JP2005333089A - 半導体装置、固体撮像素子、半導体装置の製造方法、固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 導電体層のコーナー部における電界集中の発生を抑制することができる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体基体1上に、絶縁層2を介して少なくとも1層以上の導電体層3が設けられ、導電体層3の少なくとも一部において、コーナー部がラウンド形状とされている半導体装置を構成する。また、導電体層3をパターニングする工程と、導電体層3の形状変化に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材4を被覆形成する工程と、被覆材4の形状をエッチバックにより導電体層3に転写して、導電体層3のコーナー部をラウンド形状又は略直線形状とする工程とを有して、上記半導体装置を製造する。
【選択図】 図2
【解決手段】 半導体基体1上に、絶縁層2を介して少なくとも1層以上の導電体層3が設けられ、導電体層3の少なくとも一部において、コーナー部がラウンド形状とされている半導体装置を構成する。また、導電体層3をパターニングする工程と、導電体層3の形状変化に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材4を被覆形成する工程と、被覆材4の形状をエッチバックにより導電体層3に転写して、導電体層3のコーナー部をラウンド形状又は略直線形状とする工程とを有して、上記半導体装置を製造する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、半導体装置、固体撮像素子、半導体装置の製造方法、固体撮像素子の製造方法に係わる。
半導体装置等において、配線層や電極層等、導電体層のコーナー部のエッチングは、コーナー部における電界集中を緩和して、隣接する導電体との絶縁耐性改善するために、重要な技術となっている。
また、特に光を取り扱う半導体装置(例えば固体撮像素子)においては、光のケラレ量を低減するためにも、電極層のコーナー部のエッチングが重要な技術となる。
そして、導電体層のコーナー部をエッチングする技術として、等方性エッチングと異方性エッチングとを組み合わせた方法(例えば、特許文献1参照)が提案されている。
特開平7−66421号公報(図9等)
しかしながら、上述した等方性エッチングと異方性エッチングとを組み合わせた方法には、以下に挙げるような問題がある。
導電体層のコーナー部を等方性エッチングによりエッチングすると、エッチング後のコーナー部は通常凹形となるため、凹形のエッジ部にて新たに電界集中が発生する。
また、コーナー部が凹形となることにより、その凹部の分体積が減少するため、導電体層の電気抵抗が上昇する。
また、コーナー部が凹形となることにより、その凹部の分体積が減少するため、導電体層の電気抵抗が上昇する。
そして、等方性エッチングを使用しながらも、導電体層のコーナー部が凹形とならないようにするためには、複数の工程追加が必要となり、工程数増加の問題が起こる。
さらに、導電体層のコーナー部を、基板表面に対して高い角度でエッチングすることは原理上困難である。
そのため、光を取り扱う半導体装置(例えば固体撮像素子)において、導電体コーナー部での光のケラレ量、或いは導電体の上に形成される遮光膜の端部での光のケラレ量を低減することには限界がある。
そのため、光を取り扱う半導体装置(例えば固体撮像素子)において、導電体コーナー部での光のケラレ量、或いは導電体の上に形成される遮光膜の端部での光のケラレ量を低減することには限界がある。
上述した問題の解決のために、本発明においては、導電体層や電極層のコーナー部における電界集中の発生を抑制することができる半導体装置、固体撮像素子、半導体装置の製造方法、固体撮像素子の製造方法を提供するものである。
本発明の半導体装置は、半導体基体上に、絶縁層を介して少なくとも1層以上の導電体層が設けられ、導電体層の少なくとも一部においてコーナー部がラウンド形状とされているものである。
上述の本発明の半導体装置の構成によれば、導電体層の少なくとも一部においてコーナー部がラウンド形状とされていることにより、コーナー部における電界集中の発生を抑制することが可能になる。
また、導電体層のコーナー部がラウンド形状であるため、コーナー部の表面が凸状曲面となっており、コーナー部が凹形になっている構成と比較して、導電体層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
また、導電体層のコーナー部がラウンド形状であるため、コーナー部の表面が凸状曲面となっており、コーナー部が凹形になっている構成と比較して、導電体層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
本発明の固体撮像素子は、半導体基体内に受光センサ部が形成され、半導体基体上に、絶縁層を介して少なくとも1層以上の電極層が設けられ、受光センサ部の周囲の電極層の少なくとも一部において、コーナー部がラウンド形状とされているものである。
上述の本発明の固体撮像素子の構成によれば、受光センサ部の周囲の電極層の少なくとも一部において、コーナー部がラウンド形状とされていることにより、コーナー部における電界集中の発生を抑制することが可能になる。
また、電極層のコーナー部がラウンド形状であるため、コーナー部の表面が凸状曲面となっており、コーナー部が凹形になっている構成と比較して、電極層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
