DE102006012532A1 - Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe - Google Patents

Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe Download PDF

Info

Publication number
DE102006012532A1
DE102006012532A1 DE102006012532A DE102006012532A DE102006012532A1 DE 102006012532 A1 DE102006012532 A1 DE 102006012532A1 DE 102006012532 A DE102006012532 A DE 102006012532A DE 102006012532 A DE102006012532 A DE 102006012532A DE 102006012532 A1 DE102006012532 A1 DE 102006012532A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
piston
sealing
cylinder
arrangement according
sealing arrangement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102006012532A
Other languages
English (en)
Inventor
Thomas Cromm
Ronald Dr. Sachs
Stefan Dr. Zabeschek
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority to DE102006012532A priority Critical patent/DE102006012532A1/de
Priority to DE502007000351T priority patent/DE502007000351D1/de
Priority to EP07003705A priority patent/EP1835178B1/de
Priority to AT07003705T priority patent/ATE420288T1/de
Priority to JP2007057487A priority patent/JP5107594B2/ja
Priority to US11/725,044 priority patent/US7669516B2/en
Publication of DE102006012532A1 publication Critical patent/DE102006012532A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F04B39/0005Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00 adaptations of pistons
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/14Pistons, piston-rods or piston-rod connections
    • F04B53/143Sealing provided on the piston

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Compressor (AREA)
  • Pistons, Piston Rings, And Cylinders (AREA)

