JP4973747B2 - Transport vehicle system - Google Patents

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Description

本発明は、搬送車システム、特に、複数の処理装置間を軌道に沿って走行する搬送車を有する搬送車システムに関する。   The present invention relates to a transport vehicle system, and more particularly to a transport vehicle system having a transport vehicle that travels between a plurality of processing devices along a track.

従来、予め定まった経路と、経路上に設けられた複数のステーションと、経路に沿って走行して物品を搬送する複数の搬送車とを有する搬送車システムが知られている。搬送車システムでは、ステーションと搬送車との間では、荷つかみ（搬送車にステーションから物品が積み込まれること）や、荷おろし（搬送車からステーションに物品が積み出されること）が行われる。   2. Description of the Related Art Conventionally, a transport vehicle system having a predetermined route, a plurality of stations provided on the route, and a plurality of transport vehicles that travel along the route and transport articles is known. In the transport vehicle system, between the station and the transport vehicle, cargo grasping (loading of articles from the station to the transport vehicle) and unloading (loading of articles from the transport vehicle to the station) is performed.

搬送車システムの代表例としては、半導体工場の搬送システムで用いられる天井搬送車システムが知られている。天井搬送車システムは、天井に設けられた軌道と、軌道に沿って走行可能な天井搬送車とから構成されている。天井搬送車は、主に、軌道に係合する走行部と、半導体ウェハが積まれたＦＯＵＰを保持可能な保持部と、保持部を上下に移動させるための移動機構とを有している。   As a representative example of the transport vehicle system, an overhead transport vehicle system used in a transport system of a semiconductor factory is known. The ceiling transport vehicle system includes a track provided on the ceiling and a ceiling transport vehicle that can travel along the track. The overhead transport vehicle mainly includes a traveling unit that engages with the track, a holding unit that can hold a FOUP loaded with semiconductor wafers, and a moving mechanism that moves the holding unit up and down.

さらに、近年、天井搬送車は、荷物を横方向に移動する横方向移動機構を有している。搬送車システムは、横方向移動用の一時保管ポートを採用しており、これにより従来のストッカに比べて、簡便かつ迅速に一時保管運用が可能になっている（例えば、特許文献１を参照。）。   Furthermore, in recent years, the overhead transport vehicle has a lateral movement mechanism that moves the luggage laterally. The transport vehicle system employs a temporary storage port for lateral movement, which enables a simple and quick temporary storage operation as compared with a conventional stocker (see, for example, Patent Document 1). ).

特開２００５−２０６３７１号公報JP 2005-206371 A

前記搬送車システムでは、経路の側方に一時保管ポートが採用されているが、条件によっては搬送車システム全体の搬送効率を高めるのには十分ではない場合がある。   In the transport vehicle system, a temporary storage port is employed on the side of the route, but depending on conditions, it may not be sufficient to increase the transport efficiency of the entire transport vehicle system.

本発明の課題は、搬送車システムにおいて物品の搬送効率を高めることにある。   The subject of this invention is improving the conveyance efficiency of articles | goods in a conveyance vehicle system.

本発明に係る搬送車システムは、複数の処理装置間で物品を搬送するための搬送車システムであって、軌道と、搬送車と、載置台とを備えている。軌道は、複数の処理装置に隣接する複数のループを有する。搬送車は、複数のループを一方通行で走行することで物品を搬送する。載置台は、ループの内側においてループの両側部分に近接して配置され、ループの長手方向に一列に並んで配置された第１載置台および第２載置台を有している。第１載置台および第２載置台は、ループの両側部分の片側に向かって開いた第１開口部およびループの両側部分の反対側に向かって開いた第２開口部をそれぞれ有する。
このシステムでは、載置台がループ内において両側の軌道に向かってそれぞれ開いた第１開口部および第２開口部を有しているので、物品の仮置き時に、目的とする処理装置の近傍にありしかも当該処理装置に向かって開いた開口部を有する載置台を選択できる。以上の結果、物品の搬送効率が向上する。 A transport vehicle system according to the present invention is a transport vehicle system for transporting articles between a plurality of processing devices, and includes a track, a transport vehicle, and a mounting table. The trajectory has a plurality of loops adjacent to a plurality of processing devices. A conveyance vehicle conveys articles | goods by driving | running a some loop by one way. The mounting table has a first mounting table and a second mounting table that are arranged in the loop in the vicinity of both side portions of the loop and arranged in a line in the longitudinal direction of the loop. The first mounting table and the second mounting table each have a first opening that opens toward one side of both side portions of the loop and a second opening that opens toward the opposite side of both side portions of the loop.
In this system, the mounting table has a first opening and a second opening that are open toward the tracks on both sides in the loop, so that it is in the vicinity of the target processing apparatus when temporarily placing the article. Moreover, a mounting table having an opening that opens toward the processing apparatus can be selected. As a result, the conveyance efficiency of the article is improved.

第１載置台および第２載置台はループ内で直線状に配置されていてもよい。
このシステムでは、ループの幅を最小限に設定できる。 The first mounting table and the second mounting table may be arranged linearly in the loop.
In this system, the loop width can be set to a minimum.

搬送車システムは、複数のループに接続され、複数のループ間で物品の移動を中継できる自動倉庫をさらに備えていてもよい。
このシステムでは、複数のループの間で、物品を自動倉庫に保管することができる。したがって、例えば、生産スケジュールを外れた物品を載置台に置く必要が無くなる。また、自動倉庫は経路異常時の迂回路として機能する。 The transport vehicle system may further include an automatic warehouse that is connected to a plurality of loops and that can relay the movement of articles between the plurality of loops.
In this system, articles can be stored in an automated warehouse between multiple loops. Therefore, for example, it is not necessary to place an article out of the production schedule on the mounting table. In addition, the automatic warehouse functions as a detour when a route is abnormal.

軌道は床面より下方に配置されていてもよい。
このシステムでは、軌道が床面より上方に突出していないので、作業者が軌道を越えて移動する際に軌道が障害になりにくい。 The track may be arranged below the floor surface.
In this system, since the track does not protrude above the floor surface, the track is less likely to become an obstacle when the worker moves beyond the track.

搬送車システムは、軌道を覆い、床面と平行に配置される保護カバーをさらに備えていてもよい。
このシステムでは、保護カバーによって床面が平坦になっているので、作業車が軌道を越えて移動する際に軌道を破損するおそれがない。 The conveyance vehicle system may further include a protective cover that covers the track and is disposed in parallel with the floor surface.
In this system, since the floor surface is flattened by the protective cover, there is no possibility of damaging the track when the work vehicle moves beyond the track.

処理装置は、物品を直接移動可能に連結された第１処理装置および第２処理装置を含んでいてもよい。複数のループは、第１処理装置の入口および第２処理装置の出口にそれぞれ配置された入口側ループおよび出口側ループを含んでいてもよい。
このシステムでは、物品は、入口側ループにある搬送車から第１処理装置に移動させられ、さらに第２処理装置に直接移動させられる。最後に、物品は、第２処理装置から出口側ループにある搬送車に移動させられる。このように複数の処理装置同士を接続することで、搬送車システム全体における搬送回数が少なくなる。 The processing apparatus may include a first processing apparatus and a second processing apparatus that are coupled so that the article can be directly moved. The plurality of loops may include an inlet-side loop and an outlet-side loop disposed at the inlet of the first processing apparatus and the outlet of the second processing apparatus, respectively.
In this system, the article is moved from the transport vehicle in the entrance-side loop to the first processing apparatus, and is further moved directly to the second processing apparatus. Finally, the article is moved from the second processing device to the transport vehicle in the exit side loop. By connecting a plurality of processing devices in this way, the number of times of transport in the entire transport vehicle system is reduced.

複数のループは、平行に並んだ複数の第１のループと、複数の第１のループの第１端部間を連結するように配置された第２のループを有していてもよい。複数の第１のループの第２端部側には、ループは設けられていなくてもよい。
このシステムでは、複数の第１のループの第２端部間を連結するループが設けられていないので、複数の第１のループ間に装置を搬入することまたは複数の第１のループ間から装置を搬出することが容易になる。 The plurality of loops may include a plurality of first loops arranged in parallel and a second loop arranged to connect the first ends of the plurality of first loops. A loop may not be provided on the second end side of the plurality of first loops.
In this system, since a loop for connecting the second ends of the plurality of first loops is not provided, it is possible to carry in the apparatus between the plurality of first loops or to connect the apparatus from between the plurality of first loops. It becomes easy to carry out.

複数のループは、平行に並んだ複数の第１のループと、複数の第１のループの第１端部間を連結するように配置された第２のループと、複数の第１のループの第２端部間を連結するように配置された第３のループとを有していてもよい。第３のループを構成する軌道は、床面より下方に配置されていてもよい。
このシステムでは、第３のループを構成する軌道が床面より上方に突出していないので、作業者が軌道を越えて移動する際に軌道が障害になりにくい。 The plurality of loops include a plurality of first loops arranged in parallel, a second loop arranged to connect between first ends of the plurality of first loops, and a plurality of first loops. You may have the 3rd loop arrange | positioned so that between 2nd edge parts may be connected. The track constituting the third loop may be arranged below the floor surface.
In this system, since the track constituting the third loop does not protrude above the floor surface, the track is unlikely to become an obstacle when the operator moves beyond the track.