また、電極層のコーナー部がラウンド形状であるため、コーナー部の表面が凸状曲面となっており、コーナー部が凹形になっている構成と比較して、電極層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基体上に、絶縁層を介して、少なくとも1層以上の導電体層が設けられた半導体装置を製造する際に、導電体層を形成し、この導電体層をパターニングする工程と、導電体層上に、導電体層の形状変化に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材を被覆形成する工程と、この被覆材の形状をエッチバックにより導電体層に転写して、導電体層のコーナー部をラウンド形状又は略直線形状とする工程とを有するものである。
上述の本発明の半導体装置の製造方法によれば、導電体層上に、導電体層の形状変化に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材を被覆形成する工程と、この被覆材の形状をエッチバックにより導電体層に転写して、導電体層のコーナー部をラウンド形状又は略直線形状とする工程とを有することにより、導電体層のコーナー部がラウンド形状又は略直線形状となり、コーナー部の形状が緩和されるため、導電体層のコーナー部における電界集中の発生を抑制することができる。
また、導電体層のコーナー部がラウンド形状又は略直線形状となるため、コーナー部が凹形になっている構成と比較して、導電体層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
そして、導電体層のコーナー部が凹形とならないため、凹形を回避するための追加工程が不要となる。
また、導電体層のコーナー部がラウンド形状又は略直線形状となるため、コーナー部が凹形になっている構成と比較して、導電体層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
そして、導電体層のコーナー部が凹形とならないため、凹形を回避するための追加工程が不要となる。
本発明の固体撮像素子の製造方法は、半導体基体内に受光センサ部が形成され、半導体基体上に、絶縁層を介して、少なくとも1層以上の電極層が設けられた固体撮像素子を製造する際に、電極層を形成し、この電極層をパターニングする工程と、電極層上に、電極層の形状変化に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材を被覆形成する工程と、この被覆材の形状をエッチバックにより電極層に転写して、電極層のコーナー部をラウンド形状又は略直線形状とする工程とを有するものである。
上述の本発明の固体撮像素子の製造方法によれば、電極層上に、電極層の形状変化に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材を被覆形成する工程と、この被覆材の形状をエッチバックにより電極層に転写して、電極層のコーナー部をラウンド形状又は略直線形状とする工程とを有することにより、電極層のコーナー部がラウンド形状又は略直線形状となり、コーナー部の形状が緩和されるため、電極層のコーナー部における電界集中の発生を抑制することができる。
また、電極層のコーナー部がラウンド形状又は略直線形状となるため、コーナー部が凹形になっている構成と比較して、電極層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
そして、電極層のコーナー部が凹形とならないため、凹形を回避するための追加工程が不要となる。
さらに、例えば、被覆材を、電極層のコーナー部上において、被覆材の表面と半導体基体表面との成す角が高角度となるように形成すれば、エッチバックを実施することにより、電極層のコーナー部が半導体基体表面に対して高角度を有する形状となる。これにより、電極層のコーナー部が半導体基体表面に対して高角度を有する構成を、容易に製造することが可能になる。この電極層のコーナー部が半導体基体表面に対して高角度を有する構成により、入射光の電極層や(電極層の上方に形成される)遮光膜によるケラレ量を低減することが可能になる。
また、電極層のコーナー部がラウンド形状又は略直線形状となるため、コーナー部が凹形になっている構成と比較して、電極層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
そして、電極層のコーナー部が凹形とならないため、凹形を回避するための追加工程が不要となる。
さらに、例えば、被覆材を、電極層のコーナー部上において、被覆材の表面と半導体基体表面との成す角が高角度となるように形成すれば、エッチバックを実施することにより、電極層のコーナー部が半導体基体表面に対して高角度を有する形状となる。これにより、電極層のコーナー部が半導体基体表面に対して高角度を有する構成を、容易に製造することが可能になる。この電極層のコーナー部が半導体基体表面に対して高角度を有する構成により、入射光の電極層や(電極層の上方に形成される)遮光膜によるケラレ量を低減することが可能になる。
上述の本発明によれば、導電体層や電極層のコーナー部における電界集中を緩和することができるため、上層との耐圧が充分に得られる。
また、導電体層や電極層上に形成される膜(絶縁膜、遮光膜、導電体層)が、導電体層や電極層のコーナー部の段差により薄くなったり段切れしたりする問題を生じることがなく、導電体層や電極層上に形成される膜(絶縁膜、遮光膜、導電体層)を薄く形成することが可能になる。
これにより、例えば、半導体装置の多層配線の高さを低くしたり、固体撮像素子の遮光膜や第2層以降の電極層の高さを低くしたりすることが可能になる。
さらに、導電体層や電極層の体積減少による抵抗上昇を抑制することができる。
また、導電体層や電極層上に形成される膜(絶縁膜、遮光膜、導電体層)が、導電体層や電極層のコーナー部の段差により薄くなったり段切れしたりする問題を生じることがなく、導電体層や電極層上に形成される膜(絶縁膜、遮光膜、導電体層)を薄く形成することが可能になる。