Abstract

Die Erfindung stellt eine Dichtungsanordnung für ein Zylinder-Kolben-System einer Hubkolbenvakuumpumpe zum Abdichten zwischen einer Zylinderinnenwand und einem in dem Zylinder (1) verschiebbar gelagerten Kolben (2a, 2b, 2c) vor. Um die Lebensdauer des L-förmigen Dichtungselements (3) zu erhöhen und die Geräuschentwicklung zu reduzieren wird vorgeschlagen, am Kolben ein ringförmiges Führungselement (4) zwischen Kolben und Zylinder auf der von einem Kompressionsraum (5) abgewandten Seite des Dichtungselements anzuordnen.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Dichtungsanordnung für ein Zylinder-Kolben-System einer Hubkolbenvakuumpumpe nach dem Oberbegriff des ersten Anspruchs.
  • Hubkolbenvakuumpumpen sind seit einigen Jahren als sogenannte „trockene Vorvakuumpumpen" erfolgreich im Einsatz. Sie finden überall dort Anwendung, wo frei von Arbeitsfluid, beispielsweise Öl, ein Vorvakuum erzeugt werden muss, d.h. die Rückströmung von Arbeitsfluid in den Rezipienten nicht toleriert werden kann. Kolbenvakuumpumpen besitzen einen oder mehrere Zylinder, in denen jeweils ein Kolben eine oszillierende Bewegung ausführt, mit der der Kompressionsraum periodisch vergrößert und verkleinert wird. In dem Zeitraum, in dem der Kompressionsraum verkleinert wird, wird Gas verdichtet und am Ende der Bewegung ausgestoßen.
  • Wichtig für die Funktion einer trockenen Kolbenvakuumpumpe ist die Abdichtung zwischen Kolben und Innenwand des Zylinders. Bewährt hat sich als Dichtung ein L-förmiges Dichtelement, wie es in der DE-OS 103 37 298 beschrieben ist. Bei diesem Dichtelement ist ein Schenkel des L im Kolben fixiert, während der andere Schenkel leicht gegenüber der Kolbenachse geneigt ist und mit seinem Ende die Zylinderinnenwand berührt. Dieses L-förmige Dichtelement ermöglicht eine Konstruktion mit geringem Totraum. Eine geeignete Materialwahl erlaubt den Betrieb der Pumpe frei von Arbeitsfluid.
  • Bei längerem Betrieb stellt man fest, dass das L-förmige Dichtelement hohen Belastungen ausgesetzt sein muss, da ein Verschleiß zu beobachten ist, der den heutigen Anforderungen an die Dauerlaufeigenschaften nicht gerecht wird.
  • Aufgabe ist es daher, eine Dichtungsanordnung für ein Zylinder-Kolben-System einer Kolbenvakuumpumpe vorzustellen, welches die Vorteile des L-förmigen Dichtelements aufweist, den Verschleiß dieses Bauteils aber reduziert.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch die kennzeichnenden Merkmalen des ersten Patentanspruches.
  • Gegenüber dem Stand der Technik benutzt die Erfindung zusätzlich zum L-förmigen Dichtungselement ein Führungselement, welches auf der vom Kompressionsraum abgewandten Seite des Dichtungselements angeordnet ist. Dieses Führungselement nimmt mechanische Belastung vom Dichtungselement, welche insbesondere durch die der periodisch-linearen Bewegung überlagerten Pendelbewegung entsteht und gerade in den Umkehrpunkten besonders ausgeprägt ist. Durch die verminderte Belastung steigt die Lebensdauer des Dichtungselements an. Gleichzeitig beobachtet man eine positive Auswirkung auf die Geräuschentwicklung des Zylinder-Kolben-Systems.
  • Die Merkmale der Ansprüche 2 bis 10 stellen vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung dar.
  • Die Kombination der Kolbenführung mit einem Dämpfungselement, welches zwischen Kolben und freiem Schenkel des Dichtungselements angeordnet ist, bewirkt zudem eine deutlich verminderte Geräuschentwicklung des Zylinder-Kolben-Systems.
  • Eine vorteilhafte Weiterbildung besteht darin, das Dämpfungselement in einer kreisförmigen Nut zu führen, welche mindestens eine Abfräsung aufweist. Hierdurch wird ein Ausdehnungraum geschaffen, in den sich das Dämpfungselement bei Druckbelastung ausdehnen kann. Dies wiederum vermeidet, dass das Dämpfungselement unter Druckbelastung das L-förmige Dichtungselement mit zu starker Kraft gegen die Zylinderwand drückt und so die Reibung örtlich begrenzt hochsetzt.
