JP5025703B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
不揮発性半導体記憶装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5025703B2 JP5025703B2 JP2009221363A JP2009221363A JP5025703B2 JP 5025703 B2 JP5025703 B2 JP 5025703B2 JP 2009221363 A JP2009221363 A JP 2009221363A JP 2009221363 A JP2009221363 A JP 2009221363A JP 5025703 B2 JP5025703 B2 JP 5025703B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- diffusion region
- voltage
- transfer transistor
- comparative example
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 22
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 105
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 94
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 18
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/08—Address circuits; Decoders; Word-line control circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/4234—Gate electrodes for transistors with charge trapping gate insulator
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/10—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the top-view layout
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
- H10B41/35—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region with a cell select transistor, e.g. NAND
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Description
図1は、本発明の実施形態に係るNANDセル型フラッシュメモリの概略構成を示すブロック図である。
上記M0配線301は、印加電圧の大きさによっては、転送トランジスタQNiの動作に悪影響を与える。ここで、上記実施形態から短絡配線302を省略し、ゲート電極302、M0配線301fに各々独立した電圧が印加される比較例を考える。このような比較例において、M0配線301fの印加電圧が、転送トランジスタQNiにより転送される高電圧に比べ小さい電圧(例えば、接地電圧(0V))である場合には、このような電圧の転送が十分に行われず、フラッシュメモリの誤動作を生じさせ得る。
次に、図7A〜図7Dを参照して、M0配線301又はM1配線401の印加電圧に伴う第1比較例〜第16比較例の転送トランジスタQNiのオン電流Ionの変動率を比較する。第1〜第8比較例は、転送トランジスタQNiのドレイン側に位置するM0配線301、及びM1配線401の影響を測定したものである。第9〜第16比較例は、転送トランジスタQNiのソース側に位置するM0配線301、及びM1配線401の影響を測定したものである。図7A〜図7Dは、第1比較例〜第16比較例の構成を示す図である。図7A及び図7Bは、転送トランジスタQNiのドレイン側を示し、図7C及び図7Dは、転送トランジスタQNiのソース側を示す。
第1比較例において、図7Aの符号S1に示すように、M0配線301aは、ドレイン拡散領域201bに隣接する素子分離領域(絶縁層)の上の位置P1に形成されている。なお、第1比較例において、位置P1のM0配線301a以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第2比較例において、図7Aの符号S2に示すように、M0配線301cは、ドレイン拡散領域201bの上であって、ベース拡散領域201aの上でない位置P2に形成されている。なお、第2比較例において、位置P2のM0配線301b以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第3比較例において、図7Aの符号S3に示すように、M0配線301eは、ドレイン拡散領域201bの上であって、ベース拡散領域201aの端部の上である位置P3に形成されている。なお、第3比較例において、位置P3のM0配線301e以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第4比較例において、図7Aの符号S4に示すように、M1配線401eは、ドレイン拡散領域201bの上であって、ベース拡散領域201aの端部の上である位置P4に形成されている。M1配線401eは、M0配線301の上層に形成されている。なお、第4比較例において、位置P4のM0配線401e以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第5比較例において、図7Bの符号S5に示すように、M0配線301eは、ドレイン拡散領域201bの上であって、ゲート電極203に隣接するベース拡散領域201aの上の位置P5に形成されている。なお、第5比較例において、位置P5のM0配線301e以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第6比較例において、図7Bの符号S6に示すように、M0配線301gは、ベース拡散領域201aの上であって、且つゲート電極203の上である位置P6aに形成されている。位置P6は、ドレイン拡散領域201b側のゲート電極203の端から所定距離に位置する。なお、第6比較例において、位置P6のM0配線301g以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第7比較例において、図7Bの符号S7に示すように、M0配線301c、301eは、上述したドレイン拡散領域201bの上の位置P2、P3、P5に形成されている。なお、第7比較例において、位置P2、P3、P5のM0配線301c、301e以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第8比較例において、図7Bの符号S8に示すように、M0配線301eは、ドレイン拡散領域201bの上であって、ベース拡散領域201aの上である位置P7に形成されている。位置P7は、ベース拡散領域201aの端部から所定距離をもって位置する。
