JP5017768B2 - 炭化珪素半導体素子 - Google Patents
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Description
RDRIFT=(4BV2)/(μεECR 3) ・・式(1)
ここで、BVは絶縁耐圧、μはキャリアの移動度、εは半導体の誘電率、ECRは半導体の臨界電界強度である。このRDRIFTがユニポーラデバイスの最小オン抵抗であり、このオン抵抗と絶縁耐圧との関係がユニポーラリミットと呼ばれる。
従って、移動度がSiより低いことと考え合わせても、Siと比べて数100分の1にオン抵抗を低減することができ、次世代の電力用半導体素子として期待されている。現在までに、ダイオード、トランジスタ、サイリスタなど様々な構造のデバイスが試作され、その一部が実用化されている。
このDIMOSFETは、原理的にビルトイン電圧が無いので、オン電圧をバイポーラデバイスに比べて低くできる。ユニポーラデバイスなのでオン状態時にキャリアのデバイス内での蓄積がないのでスイッチングロスが小さい。またゲート電極に正負の小さな電圧を印加してオン、オフ動作させる電圧駆動なので、駆動回路が簡単になるなどの長所がある。
実際の動作は、前記の図11のnチャネルDIMOSFET と同じである。
しかし、UMOSFETでは構造上チャネル領域5がトレンチ11の側面に形成されるため、オン状態におけるオン抵抗は、図示矢印13で示すように、DIMOSFETでは加算されるドリフト層2のゲート酸化膜6との界面近傍を電子が移動するときの蓄積抵抗、ドリフト層2内のゲート酸化膜6近傍から下方のドレインに向かって流れるときにn型ドリフト層2が両隣のp型ベース層3に挟まれていることによって生じるJFET抵抗がないので、蓄積抵抗とJFET抵抗が発生しない分低減できるという長所がある。また、JFET抵抗が存在しないので、隣り合わせのp型ベース層3間の距離を小さくできるので、セルピッチを小さくできて、オン抵抗をDIMOSFETよりも小さくできるというメリットがある。
しかし、実際のデバイスでは、上記で説明したように様々な抵抗成分が存在しており、これら抵抗成分は、絶縁耐圧が低くなればなるほど、ドリフト層の抵抗に対して割合が増加していくことが問題となっている。
また、MOSFETにおいては、以下の式で示されるチャネル抵抗成分が大きな割合を占めているという問題がある。
RCH=L/{WCOX μn(VG−VT)} ・・式(2)
ここで、Lはチャネル長、Wはチャネル幅、COXは酸化膜容量、μnはキャリアの移動度、VGはゲート電圧、VTはゲートのしきい値電圧である。この(2)式からRCHは、電子の移動度μnの影響を大きく受けることがわかる。
まず、UMOSFETが作製されるSiCの結晶構造、結晶面について説明する。図13に単位セル構造とMOS界面に主に用いられる六方晶炭化珪素の結晶面を示す。主な六方晶炭化珪素には、一対のSi-Cから成る層がc軸方向に4層周期で積層された構造になっている4H-SiCと6層周期で積層されている6H-SiCがある。4H-SiCでは図13の単位格子内に5層、6H-SiCでは7層含まれている。
図13の(a)は六角柱の上面が(0001)面、底面が(000-1)面であり、(b)は六角柱の側面が(1-100)面、(c)は(1-100)面と垂直な面の(11-20)面、(d)は上面の六角形の一辺を共有しかつ底面と成す角が54.7°である面が、4H(03-38)面あるいは6H(01-14)面と呼ばれている面である。なお、ここで、格子面の記号の説明をすると、負の指数については、結晶学上、数字に上付きのバー(−)を用いるが、電子出願の関係上、数字の前に(−)の符号を付けることとする。そして、等価な対称性を持つ面については{ }で表し、結晶内の方向を示す場合は[ ]で表し、等価な方向すべてを示す場合は〈 〉で表すこととする。
非特許文献1の記載を参照するところによると、4H-SiCの各結晶面上にMOS界面を形成し、その時のMOSFETの移動度を調査した結果、実効移動度(effective mobility)が(0001)、(11-20)、(03-38)面でそれぞれ、3.8cm2/Vs、5.4cm2/Vs、10.6cm2/Vsと(0001)面より(11-20)面や(03-38)面上のMOSFETの移動度が高いことが報告されている。この理由として4Hあるいは6H-SiCの(0001)面はSi(111)面と、4Hあるいは6H-SiCの(11-20)面や4Hあるいは6H-SiCの(1-100)面はSi(110)面と、4H-SiC(03-38)面あるいは6H-SiC(01-14)面はSi(100)面と等価な面と説明されており、Siでも(100)面、(110)面、(111)面の順に移動度が高い。この理由として、原子の面密度が低いほど界面準位密度が下がり、その界面準位に捕獲される伝導電子が少なくなることや捕獲された電子からのクーロン散乱が少なくなることによると説明されている。また、4H-SiC(03-38)面あるいは6H-SiC(01-14)面を用いたMOSFETが特許文献2に記載されている。
