JP5113534B2

JP5113534B2 - 部品実装方法

Info

Publication number: JP5113534B2
Application number: JP2008000664A
Authority: JP
Inventors: 剛志高松
Original assignee: Juki Corp
Current assignee: Juki Corp
Priority date: 2008-01-07
Filing date: 2008-01-07
Publication date: 2013-01-09
Anticipated expiration: 2028-01-07
Also published as: JP2009164347A

Description

本発明は、吸着ノズルによって部品を吸着して基板に部品を実装する部品実装方法に関し、詳しくは、部品搭載時に吸着ノズルを押し込んで部品を基板に押し付けている間、部品を基板に押し付ける荷重値の制御を適切に行うことができる部品実装方法に関する。

図６は従来の一般的な部品実装装置の全体構成を模式的に示す平面図であり、図７は該部品実装装置の搭載ヘッドを模式的に示す正面図であり、図８は該搭載ヘッドに取り付ける吸着ノズルを示す正面図である。

この従来の一般的な部品実装装置１００は、図６に示すように、搭載ヘッド１０２と、搭載ヘッド１０２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構１０４と、Ｘ軸移動機構１０４とともに搭載ヘッド１０２をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構１０６と、搭載する部品を供給する部品供給部１０８と、部品が搭載される基板１を搬送する搬送部１１０と、基板１を固定して基板１の位置決めを行う固定ステーション１１２と、吸着ノズル１２２に吸着された部品を下方から撮像して吸着された部品の姿勢を認識する部品認識カメラ１１４と、を主要な構成要素としている。

前記搭載ヘッド１０２は、図７に示すように、部品を吸着する吸着ノズル１２２と、吸着ノズル１２２を先端に装着できるシャフト１２４と、シャフト１２４を上下方向に昇降させるＺ軸モータ１２６と、基板１の基板認識マーク１Ａを上方から撮像して基板１の位置を認識する基板認識カメラ１２８と、を有してなる。

前記吸着ノズル１２２は、図８に示すように、ノズル本体１２２Ａと、該本体１２２Ａの内部に摺動可能なスライダ部１２２Ｂと、その先端に位置する吸着端部１２２Ｃと、ノズル本体１２２Ａと吸着端部１２２Ｃとの間に弾性力を付与するためのばね１２２Ｄ（断面を示す）と、を有する。吸着ノズル１２２は、ばね１２２Ｄを有することにより、押し込み量に応じて、吸着した部品を基板に押し付ける荷重（以下、押し付け荷重と記すことがある）を変化させることができる。

この種の吸着ノズル１２２は、構造が比較的簡単であるにも拘わらず、ばねの弾性係数を基に予め計算される荷重値を目標実装荷重として設定することにより、実装時の荷重を目標値に制御し易いという利点がある。

次に、部品実装装置１００の動作について説明する。

部品供給部１０８で吸着ノズル１２２により部品を吸着した搭載ヘッド１０２は、吸着した部品が基板１の搭載点の真上に位置するように、Ｘ軸移動機構１０４とＹ軸移動機構１０６とにより水平方向（ＸＹ方向）に移動する。この移動に際しては、基板認識カメラ１２４によって基板１の位置を認識した結果と、部品認識カメラ１１４によって吸着された部品の状態を認識した結果とに基づき、目標とする移動位置の修正がなされる。また、吸着ノズル１２２に吸着された部品の向きも、θ軸モータ（図示せず）により吸着ノズル１２２が軸方向に回転することにより修正される。

そして、吸着ノズル１２２がＺ軸モータ１２６の駆動により下降し、吸着した部品を基板１上の接着剤に押し付け、所定時間経過後に吸着を開放して吸着ノズル１２２は上昇する。

ここで、吸着した部品を基板１上の接着剤に押し付ける際の荷重には、部品や接着剤等の特性に応じた最適値がある。このため、該荷重を最適に制御するための技術が提案されている。

例えば特許文献１に記載の技術では、吸着した部品を基板１上の接着剤に押し付ける際の荷重を最適な値に制御するために、吸着ノズル１２２の押し込み量に応じて荷重が変化するように構成された押圧手段を備えた部品実装装置において、吸着ノズル１２２の押し込み量と印加される荷重値との関係をデータテーブルとして予め記憶させておき、その結果から導き出される押し込み量と荷重値との関係から、必要とされる荷重値に相当する押し込み量だけ吸着ノズル１２２を押し込むことで部品へ印加される荷重値を制御する。

