JPH09160223A - ペリクル用フィルター及びその作製方法 - Google Patents
ペリクル用フィルター及びその作製方法Info
- Publication number
- JPH09160223A JPH09160223A JP34676895A JP34676895A JPH09160223A JP H09160223 A JPH09160223 A JP H09160223A JP 34676895 A JP34676895 A JP 34676895A JP 34676895 A JP34676895 A JP 34676895A JP H09160223 A JPH09160223 A JP H09160223A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- pellicle
- adhesive
- release sheet
- adhesive layer
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 フィルター本体の一面に粘着層をリング
状に形成すると共に、この粘着層を離型シートに接着し
てなり、使用時に上記離型シートを剥離除去し、ペリク
ル枠の気圧調整用通気孔を覆ってこのペリクル枠に上記
粘着層を接着するペリクル用フィルターにおいて、上記
離型シートに上記粘着層の中空部と連通する粘着性液体
導入用孔を穿設したことを特徴とするペリクル用フィル
ター。 【効果】 本発明によれば、フィルター本体の内面を効
率よく簡単にかつ確実に粘着性液体で湿潤することがで
きる。
状に形成すると共に、この粘着層を離型シートに接着し
てなり、使用時に上記離型シートを剥離除去し、ペリク
ル枠の気圧調整用通気孔を覆ってこのペリクル枠に上記
粘着層を接着するペリクル用フィルターにおいて、上記
離型シートに上記粘着層の中空部と連通する粘着性液体
導入用孔を穿設したことを特徴とするペリクル用フィル
ター。 【効果】 本発明によれば、フィルター本体の内面を効
率よく簡単にかつ確実に粘着性液体で湿潤することがで
きる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ペリクル枠に設け
た気圧調整用通気孔を覆って、このペリクル枠に取り付
けられるペリクル用フィルター及びその作製方法に関す
る。
た気圧調整用通気孔を覆って、このペリクル枠に取り付
けられるペリクル用フィルター及びその作製方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ＬＳ
Ｉ、超ＬＳＩ等の半導体装置あるいは液晶表示板等の製
造においては、半導体ウェハーあるいは液晶用原版に光
を照射してパターニングを作成するのであるが、この場
合に用いる露光原版に異物が付着していると、この異物
が光を吸収したり、光を曲げてしまうため、転写したパ
ターニングが変形したり、エッジががさついたものとな
るほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観等
が損なわれ、半導体装置や液晶表示板等の性能や、製造
歩留りの低下を来すという問題があった。
Ｉ、超ＬＳＩ等の半導体装置あるいは液晶表示板等の製
造においては、半導体ウェハーあるいは液晶用原版に光
を照射してパターニングを作成するのであるが、この場
合に用いる露光原版に異物が付着していると、この異物
が光を吸収したり、光を曲げてしまうため、転写したパ
ターニングが変形したり、エッジががさついたものとな
るほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観等
が損なわれ、半導体装置や液晶表示板等の性能や、製造
歩留りの低下を来すという問題があった。
【０００３】このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原版を常に清浄に保つことは難しいので、露光原版の表
面に異物よけのための露光用の光を良く通過させるペリ
クルを貼着する方法が採用されている。
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原版を常に清浄に保つことは難しいので、露光原版の表
面に異物よけのための露光用の光を良く通過させるペリ
クルを貼着する方法が採用されている。
【０００４】この場合、異物は、露光原版の表面上には
直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフ
ィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけ
ば、ペリクル上の異物は転写に無関係となるものであ
る。このペリクル膜は通常光を良く通過させるニトロセ
ルロース、酢酸セルロース等からなる透明なペリクル膜
をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレン等からなる
ペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布
し、風乾して接着する（特開昭５８−２１９０２３号公
報参照）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で
接着し（米国特許第４８６１４０２号明細書、特公昭６
３−２７７０７号公報参照）、更に、ペリクルフレーム
の下端には、露光原版に装着するためのポリブデン樹
脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着
層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ
ー）が形成される。また、このペリクルについては、ペ
リクルを露光原版に貼り付けた状態において、ペリクル
枠内部の露光原版に囲まれた空間と外部との気圧差をな
くすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧
調整用の小孔を開け、小孔を通じて移動する空気からの
異物侵入を防ぐためのフィルターを設置する等の工夫が
されている（実公昭６３−３９３７０３号公報参照）。
直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフ
ィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけ
ば、ペリクル上の異物は転写に無関係となるものであ
る。このペリクル膜は通常光を良く通過させるニトロセ
ルロース、酢酸セルロース等からなる透明なペリクル膜
をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレン等からなる
ペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布
し、風乾して接着する（特開昭５８−２１９０２３号公
報参照）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で
接着し（米国特許第４８６１４０２号明細書、特公昭６
３−２７７０７号公報参照）、更に、ペリクルフレーム
の下端には、露光原版に装着するためのポリブデン樹
脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着
層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ
ー）が形成される。また、このペリクルについては、ペ
リクルを露光原版に貼り付けた状態において、ペリクル
枠内部の露光原版に囲まれた空間と外部との気圧差をな
くすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧
調整用の小孔を開け、小孔を通じて移動する空気からの
異物侵入を防ぐためのフィルターを設置する等の工夫が
されている（実公昭６３−３９３７０３号公報参照）。
【０００５】しかしながら、このフィルターの貼付時、
気圧差による通気が存在する際には、フィルター表面や
内部に存在する異物がフォトマスクとペリクルで囲まれ
る空間に侵入するおそれがある。
気圧差による通気が存在する際には、フィルター表面や
内部に存在する異物がフォトマスクとペリクルで囲まれ
る空間に侵入するおそれがある。
【０００６】このため、本出願人は、ペリクルフレーム
に気圧調整用の通気孔を少なくとも１つ設けてなるペリ
クルにおいて、該通気孔を覆うようにペリクルフレーム
が貼り付けられるフィルターの少なくとも一部が、前記
貼り付けに用いられる粘着剤とは別に用いられた粘着剤
により湿潤されていることを特徴とするフィルター付ペ
リクルを提案した。この提案によれば、フィルターが粘
着剤により湿潤されており、この湿潤は通気性が損なわ
ない程度とされているので、これによればここを通過す
る異物が捕獲されるほか、フィルター内部に発生又は潜
在する異物のペリクル内部への侵入が防止されるという
