JP4957133B2 - 基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えば半導体ウエハやフラットパネルディスプレイ用ガラスプレート等の基板を枚葉搬送するための基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。

半導体装置を製造する工場や、液晶装置、ＰＤＰ、ＥＬ装置等のフラットパネルディスプレイを製造する工場等に設置される基板搬送装置においては、半導体ウエハやガラスプレート等の基板を搬送し、ローダやロボットアーム等を用いて、薄膜形成装置、エッチング装置、試験装置等の各種処理装置と、搬送経路との間で基板の受け渡しが行われている。このような基板搬送装置では、基板は、基板を複数枚収容可能なカセットに収容された状態で搬送されるのが一般的である（特許文献１参照）。

さて、近年は、液晶テレビ等のフラットパネルディスプレイの大画面化に伴って、基板が大型化している。例えば、ガラスプレートに関しては、１８７０ｍｍ×２２００ｍｍ（第７世代）から、更に大きなサイズへと大型化が進展している。このため、基板を収容するカセット等も大型化・重量化し、搬送速度が低下することで、例えば仕掛在庫の増大を招く等、効率的な搬送が困難になりつつある。
このため、基板を一枚ずつ高速に搬送する枚葉搬送が注目されている（特許文献１参照）。
特開平９−５８８４４号公報

しかしながら、基板が枚葉搬送される場合には、カセットによって搬送する場合と比較して搬送する個体数が増加する。このため、従来と同等もしくはそれ以上の処理速度を実現するためには、より基板を高速搬送する必要がある。
特に、メインコンベヤと、このメインコンベヤと水平分岐する分岐コンベヤとの間における基板の受け渡し速度は、基板の高速搬送を実現させるにあたって非常に重要となってくる。このため、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度を向上させる技術が望まれている。

また、ガラスプレートを枚葉搬送する基板搬送装置では、メインコンベヤと分岐コンベヤとの間において、進行方向に対する向きを変化させることなく基板を受け渡す必要が出てくる場合がある。
基板をカセットに収納して搬送する従来の基板搬送装置では、例えば、メインコンベヤから分岐コンベヤに、進行方向に対する向きを変化させることなく基板を受け渡す場合には、メインコンベヤ上を搬送されるカセットの搬送を一旦停止し、カセットを回動させた後に分岐コンベヤに受け渡している。
ところが、基板を枚葉搬送する基板搬送装置において、同様の方法にて基板の受け渡しを行うと、基板の搬送を停止する工程と停止された基板を分岐コンベヤに受け渡す工程とを行う必要があることから、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡しに時間がかかる。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、基板の進行方向を変化させることなくメインコンベヤと分岐コンベヤとの間にて基板を受け渡す場合において、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度を向上させることを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の基板搬送装置は、基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、上記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤと、上記基板の進行方向に対する向きが変化しないように上記基板を水平に回動させながら、上記メインコンベヤから上記分岐コンベヤあるいは上記分岐コンベヤから上記メインコンベヤに上記基板の受け渡しを行う基板受渡部と、を備えることを特徴とする。

このような特徴を有する本発明の基板搬送装置によれば、上記メインコンベヤから上記分岐コンベヤあるいは上記分岐コンベヤから上記メインコンベヤへの基板の受け渡しの際に、基板受渡部によって、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基板が水平に回動されながら基板の受け渡しが行われる。

また、本発明の基板搬送装置においては、上記基板受渡部が、上記基板の外縁を把持するヘッド部と、該ヘッド部を所定の回動軸を中心として水平に回動する駆動部と、上記ヘッド部に一端が接続されるとともに上記駆動部に他端部が接続されるアーム部と、を備えるという構成を採用することができる。

