JP5065691B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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Description
10 受光部
20 基板
28 開口
29 遮光層
30、63 コア層
31 平坦化層(クラッド層)
34 界面
53 穴
60 反射膜
61 界面
62 界面
Claims (2)
- 基板上に複数配列され、光を受光して光電変換を行う受光部と、前記受光部に光を入射させるための開口を形成する遮光層と、前記受光部上に形成され、前記開口に向けて光を導くコア層であって、前記遮光層を覆うクラッド層に穿たれた穴に充填されているコア層とを備える固体撮像装置において、
前記コア層と前記クラッド層との界面は、前記受光部の側から光の入射する側にかけて、前記コア層の幅が略同一となるように形成され、
前記遮光層と前記クラッド層との間に、反射膜が形成されており、
前記コア層に対向する前記反射膜と前記クラッド層との界面は、前記受光部の側から光の入射する側に向かって、前記コア層との間隔が漸増されるように形成されていることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記反射膜は、金属であることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
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