これにより、例えば、半導体装置の多層配線の高さを低くしたり、固体撮像素子の遮光膜や第2層以降の電極層の高さを低くしたりすることが可能になる。
さらに、導電体層や電極層の体積減少による抵抗上昇を抑制することができる。
従って、本発明によれば、良好な特性を有する半導体装置や固体撮像素子を、容易にかつ歩留まりよく製造することが可能になる。
さらに、半導体装置や固体撮像素子の小型化を図ることも可能になる。
さらに、半導体装置や固体撮像素子の小型化を図ることも可能になる。
また、本発明の製造方法によれば、導電体層や電極層のコーナー部が凹形にならないため、凹形を回避するための複数の追加工程が不要となることから、工程数の増加を抑えることができる。
さらに、電極層のコーナー部が半導体基体表面に対して高角度を有する構成の固体撮像素子を容易に製造することができ、この構成により、入射光の電極層や(電極層の上方に形成される)遮光膜によるケラレ量を低減することが可能になる。
さらに、電極層のコーナー部が半導体基体表面に対して高角度を有する構成の固体撮像素子を容易に製造することができ、この構成により、入射光の電極層や(電極層の上方に形成される)遮光膜によるケラレ量を低減することが可能になる。
本発明の一実施の形態として、半導体装置及びその製造方法を説明する。
本実施の形態の半導体装置は、図1に概略断面図を示すように、半導体基体(例えばシリコン基板)1上に、絶縁膜2を介して導電体層3が形成されて成る。
導電体層3は、電極層又は配線層等となるものである。
本実施の形態の半導体装置は、図1に概略断面図を示すように、半導体基体(例えばシリコン基板)1上に、絶縁膜2を介して導電体層3が形成されて成る。
導電体層3は、電極層又は配線層等となるものである。
また、図示しないが、導電体層3上を絶縁層が覆い、必要に応じて第2層以上の導電体層が形成される。
一方、半導体基体内の表面付近には、トランジスタ等の回路部品を構成する所定の半導体領域(不純物領域)が形成される。
一方、半導体基体内の表面付近には、トランジスタ等の回路部品を構成する所定の半導体領域(不純物領域)が形成される。
導電体層3の材料は、特に限定されるものではなく、シリコン(多結晶シリコン、非晶質シリコン)等の半導体、金属、金属シリコン化合物、無機導電材料等の様々な導電材料を使用することが可能である。
本実施の形態の半導体装置においては、特に、導電体層3のコーナー部が丸められ、導電体層3の上面がラウンド形状となっている。
このように導電体層3のコーナー部が丸められ、上面がラウンド形状となっているため、第2層の導電体層との間に形成される層間絶縁層を形成する際に、導電体層3のコーナー部で相関絶縁層が極端に薄くなったり、断切れしたりすることがない。これにより、層間絶縁層を薄い絶縁膜により形成することが可能になる。
このように導電体層3のコーナー部が丸められ、上面がラウンド形状となっているため、第2層の導電体層との間に形成される層間絶縁層を形成する際に、導電体層3のコーナー部で相関絶縁層が極端に薄くなったり、断切れしたりすることがない。これにより、層間絶縁層を薄い絶縁膜により形成することが可能になる。
図1に示した半導体装置の構成は、次のように製造することができる。
まず、図2Aに示すように、シリコン基板等の半導体基体1上に、所定の絶縁膜2を介して、導電体層3を形成する。
次に、図2Bに示すように、導電体層3を、ドライエッチング等により所望の形状に加工(パターニング)する。
まず、図2Aに示すように、シリコン基板等の半導体基体1上に、所定の絶縁膜2を介して、導電体層3を形成する。
次に、図2Bに示すように、導電体層3を、ドライエッチング等により所望の形状に加工(パターニング)する。
次に、図2Cに示すように、高粘性材料(高い粘性を有する材料)、或いはリフロー性を有する材料4を、スピンコートやCVD等により被覆する。
この際に、高粘性材料(レジスト等)を、導電体層3により生じた段差を埋めてしまわない程度の膜厚で被覆すると、導電体層3の形状を緩やかに追従しながら形状変化する被覆形状とすることができる。
なお、粘性が不十分な被覆材を用いた場合には、図14に示すように、被覆材5の上面がほぼ平坦な形状となる。
リフロー性を有する膜(BPSG等)を使用する場合には、膜形成後リフローを実施することで同様な被覆形状(導電体層3の形状を緩やかに追従しながら形状変化する被覆形状)とすることができる。
この際に、高粘性材料(レジスト等)を、導電体層3により生じた段差を埋めてしまわない程度の膜厚で被覆すると、導電体層3の形状を緩やかに追従しながら形状変化する被覆形状とすることができる。
なお、粘性が不十分な被覆材を用いた場合には、図14に示すように、被覆材5の上面がほぼ平坦な形状となる。
リフロー性を有する膜(BPSG等)を使用する場合には、膜形成後リフローを実施することで同様な被覆形状(導電体層3の形状を緩やかに追従しながら形状変化する被覆形状)とすることができる。
次に、等方性エッチングによりエッチバックを行う。このとき、導電体層3の材料と被覆材4とのエッチングレートが同程度になるエッチング条件を選択することにより、図3Dに示すように、被覆材4の表面形状が導電体層3に転写される。
なお、導電体層3と比較して、被覆材4のエッチングレートが多少速くてもよい。
このとき、導電体層3のコーナー部において、被覆材4の膜厚が小さくなっているため、コーナー部の優先的なエッチングが実現される。
さらに、図3E及び図3Fに示すように、エッチバックを継続することにより、必要に応じて、導電体層3の表面全体にわたり被覆材4の形状を転写させることができる。
なお、導電体層3と比較して、被覆材4のエッチングレートが多少速くてもよい。
このとき、導電体層3のコーナー部において、被覆材4の膜厚が小さくなっているため、コーナー部の優先的なエッチングが実現される。
さらに、図3E及び図3Fに示すように、エッチバックを継続することにより、必要に応じて、導電体層3の表面全体にわたり被覆材4の形状を転写させることができる。