効果が与えられるものであるが、このような粘着剤によ
る湿潤をより効率よく行うことが望まれる。
に気圧調整用の通気孔を少なくとも１つ設けてなるペリ
クルにおいて、該通気孔を覆うようにペリクルフレーム
が貼り付けられるフィルターの少なくとも一部が、前記
貼り付けに用いられる粘着剤とは別に用いられた粘着剤
により湿潤されていることを特徴とするフィルター付ペ
リクルを提案した。この提案によれば、フィルターが粘
着剤により湿潤されており、この湿潤は通気性が損なわ
ない程度とされているので、これによればここを通過す
る異物が捕獲されるほか、フィルター内部に発生又は潜
在する異物のペリクル内部への侵入が防止されるという
効果が与えられるものであるが、このような粘着剤によ
る湿潤をより効率よく行うことが望まれる。
【０００７】本発明は、上記要望に応えたもので、粘着
性液体によって湿潤することが容易なペリクル用フィル
ター及びその作製方法を提供することを目的とする。
性液体によって湿潤することが容易なペリクル用フィル
ター及びその作製方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、フィルター本体の一面に粘着層をリング状
に形成すると共に、この粘着層を離型シートに接着して
なり、使用時に上記離型シートを剥離除去し、ペリクル
枠の気圧調整用通気孔を覆ってこのペリクル枠に上記粘
着層を接着するペリクル用フィルターにおいて、上記離
型シートに上記粘着層の中空部と連通する粘着性液体導
入用孔を穿設したことを特徴とするペリクル用フィルタ
ー、及び、上記フィルターにおいて、フィルター本体の
一面（内面）が粘着性液体で湿潤されてなるペリクル用
フィルターを提供する。また、フィルター本体の一面に
粘着層をリング状に形成し、この粘着層を粘着性液体導
入用孔を有する離型シートに接着した後、上記粘着性液
体導入用孔より粘着性液体を入れて上記フィルター本体
の一面をこの粘着性液体で湿潤することを特徴とする上
記ペリクル用フィルターの作製方法、及び、上記方法に
おいて、粘着性液体が上記導入用孔のみから導入される
ペリクル用フィルターの作製方法を提供する。
成するため、フィルター本体の一面に粘着層をリング状
に形成すると共に、この粘着層を離型シートに接着して
なり、使用時に上記離型シートを剥離除去し、ペリクル
枠の気圧調整用通気孔を覆ってこのペリクル枠に上記粘
着層を接着するペリクル用フィルターにおいて、上記離
型シートに上記粘着層の中空部と連通する粘着性液体導
入用孔を穿設したことを特徴とするペリクル用フィルタ
ー、及び、上記フィルターにおいて、フィルター本体の
一面（内面）が粘着性液体で湿潤されてなるペリクル用
フィルターを提供する。また、フィルター本体の一面に
粘着層をリング状に形成し、この粘着層を粘着性液体導
入用孔を有する離型シートに接着した後、上記粘着性液
体導入用孔より粘着性液体を入れて上記フィルター本体
の一面をこの粘着性液体で湿潤することを特徴とする上
記ペリクル用フィルターの作製方法、及び、上記方法に
おいて、粘着性液体が上記導入用孔のみから導入される
ペリクル用フィルターの作製方法を提供する。
【０００９】本発明によれば、上記フィルターのフィル
ター本体の内面を効率よく簡単に、かつ確実に粘着性液
体で湿潤することができる。
ター本体の内面を効率よく簡単に、かつ確実に粘着性液
体で湿潤することができる。
【００１０】即ち、このようなフィルターに粘着剤を湿
潤する方法としては、通常、スプレー法やフィルター本
体を粘着剤溶液中に浸漬する等の方法が採られるが、異
物の侵入を防ぐ観点からは、フィルターがペリクルフレ
ームに接する内面に粘着剤が塗布されることが最も重要
である。この場合、ペリクルのフィルターは、フィルタ
ー本体、外部からの摩擦に耐えるためのカバー、それに
ペリクルフレームに接着するための粘着層より構成され
るが、更にこのようなフィルターは、粘着層及びフィル
ター本体内面の保護のため、離型シートで被覆した状態
に作製、保管されるのが通常であるが、かかるフィルタ
ーの内面に粘着性を付与させるためには、フィルターカ
バーより粘着性液体を含浸させることは困難であるた
め、一旦離型シートをフィルター本体より剥離除去して
から粘着性液体を塗布乃至は含浸させる必要があり、従
って、この方法では複数個のフィルターを一括処理する
ことができず、生産性の低下の要因となる。
潤する方法としては、通常、スプレー法やフィルター本
体を粘着剤溶液中に浸漬する等の方法が採られるが、異