また、本発明の基板搬送装置においては、上記基板受渡部による上記基板の受け渡しの間に上記基板を下方から支持する支持手段を備えるという構成を採用することができる。

また、本発明の基板搬送装置においては、上記支持手段が、圧縮空気を用いて上記基板を浮上支持するという構成を採用することができる。

次に、本発明の基板搬送方法は、基板をメインコンベヤにより枚葉搬送し、上記メインコンベヤ上の上記基板を、上記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤに上記基板の進行方向に対する向きが変化しないように上記基板を水平に回動させながら受け渡しを行うことを特徴とする。

このような特徴を有する本発明の基板搬送方法によれば、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基板が水平に回動されながら、メインコンベヤから分岐コンベヤに受け渡される。

次に、本発明の基板搬送方法は、メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤの基板を、上記メインコンベヤに上記基板の進行方向に対する向きが変化しないように上記基板を水平に回動させながら受け渡しを行うことを特徴とする。

このような特徴を有する本発明の基板搬送方法によれば、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基板が水平に回動されながら、分岐コンベヤからメインコンベヤに受け渡される。

本発明によれば、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基板が水平に回動されながら、メインコンベヤから分岐コンベヤあるいは分岐コンベヤからメインコンベヤに受け渡される。このため、メインコンベヤあるいは分岐コンベヤ上において基板を停止させる必要はなく、基板の受け渡しを高速に行うことができる。
したがって、本発明によれば、基板の進行方向を変化させることなくメインコンベヤと分岐コンベヤとの間にて基板を受け渡す場合において、メインコンベヤと分岐コンベヤ間における基板の受け渡し速度を向上させることが可能となる。

以下、図面を参照して、本発明に係る基板搬送装置及び基板搬送方法の一実施形態について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
図１は、本第１実施形態に係る基板搬送装置１を示す模式図である。
基板搬送装置１は、液晶装置、ＰＤＰ、ＥＬ装置等のフラットパネルディスプレイを製造する工場において、ガラスプレートＰを一枚づつ枚葉搬送する装置であって、メインコンベヤ１０と、メインコンベヤ１０に対して水平分岐する複数の分岐コンベヤ２０と、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間においてガラスプレートＰの受け渡しを行うプレート受渡部４０と、これらを統括的に制御する不図示の制御部等を備えている。

メインコンベヤ１０は、ガラスプレートＰを水平に載置しつつ、その表面沿った方向に、一定速度で搬送する装置であって、ガラスプレートＰを空気により浮上させて非接触支持するエア浮上ユニット１２（支持手段）とコンベヤ部１５等から構成される（図２及び図３参照）。このように、本実施形態においては、本発明における支持手段の機能がメインコンベヤ１０の一部に組み込まれている。
メインコンベヤ１０は、工場のクリーンルーム内の床面に略直線状に配置される。そして、メインコンベヤ１０の複数箇所には、分岐コンベヤ２０の一端がメインコンベヤ１０に対して略直交かつ水平に連結される。

分岐コンベヤ２０は、メインコンベヤ１０と同様に、ガラスプレートＰを水平に載置しつつ、その表面沿った方向に一定速度で搬送する装置であって、エア浮上ユニット１２（支持手段）と、コンベヤ部１５等から構成される。このように、本実施形態においては、本発明における支持手段の機能が分岐コンベヤ２０の一部にも組み込まれている。

分岐コンベヤ２０の他端側には、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置が配置・連結されている。薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置には、それぞれ２つの分岐コンベヤ２０が平行配置されている。
例えば、薄膜形成装置５に連結する分岐コンベヤ２１，２２（分岐コンベヤ２０）のうち、分岐コンベヤ２１は、ガラスプレートＰを薄膜形成装置５に搬入するためのコンベヤであり、分岐コンベヤ２２は、ガラスプレートＰを薄膜形成装置５から搬出するためのコンベヤである。
同様に、分岐コンベヤ２３，２５（分岐コンベヤ２０）は、エッチング装置６、試験装置７にガラスプレートＰを搬入するためのコンベヤであり、分岐コンベヤ２４，２６（分岐コンベヤ２０）は、エッチング装置６、試験装置７からガラスプレートＰを搬出するためのコンベヤである。
なお、各種処理装置にガラスプレートＰを搬入する分岐コンベヤ２１，２３，２５は、各種処理装置からガラスプレートＰを搬出する分岐コンベヤ２２，２４，２６に対して、メインコンベヤ１０の上流側に配置される。