続いて、必要に応じて、有機洗浄やウエットエッチング等により、残った被覆材4をエッチングにより除去する。このときのエッチング条件は、被覆材4だけが選択的に除去される条件とする。
上述した製造方法によって、図1に示した、上面全体がラウンド形状となった導電体層3が得られる。
上述した製造方法によって、図1に示した、上面全体がラウンド形状となった導電体層3が得られる。
なお、図3Eの状態でエッチバックを停止して、被覆材4のみをエッチング除去することにより、導電体層3のコーナー部のみをラウンド形状又は略直線形状とすることができる。この場合、コーナー部以外の導電体層3の上面は、元の略平坦面のまま残る。
上述の本実施の形態によれば、導電体層3のコーナー部がラウンド形状又は略直線形状であることにより、導電体層3のコーナー部の表面が、凸状曲面又は略平面となっている。
これにより、導電体層3のコーナー部における電界集中を緩和することができる。
また、導電体層3のコーナー部が凹面になっている構成と比較して、導電体層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
これにより、導電体層3のコーナー部における電界集中を緩和することができる。
また、導電体層3のコーナー部が凹面になっている構成と比較して、導電体層の体積の減少による抵抗上昇が少ない。
また、本実施の形態の製造方法によれば、導電体層3上に、導電体層3による段差を有する形状に対して、緩やかに追従しながら形状変化するように被覆材4を形成し、その滑らかな形状をエッチバックによって導電体層3に転写することにより、導電体層3のコーナー部をエッチングするため、コーナー部は滑らかなラウンド形状或いは略直線形状となる。
これにより、電極層の体積の減少による抵抗上昇を抑えることができると共に、導電体層3のコーナー部を凹形としないための追加工程は不要となるため、工程数の増加の問題が生じない。
これにより、電極層の体積の減少による抵抗上昇を抑えることができると共に、導電体層3のコーナー部を凹形としないための追加工程は不要となるため、工程数の増加の問題が生じない。
そして、本実施の形態の構成を、2層以上の配線層を有する半導体装置に適用した場合には、導電体層(配線層)3のコーナー部における電界集中を緩和することができるため、上層の導電体層(配線層)との耐圧が充分に得られる。
これにより、例えば、2層の配線層が交差する部分の断面図を図4に示すように、第1層の配線層(導電体層)3と第2層の配線層(導電体層)7との間の層間絶縁層6を、薄い絶縁膜とすることが可能になる。
これにより、2層以上の配線層を有する半導体装置の半導体チップを薄くしたり、配線層のパターン間隔を縮めたりすることが可能になり、半導体装置の小型化を図ることが可能になる。
これにより、例えば、2層の配線層が交差する部分の断面図を図4に示すように、第1層の配線層(導電体層)3と第2層の配線層(導電体層)7との間の層間絶縁層6を、薄い絶縁膜とすることが可能になる。
これにより、2層以上の配線層を有する半導体装置の半導体チップを薄くしたり、配線層のパターン間隔を縮めたりすることが可能になり、半導体装置の小型化を図ることが可能になる。
次に、本発明の他の実施の形態を説明する。
本実施の形態は、本発明をCCD固体撮像素子に適用したものである。
本実施の形態は、本発明をCCD固体撮像素子に適用したものである。
本実施の形態の固体撮像素子の平面図を図5に示す。また、図5の固体撮像素子の画素部の拡大図を図6に示す。
この固体撮像素子30は、画素を構成し、光電変換が行われる受光センサ部11がマトリクス状に配置され、受光センサ部11の各列の一側に、電荷転送部として垂直転送レジスタ13が設けられている。
垂直転送レジスタ13の一端には、水平転送レジスタ14が接続形成され、水平転送レジスタ14の先には出力部15が設けられている。
受光センサ部11は、半導体基体10内に形成された半導体領域による電荷蓄積領域等により構成される。
また、各画素の受光センサ部11と垂直転送レジスタ13との間は、読み出しゲート部12となっている。各画素の受光センサ部11において、読み出しゲート部12側以外の周囲には素子分離領域(チャネルストップ領域)16が形成されている。
垂直転送レジスタ13の一端には、水平転送レジスタ14が接続形成され、水平転送レジスタ14の先には出力部15が設けられている。
受光センサ部11は、半導体基体10内に形成された半導体領域による電荷蓄積領域等により構成される。
また、各画素の受光センサ部11と垂直転送レジスタ13との間は、読み出しゲート部12となっている。各画素の受光センサ部11において、読み出しゲート部12側以外の周囲には素子分離領域(チャネルストップ領域)16が形成されている。
垂直転送レジスタ13においては、図6に示すように、半導体基体10の上に、転送電極21が形成されている。この転送電極21は、下層の電極層から成る第1の転送電極21aと、上層の電極層から成る第2の転送電極21bとにより構成されている。
第1の転送電極21aは、垂直転送レジスタ13に沿って図中下方に延びる電極部と、垂直方向(図中上下方向)の受光センサ部11間を水平方向(図中左右方向)に延びる配線部とを有している。第2の転送電極21bは、垂直転送レジスタ13に沿って図中上方に延びる電極部と、垂直方向の受光センサ部11間を水平方向に延びる配線部とを有している。
第1の転送電極21aは、垂直転送レジスタ13に沿って図中下方に延びる電極部と、垂直方向(図中上下方向)の受光センサ部11間を水平方向(図中左右方向)に延びる配線部とを有している。第2の転送電極21bは、垂直転送レジスタ13に沿って図中上方に延びる電極部と、垂直方向の受光センサ部11間を水平方向に延びる配線部とを有している。
即ち、この固体撮像素子30は、いわゆるIT(インターライントランスファ)型のCCD固体撮像素子である。