特許文献１に記載の技術では、部品を基板１に押し付ける時間については記載されていないが、通常、必要とされる荷重値で必要な時間だけ吸着ノズル１２２を押し込んだ後、部品を吸着している吸着ノズル１２２の吸着を開放して、部品の搭載を行う。

特開２００５−１６６９４４号公報

図１は、前記部品実装装置１００を用いて基板１に部品Ｐの搭載を行う場合、部品Ｐを吸着する真空を開放する前後において、部品Ｐが吸着ノズル１２２により基板１に押し付けられる荷重がどのように変動するかを、吸着ノズル１２２の状態と対応させて模式的に表した図である。

ａ点において、吸着ノズル１２２に吸着された部品Ｐは基板１と接触し、ａ点〜ｂ点において、シャフト１２４の下降に伴って、部品が吸着ノズル１２２により基板１に押し付けられる荷重が上昇する。ｂ点〜ｃ点ではｂ点での位置のままシャフト１２４は動きを停止し、所定の時間（ｂ点からｃ点までの時間）、一定の荷重で部品が基板１に押し付けられる。

ここで、ａ点よりも前の段階（シャフト１２４が下降して部品が基板１と接触するよりも前の段階）においても、吸着ノズル１２２に部品が吸着された段階で、部品を吸着する力によってばね１２２Ｄは縮み、ばね１２２Ｄにはばねエネルギーが蓄えられる。部品を吸着する力は、吸着ノズル１２２の口径が大きくなるほど大きくなる。

ｃ点において、部品を吸着する真空が開放されると、真空による吸着力によってばね１２２Ｄが縮んで蓄えられていたばねエネルギー（バネを縮める方向に働いていた真空による部品吸着力）が開放されて、部品はさらに基板に押し付けられる。このとき、ばねエネルギー（バネを縮める方向に働いていた真空による部品吸着力）の開放は短時間の間になされるので、部品をさらに基板１に押し付ける力は衝撃的な力として作用し、ｃ点〜ｄ点の間の曲線に示すように、一時的に大きな力で部品は基板１に押し付けられる。

吸着力の開放による衝撃的な力の作用が終了すると、ｄ点〜ｅ点におけるように、ｂ点〜ｃ点におけるときよりも、真空による部品吸着力の大きさの分だけ大きな力で部品は基板１に押し付けられる。ｅ点でシャフト１２４は上昇を開始し、シャフト１２４の上昇とともに、ばね１２２Ｄの圧縮量は減少していき、部品が基板１に押し付けられる力は減少していく。ｆ点で吸着ノズル１２２の先端（吸着端部１２２Ｃ）が部品から離れ、部品が基板１に押し付けられる力は零になる。

特許文献１に記載の技術でも、部品を吸着している真空を開放するまでは、吸着ノズルの押し込み量と印加される荷重値との関係に従って、所定の荷重値（図１のｂ点〜ｃ点における荷重値）を部品に印加することができる。

しかしながら、図１を用いて説明したように、部品を吸着している真空を開放すると、それと同時に、バネを縮める方向に働いていた真空による部品吸着力も開放されてしまうため、特許文献１に記載の技術では、一瞬ではあるが衝撃的な荷重が作用し、所定の荷重値を超える荷重が部品に印加されてしまうことがある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、部品搭載時に吸着ノズルを押し込んで部品を基板に押し付けている間、部品を基板に押し付ける荷重値の制御を適切に行うことができる部品実装方法を提供することを課題とする。