物の侵入を防ぐ観点からは、フィルターがペリクルフレ
ームに接する内面に粘着剤が塗布されることが最も重要
である。この場合、ペリクルのフィルターは、フィルタ
ー本体、外部からの摩擦に耐えるためのカバー、それに
ペリクルフレームに接着するための粘着層より構成され
るが、更にこのようなフィルターは、粘着層及びフィル
ター本体内面の保護のため、離型シートで被覆した状態
に作製、保管されるのが通常であるが、かかるフィルタ
ーの内面に粘着性を付与させるためには、フィルターカ
バーより粘着性液体を含浸させることは困難であるた
め、一旦離型シートをフィルター本体より剥離除去して
から粘着性液体を塗布乃至は含浸させる必要があり、従
って、この方法では複数個のフィルターを一括処理する
ことができず、生産性の低下の要因となる。
【００１１】これに対し、本発明においては、離型シー
トに粘着性液体導入用孔を穿設したことにより、粘着性
液体を該導入孔より導入することができるので、離型シ
ートを剥離することなくフィルター本体の内面を湿潤す
ることができ、従って生産性を向上させることができる
ものである。
トに粘着性液体導入用孔を穿設したことにより、粘着性
液体を該導入孔より導入することができるので、離型シ
ートを剥離することなくフィルター本体の内面を湿潤す
ることができ、従って生産性を向上させることができる
ものである。
【００１２】
【発明の実施の形態及び実施例】以下、本発明につき図
面を参照して更に詳しく説明すると、図１，２は本発明
の一実施例に係るペリクル用フィルターである。図中１
は、多数の微細孔（好ましくは孔径０．１〜１０μｍ）
を有する平板状のフィルター本体で、このフィルター本
体１は、例えばポリテトラフルオロエチレンなどのプラ
スチックフィルム、その他粘着性液体に侵されないもの
にて形成することが好ましい。２は、フィルター本体１
の一面（内面）にその周縁部に沿ってリング状（図にお
いては略四角リング状）に形成された粘着層で、この粘
着層２は、後述するペリクルフレームに接着し得るもの
であれば、いずれの粘着剤にて形成してもよいが、通常
はシリコーン系、アクリル系、ゴム系粘着剤にて形成す
ることができる。３は、この粘着層２に剥離可能に貼着
された離型シートで、この離型シート３は、上記粘着層
２の中空部２ａを閉塞するように貼着されていると共
に、その中央部にこの中空部２ａと連通する粘着性液体
導入用孔４が穿設されている。ここで、図においては、
この導入用孔４は、上記中空部２ａと同形状、同寸法を
有しているが、導入用孔４の形状、寸法はこれに限られ
ず、要は中空部２ａと連通し、粘着性液体を導入し得て
フィルター本体１内面を湿潤し得るものであればよい。
なお、５は、上記フィルター本体１の他面（外面）を覆
って取り付けられたフィルター本体１を保護するための
フィルターカバーであり、このカバー５には通気性を確
保するための孔５ａが多数穿設されている。
面を参照して更に詳しく説明すると、図１，２は本発明
の一実施例に係るペリクル用フィルターである。図中１
は、多数の微細孔（好ましくは孔径０．１〜１０μｍ）
を有する平板状のフィルター本体で、このフィルター本
体１は、例えばポリテトラフルオロエチレンなどのプラ
スチックフィルム、その他粘着性液体に侵されないもの
にて形成することが好ましい。２は、フィルター本体１
の一面（内面）にその周縁部に沿ってリング状（図にお
いては略四角リング状）に形成された粘着層で、この粘
着層２は、後述するペリクルフレームに接着し得るもの
であれば、いずれの粘着剤にて形成してもよいが、通常
はシリコーン系、アクリル系、ゴム系粘着剤にて形成す
ることができる。３は、この粘着層２に剥離可能に貼着
された離型シートで、この離型シート３は、上記粘着層
２の中空部２ａを閉塞するように貼着されていると共
に、その中央部にこの中空部２ａと連通する粘着性液体
導入用孔４が穿設されている。ここで、図においては、
この導入用孔４は、上記中空部２ａと同形状、同寸法を
有しているが、導入用孔４の形状、寸法はこれに限られ
ず、要は中空部２ａと連通し、粘着性液体を導入し得て
フィルター本体１内面を湿潤し得るものであればよい。
なお、５は、上記フィルター本体１の他面（外面）を覆
って取り付けられたフィルター本体１を保護するための
フィルターカバーであり、このカバー５には通気性を確
保するための孔５ａが多数穿設されている。
【００１３】上記ペリクル用フィルター６は、その離型
シート３の粘着性液体導入用孔４から粘着性液体を導入