さらに、図6のA−A´における断面図を図7に示し、図6のB−B´における断面図を図8に示す。
図7は受光センサ部11を含む水平方向の断面図であり、転送電極21(第1の転送電極21a)上に絶縁膜22を介して遮光膜23が形成されている構成が模式的に描かれている。
図8は垂直転送レジスタ13の垂直方向の断面図であり、転送電極21(21a,21b)を中心に模式的に描かれている。
また、比較対照として、従来の転送電極21が略矩形のコーナー部を有する構成における、図7及び図8と同じ部分の断面図を、それぞれ図15A及び図15Bに示す。
図7は受光センサ部11を含む水平方向の断面図であり、転送電極21(第1の転送電極21a)上に絶縁膜22を介して遮光膜23が形成されている構成が模式的に描かれている。
図8は垂直転送レジスタ13の垂直方向の断面図であり、転送電極21(21a,21b)を中心に模式的に描かれている。
また、比較対照として、従来の転送電極21が略矩形のコーナー部を有する構成における、図7及び図8と同じ部分の断面図を、それぞれ図15A及び図15Bに示す。
図7に示すように、転送電極21(第1の転送電極21a)は、その上面がラウンド形状になっている。そして、転送電極21(第1の転送電極21a)上に絶縁膜22を介して形成されている遮光膜23も、ラウンド形状になっており、コーナー部がない。
このため、図中遮光膜23のない部分に形成される受光センサ部において、半導体基体10内に形成される電荷蓄積領域から見て、遮光膜23にコーナー部がない分、開口の角度が大きくなっている。これにより、広い角度範囲から、受光センサ部の電荷蓄積領域へ光を入射させることができる。
従って、図15Aに示す従来の構成と比較して、受光センサ部の感度を向上させることが可能になる。
このため、図中遮光膜23のない部分に形成される受光センサ部において、半導体基体10内に形成される電荷蓄積領域から見て、遮光膜23にコーナー部がない分、開口の角度が大きくなっている。これにより、広い角度範囲から、受光センサ部の電荷蓄積領域へ光を入射させることができる。
従って、図15Aに示す従来の構成と比較して、受光センサ部の感度を向上させることが可能になる。
図15Aに示す従来の構成では、転送電極21のコーナー部で絶縁膜22や遮光膜23が薄くなったり、電界集中や耐圧の低下等を生じたりする問題があったため、例えば絶縁膜22や遮光膜23を比較的厚く形成していた。
これに対して、本実施の形態の構成では、転送電極21の上面がラウンド形状であるために上述の問題が発生することがない。
これにより、絶縁膜22を従来の構成よりも薄くして、スミア特性を改善することが可能になる。また、絶縁膜22や遮光膜23を従来の構成よりも薄くして、遮光膜23の上面を低くすることが可能になる。これによっても、受光センサ部における開口の角度を大きくして、広い角度範囲から、受光センサ部の電荷蓄積領域へ光を入射させることができる。
これに対して、本実施の形態の構成では、転送電極21の上面がラウンド形状であるために上述の問題が発生することがない。
これにより、絶縁膜22を従来の構成よりも薄くして、スミア特性を改善することが可能になる。また、絶縁膜22や遮光膜23を従来の構成よりも薄くして、遮光膜23の上面を低くすることが可能になる。これによっても、受光センサ部における開口の角度を大きくして、広い角度範囲から、受光センサ部の電荷蓄積領域へ光を入射させることができる。
図8に示すように、下層の第1層の電極層から成る第1の転送電極21aは、その上面がラウンド形状になっている。そして、第1の転送電極21a上に形成されている絶縁膜24も、ラウンド形状になっている。これにより、上層の第2層の電極層から成る第2の転送電極21bは、第1の転送電極21aとのオーバーラップ部において、第1の転送電極21aのラウンド形状に沿った形状となっている。
図15Bに示す従来の構成では、第1の転送電極21aのコーナー部で電界集中や耐圧の低下等を生じたり、オーバーラップ部で第2の転送電極21bが薄くなったり段切れしたりする問題があった。
これに対して、本実施の形態の構成では、第1の転送電極21aの上面がラウンド形状であるために、上述の問題が発生することがない。
これにより、例えば絶縁膜24を従来の構成よりも薄くして、垂直転送レジスタの転送効率を向上することが可能になる。
図15Bに示す従来の構成では、第1の転送電極21aのコーナー部で電界集中や耐圧の低下等を生じたり、オーバーラップ部で第2の転送電極21bが薄くなったり段切れしたりする問題があった。
これに対して、本実施の形態の構成では、第1の転送電極21aの上面がラウンド形状であるために、上述の問題が発生することがない。
これにより、例えば絶縁膜24を従来の構成よりも薄くして、垂直転送レジスタの転送効率を向上することが可能になる。
なお、図8では図7の遮光膜23を図示していない。また、図7の絶縁膜22は、図8の絶縁膜24を含んでいる。
続いて、本実施の形態の固体撮像素子30を製造する方法を説明する。
始めに、図7に示した断面における製造工程の流れを、図9A〜図10Fを参照して説明する。
始めに、図7に示した断面における製造工程の流れを、図9A〜図10Fを参照して説明する。
まず、半導体基体10の表面の絶縁膜20上に、導電体層から成る電極層を形成し、この電極層を加工して、図9Aに示すように、転送電極21を形成する。
次に、図9Bに示すように、転送電極21上に、高粘性材料やリフロー性を有する被覆材25を形成する。なお、リフロー性を有する材料を被覆材25に使用する場合には、被覆材25を形成した後に、リフローを実施する。
これにより、転送電極21の段差に緩やかに追随した被覆形状の被覆材25が形成される。
被覆材25の厚さは、例えば転送電極21の厚さが700nmのときに、例えば450nmの厚さとする。
