JP5004454B2 - プローバ及びプローバにおける回転・移動制御方法 - Google Patents
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Description
14 X軸移動台
15 Z軸移動・回転部
16 ウエハステージ
18 プローブニードル位置検出カメラ
22 ウエハアライメントカメラ
24 プローブカード
26 プローブニードル
Claims (4)
- ウエハ上に形成された半導体装置の動作を電気的に検査するため、テスタの各端子を前記半導体装置の電極に接続するプローバであって、
前記半導体装置の電極に接触して前記電極を前記テスタの端子に接続するプローブニードルを有するプローブカードと、
前記ウエハを保持するウエハステージと、
前記ウエハステージを回転すると共にZ軸方向に移動するステージ回転・Z軸移動機構と、
前記ステージ回転・Z軸移動機構を支持する移動台と、
前記移動台をX軸方向及びY軸方向に移動するXY移動機構と、
前記移動台に設けられ、前記プローブニードルの先端位置を検出するプローブニードル位置検出カメラをZ軸方向に移動するカメラ移動機構と、
前記ウエハステージに、前記プローブニードル位置検出カメラで検出可能に設けられたターゲットと、を備え、
前記プローブニードル位置検出カメラは、前記カメラ移動機構の中心に位置し、Z軸方向に移動しても、X軸方向及びY軸方向の位置が変化しないことを特徴とするプローバ。 - 請求項1に記載のプローバにおいて、前記ウエハステージの回転及び移動を制御する回転・移動制御方法であって、
第1のZ軸位置で、前記プローブニードル位置検出カメラで前記ターゲットを検出可能な状態にし、
前記XY移動機構によるX軸方向及びY軸方向の移動及び前記ステージ回転・Z軸移動機構による回転を行わずに、前記ウエハステージを第2のZ軸位置まで移動させ、
前記プローブニードル位置検出カメラで前記ターゲットを検出して回転量を算出し、
前記第1のZ軸位置と前記第2のZ軸位置の間で前記ウエハステージを移動させる時には、算出した前記回転量分だけ前記ウエハステージを回転して、回転位置を補正することを特徴とする方法。 - 前記ウエハステージを前記第1のZ軸位置と前記第2のZ軸位置の間で移動させる時の回転位置の補正は、前記プローブニードル位置検出カメラで前記ターゲットを検出することにより行われる請求項2に記載の回転・移動制御方法。
- 請求項1に記載のプローバにおいて、前記ウエハステージの回転及び移動を制御する回転・移動制御方法であって、
外部装置を使用して、前記XY移動機構による前記移動台のX軸方向及びY軸方向の移動に伴う前記移動台のZ軸の回りの回転量を、X軸位置及びY軸位置に応じて検出して記憶し、
前記移動台のX軸方向及びY軸方向の移動位置に応じて、記憶した前記移動台のZ軸の回りの前記回転量を相殺するように前記ウエハステージを回転させ、
その回転量を前記プローブニードル位置検出カメラで前記ターゲットを検出することを特徴とする回転・移動制御方法。
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