  • Für den Einsatz in einer Kolbenvakuumpumpe von Vorteil ist die Anordnung eines weiteren L-förmigen Dichtelements am entgegengesetzten Ende des Kolbens, da so die Dichtheit der gesamten Anordnung erhöht wird. Zudem wird die Führung des Kolbens verbessert, Verschleiß und Geräuschentwicklung sinken.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 7 verbessert die durch das Hinzufügen des Führungselements bereits erreichten Vorteile. Ein Führungselement nach Anspruch 6 entlastet das Dichtungselement und sorgt für eine weiter verbesserte Kolbenführung ohne dabei so unnachgiebig zu sein, dass es zu einer merklichen Geräuschbildung kommt.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 8 bewirkt, dass das Führungselement nur dann eingreift, wenn es wirklich notwendig ist. Dies ist der Fall, wenn die durch eine Auslenkung von der Zylinderachse resultierende Belastung für das Dichtungselement durch die Pendelbewegungen zu hoch ist. Bei geringen Belastungen hingegen steht das Führungselement nicht in reibendem Kontakt mit der Zylinderinnnenwandung, so dass ein Abrieb vermieden wird.
  • Eine besonders einfache und günstige Montage, die daher auch einen leichten Wechsel des Bauteils erlaubt, stellt die Maßnahme nach Anspruch 10 dar. Auf diese Weise werden Kostenvorteile durch Material- und Zeitersparnis erreicht.
  • Mit Hilfe der Abbildungen soll die Erfindung an Ausführungsbeispielen näher erläutert und die Vorteile derselben vertieft werden.
  • 1: Nichtmaßstäblicher Querschnitt durch das Zylinder-Kolben-System einer Kolbenvakuumpumpe.
  • 2: Querschnitt durch ein integriertes Bauteil.
  • 3: Schnitt durch Kolbendeckel a) längs der Zylinderachse und b) Stirnschnitt.
  • Die Abbildung zeigt einen nichtmaßstäblichen Schnitt durch das Zylinder-Kolben-System einer Kolbenvakuumpumpe. In einem Gehäuse 15 ist ein Zylinder 1 angeordnet. In diesem führt ein Kolben periodische Bewegungen durch, wodurch ein Kompressionsraum 5 periodisch vergrößert und verkleinert wird. Ein Umkehrpunkt der Bewegung, im folgenden „unterer Umkehrpunkt", ist charakterisiert durch den Gaseinlassvorgang. Dazu ist in der Zylinderwandung eine Öffnung 10 oder eine mit einem Einlasskanal kommunizierende Mehrzahl von Öffnungen vorgesehen. Der andere Umkehrpunkt, im folgenden „oberer Umkehrpunkt", ist charakterisiert durch den Gasauslassvorgang. Dazu wird der Kolben soweit im Zylinder verschoben, dass der Ventildeckel 12 vom Ventilsitz 14 abgehoben wird und die gegenspannende Kraft der Ventilfeder 13 überwindet. Das verdichtete Gas wird dann über den Gasauslass 11 abgeführt.
  • Der Kolben ist im Ausführungsbeispiel dreiteilig aufgebaut und besitzt einen Kolbendeckel 2b, eine Kolbenhülse 2a und einen Kolbenboden 2c. Nicht gezeigt ist das Pleuelsystem, welches mit dem Kolben verbunden ist und seine periodische Bewegung bewirkt.
  • Ein ringförmiges, L-förmiges Dichtungselement mit L-förmigem Querschnitt 3 ist am Kolben angeordnet und dichtet den Spalt zwischen Kolben und der Zylinderinnenwand ab. Ein Schenkel des Dichtungselements ist am Kolben fixiert, während der andere Schenkel frei ist und leicht gegen die Zylinderinnenwand drückt. Da die Kolbenvakuumpumpe als trockene Pumpe ausgeführt ist, ist zwischen Kolben und Zylinder kein Arbeitsfluid vorgesehen. Entsprechend ist die Materialpaarung von Dichtungselement 3 und Zylinder 1 zu wählen, beispielsweise werden Kunststoffe mit PTFE-Bestandteilen für das Dichtungselement verwendet, während für den Zylinder Metalllegierungen zum Einsatz kommen, beispielsweise auf Aluminiumbasis, eventuell beschichtet. Der Kolben führt eine periodische Bewegung durch, die nur theoretisch weitgehend linear ist. In der Praxis zeigen sich auch Pendelbewegungen, die eine Verkippung der Kolbenachse zur Zylinderachse entsprechen. Hierdurch entstehen, insbesondere in den Umkehrpunkten, ungleichmäßige Belastungen des Dichtungselements. Diese gilt es zu verringern, was erfindungsgemäß durch ein Führungselement 4 gelöst wird. Dieses Führungselement ist ringförmig gestaltet und weist im Beispiel einen im wesentlichen zweischenkligen Querschnitt auf. Einer der Schenkel ist im Kolben fixiert, während der andere in den Raum zwischen Zylinderinnenwand und Kolben ragt. Sein Durchmesser F ist kleiner als der Innendurchmesser des Zylinders Z. Der freie Schenkel ist so gestaltet, dass er steifer ist als das Dichtungselement. Hierdurch wird erreicht, dass in einer Pendelbewegung zwar zunächst das Dichtungselement belastet wird. Ist die Auslenkung aber zu stark, berührt das Führungselement die Zylinderinnenwand und die Belastung geht von Dichtungs- auf Führungselement über, bzw. wird auf beide verteilt. Das Steifigkeit des Führungselements ist so bemessen, insbesondere gering genug, dass es noch federnd nachgeben kann. Dies ist wichtig, damit die Pendelbewegung und damit das Anschlagen des Führungselements nicht zu einer merklichen Geräuschbildung führt. Der geringere Durchmesser bewirkt zudem, dass das Führungselement nur dann eingesetzt wird, wenn es gebraucht wird und nicht in der normalen, linearen Bewegung des Kolbens beständigem Verschleiß durch Reiben an der Zylinderinnenwand ausgesetzt ist. Denkbar sind andere Ausgestaltungsformen für das Führungselement, die aber eine äquivalente Wirkung erzielen. So kann statt einem zweischenkligen ein rechteckiger Querschnitt verwendet werden, wobei dieser Ring in einer am Kolben vorgesehenen Nut geführt ist und sich quer zur Kolbenachse, also radial, bewegen kann. Dieser Ring kann dann von einem federnden Element unterstützt sein oder selbst aus einem elastischen Material geformt sein.
