JP5007529B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
基板の表面に形成された電子回路の一部を構成する複数のデバイスパターンと、
前記デバイスパターンと同一の層内に形成され、識別標識として使用される記号パターンと
を有し、前記デバイスパターンの幅は、規定範囲内に納まっており、前記記号パターンは、孤立した複数の要素パターンで構成され、該要素パターンは、直線状パターンまたは点状パターンであり、該要素パターンの幅は、前記規定範囲の下限値の0.8倍以上であり、かつ上限値の1.2倍以下である半導体装置。
前記複数の要素パターン間の間隔の最小値が、前記複数のデバイスパターン間の間隔の最小値の0.8倍以上である付記1に記載の半導体装置。
前記規定範囲の上限値が1μm以下である付記1または2に記載の半導体装置。
前記基板が、チップに分離する前のウエハであり、該ウエハの表面に、スクライブラインで区分された複数のデバイス領域が画定されており、前記デバイスパターンは該デバイス領域内に配置され、前記記号パターンは該スクライブライン内に配置されている付記1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。
前記記号パターンが、識別標識をパターン化した原パターンを表現しており、
前記識別標識の原パターンが、折れ曲がり部または交差部を含み、前記記号パターンの、前記折れ曲がり部または交差部に対応する位置に点状パターンが配置されている付記1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。
前記記号パターンを構成する複数の要素パターンの配置されていない領域によって、識別標識をパターン化した原パターンが表現されている付記1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。
前記デバイスパターン、及び前記記号パターンの要素パターンが、前記基板の表面に形成された凹部の中に充填された部材により形成されている付記1乃至6のいずれか1項に記載の半導体装置。
基板の表面に、電子回路の一部を構成する複数のデバイスパターン、及び識別標識として使用される記号パターンを構成する凹部を形成する工程と、
前記凹部内に充填されるように、前記基板上に導電膜を堆積させる工程と、
前記基板の平坦面上に堆積している前記導電膜を、化学機械研磨により除去し、前記凹部内に前記導電膜を残す工程と
を有し、前記デバイスパターンの幅は、規定範囲内に納まっており、前記記号パターンは、孤立した複数の要素パターンで構成され、該要素パターンは、直線状パターンまたは点状パターンであり、該要素パターンの幅は、前記規定範囲の下限値の0.8倍以上、かつ上限値の1.2倍以下である半導体装置の製造方法。
前記複数の要素パターン間の間隔の最小値が、前記複数のデバイスパターン間の間隔の最小値の0.8倍以上である付記8に記載の半導体装置の製造方法。
前記規定範囲の上限値が1μm以下である付記8または9に記載の半導体装置の製造方法。
前記基板が、チップに分離する前のウエハであり、該ウエハの表面に、スクライブラインで区分された複数のデバイス領域が画定されており、前記デバイスパターンは該デバイス領域内に配置され、前記記号パターンは該スクライブライン内に配置されており、
さらに、前記基板を、前記スクライブラインに沿って分割する工程を含む付記8乃至10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
前記記号パターンが、識別標識をパターン化した原パターンを表現しており、
前記識別標識の原パターンが、折れ曲がり部または交差部を含み、前記記号パターンの、前記折れ曲がり部または交差部に対応する位置に点状パターンが配置されている付記8乃至11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
前記記号パターンを構成する複数の要素パターンの配置されていない領域によって、前記識別標識をパターン化した原パターンが表現されている付記8乃至11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
2 素子分離絶縁膜
5 MOSトランジスタ
6 記号パターン
10 層間絶縁膜
11、12 ビアホール
13 記号パターン用の凹部
20 導電膜
20a、20b 導電プラグ
20c 記号パターン
30 層間絶縁膜
32a、32b 配線
32c 記号パターン
50 半導体ウエハ
51 スクライブライン
52 チップ領域
60 銅配線が密な領域
61 銅配線の配置されていない領域
62 ダミーパターン
100 基板
101 層間絶縁膜
105 ビアホール
106 凹部
110 タングステン膜
110a 導電プラグ
110b タングステン膜
111 窪み
120 デバイスパターン
120A デバイスパターンに対応する開口
121 記号パターン
121A 記号パターンに対応する開口
Claims (8)
- 基板の表面に形成された電子回路の一部を構成する複数のデバイスパターンと、
前記デバイスパターンと同一の層内に形成され、識別標識として使用される記号パターンと
を有し、前記デバイスパターンの幅は、規定範囲内に納まっており、前記記号パターンは、孤立した複数の要素パターンで構成され、該要素パターンは、直線状パターンまたは点状パターンであり、該要素パターンの幅は、前記規定範囲の下限値の0.8倍以上であり、かつ上限値の1.2倍以下であり、
前記記号パターンを構成する複数の要素パターンの配置されていない領域によって、識別標識をパターン化した原パターンが表現されている半導体装置。 - 前記複数の要素パターン間の間隔の最小値が、前記複数のデバイスパターン間の間隔の最小値の0.8倍以上である請求項1に記載の半導体装置。
- 前記規定範囲の上限値が1μm以下である請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記基板が、チップに分離する前のウエハであり、該ウエハの表面に、スクライブラインで区分された複数のデバイス領域が画定されており、前記デバイスパターンは該デバイス領域内に配置され、前記記号パターンは該スクライブライン内に配置されている請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記デバイスパターン、及び前記記号パターンの要素パターンが、前記基板の表面に形成された凹部の中に充填された部材により形成されている請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 基板の表面に、電子回路の一部を構成する複数のデバイスパターン、及び識別標識として使用される記号パターンを構成する凹部を形成する工程と、
前記凹部内に充填されるように、前記基板上に導電膜を堆積させる工程と、
前記基板の平坦面上に堆積している前記導電膜を、化学機械研磨により除去し、前記凹
部内に前記導電膜を残す工程と
を有し、前記デバイスパターンの幅は、規定範囲内に納まっており、前記記号パターンは、孤立した複数の要素パターンで構成され、該要素パターンは、直線状パターンまたは点状パターンであり、該要素パターンの幅は、前記規定範囲の下限値の0.8倍以上、かつ上限値の1.2倍以下であり、
前記記号パターンを構成する複数の要素パターンの配置されていない領域によって、識別標識をパターン化した原パターンが表現されている半導体装置の製造方法。 - 前記複数の要素パターン間の間隔の最小値が、前記複数のデバイスパターン間の間隔の最小値の0.8倍以上である請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記規定範囲の上限値が1μm以下である請求項6または7に記載の半導体装置の製造方法。
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