本発明に係る部品実装方法は、押し込み量に応じて荷重が変化するように構成された吸着ノズルを用いて、部品を吸着し、基板上に該部品を搭載する部品実装方法において、該吸着ノズルを平坦面に押し当てて真空引きをするとともに、該吸着ノズルを所定の押し込み量だけ押し込んで該平坦面に所定の押し付け荷重で押し付け、所定時間経過後に真空を開放し、真空開放後の押し付け荷重の変動についての荷重プロファイルを測定し、該荷重プロファイルに対応する前記吸着ノズルの押し込み量の変化を算出し、該押し込み量の変化に対応する前記吸着ノズルの上下方向の移動についての移動動作プロファイルを作成し、該移動動作プロファイルとは移動方向を反対方向とした前記吸着ノズルの上下方向の移動についての相殺動作プロファイルを作成する予備ステップと、前記作成した相殺動作プロファイルを用いて実際の部品実装を行う実装ステップと、を有し、前記実装ステップでは、吸着した部品を前記吸着ノズルが基板に所定の押し付け荷重で押し付けた状態で真空を開放した後、前記相殺動作プロファイルに基づき前記吸着ノズルを上下動させ、前記吸着ノズルの真空開放後の押し付け荷重の変動を相殺させる部品実装方法であり、真空開放後の前記吸着ノズルの高さ位置が、真空開放前よりも真空引きによる吸着力に相当する前記吸着ノズルの押し込み量だけ高くなるように、真空開放後の前記吸着ノズルの上下動を調整して、真空の開放による衝撃的なばね反力の作用が収まった後の前記吸着ノズルによる押し付け荷重が、真空開放前の前記吸着ノズルによる押し付け荷重と同じになるようにすることを特徴とする。

本発明によれば、吸着ノズルの真空開放後に相殺動作プロファイルに基づき吸着ノズルを上下動させるので、吸着ノズルの真空開放後の押し付け荷重の変動を相殺することができる。

また、真空開放後の吸着ノズルの高さ位置が、真空開放前よりも真空引きによる吸着力に相当する吸着ノズルの押し込み量だけ高くなるように、真空開放後の吸着ノズルの上下動を調整するので、真空の開放による衝撃的なばね反力の作用が収まった後の押し付け荷重が、真空開放前の押し付け荷重と同じになり、真空開放前後で押し付け荷重は一定となる。

以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態について詳細に説明するが、先に説明した従来の一般的な部品実装装置１００と同一の構成については同一の符号を付し、説明は省略する。

図２は、本発明の実施形態に係る部品実装方法の実施に用いる部品実装装置の全体構成を模式的に示す平面図である。

この部品実装装置１０は、図２に示すように、ロードセルユニット１２を備えさせた点が従来の部品実装装置１００と異なる。

ロードセルユニット１２は、部品を吸着した吸着ノズル１２２が部品Ｐを基板１に押し付ける力を測定するロードセル１４と、ロードセル１４を校正する荷重校正装置１６とからなる。

ロードセル１４は、例えば直方体形状であり、下面にひずみゲージ（図示せず）が取り付けられている。そして、一端部が固定されて片持ち梁となっており、他端部の上面の測定面に上方から荷重が加わって全体がたわむと、下面が圧縮される。下面に生じる圧縮ひずみの量を下面に取り付けたひずみゲージで測定することにより、上方から加えられる荷重を測定できるようになっている。測定面は、吸着ノズル１２２を押し当てて真空引きができるような平坦面となっている。

本実施形態に係る部品実装方法では、実際の部品実装を行う前に、以上説明した部品実装装置１０を用いて、部品を吸着していない状態で、以下の荷重プロファイルを測定する。

図３は、吸着ノズル１２２が押し付ける荷重を時間の経過とともに測定した結果（荷重プロファイル）を吸着ノズル１２２の状態と対応させて模式的に示す図である。

この測定の際には、まず、ロードセル１４の測定面の真上の位置に、吸着ノズル１２２を移動させる。次に、シャフト１２４を下降させ、吸着ノズル１２２の先端（吸着端部１２２Ｃ）をロードセル１４の測定面に当接させ（点ｉ）、さらに、当接した高さ位置から所定量ΔＬだけシャフト１２４を下降させる（点ｉｉ）。点ｉから点ｉｉへの移行時には、吸着ノズル１２２の押し込み量は０からΔＬまで増加しており、吸着ノズル１２２がロードセル１４の測定面を押し付ける荷重は０からＰ１に増加する。

点ｉｉの状態でシャフト１２４の高さ位置を所定時間だけ保持した後、真空引きを開始する（点ｉｉｉ）。真空引きによる上方への力（ロードセル１４の測定面を上方へ引き上げる力）により、ばね１２２Ｄの下向きのばね反力の一部が負担されるため、吸着ノズル１２２がロードセル１４の測定面を押し付ける荷重はＰ１からＰ２に減少する（点ｉｖ）。点ｉｉｉから点ｉｖへの移行時には、真空引きによる上方へ引き上げる力が短時間にロードセル１４の測定面に作用するため、衝撃的な力として作用し、吸着ノズル１２２がロードセル１４の測定面を押し付ける荷重は瞬間的に状態Ｄにおける荷重Ｐ２よりも小さくなる。