搬送車システムは、第３のループを構成する軌道を覆い、床面と平行に配置される保護カバーをさらに備えていてもよい。
このシステムでは、保護カバーによって床面が平坦になっているので、複数の第１のループ間に装置を搬入することまたは複数の第１のループ間から装置を搬出することが容易になる。 The conveyance vehicle system may further include a protective cover that covers the track constituting the third loop and is disposed in parallel with the floor surface.
In this system, since the floor surface is flattened by the protective cover, it is easy to carry in the apparatus between the plurality of first loops or carry out the apparatus from between the plurality of first loops.

本発明に係る搬送車システムでは、載置台がループ内においてループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第１開口部および第２開口部を有しているので、物品の搬送効率が向上する。   In the transport vehicle system according to the present invention, since the mounting table has the first opening and the second opening that are open toward both side portions of the loop in the loop, the transport efficiency of the articles is improved.

本発明の一実施形態が採用された搬送車システムの模式平面図。1 is a schematic plan view of a transport vehicle system in which an embodiment of the present invention is adopted. 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of the conveyance vehicle system as one embodiment of the present invention. 搬送車の模式平面図。The schematic plan view of a conveyance vehicle. 図１の部分拡大図。The elements on larger scale of FIG. 軌道の変形例を示す搬送車システムの部分模式平面図。The partial schematic top view of the conveyance vehicle system which shows the modification of a track | orbit. 搬送車システムの制御系を示すブロック図。The block diagram which shows the control system of a conveyance vehicle system. 搬送車内のコントローラの構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the controller in a conveyance vehicle. 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of the conveyance vehicle system as one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of the conveyance vehicle system as one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of the conveyance vehicle system as one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of the conveyance vehicle system as one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of the conveyance vehicle system as one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of the conveyance vehicle system as one embodiment of the present invention. レール上に保護カバーを置いた状態を説明するための、搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of the conveyance vehicle system for demonstrating the state which put the protective cover on the rail. 本発明の他の実施形態が採用された搬送車システムの模式平面図。The schematic plan view of the conveyance vehicle system by which other embodiment of this invention was employ | adopted. 本発明のさらに他の実施形態が採用された搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of the conveyance vehicle system by which further another embodiment of this invention was employ | adopted. 載置台の模式平面図。The schematic plan view of a mounting base. 載置台の部分側面図。The partial side view of a mounting base. 搬送車システムの部分断面図。The fragmentary sectional view of a conveyance vehicle system.

（１）搬送車システム
図１を用いて、本発明に係る搬送車システム１を説明する。図１は、本発明の一実施形態が採用された搬送車システムの模式平面図である。この実施形態では、搬送車システム１は、大型の液晶を製造する液晶製造工場に採用されている。液晶製造工場には、複数の処理装置２および検査装置４が配置されている。 (1) Carrier vehicle system A carrier vehicle system 1 according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic plan view of a transport vehicle system in which an embodiment of the present invention is adopted. In this embodiment, the transport vehicle system 1 is employed in a liquid crystal manufacturing factory that manufactures large liquid crystals. A plurality of processing devices 2 and inspection devices 4 are arranged in the liquid crystal manufacturing factory.

搬送車システム１は、複数の処理装置２間で物品（例えば、複数の基板を収容したカセット）を搬送するシステムであって、軌道３と、搬送車５と、自動倉庫７と、複数のバッファ９とを有している。搬送車システム１では、軌道３は複数のループ（周回路）を有しており、搬送車５は各ループを一方通行で走行するようになっている。   The transport vehicle system 1 is a system for transporting articles (for example, a cassette containing a plurality of substrates) between a plurality of processing apparatuses 2, and includes a track 3, a transport vehicle 5, an automatic warehouse 7, and a plurality of buffers. 9. In the transport vehicle system 1, the track 3 has a plurality of loops (circumferential circuits), and the transport vehicle 5 travels in one way on each loop.

軌道３は、第１〜第４ループ１１，１３，１５，１７を有している。第１〜第３ループ１１、１３、１５は一方向に長く延びており、そのため直線状の両側部分と両端にあるカーブとを有している。第１〜第３ループ１１、１３，１５は、互いに平行に並んで延びている。第４ループ１７は、第１〜第３ループ１１，１３，１５の片側端間を延びるように配置されている。この実施形態では、第１〜第３ループ１１，１３，１５の第４ループ１７と反対側には、軌道が設けられていない。したがって、第１〜第４ループ１１，１３，１５，１７間に装置を搬入することまたはそれらの間から装置を搬出することが容易になる。   The track 3 has first to fourth loops 11, 13, 15, and 17. The first to third loops 11, 13, 15 extend long in one direction, and thus have straight side portions and curves at both ends. The first to third loops 11, 13, and 15 extend in parallel with each other. The fourth loop 17 is disposed so as to extend between one side ends of the first to third loops 11, 13, and 15. In this embodiment, no track is provided on the side of the first to third loops 11, 13, 15 opposite to the fourth loop 17. Therefore, it becomes easy to carry in the apparatus between the first to fourth loops 11, 13, 15, and 17 or to carry out the apparatus from between them.

第１ループ１１は、複数の第１ショートカット用連結部１９を設けることで、第１小ループ１１ａ、第２小ループ１１ｂ、第３小ループ１１ｃを実現している。第２ループ１３は、複数の第２ショートカット用連結部２１を設けることで、第４小ループ１３ａ、第５小ループ１３ｂ、第６小ループ１３ｃを実現している。第３ループ１５は、複数の第３ショートカット用連結部２３を設けることで、第７小ループ１５ａ、第８小ループ１５ｂ、第９小ループ１５ｃを実現している。   The first loop 11 is provided with a plurality of first shortcut connecting portions 19, thereby realizing a first small loop 11a, a second small loop 11b, and a third small loop 11c. The second loop 13 is provided with a plurality of second shortcut connecting portions 21, thereby realizing a fourth small loop 13a, a fifth small loop 13b, and a sixth small loop 13c. The third loop 15 is provided with a plurality of third shortcut connecting portions 23, thereby realizing a seventh small loop 15a, an eighth small loop 15b, and a ninth small loop 15c.

第４ループ１７は、第４ショートカット用連結部２５を設けることで、第１０小ループ１７ａ、第１１小ループ１７ｂを実現している。第１０小ループ１７ａは、複数の連結部２７によって、第１ループ１１および第２ループ１３に連結されている。第１１小ループ１７ｂは、連結部２８によって、第３ループ１５に連結されている。   The fourth loop 17 has a tenth small loop 17a and an eleventh small loop 17b by providing the fourth shortcut connecting portion 25. The tenth small loop 17 a is connected to the first loop 11 and the second loop 13 by a plurality of connecting portions 27. The eleventh small loop 17 b is connected to the third loop 15 by the connecting portion 28.

複数の処理装置２は、第１〜第４ループ１１，１３，１５，１７の外側に多数並んで配置されている。処理装置２の構成や種類は公知であるので、ここでは詳細な説明を省略する。   A plurality of the processing apparatuses 2 are arranged side by side outside the first to fourth loops 11, 13, 15, and 17. Since the configuration and type of the processing apparatus 2 are known, detailed description thereof is omitted here.

複数の処理装置２の一種類としては、各ループ間に連続して配置された連続処理装置２９が設けられている。連続処理装置２９は、第１ループ１１と第２ループ１３との間、および第２ループ１３と第３ループ１５の間に配置されている。連続処理装置２９は、物品を直接移動可能に連結して配置された第１処理装置２９ａおよび第２処理装置２９ｂを含んでいる。例えば、第１処理装置２９ａはエッチング装置であり、第２処理装置２９ｂは剥離装置である。したがって、物品は、第１ループ１１にある搬送車５から第１処理装置２９ａの入口ステーション３６に搬入・処理され、次に第２処理装置２９ｂに搬入・処理され、最後に第２ループ１３の出口ステーション３８にある搬送車５に搬出される。以上に述べたように、複数の処理装置２間に搬送軌道が設けられていないので、搬送車システム１全体での搬送工程数が少なくなる。   As one type of the plurality of processing apparatuses 2, a continuous processing apparatus 29 arranged continuously between the loops is provided. The continuous processing device 29 is disposed between the first loop 11 and the second loop 13 and between the second loop 13 and the third loop 15. The continuous processing device 29 includes a first processing device 29a and a second processing device 29b that are arranged so that articles can be directly moved. For example, the first processing device 29a is an etching device, and the second processing device 29b is a peeling device. Accordingly, the article is carried and processed from the transport vehicle 5 in the first loop 11 to the entrance station 36 of the first processing device 29a, then to the second processing device 29b, and finally in the second loop 13. It is carried out to the transport vehicle 5 at the exit station 38. As described above, since the transfer track is not provided between the plurality of processing apparatuses 2, the number of transfer processes in the entire transfer vehicle system 1 is reduced.