第9比較例において、図7Cの符号S9に示すように、M0配線301bは、ソース拡散領域201cに隣接する素子分離領域(絶縁層)の上の位置P9に形成されている。なお、第9比較例において、位置P9のM0配線301b以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第10比較例において、図7Cの符号S10に示すように、M0配線301dは、ソース拡散領域201cの上であって、ベース拡散領域201aの上でない位置P10に形成されている。なお、第10比較例において、位置P10のM0配線301d以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第11比較例において、図7Cの符号S11に示すように、M0配線301fは、ソース拡散領域201cの上であって、ベース拡散領域201aの端部の上である位置P11に形成されている。なお、第11比較例において、位置P11のM0配線301f以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第12比較例において、図7Cの符号S12に示すように、M1配線401fは、ソース拡散領域201c上であって、ベース拡散領域201aの端部の上である位置P12に形成されている。M1配線401fは、M0配線301の上層に形成されている。なお、第12比較例において、位置P12のM0配線401f以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第13比較例において、図7Dの符号S13に示すように、M0配線401fは、ソース拡散領域201cの上であって、ゲート電極203に隣接するベース拡散領域201aの上の位置P13に形成されている。なお、第13比較例において、位置P13のM0配線301f以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第14比較例において、図7Dの符号S14に示すように、M0配線301gは、ベース拡散領域201aの上であって、且つゲート電極203の上である位置P14に形成されている。位置P14は、ソース拡散領域201c側のゲート電極203の端から所定距離に位置する。なお、第14比較例において、位置P14のM0配線401g以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第15比較例において、図7Dの符号S15に示すように、M0配線層301d、301fは、上述したソース拡散領域201cの上の位置P10、P11、P13に形成されている。なお、第15比較例において、位置P10、P11、P13のM0配線301d、301f以外、M0配線301、及びM1配線401は形成されていないものとする。
第16比較例において、図7Dの符号S16に示すように、M0配線301fは、ソース拡散領域201cの上であって、ベース拡散領域201aの上である位置P15に形成されている。位置P15は、ベース拡散領域201aの端部から所定距離をもって位置する。
以上、発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。例えば、上記実施形態では、M0配線301fは、短絡配線302によってゲート電極203に接続されている。しかしながら、M0配線301fは、ソース拡散領域201cと短絡されて、ソース拡散領域201cと同じ電圧を印加される構成であってもよい。
Claims (4)
- 不揮発にデータを保持するメモリセルを配列してなるメモリセルアレイと、
前記メモリセルでのデータの読み出し、書き込み及び消去を行うために供給される電圧を前記メモリセルに転送するための複数の転送トランジスタと
を備え、
複数の前記転送トランジスタは、
半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の下方に位置する前記半導体基板の表面に設けられた第1拡散領域と、
前記第1拡散領域に隣接して前記半導体基板の表面に形成された第2拡散領域と、
前記第2拡散領域と共に前記第1拡散領域を挟むように前記半導体基板の表面に形成され、前記メモリセルに接続される第3拡散領域と
を備え、
前記第1拡散層領域と前記第2拡散領域及び第3拡散層領域には重なる部分が存在し、前記第1拡散領域の上部であり且つ前記第3拡散領域の上部である領域には、前記転送トランジスタが前記書込みに用いられる電圧を転送する際に前記第3拡散領域が空乏化することを防止するための所定電圧を与えられる第1配線が形成され、
前記第2拡散領域の上部である領域には、前記転送トランジスタが前記書込みに用いられる電圧を転送する際に接地電圧を与えられる第2配線が形成されている
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第3拡散領域の上部であり且つ前記第1拡散領域の上部でない領域にも前記第1配線が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1配線の上部である領域には、前記転送トランジスタが前記書込みに用いられる電圧を転送する際に接地電圧を与えられ得る第4配線が形成されている
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記メモリセルアレイ上に配線されるワード線を選択するロウデコーダを更に備え、
前記転送トランジスタは、前記ロウデコーダ中に含まれる転送トランジスタである
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の不揮発性半導体記憶装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009221363A JP5025703B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 不揮発性半導体記憶装置 |
US12/857,858 US8334557B2 (en) | 2009-09-25 | 2010-08-17 | Nonvolatile semiconductor storage device including a transfer transistor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009221363A JP5025703B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 不揮発性半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011071343A JP2011071343A (ja) | 2011-04-07 |
JP5025703B2 true JP5025703B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=43779327
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009221363A Active JP5025703B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 不揮発性半導体記憶装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8334557B2 (ja) |
JP (1) | JP5025703B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5159289B2 (ja) | 2007-12-20 | 2013-03-06 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2012199292A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP5994344B2 (ja) * | 2012-04-04 | 2016-09-21 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、電子機器 |
US9466373B2 (en) | 2013-12-27 | 2016-10-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile semiconductor storage device |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02371A (ja) * | 1988-05-20 | 1990-01-05 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH098226A (ja) | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH09260669A (ja) | 1996-03-19 | 1997-10-03 | Nec Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JP3863330B2 (ja) * | 1999-09-28 | 2006-12-27 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体メモリ |