  • Ebenfalls zur Geräuschdämpfung dient ein Dämpfungselement 6, welches in diesem Ausführungsbeispiel als Elastomerringe ausgeführt ist. Er verhindert, dass beim Pendeln des Kolbens der freie Schenkel des L-förmigen Dichtungselements an das Kolbenteil 2a gedrückt wird, denn dies würde Geräusche erzeugen. Der Elastomerring wird bei im Falle der Taumelbewegung, bzw. Auslenkung des Kolbens aus der Zylindermitte im Bereich der elastischen Verformung zusammengedrückt. Die dafür verwendete Energie stammt aus der Taumelbewegung, die somit abgedämpft wird.
  • Um die Montage von Dichtungselement und Führungselement zu vereinfachen, ist zwischen diesen ein Abstandshalter 7 eingelegt.
  • Zur Verbesserung der Funktion als Kolbenvakuumpumpe einerseits und zur verbesserten Führung andererseits ist an demjenigen Kolbenende, welches dem Kompressionsraum abgewandt ist, eine zweite Dichtungsanordnung spiegelbildlich angeordnet. Auch sie besitzt ein Führungselement 21 und ein L-förmiges Dichtungselement 20.
  • Vereinfachungen der Dichtungsanordnung sind denkbar. So ist es möglich, ein einstückiges Bauteil zu konstruieren, welches die Funktion von Dichtungselement und Führungselement übernimmt. Solch ein Bauteil ist der zweiten Abbildung gezeigt. Das Bauteil 25 ist ringförmig und besitzt einen dreischenkeligen Querschnitt. Einer dieser Schenkel 28 wirkt als Halteabschnitt, mit dem das Bauteil am Kolben gehalten werden kann. Ein zweiter Schenkel 26 dient als Dichtungselement und besitzt einen maximalen Durchmesser D. Der dritte Schenkel 27 übernimmt die Funktion des Führungselements. Sein maximaler Durchmesser F ist kleiner als der maximale Durchmesser D des Schenkels 26. Dadurch ist gesichert, dass der Schenkel 27 nur bei den Pendelbewegungen in Berührung mit der Zylinderinnenwand gelangt. Die Steifigkeit des Schenkels 26 ist geringer als die des Schenkels 27, wobei dieser weich genug ist, um eine elastisch federnde und dämpfende Wirkung zu besitzen.
  • Eine Verbesserung des Ausführungsbeispiel zeigt die 3. Im oberen Teil a) der Abbildung ist ein Schnitt durch den Kolbendeckel 2b entlang der Kolbenachse gezeigt. In Kolbenbolzenaugen 32 ist ein Kolbenbolzen 33 gehalten, welcher durch das Auge eines Pleuel 31 gesteckt und dort beispielweise durch ein nichtgezeigtes Wälzlager drehbar gelagert ist. In der Abbildung sind oberhalb des Kolbendeckels durch Pfeile die Bewegungen des Kolben angedeutet: Zum einen die ideale, lineare Bewegung L (links) und zum anderen die reale Taumelbewegung T (rechts). Teil b) der Abbildung zeigt den Schnitt entlang der Linie A-A durch den Kolbendeckel. Die kleinen Pfeile deuten die Stellen der Hauptbelastung an, die durch die Taumelbewegung T erzeugt wird. In beiden Abbildungsteilen a) und b) bezeichnet 3 das kreisförmige, L-förmige Dichtungselement und 6 das als Elastomerring ausgeführte Dämpfungselement. Bei Einsetzen der Taumelbewegung wird das L-förmige Dichtelement hauptsächlich an den mit den Pfeilen in Abbildungsteil b) markierten Stellen in Richtung Mitte des Kolbendeckels gedrückt. Dabei berührt es bei entsprechend starker Auslenkung das Dämpfungselement 6, welches im elastischen Bereich verformt wird. Die Verbesserung liegt darin, mindestens eine Ausfräsung 34 entlang des Umfangs der kreisförmigen Nut vorzusehen, in der das Dämpfungselement geführt ist. Diese Ausfräsung schafft einen Raum, in den sich das Dämpfungselement während der Verformung ausdehnen kann. Ohne diesen Raum kann es zu einer Klemmung kommen, d.h. das Dämpfungselement füllt den Spalt zwischen Nutinnerem und L-förmigem Dichtungselement komplett aus und sorgt dadurch für ein hohe Anpressung des Dichtelements an die Zylinderinnenwand. Im Beispiel sind zwei sekantenartige Ausfräsungen gezeigt, die entlang des Umfangs um 90 Grad gegenüber den Hauptbelastungsstellen versetzt sind.