し、フィルター本体１の少なくとも一面（内面）を湿潤
する。この場合、粘着性液体の湿潤方法としては、離型
シート３を剥離することなく、離型シート３を貼着した
状態で粘着性液体中に浸漬したり、上記導入用孔４から
粘着性液体をスプレー或いは滴下するなどの方法を採用
することができる。ここで、前者の方法では、フィルタ
ーカバー５も粘着性液体が付着するので、フィルター６
の取扱いに注意を要することがあるが、後者の方法では
カバー５に粘着性液体が付着することがないので、フィ
ルター６の取扱いが容易になり、保管に適したロール状
にフィルター６を丸めるなどのこともできる。従って、
このような点から、粘着性液体は上記導入用孔４のみか
ら導入することが推奨される。
シート３の粘着性液体導入用孔４から粘着性液体を導入
し、フィルター本体１の少なくとも一面（内面）を湿潤
する。この場合、粘着性液体の湿潤方法としては、離型
シート３を剥離することなく、離型シート３を貼着した
状態で粘着性液体中に浸漬したり、上記導入用孔４から
粘着性液体をスプレー或いは滴下するなどの方法を採用
することができる。ここで、前者の方法では、フィルタ
ーカバー５も粘着性液体が付着するので、フィルター６
の取扱いに注意を要することがあるが、後者の方法では
カバー５に粘着性液体が付着することがないので、フィ
ルター６の取扱いが容易になり、保管に適したロール状
にフィルター６を丸めるなどのこともできる。従って、
このような点から、粘着性液体は上記導入用孔４のみか
ら導入することが推奨される。
【００１４】なお、粘着性液体は、少なくともフィルタ
ー本体１の内面を湿潤していればよく、粘着性液体がフ
ィルター本体１を浸透してその外面を湿潤していても何
ら支障はない。
ー本体１の内面を湿潤していればよく、粘着性液体がフ
ィルター本体１を浸透してその外面を湿潤していても何
ら支障はない。
【００１５】ここで、上記粘着性液体としては、シリコ
ーン系、アクリル系、ゴム系などの粘着剤の溶液を用い
ることができる。
ーン系、アクリル系、ゴム系などの粘着剤の溶液を用い
ることができる。
【００１６】上記ペリクル用フィルターは、図３，４に
示すようにペリクルフレームに取り付けられて用いられ
る。即ち、図３，４はペリクル１０の一例を示すもの
で、このペリクル１０は、四角枠状のペリクルフレーム
１１の一端面（上端面）にペリクル膜１２を張設してな
るものであり、このペリクル１０は、ペリクルフレーム
１１の他端面（下端面）に形成された粘着剤層１３によ
りフォトマスク１４に取り付けられるものである。この
場合、ペリクルフレーム１１の側部には、ペリクルフレ
ーム１１内外の気圧差をなくすことを目的として気圧調
整用通気孔１５が穿設されるが、上記ペリクル用フィル
ター６は、その離型シート３を剥離除去し、粘着層２を
上記ペリクルフレーム１１の通気孔１５周縁部に貼着
し、通気孔１５をフィルター本体１で覆うように取り付
けられるものである。
示すようにペリクルフレームに取り付けられて用いられ
る。即ち、図３，４はペリクル１０の一例を示すもの
で、このペリクル１０は、四角枠状のペリクルフレーム
１１の一端面（上端面）にペリクル膜１２を張設してな
るものであり、このペリクル１０は、ペリクルフレーム
１１の他端面（下端面）に形成された粘着剤層１３によ
りフォトマスク１４に取り付けられるものである。この
場合、ペリクルフレーム１１の側部には、ペリクルフレ
ーム１１内外の気圧差をなくすことを目的として気圧調
整用通気孔１５が穿設されるが、上記ペリクル用フィル
ター６は、その離型シート３を剥離除去し、粘着層２を
上記ペリクルフレーム１１の通気孔１５周縁部に貼着
し、通気孔１５をフィルター本体１で覆うように取り付
けられるものである。
【００１７】従って、上記ペリクルフレーム１１内部
は、通気孔１５、更にフィルター本体１の微細孔を介し
て外部と連通し、これによりペリクルフレーム１１内外
の気圧差が解消されると共に、外部からの異物はフィル
ター本体１で遮断され、異物がペリクルフレーム１１内
に侵入することが妨げられ、しかもフィルター本体１の
少なくとも内面が粘着性液体で湿潤されているので、た
とえ極微小の異物がフィルター本体の微細孔を通過しよ
うとしても粘着性液体で確実に捕集され、かつフィルタ
ー内部に発生又は潜在する異物も粘着性液体で捕獲され
るので、ペリクル１０内への異物の侵入が防止されるも
のである。
は、通気孔１５、更にフィルター本体１の微細孔を介し
て外部と連通し、これによりペリクルフレーム１１内外
の気圧差が解消されると共に、外部からの異物はフィル