JP4157269B2 (ja) | 2000-06-09 | 2008-10-01 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
JP2002176114A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-06-21 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003124338A (ja) * | 2001-10-09 | 2003-04-25 | Sharp Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
US6980471B1 (en) * | 2004-12-23 | 2005-12-27 | Sandisk Corporation | Substrate electron injection techniques for programming non-volatile charge storage memory cells |
US8216903B2 (en) * | 2005-09-29 | 2012-07-10 | Texas Instruments Incorporated | SRAM cell with asymmetrical pass gate |
US7411810B2 (en) * | 2005-12-11 | 2008-08-12 | Juhan Kim | One-time programmable memory |
JP2007234861A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP4843362B2 (ja) * | 2006-04-27 | 2011-12-21 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
KR100766500B1 (ko) * | 2006-10-20 | 2007-10-15 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 그 형성 방법 |
JP2008198866A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体メモリ |
JP5137178B2 (ja) | 2007-02-19 | 2013-02-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路装置及びそのレイアウト方法 |
JP5159289B2 (ja) | 2007-12-20 | 2013-03-06 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4660564B2 (ja) * | 2008-03-11 | 2011-03-30 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
US7843726B2 (en) * | 2008-06-12 | 2010-11-30 | Micron Technology, Inc. | Sensing against a reference cell |
-
2009
- 2009-09-25 JP JP2009221363A patent/JP5025703B2/ja active Active
-
2010
- 2010-08-17 US US12/857,858 patent/US8334557B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011071343A (ja) | 2011-04-07 |
US20110073926A1 (en) | 2011-03-31 |
US8334557B2 (en) | 2012-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
USRE49274E1 (en) | Non-volatile semiconductor storage device | |
KR102107090B1 (ko) | P 채널 3d 메모리 어레이 | |
US6587381B2 (en) | Programming method for non-volatile semiconductor memory device | |
KR100738119B1 (ko) | 공통 비트 라인을 갖는 낸드 구조의 비휘발성 메모리 소자 | |
US7566928B2 (en) | Byte-operational nonvolatile semiconductor memory device | |
US7450418B2 (en) | Non-volatile memory and operating method thereof | |
US6587380B2 (en) | Programming method for non-volatile semiconductor memory device | |
KR100635924B1 (ko) | 플래시 메모리 장치의 동작 방법 | |
JP5150694B2 (ja) | スイッチアレイ | |
US6646916B2 (en) | Non-volatile semiconductor memory device | |
JP3594001B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP5025703B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP2004303396A (ja) | Nandフラッシュメモリテスト構造及びnandフラッシュメモリチャネル電圧測定方法 | |
US7486533B2 (en) | Nonvolatile semiconductor memory | |
JP3622697B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
US6822926B2 (en) | Non-volatile semiconductor memory device | |
JP5483826B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその書き込み方法 | |
JP3985689B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JPH11273369A (ja) | 絶縁ゲート型電界効果トランジスタ | |
JPH11251462A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110916 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120402 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120529 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120619 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150629 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5025703 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |