JP5107594B2 - ピストン真空ポンプのシリンダ/ピストン装置用シール装置 - Google Patents
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Description
従来技術に対して、本発明は、L形シール要素に追加して案内要素を使用し、案内要素は、シール要素の、圧縮室から離れた側に配置されている。この案内要素は、シール要素から機械荷重を受け取り、機械荷重は、特に周期的直線運動に重ね合わされた振り子運動により発生し、しかも反転点において特に顕著である。荷重が低減されることにより、シール要素の寿命は増大する。同時に、シリンダ/ピストン装置の騒音発生に対する有利な効果がみられる。
ピストン真空ポンプ内の構造に対して、ピストンの反対側端部に第2のL形シール要素を配置することは有利であり、その理由は、これにより全体装置の気密性が向上されるからである。さらに、ピストンの案内が改善され、摩耗および騒音発生が低下する。圧縮室と第2のシール要素との間に設けた第2の案内要素は、シール要素の荷重を軽減し且つさらに改善されたピストン案内を提供し、したがって、このときには著しい騒音の発生はない。
ピストン案内を、ピストンとシール要素自由脚との間に配置されている減衰要素と組み合わせることは、さらに、明らかに低減されたシリンダ/ピストン装置の騒音発生を可能にする。
一方でピストン真空ポンプの機能を改善し、他方で案内を改善するために、圧縮室から離れたピストン端部に、第2のシール装置が鏡像対称に配置されている。第2のシール装置もまた案内要素21およびL形シール要素20を有している。
2a ピストン胴
2b ピストン蓋
2c ピストン底
3、20 シール要素
4、21 案内要素
5 圧縮室
6 減衰要素
7 スペーサ
10 開口
11 ガス出口
12 弁蓋
13 弁ばね
14 弁座
15 ハウジング
25 単一部品
26、27、28 脚
31 連接棒
32 ピストン・ピン・アイ
33 ピストン・ピン
34 フライス切削面
D シール要素直径
F 案内要素直径
L 直線運動
T ふらつき運動
Z シリンダ内径
Claims (8)
- シリンダ内壁と、およびシリンダ(1)内に移動可能に支持されたピストン(2a、2b、2c)との間を、L形に形成された少なくとも1つのリング状シール要素(3)を用いてシールするための、ピストン真空ポンプのシリンダ/ピストン装置用シール装置であって、この場合、前記L形シール要素の片方の脚が静的シールのためにピストンに固定支持され、およびシール要素の他方の自由脚が動的にシールするようにシリンダ内壁に当接している、前記ピストン真空ポンプのシリンダ/ピストン装置用シール装置において、
ピストンとシリンダとの間における、シール要素の、圧縮室(5)から離れた側において、ピストンにリング状案内要素(4)が配置されており、
圧縮室(5)から離れた側のピストン(2a、2b、2c)端部に、L形断面を有する第2のリング状シール(20)が配置され、この場合、L形の片方の脚が自由であり且つ圧縮室から離れる方向に配置されており、圧縮室(5)と第2のシール(20)との間においてピストン(2a、2b、2c)に、第2のリング状案内要素(21)が、ピストンとシリンダ内壁との間に配置されていることを特徴とするピストン真空ポンプのシリンダ/ピストン装置用シール装置。 - 案内要素(4)が多脚断面を有し、および片方の脚が(案内要素の軸方向位置を確保するために)ピストン(2a、2b、2c)に固定されていることを特徴とする請求項1のシール装置。
- ピストン(2a、2b、2c)とL形シール要素自由脚との間に、減衰要素(6)が配置されていることを特徴とする請求項1または2のシール装置。
- 減衰要素(6)が円形溝内に配置され、円形溝が少なくとも1つのフライス切削面(34)を有することを特徴とする請求項3のシール装置。
- 案内要素(4)の剛性は、一方でL形シール要素の剛性より高いが、他方で弾性ばね機能を保証するのに十分に小さいことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかのシール装置。
- 案内要素(4)の直径Fがシリンダ(1)の内径Zより小さいことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかのシール装置。
- シール要素(3)と案内要素(4)との間にリング状スペーサ(7)が配置されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかのシール装置。
- シール要素(3)および案内要素(4)が単一部品(25)に統合されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかのシール装置。
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