ター本体１で遮断され、異物がペリクルフレーム１１内
に侵入することが妨げられ、しかもフィルター本体１の
少なくとも内面が粘着性液体で湿潤されているので、た
とえ極微小の異物がフィルター本体の微細孔を通過しよ
うとしても粘着性液体で確実に捕集され、かつフィルタ
ー内部に発生又は潜在する異物も粘着性液体で捕獲され
るので、ペリクル１０内への異物の侵入が防止されるも
のである。
【００１８】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具
体的に説明する。
体的に説明する。
【００１９】〔実施例１〕孔径３μｍの無数の微細孔を
有し、厚さ４０μｍのポリテトラフルオロエチレン製フ
ィルター本体シートと多数の孔を有するフィルターカバ
ーシートとからなる二層シートを、予めパンチングして
それぞれ所定間隔毎にレーストラック状長孔を形成した
粘着シート及び離型シートからなる二層シートに貼り合
わせ、フィルターカバーシート、フィルター本体シー
ト、粘着シート、離型シートの順に積層された複合シー
トを得た。次いでフィルターカバーシート、フィルター
本体シート、粘着シートをこの粘着シート及び離型シー
トの各長孔が中央部に位置するように１０ｍｍ×２０ｍ
ｍの大きさにパンチカッターでカットし、図１に示す如
きフィルターが多数並設され、離型シートにおいて連設
されたフィルターシートを作成した。
有し、厚さ４０μｍのポリテトラフルオロエチレン製フ
ィルター本体シートと多数の孔を有するフィルターカバ
ーシートとからなる二層シートを、予めパンチングして
それぞれ所定間隔毎にレーストラック状長孔を形成した
粘着シート及び離型シートからなる二層シートに貼り合
わせ、フィルターカバーシート、フィルター本体シー
ト、粘着シート、離型シートの順に積層された複合シー
トを得た。次いでフィルターカバーシート、フィルター
本体シート、粘着シートをこの粘着シート及び離型シー
トの各長孔が中央部に位置するように１０ｍｍ×２０ｍ
ｍの大きさにパンチカッターでカットし、図１に示す如
きフィルターが多数並設され、離型シートにおいて連設
されたフィルターシートを作成した。
【００２０】次に、このフィルターシートを離型シート
ごとシリコーン粘着剤ＫＲ−１２０（信越化学工業
（株）製商品名）の３％トルエン溶液中に２秒間浸漬
し、取り出して、空気中で２０分間の風乾を行った後、
ロール状に丸めて保管した。
ごとシリコーン粘着剤ＫＲ−１２０（信越化学工業
（株）製商品名）の３％トルエン溶液中に２秒間浸漬
し、取り出して、空気中で２０分間の風乾を行った後、
ロール状に丸めて保管した。
【００２１】一方、高さが６．３ｍｍ、外周が１２０ｍ
ｍ角、内周が１１０ｍｍ角で、各側部の中央部に直径
０．５ｍｍの通気孔を有する表面がアルマイト処理され
た四角枠状のアルミニウムフレームを用意した。このフ
レームの下端面にはシリコーン粘着剤ＫＲ−１２０を厚
みが０．６ｍｍとなるように塗布し、１２０℃、３０分
でキュアした。更に、フレームの上端面にはサイトップ
ＣＴＸ−Ａｔｙｐｅ（旭硝子（株）製）を厚みが０．１
ｍｍになるように塗布した。また、このフレームの内側
面には、シリコーン粘着剤ＫＲ−１２０を厚みが０．０
５ｍｍとなるようにコーティングした（これは、フレー
ム内の微小のごみを粘着し、ごみがペリクル膜に付着し
ないようにするための処置である）。
ｍ角、内周が１１０ｍｍ角で、各側部の中央部に直径
０．５ｍｍの通気孔を有する表面がアルマイト処理され
た四角枠状のアルミニウムフレームを用意した。このフ
レームの下端面にはシリコーン粘着剤ＫＲ−１２０を厚
みが０．６ｍｍとなるように塗布し、１２０℃、３０分
でキュアした。更に、フレームの上端面にはサイトップ
ＣＴＸ−Ａｔｙｐｅ（旭硝子（株）製）を厚みが０．１
ｍｍになるように塗布した。また、このフレームの内側
面には、シリコーン粘着剤ＫＲ−１２０を厚みが０．０
５ｍｍとなるようにコーティングした（これは、フレー
ム内の微小のごみを粘着し、ごみがペリクル膜に付着し
ないようにするための処置である）。
【００２２】次いで、上記フィルターシートの離型シー
トから、フィルターカバー、フィルター本体、粘着シー
トからなるフィルター体を剥離し、上記フレームの通気
孔周縁部に貼着して、通気孔をこのフィルター体で被覆
した。他方、サイトップＣＴＸ−Ｓｔｙｐｅ（旭硝子
（株）製）を用いて１．６２μｍの薄膜（ペリクル膜）
を形成し、これを上記フレームの上端面に１０８℃で熱
融着した。