プレート受渡部４０は、各処理装置にガラスプレートＰを搬入する分岐コンベヤ２１，２３，２５に対してメインコンベヤ１０の上流側、及び、各種処理装置からガラスプレートＰを搬出する分岐コンベヤ２２，２４，２６に対してメインコンベヤ１０の下流側の各々に設置されている。
これらのプレート受渡部４０は、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないようにガラスプレートＰを水平に回動させながら、メインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０あるいは分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０にガラスプレートＰの受け渡しを行うものである。

図２は、メインコンベヤ１０の詳細構成を示す図である。
メインコンベヤ１０は、上述したように、ガラスプレートＰを空気により浮上させつつ、水平方向の一方向に搬送する装置であり、エア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５等を複数備えている。

エア浮上ユニット１２は、平面状の上面を備えた部材であって、この上面（載置面）には圧縮空気を噴出する複数の流体噴出孔１３が略均等な配置密度で形成されている。エア浮上ユニット１２は、平面視矩形状に形成され、その長手方向がガラスプレートＰの搬送方向に一致するように設けられている。また、エア浮上ユニット１２の短手方向（幅方向）は、ガラスプレートＰの幅方向（搬送方向に直交する方向）よりもやや狭く形成されている。

そして、不図示の圧縮空気供給装置からエア浮上ユニット１２に圧縮空気が供給されることにより、圧縮空気が各流体噴出孔１３から噴出するようになっている。これにより、エア浮上ユニット１２上に載置されたガラスプレートＰを各流体噴出孔１３から噴出する圧縮空気により浮上させて、非接触に支持可能となっている。

コンベヤ部１５は、複数のローラ１６と、この複数のローラ１６の周りに取り付けられたベルト１７を備えている。また、ベルト１７の表面には、複数の突起１８がベルト１７の長手方向（メインコンベヤ１０の搬送方向）に均等な間隔で設けられている。
コンベヤ部１５は、エア浮上ユニット１２の両側に、ガラスプレートＰの搬送方向に沿って配置されている。そして、一対のコンベヤ部１５の配置間隔（距離）は、ガラスプレートＰの幅方向と略同一となっている。

コンベヤ部１５の各ローラ１６の上端は同一水平面に位置するように配置され、これによりベルト１７の表面に設けられた突起１８がエア浮上ユニット１２の上面よりも僅かに上方に位置するように配置される。そして、突起１８がエア浮上ユニット１２上に載置されたガラスプレートＰの下面の外縁（幅方向の両端側）に当接するようになっている。
コンベヤ部１５の各ローラ１６は、不図示のモータ等によって同一の回転速度で同一方向に回転するようになっている。これにより、ガラスプレートＰをエア浮上ユニット１２により非接触に支持しつつ、コンベヤ部１５によってエア浮上ユニット１２に沿って搬送することが可能となっている。

また、コンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により、上下方向に移動可能に構成されている。
コンベヤ部１５を昇降装置により上昇させた場合には、各突起１８がエア浮上ユニット１２の上面よりも僅かに上方に位置するようになる。この場合には、コンベヤ部１５の突起１８がガラスプレートＰの下面に当接し、ガラスプレートＰを搬送できる。
一方、コンベヤ部１５を下降させた場合には、各突起１８がエア浮上ユニット１２の上面よりも下方に位置するようになる。この場合には、コンベヤ部１５（各突起１８）がガラスプレートＰから離間して、ガラスプレートＰはエア浮上ユニット１２上で完全に非接触支持された状態となる。したがって、ガラスプレートＰに外力が加わらない限り、ガラスプレートＰはエア浮上ユニット１２上で停止した状態で保持される。

