JP5056309B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
した。約10分でポリイミドを除去することができる。このとき、表面の金属膜301、302は酸素プラズマによっては分解されないため、これら金属膜301、302がマスクとなって、その下側の絶縁フィルム300はエッチングされないで残存する。
11:駆動壁
12:インクチャネル
121:前面側の開口部
122:後面側の開口部
122a:上端の開口部
122b:下端の開口部
13:空気チャネル
131:前面側の開口部
132:後面側の開口部
14:駆動電極
15A、15B:共通電極
16A:接続電極
161B:第1の接続電極
162B:第2の接続電極
2:ノズルプレート
21:ノズル
3:配線
31:絶縁層
32:金属膜層
33、34:貫通電極
4、7:流路規制部材
41、71:絶縁層
42、72:金属膜層
5:配線基板
51a、51b:張り出し部
52:凹部
53:配線電極
54:開口
55:インクマニホールド
6:FPC
8:配線
8a:ボンディング部
500:配線基板
501a、501b:張り出し部
502:凹部
503:配線電極
504:開口
505:インクマニホールド
Claims (15)
- チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成され、前記チャネルは、インク吐出を行うインクチャネルとインク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されてチャネル列を構成し、該チャネル列が複数並設されてなるヘッドチップを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記インクチャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記複数のチャネル列のうちのヘッドチップの端部側に位置するいずれかのチャネル列をA列、該A列に隣接するチャネル列をB列とするとき、
前記ヘッドチップの後面に、前記A列の空気チャネルの駆動電極と導通する共通電極が前記B列側に向けて引き出し形成されており、前記B列の空気チャネルの駆動電極と導通する共通電極が、前記A列側又は該A列とは反対側に向けて引き出し形成されていると共に、
前記A列のインクチャネルの駆動電極と導通する接続電極が、前記ヘッドチップの端部に向けて引き出し形成されており、前記B列のインクチャネルの駆動電極と導通する接続電極が、前記A列側に向けて引き出し形成され、且つ、該A列の前記共通電極及び該A列を跨いで、該A列の前記接続電極と並列するように配線されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記チャネル列は4列であり、前記ヘッドチップの端部側に位置する2つのチャネル列をそれぞれA列、内側に位置する2つのチャネル列をそれぞれB列とすることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記B列の各接続電極は、該B列の各インクチャネルから引き出された第1の接続電極と、前記A列の各接続電極と並列するように配設された第2の接続電極とに分割されており、
前記ヘッドチップの後面に臨む全空気チャネルの開口部のうち、少なくとも前記A列の各空気チャネルの開口部は、絶縁層と金属膜層とを有する積層体が、前記絶縁層を前記ヘッドチップの後面側に位置させて接着されることにより閉塞され、且つ、該積層体は、前記第1の接続電極から前記第2の接続電極に亘る長さで形成されており、
前記第1の接続電極と前記第2の接続電極とが前記積層体の金属膜層によってそれぞれ電気的に接続されていることを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッド。 - 前記積層体は、前記第1の接続電極と前記積層体の金属膜層とが重なる領域及び前記第2の接続電極と前記積層体の金属膜層とが重なる領域において、それぞれ前記絶縁層を貫通する貫通電極が設けられており、該貫通電極によって前記金属膜層が前記第1の接続電極及び前記第2の接続電極とそれぞれ導通し、該第1の接続電極と第2の接続電極とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、前記第1の接続電極と前記積層体の金属膜層とが重なる領域及び前記第2の接続電極と前記積層体の金属膜層とが重なる領域において、前記絶縁層の少なくとも一部が除去されており、該絶縁層が除去された部位において前記金属膜層が前記第1の接続電極及び前記第2の接続電極とそれぞれ導通し、該第1の接続電極と第2の接続電極とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、前記第1の接続電極と前記積層体の金属膜層とが重なる領域及び前記第2の接続電極と前記積層体の金属膜層とが重なる領域に、前記金属膜層が前記第1の接続電極及び前記第2の接続電極とそれぞれ導通するように、導電性接着剤又は半田が塗布され、該第1の接続電極と第2の接続電極とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、前記第1の接続電極と前記積層体の金属膜層とが重なる領域及び前記第2の接続電極と前記積層体の金属膜層とが重なる領域において、前記積層体の端部が前記ヘッドチップの後面側に向けて折り曲げられ、該折り曲げられた部位において前記金属膜層が前記第1の接続電極及び前記第2の接続電極とそれぞれ導通し、該第1の接続電極と第2の接続電極とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体の絶縁層は、ドライエッチング可能な有機フィルムからなることを特徴とする請求項3〜7のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、前記A列の空気チャネル毎に独立して設けられていることを特徴とする請求項3〜8のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記積層体は、その両面がパラキシリレン及びその誘導体による膜によってコーティングされていることを特徴とする請求項3〜9のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記B列の各接続電極は、該B列の各インクチャネルから引き出された第1の接続電極と、前記A列の各接続電極と並列するように配設された第2の接続電極とに分割されており、
該第1の接続電極と第2の接続電極とがワイヤーボンディング法による配線によってそれぞれ電気的に接続されていることを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッド。 - 前記ヘッドチップは、前記ワイヤーボンディング法による配線のボンディング部に相当する領域が、非圧電材料で形成されていることを特徴とする請求項11記載のインクジェットヘッド。
- 前記ワイヤーボンディング法による配線が、パラキシリレン及びその誘導体による膜によってコーティングされていることを特徴とする請求項11又は12記載のインクジェットヘッド。
- 前記ヘッドチップの後面に臨む各インクチャネルの開口部には、該開口部の開口面積を絞るように流路を規制する流路規制部材が、該インクチャネル毎に独立して設けられていることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記流路規制部材は、前記各インクチャネルの開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように開口面積を絞っていることを特徴とする請求項14記載のインクジェットヘッド。
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