Claims (10)

  1. Dichtungsanordnung für ein Zylinder-Kolben-System einer Hubkolbenvakuumpumpe zum Abdichten zwischen einer Zylinderinnenwand und einem in dem Zylinder (1) verschiebbar gelagerten Kolben (2a, 2b, 2c) mit mindestens einem L-förmig ausgebildeten ringförmigen Dichtungselement (3), wobei ein Schenkel des L-förmigen Dichtungselements zur statischen Abdichtung am Kolben fixiert gelagert ist und der andere, freie Schenkel des Dichtungselements dynamisch abdichtend an der Zylinderinnenwand anliegt, dadurch gekennzeichnet, dass am Kolben ein ringförmiges Führungselement (4) zwischen Kolben und Zylinder auf der von einem Kompressionsraum (5) abgewandten Seite des Dichtungselements angeordnet ist.
  2. Dichtungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Führungselement (4) einen mehrschenkeligen Querschnitt aufweist und ein Schenkel (zur Sicherung der axialen Position des Führungselements) am Kolben (2a, 2b, 2c) befestigt ist.
  3. Dichtungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Kolben (2a, 2b, 2c) und freiem Schenkel des L-förmigen Dichtungselements ein Dämpfungselement (6) angeordnet ist.
  4. Dichtungsanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Dämpfungselement (6) in einer kreisförmigen Nut angeordnet ist, die mindestens eine Abfräsung (34) aufweist.
  5. Dichtungsanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der dem Kompressionsraum (5) abgewandten Seite am Ende des Kolbens (2a, 2b, 2c) eine zweite ringförmige Dichtung (20) mit L-förmigem Querschnitt angeordnet ist, wobei ein Schenkel des L frei und in von dem Kompressionraum abgewandter Richtung orientiert ist.
  6. Dichtungsanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass am Kolben (2a, 2b, 2c) zwischen Kompressionsraum (5) und der zweiten Dichtung (20) ein zweites ringförmiges Führungselement (21) zwischen Kolben und Zylinderinnenwand angeordnet ist.
  7. Dichtungsanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steifigkeit des Führungselements (4) einerseits höher als die des L-förmigen Dichtungselements aber andererseits gering genug ist, eine elastisch federnde Funktion zu gewährleisten.
  8. Dichtungsanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser F des Führungselements (4) kleiner als der innere Durchmesser Z des Zylinders (1) ist.
  9. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Dichtungselement (3) und Führungselement (4) ein ringförmiger Abstandshalter (7) angeordnet ist.
  10. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass Dichtungselement (3) und Führungselement (4) in einem einstückigen Bauteil (25) integriert sind.
DE102006012532A 2006-03-18 2006-03-18 Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe Withdrawn DE102006012532A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006012532A DE102006012532A1 (de) 2006-03-18 2006-03-18 Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe
DE502007000351T DE502007000351D1 (de) 2006-03-18 2007-02-23 Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe
EP07003705A EP1835178B1 (de) 2006-03-18 2007-02-23 Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe
AT07003705T ATE420288T1 (de) 2006-03-18 2007-02-23 Dichtungsanordnung für eine hubkolbenvakuumpumpe
JP2007057487A JP5107594B2 (ja) 2006-03-18 2007-03-07 ピストン真空ポンプのシリンダ/ピストン装置用シール装置
US11/725,044 US7669516B2 (en) 2006-03-18 2007-03-15 Cylinder-piston arrangement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006012532A DE102006012532A1 (de) 2006-03-18 2006-03-18 Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102006012532A1 true DE102006012532A1 (de) 2007-09-20