そして、メインコンベヤ１０は、エア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５とを、複数連結して構成されている。すなわち、各エア浮上ユニット１２と各コンベヤ部１５が互いに近接して、水平方向に並べて配置される。この際、各エア浮上ユニット１２の上面（載置面）は、同一水平面に位置するように調整される。

また、分岐コンベヤ２０もメインコンベヤ１０が備えるエア浮上ユニット１２とコンベヤ部１５とによって構成されている。なお、図１に示すように、本実施形態においては、分岐コンベヤ２０は、単一のエア浮上ユニット１２と、該エア浮上ユニット１２を挟んで配置される２つのコンベヤ部１５によって構成されているが、さらに複数のエア浮上ユニット１２及びコンベヤ部１５によって構成されても良い。

図３は、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２１との分岐部分の構成を示す図である。
この図に示すように、分岐コンベヤ２１に対するメインコンベヤ１０の上流側には、プレート受渡部４０が設置されている。

プレート受渡部４０は、アーム部４１と、ヘッド部４２と、モータ４３（駆動部）とを備えている。
アーム部４１は、一端がヘッド部４２に接続されるとともに他端がモータ４３と接続されており、水平に設置されている。
ヘッド部４２は、ガラスプレートＰの外縁部分、具体的には、ガラスプレートＰの幅方向の一辺付近を把持可能に構成されている。ガラスプレートＰの側面を吸着保持することによってガラスプレートＰを把持してもよいし、ガラスプレートＰの上面と下面を挟持することによってガラスプレートＰを把持してもよい。
モータ４３は、鉛直な回動軸Ｌを中心としてヘッド部４２を水平に回動するものであり、アーム部４１を介してヘッド部４２を図３に示す矢印方向（及び逆矢印方向）に回動する。

そして、このような構成を有するプレート受渡部４０によって、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰが、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように回動しながら分岐コンベヤ２０に受け渡される。

なお、分岐コンベヤ２３，２５に対するメインコンベヤ１０の上流側に設置されるプレート受渡部４０も同様の構成を有しており、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰを、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように回動しながら分岐コンベヤ２０に受け渡す。
また、分岐コンベヤ２２，２４，２６に対するメインコンベヤ１０の下流側に設置されるプレート受渡部４０も、図３に示すプレート受渡部４０と同様の構成を有しているが、分岐コンベヤ２０上のガラスプレートＰを、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように回動しながらメインコンベヤ１０に受け渡す点において、図３に示すプレート受渡部４０と異なる。

次に、基板搬送装置１の動作（基板搬送方法）について説明する。
図４を参照して、メインコンベヤ１０上を搬送されるガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０に受け渡す場合（分岐コンベヤ２１，２３，２５に対してメインコンベヤ１０の上流側に設置されるプレート受渡部４０の動作）について説明する。

まず、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０の各エア浮上ユニット１２に圧縮空気を供給して、各流体噴出孔１３から圧縮空気を噴出させる。また、コンベヤ部１５を駆動して、各ローラ１６を一定の回転速度で回転させる。この際、各コンベヤ部１５を不図示の昇降装置により上昇させておく。
そして、メインコンベヤ１０の上流側において、ガラスプレートＰを一枚づつ載置することにより、ガラスプレートＰは枚葉搬送される。

