JP5067280B2 - 半導体ウエハ測定装置 - Google Patents
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Description
1,11〜13 プローブカード
2 開口部
3 基盤
6,6a〜6d プローブ(針)
7 ウエハ
8a〜8f 絶縁部材
Claims (7)
- 半導体ウエハに一対のプローブを接触させて電圧を印加し、該ウエハに形成されている半導体装置を試験する半導体ウエハ測定装置であって、
前記ウエハに接触する一対のプローブの先端間に、該一対のプローブと離間して、該一対のプローブを仕切る絶縁部材を、前記ウエハに接触するようにして介在させることを特徴とする半導体ウエハ測定装置。 - 前記絶縁部材が、前記一対のプローブの先端付近までを仕切る第1絶縁部と、前記一対のプローブの先端付近を仕切る第2絶縁部とからなり、
前記第2絶縁部の硬度が、前記第1絶縁部の硬度より低く設定されてなることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエハ測定装置。 - 前記一対のプローブにおける先端付近の間隔に対して、該一対のプローブの先端間隔が、広く設定されてなることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体ウエハ測定装置。
- 前記一対のプローブが、真空中または不活性雰囲気中に配置されてなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体ウエハ測定装置。
- 前記絶縁部材が、シリコーン樹脂からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体ウエハ測定装置。
- 前記一対のプローブが、取り外し可能な基盤に配置されてなり、
前記絶縁部材が、前記基盤に固定されてなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体ウエハ測定装置。 - 前記一対のプローブに、1000V以上の電圧を印加することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体ウエハ測定装置。
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