JP5224782B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
101a、106a 表面
101b、106b 裏面
102 インク供給口
103 吐出口
104 ノズル材
105 第1の貫通電極
106 補強板
107 梁
108 電極
109 第2の貫通電極
211 駆動素子
Claims (3)
- 液体を吐出する吐出口を備えた部材と、前記吐出口から液体を吐出する吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段と液体供給口とを備えた第1の基板と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
第1のウエハの表面に前記部材を形成する工程と、
前記第1のウエハを貫通して、複数の前記液体供給口を形成する工程と、
前記第1のウエハに、当該第1のウエハを貫通して、前記吐出エネルギー発生手段に電力を供給するための第1の貫通電極を形成する工程と、
第2のウエハに、当該第2のウエハを貫通して、複数の開口を形成する工程と、
前記第2のウエハに、当該第2のウエハを貫通して、第2の貫通電極を形成する工程と、
前記第1のウエハの裏面と前記第2のウエハの表面とを、前記液体供給口と前記開口とが連通し、前記第1の貫通電極と前記第2の貫通電極とが電気的に導通するように接合する工程と、
前記接合する工程において接合された前記第1のウエハと前記第2のウエハとを、前記部材が設けられていない、前記部材の外側の周囲で切断することによって、前記部材が表面に形成され、かつ前記第2のウエハに形成され前記第2の貫通電極と前記開口とを有する第2の基板が裏面に接合された状態の、前記第1のウエハに形成され前記第1の貫通電極と前記液体供給口とを有する前記第1の基板を複数切り出す工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第1の貫通電極と前記第2の貫通電極とを電気的に接続するための配線を、前記第2のウエハに形成された前記第2の基板の表面に形成した後に、前記第1のウエハと前記第2のウエハとを接合する、請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第2のウエハに形成された前記第2の基板に、前記吐出エネルギー発生手段を駆動する駆動手段を形成した後に、前記第1のウエハと前記第2のウエハとを接合する、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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