自動倉庫７は、第１ループ１１と第２ループ１３との間に配置されている。自動倉庫７は、物品を載置可能な複数の棚と、クレーンとを有している。自動倉庫７の構成は公知であるので、ここでは説明を省略する。自動倉庫７は、第１ループ１１と第２ループ１３が延びる方向に長く延びており、第１ループ１１側に延びる第１ステーション３１と、第２ループ１３側に延びる第２ステーション３３とを有している。これにより、自動倉庫７は、第１ループ１１または第２ループ１３を走行する搬送車５との間で物品を出し入れ可能である。
なお、この実施形態では、複数の検査装置４は、自動倉庫７に接続される形態で自動倉庫７の周囲に配置されている。ただし、検査装置の位置は特に限定されない。 The automatic warehouse 7 is disposed between the first loop 11 and the second loop 13. The automatic warehouse 7 has a plurality of shelves on which articles can be placed and a crane. Since the configuration of the automatic warehouse 7 is known, the description thereof is omitted here. The automatic warehouse 7 extends long in the direction in which the first loop 11 and the second loop 13 extend, and has a first station 31 extending to the first loop 11 side and a second station 33 extending to the second loop 13 side. is doing. Thereby, the automatic warehouse 7 can take in and out the article with the transport vehicle 5 traveling in the first loop 11 or the second loop 13.
In this embodiment, the plurality of inspection devices 4 are arranged around the automatic warehouse 7 in a form connected to the automatic warehouse 7. However, the position of the inspection apparatus is not particularly limited.

複数のバッファ９は、物品を処理装置２間で搬送する際の仮置き場所として機能する載置台である。複数のバッファ９は、第１〜第４ループ１１〜１７内、より具体的には各小ループ内に配置されている。バッファ９は、ループの長手方向に沿って長く形成されており、後述するように、開口部が設けられた複数の収納部を有している。第１〜第９小ループ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ内には、それぞれ４つのバッファ９が配置されている。第１０小ループ１７ａ内には、６つのバッファ９が配置されている。第１１小ループ１７ｂ内には、４つのバッファ９が一列にかつ直線状に配置されている。
図４を用いて、第１バッファ９Ａと第２バッファ９Ｂの配置および構造について詳細に説明する。図４は、図１の部分拡大図である。各小ループ内では、第１バッファ９Ａと第２バッファ９Ｂとが交互に配置されている。第１バッファ９Ａと第２バッファ９Ｂは、基本的な構造は同じであるが、開口部の向きが逆になっている。図４に示すように、第１小ループ１１ａ内において、第１バッファ９Ａは、３台の第１の単位バッファ８５を有している。第１の単位バッファ８５は、隣接する軌道、具体的には第１小ループ１１ａの一方の直線部分を向いた第１開口部８５ａを有している。第２バッファ９Ｂは、３台の第２の単位バッファ８６を有している。第２の単位バッファ８６は、隣接する軌道、具体的には第１小ループ１１ａの他方の直線部分に向いた第２開口部８６ａを有している。以上より、第１バッファ９Ａの第１開口部８５ａと第２バッファ９Ｂの第２開口部８６ａは、第１小ループ１１ａ内で反対側を向いている。以上の結果、第１バッファ９Ａに対しては第１小ループ１１ａの第１サイドからのアクセスが可能であり、第２バッファ９Ｂに対しては第１小ループ１１ａの第２サイドからのアクセスが可能になっている。このように小ループのいずれのサイドからもアクセス可能なバッファが１つの小ループ内に確保されているので、搬送車５とバッファ９との間での移載が短時間で実行可能である。 The plurality of buffers 9 are mounting tables that function as temporary storage locations when an article is conveyed between the processing apparatuses 2. The plurality of buffers 9 are arranged in the first to fourth loops 11 to 17, more specifically in each small loop. The buffer 9 is formed long along the longitudinal direction of the loop, and has a plurality of storage portions provided with openings as will be described later. Four buffers 9 are arranged in each of the first to ninth small loops 11a, 11b, 11c, 13a, 13b, 13c, 15a, 15b, and 15c. Six buffers 9 are arranged in the tenth small loop 17a. In the eleventh small loop 17b, four buffers 9 are arranged in a line and in a straight line.
The arrangement and structure of the first buffer 9A and the second buffer 9B will be described in detail with reference to FIG. FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. In each small loop, the first buffer 9A and the second buffer 9B are alternately arranged. The first buffer 9A and the second buffer 9B have the same basic structure, but the direction of the opening is reversed. As shown in FIG. 4, in the first small loop 11a, the first buffer 9A has three first unit buffers 85. The first unit buffer 85 has a first opening 85a facing an adjacent track, specifically, one linear portion of the first small loop 11a. The second buffer 9B has three second unit buffers 86. The second unit buffer 86 has a second opening 86a facing an adjacent track, specifically, the other straight line portion of the first small loop 11a. As described above, the first opening 85a of the first buffer 9A and the second opening 86a of the second buffer 9B face the opposite side in the first small loop 11a. As a result, the first buffer 9A can be accessed from the first side of the first small loop 11a, and the second buffer 9B can be accessed from the second side of the first small loop 11a. It is possible. As described above, since a buffer accessible from either side of the small loop is secured in one small loop, transfer between the transport vehicle 5 and the buffer 9 can be executed in a short time.

以上の構成により、各処理装置２に隣接するループ内にバッファ９があり、特に、ループの両側部分に向かってそれぞれ開口する開口部を有するバッファ９があることになる。したがって、２つの処理装置２間で物品を搬送する際には、通常は、２つのコマンドで搬送を実現することができる。具体的には、第１のコマンドによって、搬送車５が出発地である処理装置２から物品を搬出し、目的地である処理装置２の近傍のバッファ９に搬送する。第２のコマンドによって、搬送車５が物品をバッファ９から目的地である処理装置２に搬送する。このように搬送車５の２回の動きによって物品の搬送が完了するので、搬送車システム１における物品の搬送スループットが向上する。   With the above configuration, there is a buffer 9 in a loop adjacent to each processing apparatus 2, and in particular, there is a buffer 9 having openings that open toward both side portions of the loop. Therefore, when an article is conveyed between the two processing apparatuses 2, the conveyance can usually be realized with two commands. Specifically, according to the first command, the transport vehicle 5 carries out the article from the processing device 2 that is the departure place, and transports it to the buffer 9 in the vicinity of the processing device 2 that is the destination. By the second command, the transport vehicle 5 transports the article from the buffer 9 to the processing device 2 that is the destination. In this way, since the conveyance of the article is completed by the two movements of the conveyance vehicle 5, the conveyance throughput of the article in the conveyance vehicle system 1 is improved.

図５を用いて、搬送車システム１の変形例として、停止場所を確保したレイアウトを説明する。図５は、軌道の変形例を示す搬送車システムの部分模式平面図である。
図５では、処理装置２の一部が取り除かれて、その箇所に、第７小ループ１５ａから延びるバイパス８９が配置されている。バイパス８９は、両端が第７小ループ１５ａに接続されており、その中間部が所定長さの直線状になって第７小ループ１５ａの直線部分に対して平行になっている。バイパス８９には、複数台の搬送車５が停止可能になっている。なお、バイパス８９の配置位置、形状は、この実施形態に限定されない。また、バイパス８９の停車可能台数は一台でもよい。
点検またはメンテナンスが必要な搬送車５は、バイパス８９に入って、直線部分で停止する。その状態で作業者が搬送車５を点検またはメンテナンスする。以上より、点検又はメンテナンス作業によって、処理装置２間を搬送する搬送車５の作業を停止させることがない。つまり、搬送車システム１におけるダウンタイムを低減または無くすことができる。 The layout which secured the stop place is demonstrated as a modification of the conveyance vehicle system 1 using FIG. FIG. 5 is a partial schematic plan view of the transport vehicle system showing a modified example of the track.
In FIG. 5, a part of the processing apparatus 2 is removed, and a bypass 89 extending from the seventh small loop 15 a is disposed there. Both ends of the bypass 89 are connected to the seventh small loop 15a, and an intermediate portion thereof is a straight line having a predetermined length and is parallel to the straight portion of the seventh small loop 15a. A plurality of transport vehicles 5 can be stopped in the bypass 89. The arrangement position and shape of the bypass 89 are not limited to this embodiment. Further, the number of bypass 89 that can be stopped may be one.
The transport vehicle 5 requiring inspection or maintenance enters the bypass 89 and stops at the straight portion. In this state, the operator inspects or maintains the transport vehicle 5. From the above, the work of the transport vehicle 5 transporting between the processing devices 2 is not stopped by the inspection or the maintenance work. That is, the downtime in the transport vehicle system 1 can be reduced or eliminated.