さらに特許文献5においては、(11-20)面をMOSチャネル面として用いながら、主表面を(1-100)面、(0001)面、(11-20)面とした場合の様々なケースについての提案がなされている。
また、特許文献5では、(11-20)面を主表面とするSiCウェハをエッチングしてMOS界面として(11-20)面を露出させているが、この(11-20)側壁面は主表面に対して60°の角度とする必要があり、垂直側壁と比較してエッチングが困難であると言う問題がある。
また、特許文献5に記載されているように(1-100)面を主表面とするウェハに垂直にトレンチを掘り(11-20)面を出し、その面上にMOS構造を形成する方法では、トレンチ底のコーナが直角になり、このコーナにおいて電界が集中して、平行平板のpn接合で規定される絶縁耐圧と比べて低い逆電圧で絶縁破壊を引き起こすと言う問題があった。特許文献3や特許文献4における手法においても移動度はまだ不十分である。また、トレンチ底部の角度が直角であると電界集中を起こし、早期絶縁破壊につながると言う問題もある。
その基板1をソース層4、ベース層3を部分的に完全に除去できる深さまで反応性イオンエッチング法により70°以上で、この場合垂直にエッチングして、2.1μmの深さとなるようにトレンチ11を形成する。この実施例では、トレンチ側壁のMOS界面が4H-SiC(03-38)面と成す角が10°以内の面あるいは6H-SiC(01-14)面と成す角が10°以内の面となるように<11-20>方向から見たときのトレンチ外周の長方形の長辺が<1-100>方向から54.7°の成す角となるようにエッチングした。
このようにトレンチ11を形成した後、30nm程度のゲート酸化膜6を形成する。さらにゲートトレンチ部をすべて覆うようにボロンをドーピングしたポリSiを堆積してゲート電極7とする。さらにこのポリSiのゲート電極7の表面のみを酸化して層間絶縁膜10としての酸化膜を形成する(図1(b))
その後、反応性イオンエッチングにより、選択的にn型ソース層4の一部をp型ベース層3が露出するまで除去する。その後この露出されたpベース層3に金属電極8aを形成する(図1(c))。
以下、UMOSFET(トレンチMOSFET)のソース電極、ゲート電極が形成される基板主表面の面方位とトレンチ側壁の面方位を検討した実施例について説明する。
図3は、半導体基板14の面方位とトレンチ11の面方位を示すための構造図である。トレンチ11の側壁のMOS界面が(1-100)面と成す角が10°以内の面となるように半導体基板14の主表面<11-20>方向から見たときのトレンチ外周の長方形の長辺が<1-100>方向と垂直となるようにエッチングしている。
図4は、半導体基板14の面方位とトレンチ11の面方位を示すための構造図であり、(a)は平面図,(b)は(a)のA−A線の断面図である。トレンチ11の側壁のMOS界面が4H-SiC(03-38)面と成す角が10°以内の面あるいは6H-SiC(01-14)面と成す角が10°以内の面となるように半導体基板14の主表面<11-20>方向から見たときのトレンチ外周の形状を菱形あるいは平行四辺形とし<1-100>方向に対して一対の面を54.7°傾け、その一対の面の内面が成す角度を70.6°となるようにエッチングしている。
図6は、半導体基板14の面方位とトレンチ11の面方位を示すための構造図である。半導体基板14の主表面<11-20>方向から見たときのトレンチ11外周の形状を六角形とするものである。トレンチ11の各側面に1から6までの番号をつけると、面1,4は<1-100>方向に対して54.7°の角度をなす4H-SiC(03-38)面あるいは6H-SiC(01-14)面である。面2,5は<1-100>方向と同じく54.7°の角度を成し、かつ面1,4と70.6°の角度をなす面1,4とは別の4H-SiC(03-38)面あるいは6H-SiC(01-14)面である。さらに面3,6は<0001>方向に平行であり、(1-100)面である。主表面は面方位に対して成す角が5°以内の面で、トレンチ11は面方位に対して成す角が10°以内の面である。
実施例1においては、ゲートトレンチ側壁を主表面に対して垂直に形成することができ、エッチング条件の条件範囲が広がった。
(11-20)面を主表面とする基板を用いることで、従来の(000-1)面を主表面とする基板では欠陥密度が100個/cm 2 あり、90%の歩留まりが得られる素子面積が10 -3 cm 2 (300μm角)であったものが、欠陥密度を1個/cm 2 に低減、90%の歩留まりが得られる素子面積が0.1cm 2 (3mm角)と増加した。