Family

ID=38024129

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102006012532A Withdrawn DE102006012532A1 (de) 2006-03-18 2006-03-18 Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe
DE502007000351T Active DE502007000351D1 (de) 2006-03-18 2007-02-23 Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE502007000351T Active DE502007000351D1 (de) 2006-03-18 2007-02-23 Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7669516B2 (de)
EP (1) EP1835178B1 (de)
JP (1) JP5107594B2 (de)
AT (1) ATE420288T1 (de)
DE (2) DE102006012532A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2196671A2 (de) 2008-12-11 2010-06-16 Pfeiffer Vacuum GmbH Kolbenvakuumpumpe
DE102008062054A1 (de) 2008-12-12 2010-06-17 Pfeiffer Vacuum Gmbh Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009057070B9 (de) * 2009-12-04 2012-11-29 Maquet Gmbh & Co. Kg Kolbenmaschine zum Einsatz als Vakuumpumpe für medizinische Zwecke
JP5458439B2 (ja) * 2010-03-24 2014-04-02 株式会社医器研 ロータリ式シリンダ装置
CN104870802B (zh) * 2012-12-20 2018-11-02 罗伯特·博世有限公司 用于内燃机的活塞燃料泵
US10215229B2 (en) * 2013-03-14 2019-02-26 Etagen, Inc. Mechanism for maintaining a clearance gap
DE112014004300T5 (de) * 2013-09-19 2016-06-30 Mag Aerospace Industries, Llc Druckdifferenzpumpen
GB2530560A (en) * 2014-09-26 2016-03-30 Gm Global Tech Operations Inc Fire ring for a piston of an internal combustion engine and method to manufacture a piston of an internal combustion engine
CN112780518B (zh) * 2020-06-23 2022-04-22 江苏锡安达防爆股份有限公司 粘稠物料行程受控的双缸泵送装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT88733B (de) * 1915-04-09 1922-06-10 Ernst Becker Kolbendichtung.
US2106829A (en) * 1935-03-27 1938-02-01 Johns Manville Packing assembly
US2318757A (en) * 1940-03-05 1943-05-11 Johns Manville Packing
US2431957A (en) * 1944-01-24 1947-12-02 William N Noviss Piston packing
JPH11343975A (ja) * 1998-06-03 1999-12-14 Unisia Jecs Corp エアコンプレッサのピストン構造
DE20020343U1 (de) * 1999-11-30 2001-02-22 Knorr-Bremse Sistemi per Autoveicoli Commerciali S.p.A., Arcore, Mailand Hubkolben-Verdrängerpumpe, insbesondere für ein Servosteuerungsaggregat einer Reibungskupplung für ein Kraftfahrzeug
DE10337298A1 (de) * 2003-08-14 2005-03-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Dichtungsanordnung für ein Zylinder-Kolben-System