（２）搬送車
図２および図３を用いて、搬送車５の構造について説明する。図２は、本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図である。図３は、搬送車の模式平面図である。
図２においては紙面直交方向が搬送車５の搬送方向であり、紙面左右方向が物品の移載方向である。図３においては紙面上下方向が搬送車５の搬送方向であり、紙面左右方向が物品の移載方向である。
図２には、床面３２と天井面３４が示され、さらに、搬送車５、バッファ９、処理装置２のステーション２ａが示されている。搬送車５、バッファ９、処理装置２のステーション２ａの上面は、概ね同じ高さであり、天井面３４に近接している。 (2) Conveyor vehicle The structure of the carrier vehicle 5 is demonstrated using FIG. 2 and FIG. FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the transport vehicle system as one embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic plan view of the transport vehicle.
In FIG. 2, the direction orthogonal to the paper surface is the conveyance direction of the conveyance vehicle 5, and the horizontal direction on the paper surface is the transfer direction of the article. In FIG. 3, the vertical direction on the paper surface is the conveyance direction of the conveyance vehicle 5, and the horizontal direction on the paper surface is the transfer direction of the article.
In FIG. 2, a floor surface 32 and a ceiling surface 34 are shown, and further, a transport vehicle 5, a buffer 9, and a station 2 a of the processing device 2 are shown. The upper surfaces of the transport vehicle 5, the buffer 9, and the station 2 a of the processing apparatus 2 are substantially the same height and are close to the ceiling surface 34.

搬送車５は、処理装置２のステーション間でガラス基板やカセット等の物品を搬送するための搬送手段である。搬送車５は、本体３５と、走行部３７と、ローラコンベア３９と、プッシュプル移載装置４１と、ミニエンバイロメント機構４３とを有している。
本体３５は、概ね箱形形状を有している。
走行部３７は、本体３５の左右前後に設けられた車輪４５と、車輪４５に接続された走行モータ１３１（図７）と、走行モータ１３１に設けられたエンコーダ１３９（図７）を有している。車輪４５が走行するレール４７は、図２から明らかなように、床面３２に形成された凹部３２ａ内に配置されており、床面３２より下方に配置されている。 The transport vehicle 5 is transport means for transporting articles such as glass substrates and cassettes between stations of the processing apparatus 2. The transport vehicle 5 includes a main body 35, a traveling unit 37, a roller conveyor 39, a push-pull transfer device 41, and a mini-environment mechanism 43.
The main body 35 has a generally box shape.
The traveling unit 37 includes wheels 45 provided on the left and right front and rear sides of the main body 35, a traveling motor 131 (FIG. 7) connected to the wheels 45, and an encoder 139 (FIG. 7) provided on the traveling motor 131. Yes. As is apparent from FIG. 2, the rail 47 on which the wheel 45 travels is disposed in the recess 32 a formed in the floor surface 32, and is disposed below the floor surface 32.

なお、図１４に示すように、搬送車５が走行しない箇所のレール４７の上には、保護カバー７０を置くことができる。保護カバー７０は、レール４７を覆い、床面３２と平行に配置される。保護カバー７０によって床面３２が平坦になっているので、作業者がレール４７を越えて移動する際にレール４７を破損するおそれがない。   As shown in FIG. 14, a protective cover 70 can be placed on the rail 47 where the transport vehicle 5 does not travel. The protective cover 70 covers the rail 47 and is disposed in parallel with the floor surface 32. Since the floor surface 32 is flattened by the protective cover 70, there is no possibility that the rail 47 is damaged when the operator moves beyond the rail 47.

ローラコンベア３９は、本体３５の上面に転動可能に設けられてており、搬送車５の支持面を構成している。図２および図３に示すように、ローラコンベア３９のローラ３９ａは、走行方向に直角の方向に並べられており、これにより物品が左右方向に容易に移動可能である。なお、ローラコンベア３９は、走行方向に離れた一対のローラ列から構成されている。ローラコンベア３９のローラ３９ａはすべてフリーローラ（自律的には駆動しないローラ）であり、ローラの列は単に物品のガイド部材を構成している。したがって、物品を移載する際の抵抗を減らすことができ、重量のある物品の移載に適している。このように搬送車５の支持面は転動自在なローラからなるローラコンベア３９であるので、物品の移載時に磨耗粉の発生が抑えられる。   The roller conveyor 39 is provided on the upper surface of the main body 35 so as to be able to roll, and constitutes a support surface of the transport vehicle 5. As shown in FIGS. 2 and 3, the rollers 39a of the roller conveyor 39 are arranged in a direction perpendicular to the traveling direction, so that the article can easily move in the left-right direction. The roller conveyor 39 is composed of a pair of roller rows separated in the traveling direction. The rollers 39a of the roller conveyor 39 are all free rollers (rollers that are not driven autonomously), and the row of rollers simply constitutes a guide member for the article. Therefore, resistance at the time of transferring an article can be reduced, and it is suitable for transferring a heavy article. Thus, since the support surface of the conveyance vehicle 5 is the roller conveyor 39 which consists of a roller which can roll freely, generation | occurrence | production of abrasion powder is suppressed at the time of transfer of articles | goods.

プッシュプル移載装置４１は、ローラコンベア３９のローラ列上の物品を押し引きして移動させる進退装置である。プッシュプル移載装置４１は、左右方向に伸縮可能なアーム機構５１と、アーム機構５１に設けられたフック部材５３と、アーム機構５１を上下・左右・進退させるプッシュプル駆動機構１３３（図７）とを有している。図２に示す状態では、プッシュプル移載装置４１は、ローラコンベア３９より下方に配置されている。なお、プッシュプル移載装置４１は、物品の荷重を支持する必要がないので、構成が簡単である。したがって、搬送車５の軽量化が実現される。
フック部材５３は、アーム機構５１の最上段のアームからさらに左右方向両側に延びる第１部分５３ａと、第１部分５３ｂの端部から上方に延びる第２部分５３ｂとを有している。第２部分５３ｂ同士の左右方向距離は、物品の左右方向長さよりわずかに長くなっている。 The push-pull transfer device 41 is an advance / retreat device that pushes and pulls articles on the roller train of the roller conveyor 39 and moves them. The push-pull transfer device 41 includes an arm mechanism 51 that can expand and contract in the left-right direction, a hook member 53 provided on the arm mechanism 51, and a push-pull drive mechanism 133 that moves the arm mechanism 51 up, down, left, and right (see FIG. 7). And have. In the state shown in FIG. 2, the push-pull transfer device 41 is disposed below the roller conveyor 39. The push-pull transfer device 41 is simple in configuration because it is not necessary to support the load of the article. Therefore, weight reduction of the conveyance vehicle 5 is implement | achieved.
The hook member 53 includes a first portion 53a that extends further from the uppermost arm of the arm mechanism 51 to both sides in the left-right direction, and a second portion 53b that extends upward from the end of the first portion 53b. The distance in the left-right direction between the second portions 53b is slightly longer than the length in the left-right direction of the article.

ミニエンバイロメント機構４３は、筐体５５と、一対のシャッタ５７と、ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）５９とを有している。ミニエンバイロメント機構４３は、搬送車５において物品の周囲環境の清浄度を向上させるための機構である。筐体５５は、本体３５の上部および前後に設けられ、所定の空間を遮蔽している。筐体５５の左右両側には開口部が形成されており、開口部には一対のシャッタ５７が設けられている。シャッタ５７は、シャッタ駆動モータ１３５（図７）によって開閉動作が可能である。図２に示す状態では、一対のシャッタ５７は、筐体５５内の空間を外部から遮蔽している。ＦＦＵ５９は、筐体５５内にクリーンエアを供給するための装置であり、ＦＦＵ駆動モータ１３７（図７）によって駆動される。   The mini-environment mechanism 43 includes a housing 55, a pair of shutters 57, and an FFU (Fan Filter Unit) 59. The mini-environment mechanism 43 is a mechanism for improving the cleanliness of the surrounding environment of the article in the transport vehicle 5. The housing | casing 55 is provided in the upper part of the main body 35, and front and back, and has shielded predetermined space. Openings are formed on the left and right sides of the housing 55, and a pair of shutters 57 are provided in the openings. The shutter 57 can be opened and closed by a shutter drive motor 135 (FIG. 7). In the state shown in FIG. 2, the pair of shutters 57 shields the space in the housing 55 from the outside. The FFU 59 is a device for supplying clean air into the housing 55, and is driven by an FFU drive motor 137 (FIG. 7).

（３）バッファ
図２を用いて、バッファ９（図４の第１の単位バッファ８５、第２の単位バッファ８６に相当）の構造を説明する。
バッファ９は、例えば、第１小ループ１１ａの内側において両側部分に近接して配置されている。バッファ９は、載置台６１と、ローラコンベア６３と、ミニエンバイロメント機構６５とを有している。 (3) Buffer The structure of the buffer 9 (corresponding to the first unit buffer 85 and the second unit buffer 86 in FIG. 4) will be described with reference to FIG.
For example, the buffer 9 is disposed in the vicinity of both side portions inside the first small loop 11a. The buffer 9 has a mounting table 61, a roller conveyor 63, and a mini-environment mechanism 65.

