JP5126185B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
溶液を貯蔵する溶液タンクと、
前記溶液に圧力を加える加圧部と、
前記溶液タンクから前記溶液が供給されて、前記溶液を対象物の塗布領域に、設定された塗幅で吐出して、前記塗幅内を前記溶液で塗りつぶす吐出部と、を備え、
前記吐出部は、
前記溶液タンクから供給された前記溶液が充填される容器をなすヘッドシリンダと、
前記ヘッドシリンダの一端側に取り付けられ、前記溶液を吐出する複数のノズル孔が一の方向に沿って配列され、前記加圧部から加えられた前記圧力に応じて前記溶液を前記各ノズル孔から連続して吐出するノズルプレートと、
前記ヘッドシリンダの一端側に取り付けられる前記ノズルプレートを、前記複数のノズル孔の配列の両端の2つの前記ノズル孔の中心点間の間隔が第1の間隔を有する第1のノズルプレートから、前記間隔が前記第1の間隔と異なる第2の間隔を有する第2のノズルプレートに交換して、前記塗幅を変更設定するノズルプレート交換機構と、
を備えることを特徴とする。
前記塗幅は、前記対象物に対する前記吐出部の移動方向に直交する方向の前記複数のノズル孔の配列の両端の2つの前記ノズル孔の中心点間の間隔および該各ノズル孔の直径に対応して設定されてもよい。
前記ノズルプレートにおける前記複数のノズル孔は、前記中心線の前記ノズルプレートの上面に垂直な方向に対する傾斜角度が相互に異なる第1のノズル孔と第2のノズル孔とを含むものであってもよい。
本実施形態では、ボトムエミッション型の有機EL素子を用いたアクティブ駆動方式の発光装置を例に挙げて説明する。ボトムエミッション型の有機EL素子は、有機EL素子の光を有機EL素子が形成された基板を介して外部に出射する構造を有するものである。尚、本実施形態の発光装置は表示装置としても用いられる。
(実施形態1)
発光装置10は、図1に示すようなデジタルカメラ、図2に示すようなコンピュータ、図3に示すような携帯電話、図4に示すような大画面テレビ等の電子機器に組み込まれる。
また、画素回路11(i,j)は3つ以上のトランジスタを備えたものであってもよい。
ノズルプリンティング方式の塗布装置は、図9に示すように、概略、ノズル孔(吐出孔)を有するノズルヘッド部(吐出部)78を有する。そして、ノズルプリンティング方式の塗布装置は、有機化合物含有液である溶液51をノズル孔から吐出し、基板31上でノズルヘッド部78を、基板31に対して相対的に移動させることで、基板31上に塗布する。
供給管72は、溶液タンク71に貯留された溶液をノズルヘッド部78へと導くものであり、フレキシブルな材料で形成される。
ステージ76は、基板31を固定するものであり、図9中のY方向(これを副走査方向とする)に移動可能なものである。この副走査方向は基板31の行方向に対応する。
w21(0)=W2+R2 ・・・(1)
w31(0)=W3+R3 ・・・(2)
実施形態2に係る塗布装置は、上記の実施形態1の塗布装置に対して、更に、多連ノズルプレートを回転させる回転機構部を備えるようにしたものである。
w21(30)=w21(0)×4/5 ・・・(3)
w21(60)=w21(0)×3/5 ・・・(4)
w21(90)=R2 ・・・(5)
w31(30)=w31(0)×4/5 ・・・(6)
w31(60)=w31(0)×3/5 ・・・(7)
w31(90)=R3 ・・・(8)
例えば、上記実施形態1では、複数のノズルは、同じノズル径を有しているものとして説明した。しかし、図20(a),(b)に示すように、3連ノズルプレートNp3は、1系統の液圧系において、異なるノズル径を有する複数のノズルを配置したものであってもよい。
Claims (7)
- 溶液を貯蔵する溶液タンクと、
前記溶液に圧力を加える加圧部と、
前記溶液タンクから前記溶液が供給されて、前記溶液を対象物の塗布領域に、設定された塗幅で吐出して、前記塗幅内を前記溶液で塗りつぶす吐出部と、を備え、
前記吐出部は、
前記溶液タンクから供給された前記溶液が充填される容器をなすヘッドシリンダと、
前記ヘッドシリンダの一端側に取り付けられ、前記溶液を吐出する複数のノズル孔が一の方向に沿って配列され、前記加圧部から加えられた前記圧力に応じて前記溶液を前記各ノズル孔から連続して吐出するノズルプレートと、
前記ヘッドシリンダの一端側に取り付けられる前記ノズルプレートを、前記複数のノズル孔の配列の両端の2つの前記ノズル孔の中心点間の間隔が第1の間隔を有する第1のノズルプレートから、前記間隔が前記第1の間隔と異なる第2の間隔を有する第2のノズルプレートに交換して、前記塗幅を変更設定するノズルプレート交換機構と、
を備えることを特徴とする塗布装置。 - 前記対象物に対して前記吐出部を相対的に移動させるノズル移動部を有し、
前記塗幅は、前記対象物に対する前記吐出部の移動方向に直交する方向の前記複数のノズル孔の配列の両端の2つの前記ノズル孔の中心点間の間隔および該各ノズル孔の直径に対応して設定されることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記ノズルプレートにおける前記複数のノズル孔の配列方向の、前記対象物に対する前記吐出部の移動方向に対する回転角度を変更可能とする回転機構部を備えることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記回転機構部による前記回転角度は、前記塗幅が、前記吐出部の前記対象物に対する移動方向に直交する方向の前記塗布領域の幅に応じた値となる角度に設定されることを特徴とする請求項3に記載の塗布装置。
- 前記ノズルプレートにおける前記複数のノズル孔は、直径が相互に異なる第1のノズル孔と第2のノズル孔とを含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の塗布装置。
- 前記ノズルプレートにおける前記複数のノズル孔は、前記溶液を吐出する吐出方向の中心線が前記ノズルプレートの上面に垂直な方向に対して傾斜したノズル孔を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の塗布装置。
- 前記ノズルプレートにおける前記複数のノズル孔は、前記中心線の前記ノズルプレートの上面に垂直な方向に対する傾斜角度が相互に異なる第1のノズル孔と第2のノズル孔とを含むことを特徴とする請求項6に記載の塗布装置。
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