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20343C (de) 1882-01-03 1882-11-20 L. H. PHILIPPI in Hamburg Verfahren zur Herstellung von Modellen für Gufsformen
DE337298C (de) 1920-05-20 1921-05-28 Paschka & Co Laufgewichts-Tischwaage
US2471477A (en) * 1946-03-08 1949-05-31 Air Liquide Piston packing
US3343844A (en) * 1964-02-28 1967-09-26 Hypro Inc Cup backing assembly
US3603215A (en) * 1969-03-28 1971-09-07 Hypro Inc Expanded piston cup and improved spreader
JPS62154285U (de) * 1986-03-20 1987-09-30
JPH07133866A (ja) * 1993-11-10 1995-05-23 Hitachi Constr Mach Co Ltd シリンダ装置
US5921755A (en) * 1997-04-21 1999-07-13 Dry Vacuum Technologies, Inc. Dry vacuum pump
JP2004316578A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd エアーポンプ
DE10339838A1 (de) * 2003-08-29 2005-03-17 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT88733B (de) * 1915-04-09 1922-06-10 Ernst Becker Kolbendichtung.
US2106829A (en) * 1935-03-27 1938-02-01 Johns Manville Packing assembly
US2318757A (en) * 1940-03-05 1943-05-11 Johns Manville Packing
US2431957A (en) * 1944-01-24 1947-12-02 William N Noviss Piston packing
JPH11343975A (ja) * 1998-06-03 1999-12-14 Unisia Jecs Corp エアコンプレッサのピストン構造
DE20020343U1 (de) * 1999-11-30 2001-02-22 Knorr-Bremse Sistemi per Autoveicoli Commerciali S.p.A., Arcore, Mailand Hubkolben-Verdrängerpumpe, insbesondere für ein Servosteuerungsaggregat einer Reibungskupplung für ein Kraftfahrzeug
DE10337298A1 (de) * 2003-08-14 2005-03-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Dichtungsanordnung für ein Zylinder-Kolben-System

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2196671A2 (de) 2008-12-11 2010-06-16 Pfeiffer Vacuum GmbH Kolbenvakuumpumpe
DE102008061897A1 (de) 2008-12-11 2010-06-17 Pfeiffer Vacuum Gmbh Kolbenvakuumpumpe
EP2196671A3 (de) * 2008-12-11 2016-07-06 Pfeiffer Vacuum GmbH Kolbenvakuumpumpe
DE102008062054A1 (de) 2008-12-12 2010-06-17 Pfeiffer Vacuum Gmbh Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe
EP2196669A3 (de) * 2008-12-12 2012-07-11 Pfeiffer Vacuum Gmbh Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe
DE102008062054B4 (de) 2008-12-12 2019-05-29 Pfeiffer Vacuum Gmbh Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
JP5107594B2 (ja) 2012-12-26
EP1835178A1 (de) 2007-09-19
ATE420288T1 (de) 2009-01-15
EP1835178B1 (de) 2009-01-07
US20070274847A1 (en) 2007-11-29
DE502007000351D1 (de) 2009-02-26
US7669516B2 (en) 2010-03-02
JP2007247643A (ja) 2007-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1835178B1 (de) Dichtungsanordnung für eine Hubkolbenvakuumpumpe
DE102010001345B4 (de) Drehdurchführung
DE102009028131A1 (de) Dichtung und Dichtungsanordnung
DE19739472A1 (de) Dichtungsanordnung
DE102015226705A1 (de) Dichtungsanordnung mit Dichtfolie
EP1769176B1 (de) Dichtungsanordnung
DE10212492A1 (de) Kolbenpumpe
DE102008062414A1 (de) Dichtung
EP2321560B1 (de) Kolbenpumpe mit dichtungsanordnung
EP1795786B1 (de) Fluidtechnisches Gerät, insbesondere Ventil
DE2609817C3 (de) Kolben, insbesondere für einen Pneumatikzylinder
DE102014014033A1 (de) Dichtring und Dichtungsanordnung, die den Dichtring umfasst
EP3246605A1 (de) Membranventil
DE60315785T2 (de) Pumpe
WO2015181022A1 (de) Dicht- oder abstreifring
WO2019048179A1 (de) Kolbenzylinder-aggregat
DE3121317C2 (de) Abdichtung hin- und hergehender Maschinenteile, insbesondere Plungerdichtung
CH704934A2 (de) Vakuumventil-Balg.
DE102012218358B4 (de) Trennkolbendichtungsanordnung sowie Schwingungsdämpfer
DE102010039196B4 (de) Dämpfventil für einen Schwingungsdämpfer
EP0544984A1 (de) Dichtung an einem hin- und hergehenden Körper
EP0017787A1 (de) Abdichtung für eine Kolben-Zylinder-Anordnung
DE102016005035A1 (de) Dichtring, Dichtungsanordnung mit dem Dichtring und Verwendung von Dichtring und Dichtungsanordnung
DE102020121486B3 (de) Druckmittelzylinder mit statischer Endlagendichtung
DE2421736A1 (de) Kolbenringanordnung

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee