JP4905046B2 - インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド - Google Patents
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有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するように予めパターニングされた積層フィルムを形成し、前記ヘッドチップの後面に、前記マスク層がパターニングされた前記積層フィルムを接着した後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより前記流路規制部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
有機フィルムの表面全面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層となる部材を形成した積層フィルムを前記ヘッドチップの後面に接着した後、前記マスク層となる部材を前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングすることにより前記マスク層を形成し、その後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより前記流路規制部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を形成すると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように開口面積を絞る前記流路規制部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を形成すると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞る前記流路規制部材を、チャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を形成すると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞る前記流路規制部材を形成し、その後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を、チャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を形成し、その後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記インクチャネルの後面側の開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように開口面積を絞る前記流路規制部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞る前記流路規制部材を、チャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように前記流路規制部材を形成し、その後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記流路規制部材をチャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより前記流路規制部材を形成し、その後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように、前記流路規制部材を形成することを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように、前記流路規制部材を形成することを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッドの製造方法。
請求項17記載の発明は、前記流路規制部材を、チャネル毎に独立して形成することを特徴とする請求項1、2、3、8、13〜16のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
請求項18記載の発明は、前記ヘッドチップの後面に前記流路規制部材を形成した後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とする請求項1、2、3、4、6、8、9、11、13〜17のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
請求項19記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように形成されていると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されており、前記インクチャネルの後面側の開口部は、該開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように前記流路規制部材によって開口面積が絞られていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項20記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように、チャネル毎に独立して形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項21記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように形成されていると共に、その両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項22記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、チャネル毎に独立して、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように形成されていると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項23記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように形成されていると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されており、該流路規制部材の両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項24記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されていると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部は、該開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように前記流路規制部材によって開口面積が絞られていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項25記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように、チャネル毎に独立して形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項26記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されていると共に、その両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項27記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、チャネル毎に独立して形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項28記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって形成されていると共に、その両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
請求項29記載の発明は、前記流路規制部材は、チャネル毎に独立して形成されていることを特徴とする請求項19又は24記載のインクジェットヘッドである。
請求項30記載の発明は、前記流路規制部材は、その両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とする請求項19、20、22、24、25、27又は29記載のインクジェットヘッドである。
11:駆動壁
12:インクチャネル
121:前面側の開口部
122:後面側の開口部
122a:上端の開口部
122b:下端の開口部
13:空気チャネル
131:前面側の開口部
132:後面側の開口部
14:駆動電極
15:接続電極
16:共通電極
17:パリレン膜
2:ノズルプレート
21:ノズル
3、31、32:流路規制部材
3a、31a、32a:有機フィルム層
3b、31b、32b:マスク層
4:配線基板
41a、41b:張り出し部
42:凹部
43、44:配線電極
45:開口
46:インクマニホールド
5、6:FPC
100:基板
101:圧電素子基板
102:感光性樹脂フィルム
103:溝
104:金属膜
105:基板
106:ヘッド基板
200:感光性樹脂フィルム
201、202:開口
300:積層フィルム
301:有機フィルム
302:金属膜
400:レジスト
401:フォトマスク
401a:開口
402:独立パターンのレジスト
Claims (30)
- チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するように予めパターニングされた積層フィルムを形成し、前記ヘッドチップの後面に、前記マスク層がパターニングされた前記積層フィルムを接着した後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより前記流路規制部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
有機フィルムの表面全面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層となる部材を形成した積層フィルムを前記ヘッドチップの後面に接着した後、前記マスク層となる部材を前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングすることにより前記マスク層を形成し、その後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより前記流路規制部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を形成すると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように開口面積を絞る前記流路規制部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を形成すると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞る前記流路規制部材を、チャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を形成すると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞る前記流路規制部材を形成し、その後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を、チャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞する前記流路規制部材を形成し、その後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記インクチャネルの後面側の開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように開口面積を絞る前記流路規制部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞る前記流路規制部材を、チャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように前記流路規制部材を形成し、その後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより、前記流路規制部材をチャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップの後面に、有機フィルムの表面に該有機フィルムのドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が前記インクの流路を規制すべきチャネルに対応するようにパターニングされてなる積層フィルムを設けた後、前記マスク層の側からドライエッチングし、前記マスク層で被覆された部位以外の前記有機フィルムを除去することにより前記流路規制部材を形成し、その後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように、前記流路規制部材を形成することを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように、前記流路規制部材を形成することを特徴とする請求項13記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように、前記流路規制部材を形成することを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように前記流路規制部材を形成する際、該開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように前記流路規制部材を形成することを特徴とする請求項14又は15記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記流路規制部材を、チャネル毎に独立して形成することを特徴とする請求項1、2、3、8、13〜16のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記ヘッドチップの後面に前記流路規制部材を形成した後、前記ヘッドチップに対してパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜をコーティングし、前記流路規制部材の両面を前記被膜により被覆した後、前記ヘッドチップの前面にノズルプレートを接着することを特徴とする請求項1、2、3、4、6、8、9、11、13〜17のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように形成されていると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されており、前記インクチャネルの後面側の開口部は、該開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように前記流路規制部材によって開口面積が絞られていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように、チャネル毎に独立して形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように形成されていると共に、その両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、チャネル毎に独立して、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように形成されていると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルと、インク吐出を行わない空気チャネルとが交互に配置されており、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記空気チャネルの後面側の開口部を閉塞するように形成されていると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されており、該流路規制部材の両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されていると共に、前記インクチャネルの後面側の開口部は、該開口部の上端又は下端の少なくとも一方が開口するように前記流路規制部材によって開口面積が絞られていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように、チャネル毎に独立して形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出を行うインクチャネルであり、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、前記インクチャネルの後面側の開口部の開口面積を絞るように形成されていると共に、その両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって、チャネル毎に独立して形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に駆動電極が形成されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に設けられ、前記チャネル内へのインクの流路を規制する流路規制部材とを有し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記流路規制部材は、ドライエッチングより形成された有機フィルム層の表面に該有機フィルム層のドライエッチング時にはエッチングされないマスク層が積層された積層体によって形成されていると共に、その両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記流路規制部材は、チャネル毎に独立して形成されていることを特徴とする請求項19又は24記載のインクジェットヘッド。
- 前記流路規制部材は、その両面がパラキシリレン及びその誘導体からなる被膜によりコーティングされていることを特徴とする請求項19、20、22、24、25、27又は29記載のインクジェットヘッド。
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