そして、図４（ａ）に示すように、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰが、プレート受渡部４０のヘッド部４２の届く位置まで移動すると、プレート受渡部４０のヘッド部４２が分岐コンベヤ２０の一端まで移動して、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰの外縁を把持する。その後、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０のコンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により下降する。この際、ガラスプレートＰは、各エア浮上ユニット１２の各流体噴出孔１３から噴出される圧縮空気によって浮上支持される。
そして、図４（ｂ）及び図４（ｃ）に示すように、ガラスプレートＰを把持するヘッド部４２が、モータ４３によってアーム部４１を介して水平面内において回動されることによって、ガラスプレートＰはメインコンベヤ１０上から分岐コンベヤ２０上に搬送される。この際、ガラスプレートＰの進行方向が、メインコンベヤ１０の進行方向から、分岐コンベヤ２１，２３，２５の進行方向に変化するが、ガラスプレートＰが回動されるため、ガラスプレートＰの進行方向に対する先頭は変化しない。
すなわち、本実施形態の基板搬送装置１によれば、メインコンベヤ１０上のガラスプレートＰは、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように水平に回動されながら分岐コンベヤ２０に受け渡される。
なお、本実施形態においては、ヘッド部４２がコンベヤ部１５の回転方向と同じ方向に移動できない構成であるため、ガラスプレートＰとコンベヤ部１５とが擦れることを防止するために、ガラスプレートＰの外縁を把持する際にコンベヤ部１５の駆動を停止した方が好ましい。しかしながら、ガラスプレートＰとコンベヤ部１５とが擦れないように出来る場合（例えば、ヘッド部４２がガラスプレートＰを把持すると同時にコンベヤ部１５を下降することができる場合、コンベヤ部１５を下降してからヘッド部４２がガラスプレートＰを把持することができる場合、ヘッド部がコンベヤ部１５の回転方向と同じ方向に移動可能な場合等）には、必ずしもガラスプレートＰの外縁を把持する際にコンベヤ部１５の駆動を停止する必要はない。

そして、図４（ｄ）に示すように、ガラスプレートＰが分岐コンベヤ２０上に搬送されると、再びメインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０のコンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により上昇する。その後、プレート受渡部４０のヘッド部４２によるガラスプレートＰの把持が解除されることで、ガラスプレートＰは分岐コンベヤ２０により、メインコンベヤ１０から離間する方向に搬送される。
なお、本実施形態においては、ヘッド部４２によるガラスプレートＰの把持を解除する際にも、上述したガラスプレートＰの外縁を把持する際と同様に、ガラスプレートＰとコンベヤ部１５とが擦れることを防止するために、コンベヤ部１５の駆動を停止した方が好ましい。

なお、ガラスプレートＰは、分岐コンベヤ２０により搬送されて、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置に受け渡される。
なお、各処理装置（薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等）に受け渡されたガラスプレートＰは、各処理装置において所定の処理が施された後に、各処理装置の外部に搬出される。

次に、図５を参照して、ガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡す場合（分岐コンベヤ２２，２４，２６に対してメインコンベヤ１０の下流側に設置されるプレート受渡部４０の動作）について説明する。
ガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡す動作は、ガラスプレートＰをメインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０に受け渡す動作を略反転させたものである。

まず、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０の各エア浮上ユニット１２に圧縮空気を供給して、各流体噴出孔１３から圧縮空気を噴出させる。また、コンベヤ部１５を駆動して、各ローラ１６を一定の回転速度で回転させる。この際、コンベヤ部１５を不図示の昇降装置により上昇させておく。

次に、ガラスプレートＰが薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置から分岐コンベヤ２０に受け渡される。ガラスプレートＰは分岐コンベヤ２０により搬送されて、プレート受渡部４０のヘッド部４２が届く位置まで移動する。そして、プレート受渡部４０のヘッド部４２が分岐コンベヤ２０上のガラスプレートＰの外縁を把持する。その後、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２０のコンベヤ部１５は、不図示の昇降装置により下降する。この際、ガラスプレートＰは、各エア浮上ユニット１２の各流体噴出孔１３から噴出される圧縮空気によって浮上支持される。
そして、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、ガラスプレートＰを把持するヘッド部４２が、モータ４３によってアーム部４１を介して水平面内において回動されることによって、ガラスプレートＰは分岐コンベヤ２０上からメインコンベヤ１０上に搬送される。この際、ガラスプレートＰの進行方向が、分岐コンベヤ２２，２４，２６の進行方向から、メインコンベヤ１０の進行方向に変化するが、ガラスプレートＰが回動されるため、ガラスプレートＰの進行方向に対する先頭は変化しない。
すなわち、本実施形態の基板搬送装置１によれば、分岐コンベヤ２０上のガラスプレートＰは、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないように水平に回動されながらメインコンベヤ１０に受け渡される。

