JP2010098046A - プローブカードおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】四角錐形状または四角錘台形状の接触端子5を形成した膜状のプローブの上面において、接触端子5の直上の部分に突起9を形成し、この突起9とエラストマ6とを組み合わせて支持板で押す構造とすることで、膜状のプローブの局所的な変形を吸収し、均一かつ小さな荷重で低抵抗の接触性を実現する。
【選択図】図7
Description
1988年度ITC(インターナショナル テスト コンファレンス)講演論文集(601頁〜607頁)
被検査対象に設けられた複数の電極と接触する複数の接触端子と、前記接触端子と一体に形成されたパッドと、前記パッドの各々から引き出された配線と、前記パッドおよび前記配線を覆う樹脂膜と、前記配線と電気的に接続され、かつ外部の配線基板上の電極に対して接続される複数の周辺電極とが形成された膜状のプローブを有し、
前記膜状のプローブにおける前記接触端子が露出している主面とは逆側の裏面において、前記接触端子の直上に相当する第1領域が周囲の前記膜状のプローブの表面より3μm以上高い突起部となり、
前記突起部と接するように前記膜状のプローブの前記裏面上に弾性材からなる板またはシートが重ねられ、
前記シートの上に金属あるいはセラミックからなる板が重ねられ、前記接触端子を前記被検査対象に押し付けるための機構に、前記膜状のプローブ、前記シートおよび前記板からなる積層体を組み込んだものである。
半導体ウエハに回路および前記回路と電気的に接続する複数の電極を作り込み、複数のチップ領域を形成する工程と、
前記複数のチップ領域に設けられた前記複数の電極と接触する複数の接触端子を有するプローブカードを用い、前記複数の接触端子を前記複数の電極と接触させることで前記複数のチップ領域の電気的特性を検査する工程と、
前記半導体ウエハをダイシングし、前記複数のチップ領域毎に分離する工程とを有する半導体装置の製造方法であって、
前記プローブカードは、
前記複数のチップ領域に設けられた前記複数の電極と接触する前記複数の接触端子と、前記接触端子と一体に形成されたパッドと、前記パッドの各々から引き出された配線と、前記パッドおよび前記配線を覆う樹脂膜と、前記配線と電気的に接続され、かつ外部の配線基板上の電極に対して接続される複数の周辺電極とが形成された膜状のプローブを有し、
前記膜状のプローブにおける前記接触端子が露出している主面とは逆側の裏面において、前記接触端子の直上に相当する第1領域が周囲の前記膜状のプローブの表面より3μm以上高い突起部となり、
前記突起部と接するように前記膜状のプローブの前記裏面上に弾性材からなる板またはシートが重ねられ、
前記シートの上に金属あるいはセラミックからなる板が重ねられ、前記接触端子を前記被検査対象に押し付けるための機構に、前記膜状のプローブ、前記シートおよび前記板からなる積層体を組み込んだものである。
「LSI上の電極が狭ピッチになった場合にも、電極およびその下の構造体に損傷を与えることなく低荷重で電極との電気的導通を実現できるLSI検査用のプローブカードを提供する」という目的は、柔軟性のある絶縁フィルムに形成した配線上に良好な電気的導通が得られる角錐形状のコンタクタが形成された膜状のプローブ欠点を改善することで達成できる。この膜状のプローブは、その構造および製造方法に由来して、個々のプローブの位置精度という点でも優れており、約50μmのピッチを下回る狭ピッチの電極配列にも十分対応可能である。
次に、本実施の形態に係る膜状のプローブの製造方法を説明する。
本実施の形態3では、前記実施の形態2とは別の方法で接触端子5上の突起(図11参照)を形成する方法を説明する。
前記実施の形態3においては、接触端子5上で突起となる突起用パターン36をポリイミド層21上に形成したが、本実施の形態4においては、この突起用パターン36をパッド4と接するように形成するものである。
エラストマ6(図2、図6および図7参照)への膜状のプローブ上面の当たり方を観察するために、図24に示すように、押し板として透明なガラス板37を使い、さらにエラストマ6も透明なものを用い、ガラス板37を使って膜状のプローブ(接触端子5)をウエハ10上の電極11に対して押し付けることで、実際にプローブが電極11に押し付けられた時のエラストマ6と膜状のプローブ40との接触状態をこのガラス板37越しに光学顕微鏡39で観察した。図25は、その観察結果を示した説明図である。
ここで、前記実施の形態1〜5で説明した膜状のプローブを含むプローブカード用いた検査工程、または検査方法を含む半導体装置の製造方法の一例について、図26を参照して説明する。
2 シート
3 押し板
4 パッド
5 接触端子
6 エラストマ
7 コンタクタ列
8 プローブ群
9 突起
10 ウエハ
11 電極
12 力
20 ウエハ
21、22 ポリイミド層
31 コンタクタ列
32 プローブ群
36 突起用パターン
37 ガラス板
39 光学顕微鏡
40 プローブ
42 干渉縞
101 はんだ
102 回路基板
103 探針(プローブ)
104 樹脂
105 絶縁膜
106 プローブシート
107 支持板
108 ばね
109、110 配線
111 スルーホール
112 バンプ
113 グランド層
114 穴
115 シリコンウエハ
116 めっき下地膜
117 硬質金属膜
117A レジストパターン
118 樹脂膜
122 半導体素子
123、125 層間絶縁層
124、126、127、128 配線
130 電極
131 酸化膜
132 プローブ
133 新生面
134 金属屑
P101〜P105 工程
Claims (16)
