均値と前記標準偏差で定められる正常範囲と比較し、
各ピクセルの検出強度が前記正常範囲内であるときには、当該ピクセルの近傍の複数のピクセルの検出強度の移動平均処理で得られる算出値を当該ピクセルの正常値とし、
各ピクセルの検出強度が前記正常範囲外であるときには、隣接するピクセルで算出した正常値を当該ピクセルの正常値とすることを特徴とする、液晶アレイ検査装置の信号処理方法。 - 前記移動平均処理による正常値の算出は、
パネル上に設定した任意の領域において、当該領域に含まれるピクセルの検出強度の総和値を求め、
前記領域内の各ピクセルについて、前記総和値に重み付けした値に当該ピクセルの検出強度を加算した値を当該ピクセルの正常値として算出することを特徴とする、請求項1に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。 - 前記移動平均処理において前記総和値に付する重み付けは(m−1)/nとし、mは移動平均処理に用いるピクセルの個数であり、nは前記総和値の算出に用いたピクセルの個数であることを特徴とする、請求項2に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。
- 液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を検出し、前記二次電子の検出強度に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置であって、
前記検出強度を信号処理する信号処理部を備え、
前記信号処理部は、
正常な駆動状態のピクセルの検出強度を正常値とし、非駆動状態のピクセルの検出強度を基準値として、ピクセルの検出強度の階調を設定する階調設定部と、
前記階調設定部で設定した階調に基づいて各ピクセルから検出される検出強度に対応する階調値を算出する階調値算出部と、
前記階調値と閾値とを比較することによって欠陥判定を行う欠陥判定部とを備え、
前記階調設定部は前記正常値を算出する正常値算出部を有し、
前記正常値算出部は、
全ピクセルを含むパネル全体の平均値を算出する平均値演算部と、
全ピクセルを含むパネル全体の標準偏差を算出する標準偏差演算部と、
各ピクセルの検出強度を、前記平均値と前記標準偏差で定められる正常範囲と比較する比較部と、
前記比較部の比較結果に基づいて正常値の演算を切り換える正常値設定切替部と、
正常値を演算する正常値演算部とを備え、
正常値設定切替部は、前記比較部の比較結果に基づいて、各ピクセルの検出強度が前記正常範囲内であるときには、前記正常値演算部に当該ピクセルの近傍の複数のピクセルの検出強度の移動平均処理を指示し、当該移動平均処理で得られる算出値を当該ピクセルの正常値とし、各ピクセルの検出強度が前記正常範囲外であるときには、隣接するピクセルで算出した正常値を当該ピクセルの正常値とすることを特徴とする、液晶アレイ検査装置。 - 前記正常値演算部は、
パネル上に設定した任意の領域に含まれるピクセルの検出強度の総和値を算出する総和算出部と、
前記領域内の各ピクセルについて、前記総和値に重み付けした値に当該ピクセルの検出強度を加算した値を算出して、検出強度の移動平均値を算出する移動平均演算部とを備えることを特徴とする、請求項4に記載の液晶アレイ検査装置。 - 前記移動平均演算部において、前記総和値に付する重み付けは(m−1)/nとし、mは移動平均処理に用いるピクセルの個数であり、nは前記総和値の算出に用いたピクセルの個数であることを特徴とする、請求項5に記載の液晶アレイ検査装置。
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