載置台６１は、概ね箱形形状を有している。ローラコンベア６３は、載置台６１の上面に転動可能に設けられており、バッファ９の載置面を構成している。ローラコンベア６３は、搬送車５のローラコンベア３９と同一高さである。ローラコンベア６３のローラは、走行方向に直角の方向に並べられており、これにより物品が左右方向に容易に移動可能となっている。なお、ローラコンベア６３は、走行方向に離れた一対のローラ列から構成されている。ローラコンベア６３のローラはすべてフリーローラである。このようにバッファ９の載置面は転動自在なローラからなるローラコンベア６３であるので、物品の移載時に磨耗粉の発生が抑えられる。   The mounting table 61 has a generally box shape. The roller conveyor 63 is provided on the upper surface of the mounting table 61 so as to be able to roll, and constitutes the mounting surface of the buffer 9. The roller conveyor 63 has the same height as the roller conveyor 39 of the transport vehicle 5. The rollers of the roller conveyor 63 are arranged in a direction perpendicular to the traveling direction, so that articles can be easily moved in the left-right direction. The roller conveyor 63 is composed of a pair of roller rows separated in the traveling direction. All the rollers of the roller conveyor 63 are free rollers. Thus, since the mounting surface of the buffer 9 is the roller conveyor 63 which consists of a roller which can roll freely, generation | occurrence | production of abrasion powder is suppressed at the time of transfer of articles | goods.

ミニエンバイロメント機構６５は、カバー６７と、ＦＦＵ６９とを有している。ミニエンバイロメント機構６５は、バッファ９においてカバー６７内すなわち物品の周囲環境の清浄度を向上させるための機構である。カバー６７は、載置台６１の上部に設けられ、所定の空間を遮蔽している。カバー６７の軌道側には、開口部６７ａ（図４の第１開口部８５ａ、第２開口部８６ａに相当）が形成されている。この実施形態では、カバーは物品の上方だけに配置されているが、カバーは、物品の上方と左右だけに配置されていてもよいし、物品の上方と左右と奥に配置されていてもよい。この実施形態では開口部にシャッタは設けられていないが、必要に応じてシャッタを設けてもよい。ＦＦＵ６９は、筐体５５内にクリーンエアを供給することで、載置された物品の周囲の清浄度を高めるための装置である。ＦＦＵ６９は、ＦＦＵ駆動モータ１３７（図７）によって駆動される。   The mini-environment mechanism 65 has a cover 67 and an FFU 69. The mini-environment mechanism 65 is a mechanism for improving the cleanliness of the surrounding environment of the cover 67, that is, the article in the buffer 9. The cover 67 is provided on the mounting table 61 and shields a predetermined space. On the track side of the cover 67, an opening 67a (corresponding to the first opening 85a and the second opening 86a in FIG. 4) is formed. In this embodiment, the cover is disposed only above the article. However, the cover may be disposed only above and to the left and right of the article, or may be disposed above, to the left and right of the article. . In this embodiment, no shutter is provided at the opening, but a shutter may be provided as necessary. The FFU 69 is a device for increasing cleanliness around the placed article by supplying clean air into the housing 55. The FFU 69 is driven by an FFU drive motor 137 (FIG. 7).

（４）ステーション
図２を用いて、処理装置２のステーション２ａについて説明する。ステーション２ａは、載置台７１と、ローラコンベア７３とを有している。 (4) Station The station 2a of the processing apparatus 2 will be described with reference to FIG. The station 2 a has a mounting table 71 and a roller conveyor 73.

載置台７１は、概ね箱形形状を有している。ローラコンベア７３は、載置台７１の上面に転動可能に設けられている。ローラコンベア７３のローラは、走行方向に直角の方向に並べられており、これにより物品が左右方向に容易に移動可能となっている。なお、ローラコンベア７３は、走行方向に離れた一対のローラ列から構成されている。ローラコンベア７３のローラはすべてフリーローラである。   The mounting table 71 has a generally box shape. The roller conveyor 73 is provided on the upper surface of the mounting table 71 so as to be able to roll. The rollers of the roller conveyor 73 are arranged in a direction perpendicular to the traveling direction, so that the article can easily move in the left-right direction. The roller conveyor 73 is composed of a pair of roller rows separated in the traveling direction. All the rollers of the roller conveyor 73 are free rollers.

（５）制御構成
図６を用いて、搬送車システム１の制御系１２０を説明する。図６は、搬送車システムの制御系を示すブロック図である。 (5) Control configuration The control system 120 of the conveyance vehicle system 1 is demonstrated using FIG. FIG. 6 is a block diagram illustrating a control system of the transport vehicle system.

制御系１２０は、製造コントローラ１２１と、物流コントローラ１２３と、自動倉庫コントローラ１２５と、搬送車コントローラ１２７とを有している。   The control system 120 includes a production controller 121, a distribution controller 123, an automatic warehouse controller 125, and a transport vehicle controller 127.

物流コントローラ１２３は、自動倉庫コントローラ１２５および搬送車コントローラ１２７の上位のコントローラである。搬送車コントローラ１２７は、複数の搬送車５を管理し、これらに搬送指令を割り付ける割り付け機能を有している。なお、「搬送指令」は、走行に関する指令や、荷つかみ位置と荷下ろし位置に関する指令を含んでいる。   The distribution controller 123 is a controller above the automatic warehouse controller 125 and the transport vehicle controller 127. The transport vehicle controller 127 has a function of managing a plurality of transport vehicles 5 and assigning transport commands to these. The “conveyance command” includes a command related to traveling and a command related to the load holding position and the unloading position.

製造コントローラ１２１は、処理装置２との間で通信することができる。処理装置２は、処理が終了した物品の搬送要求（荷つかみ要求・荷下ろし要求）を製造コントローラ１２１に送信する。   The production controller 121 can communicate with the processing apparatus 2. The processing device 2 transmits a conveyance request (loading request / unloading request) for the finished article to the manufacturing controller 121.

製造コントローラ１２１は、処理装置２からの搬送要求を物流コントローラ１２３に送信し、物流コントローラ１２３は報告を製造コントローラ１２１に送信する。   The manufacturing controller 121 transmits a transport request from the processing device 2 to the physical distribution controller 123, and the physical distribution controller 123 transmits a report to the manufacturing controller 121.

物流コントローラ１２３は、製造コントローラ１２１から搬送要求を受けると、自動倉庫７での入庫や出庫が伴っている場合、所定のタイミングで入庫や出庫指令を自動倉庫コントローラ１２５へ送信する。そして、自動倉庫コントローラ１２５は、これに応じて入庫や出庫指令を自動倉庫７へ送信する。物流コントローラ１２３は、さらに、製造コントローラ１２１から搬送要求を受け取ると、それを搬送指令に変換し、搬送車５への搬送指令割り付け動作を行う。   When the distribution controller 123 receives a transport request from the manufacturing controller 121, if the warehouse or warehouse is accompanied by a warehouse, the logistics controller 123 transmits a warehouse or warehouse command to the automatic warehouse controller 125 at a predetermined timing. Then, the automatic warehouse controller 125 transmits a warehousing and leaving command to the automatic warehouse 7 accordingly. Further, when the distribution controller 123 receives a transfer request from the manufacturing controller 121, it converts it into a transfer command and performs a transfer command allocation operation to the transfer vehicle 5.

搬送車コントローラ１２７は、搬送指令を作成するために各搬送車５と連続的に通信して、各搬送車５から送信された位置データをもとにその位置情報を得ている。   The transport vehicle controller 127 continuously communicates with each transport vehicle 5 in order to create a transport command, and obtains position information based on the position data transmitted from each transport vehicle 5.

図７を用いて、搬送車５の搬送車内コントローラ１２９について説明する。図７は、搬送車内のコントローラの構成を示すブロック図である。   The transport vehicle controller 129 of the transport vehicle 5 will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of the controller in the transport vehicle.

搬送車内コントローラ１２９は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータである。搬送車内コントローラ１２９のメモリには、ルートマップが保存されている。搬送車５は、ルートマップに記載の座標と自機の内部座標（エンコーダ１３９（後述）によって求めた座標）とを比較しながら走行を続ける。   The transport vehicle controller 129 is a computer that includes a CPU, a RAM, a ROM and the like and executes a program. A route map is stored in the memory of the controller 129 in the transport vehicle. The transport vehicle 5 continues traveling while comparing the coordinates described in the route map with the internal coordinates of the own machine (coordinates obtained by an encoder 139 (described later)).

搬送車内コントローラ１２９には、走行モータ１３１、プッシュプル駆動機構１３３、シャッタ駆動モータ１３５、ＦＦＵ駆動モータ１３７、エンコーダ１３９が接続されている。   A travel motor 131, a push-pull drive mechanism 133, a shutter drive motor 135, an FFU drive motor 137, and an encoder 139 are connected to the transport vehicle controller 129.