次に、図9Bに示すように、転送電極21上に、高粘性材料やリフロー性を有する被覆材25を形成する。なお、リフロー性を有する材料を被覆材25に使用する場合には、被覆材25を形成した後に、リフローを実施する。
これにより、転送電極21の段差に緩やかに追随した被覆形状の被覆材25が形成される。
被覆材25の厚さは、例えば転送電極21の厚さが700nmのときに、例えば450nmの厚さとする。
次に、エッチバックを実施して、被覆材25のラウンド形状を転送電極21へ転写する。
その後、有機洗浄やウエットエッチングにより、被覆材25を除去する。
これにより、図9Cに示すように、上面がラウンド形状の転送電極21(第1の転送電極21a)が形成される。
その後、有機洗浄やウエットエッチングにより、被覆材25を除去する。
これにより、図9Cに示すように、上面がラウンド形状の転送電極21(第1の転送電極21a)が形成される。
このときのエッチバック工程のドライエッチングの条件としては、例えば次の条件が挙げられる。
圧力:10〜30mTorr程度
バイアス:100W程度
エッチングガスの種類及び流量:Cl2 50sccm、O2 10sccm、SF6 15sccm
圧力:10〜30mTorr程度
バイアス:100W程度
エッチングガスの種類及び流量:Cl2 50sccm、O2 10sccm、SF6 15sccm
次に、図10Dに示すように、第1の転送電極21aを覆って、必要な絶縁膜22を形成する。
次に、図10Eに示すように、遮光膜23を被覆形成する。
続いて、図10Fに示すように、遮光膜23を加工して、受光センサ部上に開口を有するパターンに形成する。
このようにして、図7に示した断面構造を形成することができる。
次に、図10Eに示すように、遮光膜23を被覆形成する。
続いて、図10Fに示すように、遮光膜23を加工して、受光センサ部上に開口を有するパターンに形成する。
このようにして、図7に示した断面構造を形成することができる。
また、図8に示した断面における製造工程の流れを、図11A〜図12Fを参照して説明する。
まず、半導体基体10の表面の絶縁膜20上に、導電体層から成る第1層の電極層を形成し、この第1層の電極層を加工して、図11Aに示すように、第1層の電極層から成る第1の転送電極21aを形成する。
次に、図11Bに示すように、第1の転送電極21a上に、高粘性材料やリフロー性を有する被覆材25を形成する。なお、リフロー性を有する材料を被覆材25に使用する場合には、被覆材を形成した後にリフローを実施する。
これにより、第1の転送電極21aの段差に緩やかに追随した被覆形状の被覆材25が形成される。
次に、エッチバックを実施して、被覆材25のラウンド形状を第1の転送電極21aへ転写する。
その後、有機洗浄やウエットエッチングにより、被覆材25を除去する。
これにより、図11Cに示すように、上面がラウンド形状の第1の転送電極21aが形成される。
まず、半導体基体10の表面の絶縁膜20上に、導電体層から成る第1層の電極層を形成し、この第1層の電極層を加工して、図11Aに示すように、第1層の電極層から成る第1の転送電極21aを形成する。
次に、図11Bに示すように、第1の転送電極21a上に、高粘性材料やリフロー性を有する被覆材25を形成する。なお、リフロー性を有する材料を被覆材25に使用する場合には、被覆材を形成した後にリフローを実施する。
これにより、第1の転送電極21aの段差に緩やかに追随した被覆形状の被覆材25が形成される。
次に、エッチバックを実施して、被覆材25のラウンド形状を第1の転送電極21aへ転写する。
その後、有機洗浄やウエットエッチングにより、被覆材25を除去する。
これにより、図11Cに示すように、上面がラウンド形状の第1の転送電極21aが形成される。
次に、図12Dに示すように、第1の転送電極21aを覆って、必要な絶縁膜24を形成する。
次に、図12Eに示すように、導電体層から成る第2層の電極層26を被覆形成する。
続いて、図12Fに示すように、第2層の電極層26を加工して、第2層の電極層26から成る第2の転送電極21bを形成する。
このようにして、図8に示した断面構造、即ち上面が滑らかなラウンド形状の第1の転送電極21aと、絶縁膜24を介して隣接形成された第2の転送電極21bとを有する構造が得られる。
次に、図12Eに示すように、導電体層から成る第2層の電極層26を被覆形成する。
続いて、図12Fに示すように、第2層の電極層26を加工して、第2層の電極層26から成る第2の転送電極21bを形成する。
このようにして、図8に示した断面構造、即ち上面が滑らかなラウンド形状の第1の転送電極21aと、絶縁膜24を介して隣接形成された第2の転送電極21bとを有する構造が得られる。
なお、図9A〜図10Fに示した各工程と、図11A〜図12Fに示した各工程との関係は、以下の通りである。
図9A〜図9Cの各工程と、図11A〜図11Cの各工程とを、それぞれ同時に行う。即ち、図9Aと図11A、図9Bと図11B、並びに図9Cと図11Cを、それぞれ同時に行う。
図9C及び図11Cの工程の後に、先に図12D〜図12Fの各工程を行う。
図12Fの工程の後に、表面に層間絶縁膜(遮光膜23と転送電極21とを絶縁する膜)を形成する。この層間絶縁膜は、第1の転送電極21aのみの部分では第1の転送電極21上の絶縁膜24を覆って形成される。このときの状態が図10Dであり、図10Dの絶縁膜22は、絶縁膜24と層間絶縁膜とを合わせたものである。
その後、図10E〜図10Fの各工程を行う。
図9A〜図9Cの各工程と、図11A〜図11Cの各工程とを、それぞれ同時に行う。即ち、図9Aと図11A、図9Bと図11B、並びに図9Cと図11Cを、それぞれ同時に行う。
図9C及び図11Cの工程の後に、先に図12D〜図12Fの各工程を行う。
図12Fの工程の後に、表面に層間絶縁膜(遮光膜23と転送電極21とを絶縁する膜)を形成する。この層間絶縁膜は、第1の転送電極21aのみの部分では第1の転送電極21上の絶縁膜24を覆って形成される。このときの状態が図10Dであり、図10Dの絶縁膜22は、絶縁膜24と層間絶縁膜とを合わせたものである。
その後、図10E〜図10Fの各工程を行う。
上述した製造工程により、上面が滑らかなラウンド形状の第1の転送電極21aと、絶縁膜24を介して形成された第2の転送電極21bと、絶縁膜22を介して隣接形成された遮光膜23とを有する構造が得られる。
なお、第2の転送電極21bをパターニングした後に、再度被覆材の形成工程とエッチバック工程とを行うことにより、第2の転送電極21bのコーナー部や端部(第1の転送電極21aとのオーバーラップ部)をラウンド形状にすることも可能である。
上述の本実施の形態によれば、第1の転送電極21aの上面がラウンド形状であり、コーナー部に凹面がないため、凹面による体積の減少及び抵抗上昇は発生しない。
また、従来の構成で生じていた転送電極のコーナー部における電界集中を、良好に緩和することができる。
さらに、第1の転送電極21aの段差によって、その上の絶縁膜22,24や遮光膜23、並びに第2の転送電極21b等が、第1の転送電極21aのコーナー部分で薄くなったり段切れしたりする問題を解消することが可能になる。
また、従来の構成で生じていた転送電極のコーナー部における電界集中を、良好に緩和することができる。
さらに、第1の転送電極21aの段差によって、その上の絶縁膜22,24や遮光膜23、並びに第2の転送電極21b等が、第1の転送電極21aのコーナー部分で薄くなったり段切れしたりする問題を解消することが可能になる。
従って、第1の転送電極21aと第2の転送電極21b間の絶縁膜24を薄くして、転送効率の向上を図ることができる。
同様に、第1の転送電極21aと遮光膜23との間の絶縁膜22を薄くすることができ、これにより遮光膜23と半導体基体10との間の絶縁膜を従来よりも薄くして、スミア特性を改善することができる。
また、遮光膜23を薄くすることも可能になるため、遮光膜23の上面の高さを低くして、受光センサ部の電荷蓄積領域から見て広い角度の開口が形成され、広い角度範囲から光を受光センサ部の電荷蓄積領域へ入射させることが可能になる。
同様に、第1の転送電極21aと遮光膜23との間の絶縁膜22を薄くすることができ、これにより遮光膜23と半導体基体10との間の絶縁膜を従来よりも薄くして、スミア特性を改善することができる。
また、遮光膜23を薄くすることも可能になるため、遮光膜23の上面の高さを低くして、受光センサ部の電荷蓄積領域から見て広い角度の開口が形成され、広い角度範囲から光を受光センサ部の電荷蓄積領域へ入射させることが可能になる。
また本実施の形態の製造方法によれば、第1の転送電極21a上に、第1の転送電極21aの形状に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材25を形成し、この被覆材25の滑らかな形状をエッチバックにより第1の転送電極21aに転写することにより、第1の転送電極21aの上面を滑らかなラウンド形状とすることができる。
これにより、第1の転送電極21aのコーナー部に凹面がないため、凹面による体積の減少及び抵抗上昇は発生しない。
さらに、第1の転送電極21aのコーナー部に凹面がないようにするための複数の追加工程が不要となるため、工程数の増加の問題が生じない。
これにより、第1の転送電極21aのコーナー部に凹面がないため、凹面による体積の減少及び抵抗上昇は発生しない。
さらに、第1の転送電極21aのコーナー部に凹面がないようにするための複数の追加工程が不要となるため、工程数の増加の問題が生じない。
従って、本実施の形態によれば、良好な特性を有する固体撮像素子を、容易にかつ歩留まりよく製造することが可能になる。
さらに、固体撮像素子の小型化を図ることも可能になる。
さらに、固体撮像素子の小型化を図ることも可能になる。
なお、上述の実施の形態では、第1の転送電極21aの上面全体がラウンド形状となっていたが、第1の転送電極21aのコーナー部のみがラウンド形状又は略直線形状である構成とすることも可能である。この場合も上面全体がラウンド形状である場合と同様に、コーナー部における電界集中を緩和することができ、また第1の転送電極21a上の各層を薄く形成することが可能になる。
この構成とする場合には、例えば、先の半導体装置の実施の形態で説明したと同様に、被覆材の形状を転送電極に転写するエッチバック工程を途中で停止して、転送電極はコーナー部のみがエッチングされるようにすればよい。
この構成とする場合には、例えば、先の半導体装置の実施の形態で説明したと同様に、被覆材の形状を転送電極に転写するエッチバック工程を途中で停止して、転送電極はコーナー部のみがエッチングされるようにすればよい。
続いて、本発明のさらに他の実施の形態として、固体撮像素子の転送電極のコーナー部を半導体基体の表面に対し高角度でエッチングする場合を説明する。
以下、転送電極付近の拡大断面図である図13A〜図13Dを参照して、本実施の形態の構成の製造工程を説明する。
まず、図13Aは、先の実施の形態の図9A及び図11Aと同じ状態を示している。
次に、図13Bに示すように、転送電極21を覆って被覆材25を形成する。このとき、転送電極21のコーナー部上において、被覆材25の表面が半導体基体10の表面に対して高角度θをなすように形成する。
さらに、エッチバックを行うことにより、図13Cに示すように、転送電極21のコーナー部21Cが半導体基体10の表面に対して高角度をなす構造が得られる。
その後、絶縁膜22とその上の遮光膜23を順次形成し、図13Dに示す状態となる。この図13Dでは、転送電極21上に形成された遮光膜23の端部において、斜め入射光Lが反射されずに受光センサ部(図示せず)に入射する様子が示されている。
以下、転送電極付近の拡大断面図である図13A〜図13Dを参照して、本実施の形態の構成の製造工程を説明する。
まず、図13Aは、先の実施の形態の図9A及び図11Aと同じ状態を示している。