吸着ノズル１２２がロードセル１４の測定面を押し付ける荷重がＰ２になった状態Ｄで所定時間だけ真空引きを維持した後、真空を開放する（点ｖ）。真空を開放すると、真空引きによりロードセル１４の測定面を上方へ引き上げていた力が零になり、その力に相当するばね１２２Ｄの下向きのばね反力がロードセル１４の測定面に作用するため、吸着ノズル１２２がロードセル１４の測定面を押し付ける荷重はＰ２からＰ１（真空引き開始前において吸着ノズル１２２がロードセル１４の測定面を押し付けていた荷重（点ｉｉ〜点ｉｉｉにおける荷重））に増加する（点ｖｉ）。点ｖから点ｖｉへの移行時には、真空引きによりロードセル１４の測定面を上方へ引き上げていた力は瞬間的に零になり、その力に相当するばね１２２Ｄの下向きのばね反力が衝撃的にロードセル１４の測定面に作用するため、吸着ノズル１２２がロードセル１４の測定面を押し付ける荷重は瞬間的にＰ１よりも大きくなる。

吸着ノズル１２２がロードセル１４の測定面を押し付ける荷重がＰ１になった状態で所定時間だけ保持（点ｖｉ〜点ｖｉｉ）した後、シャフト１２４は上昇を開始する（ｖｉｉ点）。ｖｉｉ点からシャフト１２４が所定量ΔＬ（当初の吸着ノズル１２２の押し込み量）だけ上昇すると、吸着ノズル１２２の先端（吸着端部１２２Ｃ）はロードセル１４の測定面から離れ、吸着ノズル１２２がロードセル１４の測定面を押し付ける荷重は０になる（ｖｉｉｉ点）。

本実施形態に係る部品実装方法では、まず、このような荷重プロファイルを、用いる各吸着ノズルごとに測定して記憶しておき、そして、用いる吸着ノズルについての前記荷重プロファイルに応じて、真空開放直後の吸着ノズル１２２による押し付け荷重の瞬間的な変動（図３の点ｖ〜点ｖｉ）を相殺するようにシャフト１２４を上下動させる。これにより、本実施形態に係る部品実装方法では、部品搭載時において、図１のｃ点〜ｄ点におけるような真空開放直後の荷重の変動を回避することができる。

ここで、押し付け荷重は吸着ノズルの押し込み量に置き換えることができ、また、吸着ノズル１２２の押し込み量はシャフト１２４（吸着ノズル１２２）の上下方向（Ｚ方向）の移動量と一致する。したがって、本実施形態に係る部品実装方法では、具体的には、図４に示すフローチャートの手順により動作を行う。

まず、真空開放前後の吸着ノズル１２２による押し付け荷重の変動の状況（荷重プロファイル）を測定して記憶する（ステップＳ１）。次に、真空開放直後の荷重プロファイルに対応する吸着ノズル１２２の押し込み量の変化を、ばね１２２Ｄにおける荷重と変位の関係から算出し（ステップＳ２）、そのような押し込み量の変化をもたらすシャフト１２４（吸着ノズル１２２）の上下方向（Ｚ方向）の移動動作プロファイルを作成する（ステップＳ３）。そして、作成した移動動作プロファイルとは移動方向を反対方向とした、シャフト１２４（吸着ノズル１２２）の上下方向（Ｚ方向）の相殺動作プロファイルを作成する（ステップＳ４）。ステップＳ１〜Ｓ４は、実際の部品搭載動作を行う前に予め行っておく必要があり、いわば予備ステップというべきものである。

ステップＳ１〜Ｓ４により、相殺動作プロファイルを作成した後、実際に部品実装を行う実装ステップに入る。実装ステップにおいては、まず、吸着ノズル１２２が部品Ｐを吸着し、吸着した部品Ｐを基板１上の所定の位置に所定の押し付け荷重で押し付ける（ステップＳ５）。そして、所定時間経過後、吸着した部品Ｐを基板１に押し付けた状態で真空を開放し、前記相殺動作プロファイルに基づきシャフト１２４（吸着ノズル１２２）を上下動させる（ステップＳ６）。これにより、吸着ノズル１２２の真空開放後の押し付け荷重の変動が相殺され、吸着ノズル１２２による押し付け荷重を一定とすることができる。