以上説明したように、本実施形態に係る基板搬送装置１は、ガラスプレートＰを枚葉搬送するメインコンベヤ１０と、メインコンベヤ１０に対して水平分岐する分岐コンベヤ２０と、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないようにガラスプレートＰを水平に回動させながら、メインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０あるいは分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０にガラスプレートＰの受け渡しを行うプレート受渡部４０と、を備える。
このような本実施形態に係る基板搬送装置１及び基板搬送方法によれば、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きが変化しないようにガラスプレートＰが水平に回動されながら、メインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０あるいは分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡される。このため、ガラスプレートＰの進行方向に対する向きを合わせるためにメインコンベヤ１０あるいは分岐コンベヤ２０上においてガラスプレートＰを停止させる必要はなく、ガラスプレートＰの受け渡しを高速に行うことができる。
したがって、本実施形態に係る基板搬送装置１及び基板搬送方法によれば、ガラスプレートＰの進行方向を変化させることなくメインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間にてガラスプレートＰを受け渡す場合において、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０間におけるガラスプレートＰの受け渡し速度を向上させることが可能となる。

また、本実施形態に係る基板搬送装置１においては、圧縮空気を噴出する各エア浮上ユニット１２を用いてメインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間で受け渡されるガラスプレートＰを下方から支持した。
このように、受け渡しの際にガラスプレートＰを下方から支持することによって、ガラスプレートＰが撓むことを抑止することが可能となる。
また、圧縮空気を用いてガラスプレートＰを浮上支持することによって、ガラスプレートＰが、摩擦抵抗が無いに等しい状態で、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間において受け渡される。このため、受け渡し速度を高速化した場合であっても、衝撃が加わることによるガラスプレートＰの損傷が生じない。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、本第２実施形態の説明において、上記第１実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。

図６は、本実施形態の基板搬送装置における、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２１との分岐部分の構成を示す図である。この図に示すように、本実施形態においては、メインコンベヤ１０及び分岐コンベヤ２１が、上記第１実施形態におけるエア浮上ユニット１２の替わりに、球状フリーローラ３００（支持手段）が複数配列されたフリーローラユニット２００を備えて構成されている。

このような構成を有する本実施形態の基板搬送装置によれば、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間でガラスプレートＰの受け渡しを行う際に、ガラスプレートＰが球状フリーローラ３００によって下方から支持される。
したがって、本実施形態の基板搬送装置によっても、上記第１実施形態の基板搬送装置１と同様に、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間でガラスプレートＰの受け渡しを行う際にガラスプレートＰが撓むことを抑止することができる。

なお、上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ、又は動作手順等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、上記実施形態においては、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０とが直角に配置される構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０とが異なる角度で配置される構成に適用することもできる。

また、上記実施形態においては、コンベヤ部１５が、不図示の昇降装置により下降することによって、メインコンベヤ１０と分岐コンベヤ２０との間においてガラスプレートＰを受け渡す場合に、ガラスプレートＰがコンベヤ部１５と接触することを防止することができる構成とした。しかしながら、本発明はこれに限るものではなく、コンベヤ部１５が下降する替わりに、エア浮上ユニット１２が上昇することによって、ガラスプレートＰとコンベヤ部１５とが接触することを防止しても構わない。この場合には、受け渡し側のコンベヤのエア浮上ユニット１２上面は、上昇された後のエア浮上ユニット１２の上面と面一となるように位置されている。