- 被検査対象に設けられた複数の電極と接触する複数の接触端子と、前記接触端子と一体に形成されたパッドと、前記パッドの各々から引き出された配線と、前記パッドおよび前記配線を覆う樹脂膜と、前記配線と電気的に接続され、かつ外部の配線基板上の電極に対して接続される複数の周辺電極とが形成された膜状のプローブを有し、
前記膜状のプローブにおける前記接触端子が露出している主面とは逆側の裏面において、前記接触端子の直上に相当する第1領域が周囲の前記膜状のプローブの表面より3μm以上高い突起部となり、
前記突起部と接するように前記膜状のプローブの前記裏面上に弾性材からなる板またはシートが重ねられ、
前記シートの上に金属あるいはセラミックからなる板が重ねられ、前記接触端子を前記被検査対象に押し付けるための機構に、前記膜状のプローブ、前記シートおよび前記板からなる積層体を組み込んだことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
前記突起部は、前記パッドを厚く形成し、前記パッド上の前記樹脂膜を盛り上げることで形成されていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項2記載のプローブカードにおいて、
前記パッドは、20μm以上の厚さで形成されていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
前記突起部は、前記膜状のプローブの前記裏面の前記第1領域に樹脂または金属の島状または帯状の突起用パターンを配置することで形成されていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項4記載のプローブカードにおいて、
1つの前記突起用パターンは、複数の前記第1領域を覆うように形成されていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項4記載のプローブカードにおいて、
前記突起用パターンは、3μm以上の厚さで形成されていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
前記突起部は、前記パッド上にて前記パッドと接するように樹脂または金属の島状または帯状の突起用パターンを配置し、前記パッドおよび前記突起用パターン上の前記樹脂膜を盛り上げることで形成されていることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
前記シートは、JIS規格のゴム硬度で30度〜70度、かつ厚さの30μm〜200μmの有機材料から形成され、
前記被検査対象に設けられた前記複数の電極の高さのばらつきが1μmの場合において、前記突起部の高さは3μm以上であることを特徴とするプローブカード。 - 半導体ウエハに回路および前記回路と電気的に接続する複数の電極を作り込み、複数のチップ領域を形成する工程と、
前記複数のチップ領域に設けられた前記複数の電極と接触する複数の接触端子を有するプローブカードを用い、前記複数の接触端子を前記複数の電極と接触させることで前記複数のチップ領域の電気的特性を検査する工程と、
前記半導体ウエハをダイシングし、前記複数のチップ領域毎に分離する工程とを有する半導体装置の製造方法であって、
前記プローブカードは、
前記複数のチップ領域に設けられた前記複数の電極と接触する前記複数の接触端子と、前記接触端子と一体に形成されたパッドと、前記パッドの各々から引き出された配線と、前記パッドおよび前記配線を覆う樹脂膜と、前記配線と電気的に接続され、かつ外部の配線基板上の電極に対して接続される複数の周辺電極とが形成された膜状のプローブを有し、
前記膜状のプローブにおける前記接触端子が露出している主面とは逆側の裏面において、前記接触端子の直上に相当する第1領域が周囲の前記膜状のプローブの表面より3μm以上高い突起部となり、
前記突起部と接するように前記膜状のプローブの前記裏面上に弾性材からなる板またはシートが重ねられ、
前記シートの上に金属あるいはセラミックからなる板が重ねられ、前記接触端子を前記被検査対象に押し付けるための機構に、前記膜状のプローブ、前記シートおよび前記板からなる積層体を組み込んだことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項9記載の半導体装置の製造方法において、
前記突起部は、前記パッドを厚く形成し、前記パッド上の前記樹脂膜を盛り上げることで形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項10記載の半導体装置の製造方法において、
前記パッドは、20μm以上の厚さで形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項9記載の半導体装置の製造方法において、
前記突起部は、前記膜状のプローブの前記裏面の前記第1領域に樹脂または金属の島状または帯状の突起用パターンを配置することで形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項12記載の半導体装置の製造方法において、
1つの前記突起用パターンは、複数の前記第1領域を覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項12記載の半導体装置の製造方法において、
前記突起用パターンは、3μm以上の厚さで形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項9記載の半導体装置の製造方法において、
前記突起部は、前記パッド上にて前記パッドと接するように樹脂または金属の島状または帯状の突起用パターンを配置し、前記パッドおよび前記突起用パターン上の前記樹脂膜を盛り上げることで形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項9記載の半導体装置の製造方法において、