（６）搬送車システムの動作
図２および図８〜図１３を用いて、搬送車システム１における動作を説明する。図８〜図１３は、本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図である。図２の状態では、搬送車５は、物品Ｃ１を載置した状態で、バッファ９と処理装置２のステーション２ａとの間に停止している。ステーション２ａには、物品Ｃ２が載置されている。この状態から、搬送車５は、物品Ｃ１をバッファ９に降ろして、次に物品Ｃ２をステーション２ａから積み込む。以下、その動作を詳細に説明する。 (6) Operation of Transport Vehicle System The operation of the transport vehicle system 1 will be described with reference to FIGS. 2 and 8 to 13. 8 to 13 are partial cross-sectional views of the transport vehicle system as one embodiment of the present invention. In the state of FIG. 2, the transport vehicle 5 is stopped between the buffer 9 and the station 2a of the processing device 2 with the article C1 placed thereon. An article C2 is placed on the station 2a. From this state, the transport vehicle 5 drops the article C1 into the buffer 9, and then loads the article C2 from the station 2a. Hereinafter, the operation will be described in detail.

図２の状態から、搬送車５において、シャッタ駆動モータ１３５が駆動されることで、バッファ９側のシャッタ５７が開かれる。さらに、プッシュプル駆動機構１３３の昇降機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が上昇される。その結果、フック部材５３の第２部分５３ｂが物品Ｃ１の左右方向両側に配置される。アーム機構５１の上昇後の状態を図８に示す。   From the state of FIG. 2, the shutter 57 on the buffer 9 side is opened by driving the shutter drive motor 135 in the transport vehicle 5. Further, the lift mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 is raised. As a result, the second portion 53b of the hook member 53 is disposed on both sides in the left-right direction of the article C1. FIG. 8 shows a state after the arm mechanism 51 is lifted.

図８の状態から、搬送車５において、プッシュプル駆動機構１３３のスライド機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１がバッファ９側にスライドされる。これにより、物品Ｃ１はフック部材５３の第２部分５３ｂに押されて、搬送車５からバッファ９内に搬送される。具体的には、物品Ｃ１は、ローラコンベア３９およびローラコンベア６３上を滑って移動する。物品Ｃ１の移動後の状態を図９に示す。   From the state of FIG. 8, in the transport vehicle 5, the slide mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 is slid to the buffer 9 side. Accordingly, the article C1 is pushed by the second portion 53b of the hook member 53 and is conveyed from the conveyance vehicle 5 into the buffer 9. Specifically, the article C1 moves while sliding on the roller conveyor 39 and the roller conveyor 63. FIG. 9 shows a state after the article C1 is moved.

図９の状態から、搬送車５において、プッシュプル駆動機構１３３の昇降機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が下降される。その結果、フック部材５３の第２部分５３ｂが物品Ｃ１の左右方向両側より下方に配置される。次に、プッシュプル駆動機構１３３のスライド機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が搬送車５側にスライドされる。これにより、アーム機構５１が搬送車５内に戻る。最後に、シャッタ駆動モータ１３５が駆動されて、バッファ９側のシャッタ５７が閉じられる。シャッタ５７が閉じられた状態を図１０に示す。   From the state of FIG. 9, in the transport vehicle 5, the lift mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 is lowered. As a result, the second portion 53b of the hook member 53 is disposed below the left and right sides of the article C1. Next, a slide mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 is slid to the transport vehicle 5 side. As a result, the arm mechanism 51 returns into the transport vehicle 5. Finally, the shutter drive motor 135 is driven, and the shutter 57 on the buffer 9 side is closed. FIG. 10 shows a state in which the shutter 57 is closed.

以上に説明したように、搬送車５はバッファ９の側方に停止して、プッシュプル移載装置４１によって本体３５とバッファ９との間で物品を移動させる。物品は、プッシュプル移載装置４１から力が作用すると、ローラコンベア３９とローラコンベア６３の上を移動する。このようにして、簡単な構造で、重量物の移載が可能になっている。   As described above, the transport vehicle 5 stops to the side of the buffer 9, and the article is moved between the main body 35 and the buffer 9 by the push-pull transfer device 41. When a force is applied from the push-pull transfer device 41, the article moves on the roller conveyor 39 and the roller conveyor 63. In this way, it is possible to transfer heavy objects with a simple structure.

図１０の状態から、搬送車５において、シャッタ駆動モータ１３５が駆動されることで、ステーション２ａ側のシャッタ５７が開かれる。さらに、プッシュプル駆動機構１３３のスライド機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１がバッファ９側にスライドされる。アーム機構５１のスライド後の状態を図１１に示す。   From the state shown in FIG. 10, the shutter 57 on the station 2 a side is opened by driving the shutter drive motor 135 in the transport vehicle 5. Further, a slide mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 is slid to the buffer 9 side. FIG. 11 shows a state after the arm mechanism 51 slides.

図１１の状態から、搬送車５において、プッシュプル駆動機構１３３の昇降機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が上昇される。その結果、フック部材５３の第２部分５３ｂが物品Ｃ２の左右方向両側に配置される。アーム機構５１が上昇した状態を図１２に示す。   From the state shown in FIG. 11, the lift mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven in the transport vehicle 5 and the arm mechanism 51 is raised. As a result, the second portion 53b of the hook member 53 is disposed on both sides in the left-right direction of the article C2. FIG. 12 shows a state where the arm mechanism 51 is raised.

図１２の状態から、プッシュプル駆動機構１３３のスライド機構が駆動されて、アーム機構５１が搬送車５側にスライドされる。これにより、アーム機構５１が搬送車５内に戻る。また、物品Ｃ２は、フック部材５３の第２部分５３ｂに押されて、ステーション２ａから搬送車５内に搬送される。具体的には、物品Ｃ２は、ローラコンベア７３およびローラコンベア３９上を滑って移動する。さらに、プッシュプル駆動機構１３３の昇降機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が下降される。その結果、フック部材５３の第２部分５３ｂが物品Ｃ２の左右方向両側より下方に配置される。最後に、シャッタ駆動モータ１３５が駆動されて、ステーション２ａ側のシャッタ５７が閉じられる。シャッタ５７が閉じられた状態を図１３に示す。
以上により、一連の移載動作が終了する。 From the state of FIG. 12, the slide mechanism of the push-pull drive mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 is slid to the transport vehicle 5 side. As a result, the arm mechanism 51 returns into the transport vehicle 5. Further, the article C2 is pushed by the second portion 53b of the hook member 53 and is conveyed from the station 2a into the conveyance vehicle 5. Specifically, the article C2 slides on the roller conveyor 73 and the roller conveyor 39 and moves. Further, the lift mechanism (not shown) of the push-pull drive mechanism 133 is driven, and the arm mechanism 51 is lowered. As a result, the second portion 53b of the hook member 53 is disposed below the left and right sides of the article C2. Finally, the shutter drive motor 135 is driven, and the shutter 57 on the station 2a side is closed. FIG. 13 shows a state in which the shutter 57 is closed.
Thus, a series of transfer operations is completed.

（７）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 (7) Other Embodiments Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

（Ａ）上記の実施形態では、異なる側に向いた開口部をそれぞれが複数有する第１バッファ９Ａと第２バッファ９Ｂが１つずつ交互に設けられているが、本発明はそのような実施形態に限定されない。
バッファは、ループ内において、ループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第１開口部および第２開口部を有していれば、どのような構造であってもよい。例えば、一方の種類のバッファが連続して配置されていてもよい。さらには、開口部を１つだけ有しているバッファが用いられていてもよい。つまり、バッファの形状、それぞれのバッファの連続数については特に限定されない。
以上の構造によって、バッファがループ内においてループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第１開口部および第２開口部を有している。したがって、物品をバッファ９に搬入するときに、目的とする処理装置２の近傍にありしかも当該処理装置２に向かって開いた開口部を有するバッファを選択できる。以上の結果、物品の搬送効率が向上する。 (A) In the above embodiment, the first buffer 9A and the second buffer 9B each having a plurality of openings facing different sides are provided alternately one by one, but the present invention is such an embodiment. It is not limited to.
The buffer may have any structure as long as it has a first opening and a second opening that are open toward both sides of the loop. For example, one type of buffer may be continuously arranged. Furthermore, a buffer having only one opening may be used. That is, the shape of the buffer and the number of consecutive buffers are not particularly limited.
With the above structure, the buffer has a first opening and a second opening that are open toward the both side portions of the loop in the loop. Therefore, when the article is carried into the buffer 9, a buffer that is in the vicinity of the target processing apparatus 2 and that has an opening that opens toward the processing apparatus 2 can be selected. As a result, the conveyance efficiency of the article is improved.

（Ｂ）ループ内で複数のバッファ９は直線状に配置されていなくてもよい。ただし、ループの幅を極端に大きくしないためには、複数のバッファ９は一列で配置されていることが好ましい。なお、バッファ９が直線状に配置されている場合は、ループの幅を最小限に設定できる。 (B) The plurality of buffers 9 may not be arranged linearly in the loop. However, in order not to extremely increase the width of the loop, the plurality of buffers 9 are preferably arranged in a line. If the buffer 9 is arranged in a straight line, the loop width can be set to a minimum.

（Ｃ）図１５に示す搬送車システムでは、軌道３は、前記実施形態の構造に加えて、第１〜第３ループ１１，１３，１５の第４ループ１７と反対側に、第５ループ７７を有している。 (C) In the transport vehicle system shown in FIG. 15, the track 3 has a fifth loop 77 on the side opposite to the fourth loop 17 of the first to third loops 11, 13, 15 in addition to the structure of the embodiment. have.