上記実施形態においては、ガラスプレートＰを枚葉搬送する場合について説明したが、これに限らない。例えば、半導体ウエハ等の薄い板状部材であればよい。

上述した実施形態においては、分岐コンベヤ２０の他端側に、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置を配置・連結する場合について説明したが、これに限らない。分岐コンベヤ２０の下流側（他端側）に、更に分岐コンベヤ２０が連結される場合であってもよい。
また、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置の他、ガラスプレートＰ等の基板を複数一時的に保存するストッカを配置してもよい。

上述した実施形態においては、薄膜形成装置５、エッチング装置６、試験装置７等の各種処理装置に、ガラスプレートＰを搬入する分岐コンベヤ２１，２３，２５とガラスプレートＰを搬出する分岐コンベヤ２２，２４，２６を配置する場合について説明したが、これに限らない。一つの分岐コンベヤ２０が、ガラスプレートＰを搬入・搬出を行う場合であってもよい。

また、上記第１実施形態においては、圧縮空気を用いてガラスプレートＰを浮上支持する場合について説明したが、これに限らない。例えば、空間を伝播する振動波をガラスプレートＰに付与することによってガラスプレートＰを浮上支持させてもよい。

本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置１を示す模式図である。 メインコンベヤ１０の詳細構成を示す図である。 分岐コンベヤ２０のプレート引渡部４０との分岐部分の構成を示す図である。 本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置１の動作（ガラスプレートＰをメインコンベヤ１０から分岐コンベヤ２０に引き込む場合）を示す図である。 基本発明の第１実施形態に係る板搬送装置１の動作（ガラスプレートＰを分岐コンベヤ２０からメインコンベヤ１０に受け渡す場合）を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置における、分岐コンベヤ２０のプレート引渡部４０との分岐部分の構成を示す図である。

符号の説明

Ｐ…ガラスプレート（基板）
１…基板搬送装置
１０…メインコンベヤ
１２…エア浮上ユニット（支持手段）
１５…コンベア部
２０…分岐コンベヤ
４０…プレート引渡部（基板受渡部）
４１…アーム部
４２…ヘッド部
４３…モータ（駆動部）
２００……フリーローラユニット（支持手段）

Claims (6)

1. 昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部を有し、前記基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、
   昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部を有し、前記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤと、
   前記基板の進行方向に対する向きが変化しないように前記基板を昇降させることなく水平に回動させながら、前記メインコンベヤから前記分岐コンベヤあるいは前記分岐コンベヤから前記メインコンベヤに前記基板の受け渡しを行う基板受渡部と、
   を備え、
   前記基板受渡部によって前記基板が回動されているときに前記メインコンベヤの前記コンベヤ部と前記分岐コンベヤのコンベヤ部とが下降されていることを特徴とする基板搬送装置。
2. 前記基板受渡部は、
   前記基板の外縁を把持するヘッド部と、
   該ヘッド部を所定の回動軸を中心として水平に回動する駆動部と、
   前記ヘッド部に一端が接続されるとともに前記駆動部に他端部が接続されるアーム部と、
   を備えることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
3. 前記基板受渡部による前記基板の受け渡しの間に前記基板を下方から支持する支持手段を備えることを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置。
4. 前記支持手段は、圧縮空気を用いて前記基板を浮上支持することを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置。
5. 基板をメインコンベヤにより枚葉搬送し、
   前記メインコンベヤ上の前記基板を、前記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤに前記基板の進行方向に対する向きが変化しないようかつ昇降させることなく水平に回動させながら受け渡しを行い、
   前記メインコンベヤに設けられ、昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部と、前記分岐コンベヤに設けられ、昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部と、が下降されているときに前記基板を回動させる
   ことを特徴とする基板搬送方法。
6. メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤの基板を、前記メインコンベヤに前記基板の進行方向に対する向きが変化しないようかつ昇降させることなく水平に回動させながら受け渡しを行い、
   前記メインコンベヤに設けられ、昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部と、前記分岐コンベヤに設けられ、昇降可能であると共に上昇されたときに基板の下面に当接して前記基板を搬送するコンベヤ部と、が下降されているときに前記基板を回動させることを特徴とする基板搬送方法。

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