前記シートは、JIS規格のゴム硬度で30度〜70度、かつ厚さの30μm〜200μmの有機材料から形成され、
前記被検査対象に設けられた前記複数の電極の高さのばらつきが1μmの場合において、前記突起部の高さは3μm以上であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114188310A (zh) * | 2021-11-29 | 2022-03-15 | 强一半导体(苏州)有限公司 | 一种实现薄膜探针测量滑移的方法 |
CN114200280A (zh) * | 2021-11-29 | 2022-03-18 | 强一半导体(苏州)有限公司 | 一种薄膜探针卡及其探针头 |
KR20220091186A (ko) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 주식회사 에스디에이 | 프로브 카드 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0566243A (ja) * | 1991-09-06 | 1993-03-19 | Nec Corp | Lsi評価用治具 |
JPH0766240A (ja) * | 1993-08-27 | 1995-03-10 | Nitto Denko Corp | フレキシブル回路基板と接触対象物との接続方法およびその構造 |
JPH07283280A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Hitachi Ltd | 接続装置およびその製造方法 |
JPH0894669A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Nitto Denko Corp | コンプライアンス材およびこれを用いてなるプローブ |
JP2003297512A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-17 | Enplas Corp | 電気部品用ソケット |
JP2003309050A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-31 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2007134048A (ja) * | 2001-08-07 | 2007-05-31 | Shinozaki Seisakusho:Kk | バンプ付き薄膜シートの製造方法及びバンプ付き薄膜シート |
-
2008
- 2008-10-15 JP JP2008266272A patent/JP2010098046A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0566243A (ja) * | 1991-09-06 | 1993-03-19 | Nec Corp | Lsi評価用治具 |
JPH0766240A (ja) * | 1993-08-27 | 1995-03-10 | Nitto Denko Corp | フレキシブル回路基板と接触対象物との接続方法およびその構造 |
JPH07283280A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Hitachi Ltd | 接続装置およびその製造方法 |
JPH0894669A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Nitto Denko Corp | コンプライアンス材およびこれを用いてなるプローブ |
JP2007134048A (ja) * | 2001-08-07 | 2007-05-31 | Shinozaki Seisakusho:Kk | バンプ付き薄膜シートの製造方法及びバンプ付き薄膜シート |
JP2003297512A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-17 | Enplas Corp | 電気部品用ソケット |
JP2003309050A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-31 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220091186A (ko) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 주식회사 에스디에이 | 프로브 카드 |
KR102471772B1 (ko) * | 2020-12-23 | 2022-11-29 | 주식회사 에스디에이 | 프로브 카드 |
CN114188310A (zh) * | 2021-11-29 | 2022-03-15 | 强一半导体(苏州)有限公司 | 一种实现薄膜探针测量滑移的方法 |
CN114200280A (zh) * | 2021-11-29 | 2022-03-18 | 强一半导体(苏州)有限公司 | 一种薄膜探针卡及其探针头 |
WO2023092897A1 (zh) * | 2021-11-29 | 2023-06-01 | 强一半导体(苏州)有限公司 | 一种薄膜探针卡及其探针头 |
CN114188310B (zh) * | 2021-11-29 | 2023-10-24 | 强一半导体(苏州)股份有限公司 | 一种实现薄膜探针测量滑移的方法 |
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