トから、フィルターカバー、フィルター本体、粘着シー
トからなるフィルター体を剥離し、上記フレームの通気
孔周縁部に貼着して、通気孔をこのフィルター体で被覆
した。他方、サイトップＣＴＸ−Ｓｔｙｐｅ（旭硝子
（株）製）を用いて１．６２μｍの薄膜（ペリクル膜）
を形成し、これを上記フレームの上端面に１０８℃で熱
融着した。
【００２３】このようにして仕上げたペリクルをレチク
ル上に置き、上記フレーム上端面に３０ｋｇの荷重を負
荷してペリクルをレチクルに接着固定した。次に、これ
を減圧容器に設置し、常圧から２／３気圧まで３０秒間
で減圧し、５分後に再び常圧まで３０秒間で加圧し、５
分間保持するという減圧−加圧サイクルを１０回繰り返
した。この実験前後におけるペリクル膜に付着した異物
について、３０万ルクスの集光ランプを用いて目視で計
測したところ、異物の増加は見られなかった。
ル上に置き、上記フレーム上端面に３０ｋｇの荷重を負
荷してペリクルをレチクルに接着固定した。次に、これ
を減圧容器に設置し、常圧から２／３気圧まで３０秒間
で減圧し、５分後に再び常圧まで３０秒間で加圧し、５
分間保持するという減圧−加圧サイクルを１０回繰り返
した。この実験前後におけるペリクル膜に付着した異物
について、３０万ルクスの集光ランプを用いて目視で計
測したところ、異物の増加は見られなかった。
【００２４】〔比較例１〕離型シートに長孔（粘着性液
体導入用孔）を形成していないものを用いた以外は実施
例１と全く同様に操作し、実施例１と同様の実験を行っ
たところ、ペリクル膜には０．３μｍの異物が４個検出
された。
体導入用孔）を形成していないものを用いた以外は実施
例１と全く同様に操作し、実施例１と同様の実験を行っ
たところ、ペリクル膜には０．３μｍの異物が４個検出
された。
【００２５】〔実験例〕フィルター体が２０個並設され
た上記実施例１及び比較例１のフィルターシートを用
い、フィルター本体を浸漬法で湿潤し得る時間を測定し
たところ、実施例１のフィルターシートは、フィルター
シートごと、しかも離型シートを付着したまま粘着性液
体中に浸漬し得るので、約１５秒しか要しないのに対
し、比較例１の場合には、フィルター本体を確実に湿潤
するためにはフィルター体を１個ずつ離型シートから剥
離し、粘着性液体に浸漬後、再び離型シートに貼着する
ので、２０個の処理に合計約１０分２５秒を要するもの
であった。
た上記実施例１及び比較例１のフィルターシートを用
い、フィルター本体を浸漬法で湿潤し得る時間を測定し
たところ、実施例１のフィルターシートは、フィルター
シートごと、しかも離型シートを付着したまま粘着性液
体中に浸漬し得るので、約１５秒しか要しないのに対
し、比較例１の場合には、フィルター本体を確実に湿潤
するためにはフィルター体を１個ずつ離型シートから剥
離し、粘着性液体に浸漬後、再び離型シートに貼着する
ので、２０個の処理に合計約１０分２５秒を要するもの
であった。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、フィルター本体の内面
を効率よく簡単にかつ確実に粘着性液体で湿潤すること
ができる。
を効率よく簡単にかつ確実に粘着性液体で湿潤すること
ができる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】同例の展開図である。
【図３】同例の使用状態を説明する斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線に沿った一部省略拡大断面図で
ある。
ある。
１ フィルター本体 ２ 粘着層 ２ａ 中空部 ３ 離型シート ４ 粘着性液体導入用孔 ６ ペリクル用フィルター
Claims (5)
- 【請求項１】 フィルター本体の一面に粘着層をリング
状に形成すると共に、この粘着層を離型シートに接着し
てなり、使用時に上記離型シートを剥離除去し、ペリク
ル枠の気圧調整用通気孔を覆ってこのペリクル枠に上記
粘着層を接着するペリクル用フィルターにおいて、上記
離型シートに上記粘着層の中空部と連通する粘着性液体
導入用孔を穿設したことを特徴とするペリクル用フィル
ター。 - 【請求項２】 離型シート上に複数個のフィルター本体
がそれぞれ粘着層を介して配された請求項１記載のペリ
クル用フィルター。 - 【請求項３】 上記フィルター本体の一面が粘着性液体
で湿潤されてなる請求項１又は２記載のペリクル用フィ
ルター。 - 【請求項４】 フィルター本体の一面に粘着層をリング
状に形成し、この粘着層を粘着性液体導入用孔を有する