移動度に関しても、4H-SiC(03-38)面あるいは6H-SiC(01-14)面をMOS界面とした場合では、200cm 2 /Vs、(1-100)面をMOS界面とした場合では100cm 2 /Vsと従来技術と遜色のない値が得られた。
実施例2においては、特許文献5のように、(11-20)面を主表面とするSiCウェハに対し、トレンチの側壁を主表面に対して60°の角度とする場合では、60°±10°に収まる素子の割合は2インチウェハ内において60%程度であったが、本発明のように垂直にエッチングした場合では、主表面に対して80°以上のトレンチの側壁となる割合が90%以上に向上した。
また、4H-SiC(03-38)面あるいは6H-SiC(01-14)面を主表面とする基板を用いることで、絶縁耐圧として理論耐圧の80%以上の絶縁耐圧が得られるものを良品と定義した場合に、従来の(000-1)面を主表面とする基板では90%の歩留まりが得られる素子面積が10 -3 cm 2 (300μm角)であったものが、1cm 2 (3.3mm角)まで増加した。
さらに、移動度に関しても、(000-1)面をMOS界面とした場合では75cm 2 /Vsの移動度であったものが、(11-20)面をMOS界面とすることにより、150cm 2 /Vsと増加し、MOSチャネル抵抗を1/2に低減することができた。
{1-100}面を主表面とする基板を用いることで、絶縁耐圧として理論耐圧の80%以上の絶縁耐圧が得られるものを良品と定義した場合に、ゲートトレンチを含まないpnダイオードにおいて従来の(000-1)面を主表面とする基板では90%の歩留まりが得られる素子面積が10 -3 cm 2 (300μm角)であったものが、0.1cm 2 (3.3mm角)まで増加した。
さらに、{1-100}を主表面とする基板上にUMOSFETを作製した場合において、全素子数の8割の素子が達成できる絶縁耐圧は、垂直にゲートトレンチをエッチングした場合では理論値の60%であったのに対し、できるだけ{1-100}面に近づけた面上にMOS構造を作製した場合では理論値の70%、できるだけ4H-SiC{03-38}面あるいは6H-SiC{01-14}面に近づけた面上にMOS構造を作製した場合では理論値の80%となり、トレンチ底部の炭化珪素外のコーナ角度が大きくなるほど絶縁耐圧が向上すると言う効果が得られた。
{0001}あるいは{000-1}を主表面とする基板上にUMOSFETを作製した場合において、全素子数の8割の素子が達成できる絶縁耐圧は、垂直にゲートトレンチをエッチングした場合では理論値の60%であったのに対し、できるだけ4H-SiC{03-38}面あるいは6H-SiC{01-14}面に近づけた面上にMOS構造を作製した場合では理論値の80%となり、トレンチ底部の炭化珪素外のコーナ角度が大きくなるほど絶縁耐圧が向上すると言う効果が得られた。
また、移動度も(11-20)面、(1-100)面とも150cm 2 /Vsであったのに対し、4H-SiC{03-38}面あるいは6H-SiC{01-14}面上にMOS構造を形成することによって200cm 2 /Vsの値が得られ、チャネル抵抗を低減できた。
図9は半導体基板14の面方位とトレンチ11の面方位を示すための構造図であり、(a)は平面図,(b)は(a)のA−A線の断面図、(c)はトレンチの側壁の結晶面を説明するための説明図である。トレンチ11の側壁のMOS界面が一対の対向した4H-SiC(03-38)面と4H-SiC(0-338)面あるいは6H-SiC(01-14)面と6H-SiC(0-114)面となるように[01-10]方向から見たときのトレンチ外周の長方形の長辺が[-2110]方向に平行であり、かつトレンチ外周の長方形の長辺を含む面が(01-10)面に対して成す角ができるだけ35.3°に近づくように35.3°±10°にエッチングしている。主表面は面方位に対して成す角が5°以内の面で、トレンチ11は面方位に対して成す角が10°以内の面である。
2 N型ドリフト層
3 ベース領域
4 ソース領域
5 チャネル領域
6 ゲート酸化膜
7 ゲート電極
8 ソース電極
9 ドレイン電極
10 層間絶縁膜
11 トレンチ
14 半導体基板
Claims (1)
- (1-100)面と成す角が5°以内の面を主表面とする第1の伝導型である炭化珪素半導体基板上に基板と同じ構造をもち第1の伝導型であるドリフト層を有するウェハ上に第2の伝導型であるベース層、第1の伝導型であるソース層を順次形成し、ソース層およびベース層を貫通しドリフト層に達するトレンチと、該トレンチ内に絶縁層とゲート電極を有するMOS構造であって、トレンチの側壁が[0001]と平行あるいは成す角が10°以下であり、かつ{1-100}面と側壁の成す角が60°±10°であるようなトレンチ側壁であることを特徴とする炭化珪素半導体素子。
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