吸着ノズル１２２が真空を開放してから所定時間が経過した後、シャフト１２４（吸着ノズル１２２）は上昇する（ステップＳ７）。全ての部品の搭載が終了したかどうかを判断し（ステップＳ８）、全ての部品の搭載が終了したら、一連の部品実装を終了する。

また、従来技術では、真空開放前の押し付け荷重（図１のｂ点〜ｃ点）よりも、真空開放後の押し付け荷重（図１のｄ点〜ｅ点）の方が、真空による部品吸着力の分だけ大きくなるが、部品を基板上の接着剤に押し付ける力は一定である方が好ましいので、本実施形態に係る部品実装方法において、真空による部品吸着力に相当する分の押し付け荷重も相殺するように、シャフト１２４を上下動させてもよい。

具体的には、図３におけるＰ１とＰ２との差分が真空による部品吸着力に相当するので、Ｐ１とＰ２との差分に相当する吸着ノズル１２２の押し込み量を、ばね１２２Ｄにおける荷重と変位の関係から算出しておく。そして、真空開放後のシャフト１２４（吸着ノズル１２２）の高さ位置が、Ｐ１とＰ２との差分に相当する吸着ノズル１２２の押し込み量だけ、真空開放前のシャフト１２４（吸着ノズル１２２）の高さ位置よりも高くなるように、シャフト１２４（吸着ノズル１２２）の上下動を調整する。

このようにすることで、真空の開放による衝撃的なばね反力の作用が収まった後の押し付け荷重が、真空開放前の押し付け荷重と同じになり、真空開放前後で押し付け荷重は一定となる。

以上説明したように、本実施形態に係る部品実装方法では、真空の開放直後の吸着ノズル１２２による押し付け荷重の瞬間的な変動を相殺するように、真空開放後にシャフト１２４を上下動させる。さらに、真空開放後の押し付け荷重の上昇（真空による部品吸着力の分だけの上昇）も相殺するように、シャフト１２４の上下動を調整してもよい。

図５は、本実施形態に係る部品実装方法を用いて基板１に部品Ｐの搭載を行う場合、部品Ｐを吸着する真空を開放する前後において、部品Ｐが吸着ノズル１２２により基板１に押し付けられる荷重がどのように変動するかを、吸着ノズル１２２の状態と対応させて模式的に表した図である。図５では図示の都合上、真空開放後から所定時間内（Ｃ点〜Ｄ点）については、他の部分よりも単位時間当たりの横軸の長さを長くしている。また、真空開放後の押し付け荷重の上昇（真空による部品吸着力の分だけの上昇）も相殺するように、シャフト１２４の上下動を調整している。

図５に示すように、吸着ノズル１２２（シャフト１２４）の上下方向（Ｚ方向）の動きは、まず、基板１上の部品搭載点で下降し（状態（１））、吸着ノズル１２２が吸着した部品Ｐが基板１と接触する（状態（２）、点Ａ）。そして、さらに所定量下降し、部品Ｐを基板１に押し付ける荷重がＱ１に上昇する（状態（３）、点Ｂ）。その高さ位置で、所定時間、吸着ノズル１２２（シャフト１２４）は位置を保持し、部品Ｐを基板１に押し付け荷重Ｑ１で押し付け続け（状態（３）〜（４）、点Ｂ〜点Ｃ）、その後、真空を開放する（状態（４）、点Ｃ）。

真空開放直後に、吸着ノズル１２２（シャフト１２４）をわずかに上昇させ（状態（４）〜（７））、そして次には、その上昇量よりも小さい量だけ下降させる（状態（７）〜（１１））。そして、その位置をわずかな時間だけ保ち（状態（１１）〜（１２））、その後、吸着ノズル１２２（シャフト１２４）を上方に大きく上昇させていく。これにより、吸着ノズル１２２の先端（吸着端部１２２Ｃ）は部品Ｐから離れ（状態（１３）、点Ｆ）、基板１上に部品Ｐを搭載したまま、吸着ノズル１２２（シャフト１２４）はさらに上方へと上昇していく（状態（１４））。

本実施形態に係る部品実装方法では、以上説明したような動きを吸着ノズル１２２（シャフト１２４）にさせるので、図５の実線で示すように、真空開放後、部品に加わる吸着ノズル１２２からの押し付け荷重は一定となる（点Ｃ〜点Ｄ）。なお、図５における破線は、従来のように、真空開放後の所定時間の間、吸着ノズル１２２（シャフト１２４）の高さ位置を固定した場合の押し付け荷重の変動を示している（点Ｃ〜点Ｄ₁〜点Ｄ₂）。

以上説明した実施形態では、図３に示す荷重プロファイル、即ち、吸着ノズル１２２に部品を吸着させないで、吸着ノズル１２２を直接ロードセル１４の接触面に押し付けて真空引きおよびその開放をして測定した荷重プロファイルに基づいて、真空開放後の吸着ノズル１２２（シャフト１２４）の上下方向（Ｚ方向）の動きを決定したが、搭載する部品の表面状態や大きさ等の条件が大きく変動しない場合には、吸着ノズル１２２に部品を吸着させて行って測定した荷重プロファイルを採用してもよく、この荷重プロファイルを採用した方が、真空開放後に部品に加わる吸着ノズル１２２からの押し付け荷重をより安定的に一定とすることができる場合もある。

従来技術を用いた場合における、真空開放前後の荷重変動の様子を、吸着ノズルの状態と対応させて模式的に表した図本発明の実施形態に係る部品実装方法の実施に用いる部品実装装置の全体構成を模式的に示す平面図吸着ノズルが押し付ける荷重を時間の経過とともに測定した結果（荷重プロファイル）を吸着ノズルの状態と対応させて模式的に示す図本発明の実施形態に係る部品実装方法の動作手順を示すフローチャート本発明の実施形態に係る部品実装方法を用いた場合における、真空開放前後の荷重変動の様子を、吸着ノズルの状態と対応させて模式的に表した図従来の部品実装装置の全体構成を模式的に示す平面図従来の部品実装装置の搭載ヘッドを模式的に示す正面図従来の部品実装装置の搭載ヘッドに取り付ける吸着ノズルを示す正面図

符号の説明

１…基板
１Ａ…基板認識マーク
１０、１００…部品実装装置
１２…ロードセルユニット
１４…ロードセル
１６…荷重校正装置
１０２…搭載ヘッド
１０４…Ｘ軸移動機構
１０６…Ｙ軸移動機構
１０８…部品供給部
１１０…搬送部
１１２…固定ステーション
１１４…部品認識カメラ
１２２…吸着ノズル
１２２Ａ…ノズル本体
１２２Ｂ…スライダ部
１２２Ｃ…吸着端部
１２２Ｄ…ばね
１２４…シャフト
１２６…Ｚ軸モータ
１２８…基板認識カメラ
Ｐ…部品
Ｐ１、Ｐ２、Ｑ１…荷重

Claims

押し込み量に応じて荷重が変化するように構成された吸着ノズルを用いて、部品を吸着し、基板上に該部品を搭載する部品実装方法において、
該吸着ノズルを平坦面に押し当てて真空引きをするとともに、該吸着ノズルを所定の押し込み量だけ押し込んで該平坦面に所定の押し付け荷重で押し付け、所定時間経過後に真空を開放し、真空開放後の押し付け荷重の変動についての荷重プロファイルを測定し、該荷重プロファイルに対応する前記吸着ノズルの押し込み量の変化を算出し、該押し込み量の変化に対応する前記吸着ノズルの上下方向の移動についての移動動作プロファイルを作成し、該移動動作プロファイルとは移動方向を反対方向とした前記吸着ノズルの上下方向の移動についての相殺動作プロファイルを作成する予備ステップと、
前記作成した相殺動作プロファイルを用いて実際の部品実装を行う実装ステップと、
を有し、
前記実装ステップでは、吸着した部品を前記吸着ノズルが基板に所定の押し付け荷重で押し付けた状態で真空を開放した後、前記相殺動作プロファイルに基づき前記吸着ノズルを上下動させ、前記吸着ノズルの真空開放後の押し付け荷重の変動を相殺させる部品実装方法であり、
真空開放後の前記吸着ノズルの高さ位置が、真空開放前よりも真空引きによる吸着力に相当する前記吸着ノズルの押し込み量だけ高くなるように、真空開放後の前記吸着ノズルの上下動を調整して、真空の開放による衝撃的なばね反力の作用が収まった後の前記吸着ノズルによる押し付け荷重が、真空開放前の前記吸着ノズルによる押し付け荷重と同じになるようにすることを特徴とする部品実装方法。