次に、図13Bに示すように、転送電極21を覆って被覆材25を形成する。このとき、転送電極21のコーナー部上において、被覆材25の表面が半導体基体10の表面に対して高角度θをなすように形成する。
さらに、エッチバックを行うことにより、図13Cに示すように、転送電極21のコーナー部21Cが半導体基体10の表面に対して高角度をなす構造が得られる。
その後、絶縁膜22とその上の遮光膜23を順次形成し、図13Dに示す状態となる。この図13Dでは、転送電極21上に形成された遮光膜23の端部において、斜め入射光Lが反射されずに受光センサ部(図示せず)に入射する様子が示されている。
上述の本実施の形態によれば、先の実施の形態と同様の効果が得られると共に、第1の転送電極21aのコーナー部を半導体基体10の表面に対し高角度でエッチングできるため、遮光膜23による入射光のケラレを大きく改善することができる。
上述の各実施の形態の固体撮像素子は、固体撮像素子の転送電極が2層の電極層から構成されていたが、その他の構成の固体撮像素子にも本発明を適用することができる。
例えば、転送電極が同一層の電極層のみ(単層の電極層)から構成されている場合や、3層以上の電極層から構成されている場合にも適用することが可能である。
また、CCD固体撮像素子等の電荷転送部を有する固体撮像素子に限らず、例えばCMOS型固体撮像素子の画素内のMOSトランジスタのゲート電極等にも本発明を適用することが可能である。
例えば、転送電極が同一層の電極層のみ(単層の電極層)から構成されている場合や、3層以上の電極層から構成されている場合にも適用することが可能である。
また、CCD固体撮像素子等の電荷転送部を有する固体撮像素子に限らず、例えばCMOS型固体撮像素子の画素内のMOSトランジスタのゲート電極等にも本発明を適用することが可能である。
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
1,10 半導体基体、2 絶縁膜、3 導電体層、4,25 被覆材、6 層間絶縁層、7 導電体層、8 、11 受光センサ部、12 読み出しゲート部、13 垂直転送レジスタ、14 水平転送レジスタ、15 出力部、16 チャネルストップ領域、21 転送電極、21a 第1の転送電極、21b 第2の転送電極、22,24 絶縁膜、23 遮光膜、30 固体撮像素子
Claims (6)
- 半導体基体上に、絶縁層を介して、少なくとも1層以上の導電体層が設けられ、
前記導電体層の少なくとも一部において、コーナー部がラウンド形状とされている
ことを特徴とする半導体装置。 - 半導体基体内に受光センサ部が形成され、
前記半導体基体上に、絶縁層を介して、少なくとも1層以上の電極層が設けられ、
前記受光センサ部の周囲の前記電極層の少なくとも一部において、コーナー部がラウンド形状とされている
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 半導体基体上に、絶縁層を介して、少なくとも1層以上の導電体層が設けられた半導体装置を製造する方法であって、
導電体層を形成し、前記導電体層をパターニングする工程と、
前記導電体層上に、前記導電体層の形状変化に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材を被覆形成する工程と、
前記被覆材の形状をエッチバックにより前記導電体層に転写して、前記導電体層のコーナー部をラウンド形状又は略直線形状とする工程とを有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記被覆材に、粘性の高い材料を用いることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基体内に受光センサ部が形成され、
前記半導体基体上に、絶縁層を介して、少なくとも1層以上の電極層が設けられた固体撮像素子を製造する方法であって、
電極層を形成し、前記電極層をパターニングする工程と、
前記電極層上に、前記電極層の形状変化に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材を被覆形成する工程と、
前記被覆材の形状をエッチバックにより前記電極層に転写して、前記電極層のコーナー部をラウンド形状又は略直線形状とする工程とを有する
ことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 前記被覆材に、粘性の高い材料を用いることを特徴とする請求項5に記載の固体撮像素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004152464A JP2005333089A (ja) | 2004-05-21 | 2004-05-21 | 半導体装置、固体撮像素子、半導体装置の製造方法、固体撮像素子の製造方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007234746A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 集積回路製造方法 |
JP2008177220A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Fujifilm Corp | 固体撮像装置 |
JP2009147173A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Sharp Corp | 固体撮像装置の製造方法および電子情報機器 |
-
2004
- 2004-05-21 JP JP2004152464A patent/JP2005333089A/ja active Pending
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