第５ループ７７は、第５ショートカット連結部７９を設けることで、第１２小ループ７７ａ、第１３小ループ７７ｂを実現している。第１２小ループ７７ａは、複数の連結部８１によって、第１ループ１１および第２ループ１３に連結されている。第１３小ループ７７ｂは、連結部８３によって、第３ループ１５に連結されている。
第１〜第５ループ１１，１３，１５，１７、７７のレールは、前記実施形態で説明したように床面３２の凹部３２ａ内に収納されている。この実施形態では、例えば通常時には、第５ループ７７のレールの上に保護カバーをかけておく。保護カバーを配置することで床面３２が平坦になるので、第１〜第４ループ１１，１３，１５，１７間に装置を搬入することまたはそれらの間から装置を搬出することが容易になる。また、作業者が第５ループ７７を越えて移動する際にレールを破損するおそれがない。そして、例えば非常時には、保護カバーを外して搬送車５を第５ループ７７上で走行させるようにできる。 The fifth loop 77 is provided with a fifth shortcut connecting portion 79, thereby realizing a twelfth small loop 77a and a thirteenth small loop 77b. The twelfth small loop 77 a is connected to the first loop 11 and the second loop 13 by a plurality of connecting portions 81. The thirteenth small loop 77 b is connected to the third loop 15 by a connecting portion 83.
The rails of the first to fifth loops 11, 13, 15, 17, 77 are accommodated in the recesses 32 a of the floor surface 32 as described in the above embodiment. In this embodiment, for example, a protective cover is put on the rail of the fifth loop 77 at normal times. Since the floor surface 32 becomes flat by arranging the protective cover, it becomes easy to carry in the device between the first to fourth loops 11, 13, 15 and 17 or to carry out the device from between them. . Further, there is no possibility that the rail is damaged when the worker moves beyond the fifth loop 77. In an emergency, for example, the protective cover can be removed and the transport vehicle 5 can run on the fifth loop 77.

この実施形態では、第５ループ７７内には、バッファは設けられていない。ただし、必要に応じてバッファを配置してもよい。   In this embodiment, no buffer is provided in the fifth loop 77. However, you may arrange | position a buffer as needed.

（Ｄ）図１６〜図１９を用いて、バッファにおける物品収容能力を高めた他の実施形態を説明する。図１６は、本発明のさらに他の実施形態が採用された搬送車システムの部分断面図である。図１７は、載置台の模式平面図である。図１８は、載置台の部分側面図である。図１９は、搬送車システムの部分断面図である。 (D) Another embodiment in which the article accommodation capacity in the buffer is increased will be described with reference to FIGS. FIG. 16 is a partial cross-sectional view of a transport vehicle system in which still another embodiment of the present invention is adopted. FIG. 17 is a schematic plan view of the mounting table. FIG. 18 is a partial side view of the mounting table. FIG. 19 is a partial cross-sectional view of the transport vehicle system.

図１６および図１７に示すように、バッファ９１は、ローラコンベア９３と、支持機構９５とを有している。
ローラコンベア９３は、前記実施形態と同様であるが、各ローラ９３ａ間には所定の隙間が確保されている。ローラコンベア９３は、ローラ９３ａを支持する支持部９３ｂ、支柱９３ｃ、および支持棒９３ｄをさらに有している。支持部９３ｂは、ローラ９３ａを直接支持する部分であり、ローラ９３ａが並べられた方向に延びている。支持部９３ｂは、ローラ９３ａの他のローラ列に対向する側の端部を回転自在に支持している。支柱９３ｃは、支持部９３ｂを所定高さに維持している。支持棒９３ｄは、支柱９３ｃから斜めに延びてローラ９３ａの他のローラ列と反対側の端部を回転自在に支持している。つまり、ローラ９３ａの他のローラ列と反対側には支柱は設けられていない。 As shown in FIGS. 16 and 17, the buffer 91 includes a roller conveyor 93 and a support mechanism 95.
The roller conveyor 93 is the same as in the above embodiment, but a predetermined gap is secured between the rollers 93a. The roller conveyor 93 further includes a support portion 93b that supports the roller 93a, a support column 93c, and a support bar 93d. The support portion 93b is a portion that directly supports the roller 93a, and extends in the direction in which the rollers 93a are arranged. The support portion 93b rotatably supports an end portion on the side facing the other roller row of the roller 93a. The column 93c maintains the support portion 93b at a predetermined height. The support rod 93d extends obliquely from the support column 93c and rotatably supports the end of the roller 93a opposite to the other roller row. In other words, no support is provided on the opposite side of the roller 93a from the other roller rows.

支持機構９５は、ローラコンベア９３上の物品をローラコンベア９３より上方に移動させるための機構であり、支持部材９７と、駆動機構９９と有している。支持部材９７は、一対のローラコンベア９３を上下方向にそれぞれ通過して物品を支持可能な一対の部材であり、図１７に示すように、基枠１０１と、基枠１０１から延びる複数の細い支持部１０３とを有している。各基枠１０１は、各ローラコンベア９３の前後方向外側に配置され、ローラコンベア９３の各ローラ９３ａが並んだ方向に延びている。図１６および図１７に示すように、複数の支持部１０３は、ローラコンベア９３のローラ９３ａ間に延びている。支持部１０３の上面は、平坦な面であり、ローラ９３ａの上面より下方に配置されている。駆動機構９９は、支持部材９７を駆動するための機構であり、支柱１０５と、昇降モータ（図示せず）と、チェーン（図示せず）とを有している。支柱１０５は、例えば四隅に設けられて上下方向に延びており、図１８に示すように、支持部材９７の基枠１０１の両端を上下動可能に支持する。昇降モータ（図示せず）は、チェーン（図示せず）を介して支持部材９７を上下動させることができる。   The support mechanism 95 is a mechanism for moving an article on the roller conveyor 93 upward from the roller conveyor 93, and includes a support member 97 and a drive mechanism 99. The support member 97 is a pair of members that can support articles by passing through the pair of roller conveyors 93 in the vertical direction. As shown in FIG. 17, the base frame 101 and a plurality of thin supports extending from the base frame 101 are supported. Part 103. Each base frame 101 is disposed on the outer side in the front-rear direction of each roller conveyor 93 and extends in a direction in which the rollers 93 a of the roller conveyor 93 are arranged. As shown in FIGS. 16 and 17, the plurality of support portions 103 extend between the rollers 93 a of the roller conveyor 93. The upper surface of the support portion 103 is a flat surface and is disposed below the upper surface of the roller 93a. The drive mechanism 99 is a mechanism for driving the support member 97, and includes a support column 105, a lifting motor (not shown), and a chain (not shown). The support columns 105 are provided at, for example, four corners and extend in the vertical direction, and support both ends of the base frame 101 of the support member 97 so as to be movable up and down as shown in FIG. A lifting motor (not shown) can move the support member 97 up and down via a chain (not shown).

この実施形態では、支柱１０５が高く延びているので、それに伴い、バッファ９１のカバー６７の天井部も高くなっており、さらに天井面３４もバッファ９１に対応する部分が高くなっている。   In this embodiment, since the column 105 extends high, the ceiling portion of the cover 67 of the buffer 91 is also high, and the ceiling surface 34 is also high in the portion corresponding to the buffer 91.

この搬送車システムでは、物品がローラコンベア９３上に置かれた後に、昇降モータ（図示せず）がチェーン（図示せず）を巻き上げることで支持部材９７を上昇させる。すると、複数の支持部１０３がローラコンベア９３のローラ９３ａ間を通って上方に移動する。これにより、図１８に示すように、支持部材９７の支持部１０３が物品Ｃを持ち上げ、それにより物品Ｃがローラコンベア９３のローラ９３ａから離れる。最終的には、図１９に示すように、物品Ｃはバッファ９１内で最も高い位置で複数の支持部１０３によって支持される。この状態で、ローラコンベア９３上には次の物品を搬入可能な空間が確保される。以上のようにして、バッファ９１内に２個の物品が搬入可能である。つまり、バッファ９１における物品収容能力が高くなっている。
なお、物品を持ち上げるための支持部材の形状は前記実施形態に限定されない。支持部材は例えば梯子形状であってもよい。
（Ｅ）本体３５のローラコンベア３９とバッファ９のローラコンベア６３は、物品Ｃの移載時に同一高さであればよい。つまり、いずれか又は両方の面が高さを変更可能であり、搬送車５の走行中または停止中には両方の面の高さが異なっていてもよい。 In this transport vehicle system, after an article is placed on the roller conveyor 93, a lifting motor (not shown) winds up a chain (not shown) to raise the support member 97. Then, the plurality of support portions 103 move upward through the rollers 93 a of the roller conveyor 93. As a result, as shown in FIG. 18, the support portion 103 of the support member 97 lifts the article C, whereby the article C is separated from the rollers 93 a of the roller conveyor 93. Finally, as shown in FIG. 19, the article C is supported by the plurality of support portions 103 at the highest position in the buffer 91. In this state, a space in which the next article can be carried is secured on the roller conveyor 93. As described above, two articles can be carried into the buffer 91. That is, the article accommodation capacity in the buffer 91 is high.
The shape of the support member for lifting the article is not limited to the above embodiment. The support member may be, for example, a ladder shape.
(E) The roller conveyor 39 of the main body 35 and the roller conveyor 63 of the buffer 9 may have the same height when the article C is transferred. That is, the height of either or both surfaces can be changed, and the height of both surfaces may be different while the transport vehicle 5 is running or stopped.