離型シートに接着した後、上記粘着性液体導入用孔より
粘着性液体を入れて上記フィルター本体の一面をこの粘
着性液体で湿潤することを特徴とする請求項３記載のペ
リクル用フィルターの作製方法。 - 【請求項５】 粘着性液体が粘着性液体導入用孔のみか
ら導入される請求項４記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34676895A JPH09160223A (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | ペリクル用フィルター及びその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34676895A JPH09160223A (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | ペリクル用フィルター及びその作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09160223A true JPH09160223A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18385693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34676895A Pending JPH09160223A (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | ペリクル用フィルター及びその作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09160223A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005316492A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | モノリシック・ハード・ペリクル |
| KR100755998B1 (ko) * | 1999-04-21 | 2007-09-06 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 필터를 구비한 페리클과 그 제조방법 |
| JP2011008082A (ja) * | 2009-06-26 | 2011-01-13 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル |
| JP2011175001A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィ用ペリクルおよびペリクル膜の製造方法 |
| KR20190134221A (ko) * | 2018-05-25 | 2019-12-04 | 주식회사 에프에스티 | 펠리클용 벤트 필터 및 이를 포함하는 펠리클 |
-
1995
- 1995-12-13 JP JP34676895A patent/JPH09160223A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100755998B1 (ko) * | 1999-04-21 | 2007-09-06 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 필터를 구비한 페리클과 그 제조방법 |
| JP2005316492A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | モノリシック・ハード・ペリクル |
| JP2011008082A (ja) * | 2009-06-26 | 2011-01-13 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル |
| JP2011175001A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィ用ペリクルおよびペリクル膜の製造方法 |
| KR20190134221A (ko) * | 2018-05-25 | 2019-12-04 | 주식회사 에프에스티 | 펠리클용 벤트 필터 및 이를 포함하는 펠리클 |
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