JP5061751B2 - ウェハプローバ用ウェハ保持体 - Google Patents
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Description
本発明によるウェハプローバ用ウェハ保持体を以下のごとく作製した。即ち、純度99.5%、直径310mm、厚み15mmのアルミナ基板を用意した。このアルミナ基板のウェハ搭載面側に、ウェハを真空チャックするための同心円状の溝と貫通孔を形成し、更にニッケルメッキを施してチャックトップ導体層を形成した。その後、チャックトップ導体層を研磨加工して全体の反り量を10μmとし、表面粗さをRaで0.02μmに仕上げてウェハ載置面を形成することで、チャックトップとした。
チャックトップの材質をAl−SiCにした以外は、上記実施例1及び比較例1と同様にして、実施例2及び比較例2のウェハプローバ用ウェハ保持体を作製した。上記実施例1と同様に均熱性を評価したところ、ウェハ内の温度レンジは、実施例2のウェハ保持体で±0.5℃、比較例2のウェハ保持体では±1.0℃であった。
均熱板の外径が温度レンジに与える影響を評価するために、上記実施例1のウェハプローバ用ウェハ保持体に、直径280mm、厚み10mmの銅板からなるの冷却ユニットを搭載したウェハプローバ用ウェハ保持体を用意した。尚、この冷却ユニットは均熱板の下面に配置して、複数のネジで固定してチャックトップと一体化させた。
ウェハ保持体の均熱板の材質をアルミニウムとし、チャックトップの材質をアルミナまたはAl−SiCとした以外は上記実施例3と同様にして、均熱板/チャックトップ外径比及び各ウェハ保持体の均熱性を調べた。得られた結果について、チャックトップがアルミナの試料9〜12の場合を下記表3に、及びチャックトップがAl−SiCの試料13〜16の場合を下記表4に示した。
上記実施例1のウェハプローバ用ウェハ保持体において、直径310mm、厚み2mmの無酸素銅の均熱板に代えて、直径310mm、厚み2mmの無酸素銅の均熱板と、直径280mm、厚み10mmの銅板の冷却ユニットとを一体化した均熱冷却ユニットを搭載して、試料17のウェハ保持体を作製した。この試料17のウェハ保持体について、上記実施例1と同様にして均熱性を調べ、得られた結果を下記表5に示した。
上記実施例1のウェハプローバ用ウェハ保持体において、支持体の切欠溝穴M1の合計面積と、均熱板の切欠溝穴M2の合計面積との比、即ちM1/M2を、下記表6に示すように4600%から40%の間で変化させた7種類のウェハ保持体を作製した。
2 チャックトップ
2a 載置面
3 チャックトップ導体層
4 支持体
4a 突出部
5 空隙
6 加熱体
6a 抵抗発熱体
6b 絶縁体
7 均熱板
8 クッション材
9 支持棒
10 冷却ユニット
11 昇降手段
12 均熱冷却ユニット
Claims (4)
- 表面にチャックトップ導体層を有するチャックトップと、チャックトップのウェハ載置面と反対の裏面側に設けた高熱伝導材料からなる均熱板と、チャックトップと均熱板の間に配置され且つ両部品より剛性の低いクッション材と、チャックトップを支持する有底円筒状の支持体と、均熱板の裏面側に支持体と接触しないように設けた加熱体とからなり、該均熱板は−55℃〜200℃の温度範囲において該チャックトップの外径に対して95%以上の外径を有し、該支持体には該チャックトップの裏面外周部に当接して支持する複数の突出部を残して切欠溝穴M1が設けられ、該均熱板と該クッション材には該支持体の各突出部と接触しないように複数の切欠溝穴M2が設けられると共に、該均熱板と該クッション材及び該加熱体が該支持体の切欠溝穴M1を埋めるように設置されており、該支持体の切欠溝穴M1の合計面積が、該均熱板の切欠溝穴M2の合計面積の50%以上であることを特徴とするウェハプローバ用ウェハ保持体。
- 前記均熱板の裏面側に、冷却制御可能な冷却ユニットを備えることを特徴とする、請求項1に記載のウェハプローバ用ウェハ保持体。
- 前記均熱板と冷却ユニットが一体化していることを特徴とする、請求項2に記載のウェハプローバ用ウェハ保持体。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のウェハプローバ用ウェハ保持体を搭載したことを特徴とするウェハプローバ。
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