本発明は、複数の処理装置間で物品を搬送するための搬送車システムに広く適用できる。   The present invention can be widely applied to a transport vehicle system for transporting articles between a plurality of processing apparatuses.

１ 搬送車システム
２ 処理装置
２ａ ステーション
３ 軌道
４ 検査装置
５ 搬送車
７ 自動倉庫
９ バッファ
９Ａ 第１バッファ
９Ｂ 第２バッファ
１１ 第１ループ（第１のループ）
１１ａ 第１小ループ
１１ｂ 第２小ループ
１１ｃ 第３小ループ（入口側ループ）
１３ 第２ループ（第２のループ）
１３ａ 第４小ループ
１３ｂ 第５小ループ
１３ｃ 第６小ループ（出口側ループ）
１５ 第３ループ（第１のループ）
１５ａ 第７小ループ
１５ｂ 第８小ループ
１５ｃ 第９小ループ
１７ 第４ループ（第２のループ）
１７ａ 第１０小ループ
１７ｂ 第１１小ループ
１９ 第１ショートカット用連結部
２１ 第２ショートカット用連結部
２３ 第３ショートカット用連結部
２５ 第４ショートカット用連結部
２７ 連結部
２８ 連結部
２９ 連続処理装置
２９ａ 第１処理装置
２９ｂ 第２処理装置
３１ 第１ステーション
３２ 床面
３２ａ 凹部
３３ 第２ステーション
３４ 天井面
３５ 本体
３７ 走行部
３９ ローラコンベア
３９ａ ローラ
４１ プッシュプル移載装置
４３ ミニエンバイロメント機構
４５ 車輪
４７ レール
５１ アーム機構
５３ フック部材
５３ａ 第１部分
５３ｂ 第２部分
５５ 筐体
５７ シャッタ
５９ ＦＦＵ
６１ 載置台
６３ ローラコンベア
６５ ミニエンバイロメント機構
６７ カバー
６７ａ 開口部
６９ ＦＦＵ
７０ 保護カバー
７１ 載置台
７３ ローラコンベア
７７ 第５ループ（第３のループ）
７７ａ 第１２小ループ
７７ｂ 第１３小ループ
７９ 第５ショートカット用連結部
８１ 連結部
８３ 連結部
１２０ 制御系
１２１ 製造コントローラ
１２３ 物流コントローラ
１２５ 自動倉庫コントローラ
１２７ 搬送車コントローラ
１２９ 搬送車内コントローラ
１３１ 走行モータ
１３３ プッシュプル駆動機構
１３５ シャッタ駆動モータ
１３７ ＦＦＵ駆動モータ
１３９ エンコーダ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transfer vehicle system 2 Processing apparatus 2a Station 3 Track 4 Inspection apparatus 5 Transfer vehicle 7 Automatic warehouse 9 Buffer 9A 1st buffer 9B 2nd buffer 11 1st loop (1st loop)
11a 1st small loop 11b 2nd small loop 11c 3rd small loop (inlet side loop)
13 Second loop (second loop)
13a 4th small loop 13b 5th small loop 13c 6th small loop (exit side loop)
15 Third loop (first loop)
15a 7th small loop 15b 8th small loop 15c 9th small loop 17 4th loop (2nd loop)
17a 10th small loop 17b 11th small loop 19 1st shortcut connecting part 21 2nd shortcut connecting part 23 3rd shortcut connecting part 25 4th shortcut connecting part 27 connecting part 28 connecting part 29 continuous processing device 29a 1st 1 processing device 29b 2nd processing device 31 1st station 32 floor surface 32a recess 33 second station 34 ceiling surface 35 main body 37 traveling unit 39 roller conveyor 39a roller 41 push-pull transfer device 43 mini-environment mechanism 45 wheel 47 rail 51 Arm mechanism 53 Hook member 53a First portion 53b Second portion 55 Housing 57 Shutter 59 FFU
61 Mounting base 63 Roller conveyor 65 Mini-environment mechanism 67 Cover 67a Opening 69 FFU
70 Protective cover 71 Mounting table 73 Roller conveyor 77 Fifth loop (third loop)
77a 12th small loop 77b 13th small loop 79 5th shortcut connecting portion 81 connecting portion 83 connecting portion 120 control system 121 production controller 123 logistics controller 125 automatic warehouse controller 127 transport vehicle controller 129 transport vehicle controller 131 travel motor 133 push pull Drive mechanism 135 Shutter drive motor 137 FFU drive motor 139 Encoder

Claims (9)

複数の処理装置間で物品を搬送するための搬送車システムであって、
前記複数の処理装置に隣接する複数のループを有する軌道と、
前記複数のループを一方通行で走行することで前記物品を搬送する搬送車と、
前記ループの内側において前記ループの両側部分に近接して配置され、前記ループの長手方向に一列に並んで配置された第１載置台および第２載置台を有しており、前記第１載置台および前記第２載置台は、前記ループの前記両側部分の片側に向かって開いた第１開口部および前記ループの前記両側部分の反対側に向かって開いた第２開口部をそれぞれ有する、載置台と、
を備えた搬送車システム。 A transport vehicle system for transporting articles between a plurality of processing devices,
A trajectory having a plurality of loops adjacent to the plurality of processing devices;
A transport vehicle that transports the article by traveling the loops in one way;
The first mounting table has a first mounting table and a second mounting table that are arranged in the loop inside and adjacent to both side portions of the loop and arranged in a line in the longitudinal direction of the loop. And the second mounting table has a first opening that opens toward one side of the both side portions of the loop and a second opening that opens toward the opposite side of the both side portions of the loop. When,
Car carrier system equipped with. 前記第１載置台および前記第２載置台は前記ループ内で直線状に配置されている、請求項１に記載の搬送車システム。   The transport vehicle system according to claim 1, wherein the first mounting table and the second mounting table are linearly arranged in the loop. 前記複数のループに接続され、前記複数のループ間で前記物品の移動を中継できる自動倉庫をさらに備える、請求項１または２に記載の搬送車システム。   The transport vehicle system according to claim 1, further comprising an automatic warehouse connected to the plurality of loops and capable of relaying movement of the article between the plurality of loops. 前記軌道は床面より下方に配置されている、請求項１〜３のいずれかに記載の搬送車システム。   The transport vehicle system according to claim 1, wherein the track is disposed below the floor surface. 前記軌道を覆い、前記床面と平行に配置される保護カバーをさらに備えている、請求項４に記載の搬送車システム。   The transport vehicle system according to claim 4, further comprising a protective cover that covers the track and is disposed in parallel with the floor surface. 前記処理装置は、前記物品を直接移動可能に配置された第１処理装置および第２処理装置を含んでおり、
前記複数のループは、前記第１処理装置の入口および前記第２処理装置の出口にそれぞれ配置された入口側ループおよび出口側ループを含んでいる、請求項１〜５のいずれかに記載の搬送車システム。 The processing apparatus includes a first processing apparatus and a second processing apparatus that are arranged so that the article can be directly moved,
The transfer according to any one of claims 1 to 5, wherein the plurality of loops include an inlet-side loop and an outlet-side loop disposed at an inlet of the first processing apparatus and an outlet of the second processing apparatus, respectively. Car system. 前記複数のループは、平行に並んだ複数の第１のループと、前記複数の第１のループの第１端部間を連結するように配置された第２のループとを有しており、
前記複数の第１のループの第２端部側には、ループは設けられていない、請求項１に記載の搬送車システム。 The plurality of loops includes a plurality of first loops arranged in parallel, and a second loop arranged to connect between the first ends of the plurality of first loops,
The carrier system according to claim 1, wherein no loop is provided on a second end side of the plurality of first loops. 前記複数のループは、平行に並んだ複数の第１のループと、前記複数の第１のループの第１端部間を連結するように配置された第２のループと、前記複数の第１のループの第２端部間を連結するように配置された第３のループとを有しており、
前記３のループを構成する軌道は、床面より下方に配置されている、請求項１に記載の搬送車システム。 The plurality of loops include a plurality of first loops arranged in parallel, a second loop disposed so as to connect between first ends of the plurality of first loops, and the plurality of first loops. A third loop arranged to connect between the second ends of the loops of
The transport vehicle system according to claim 1, wherein the track constituting the three loops is disposed below the floor surface. 前記第３のループを構成する軌道を覆い、前記床面と平行に配置される保護カバーをさらに備えている、請求項８に記載の搬送車システム。   The transport vehicle system according to claim 8, further comprising a protective cover that covers a track constituting the third loop and is disposed in parallel with the floor surface.
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