JP5167999B2 - 基板移送システム及び基板移送方法 - Google Patents
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Description
図7に示すように、引出アーム移動用モータ39の駆動により一対の引出アーム27を第1基板処理装置3のポート3pに接近するX軸方向(X軸方向の一方側)へ移動させることにより、一対の引出用吸着パッド31を第1基板処理装置3の所定位置(取出位置に位置決めした収納ケージ9の収納部)に位置した基板Wの下方に位置させる。そして、一対の引出用吸着パッド31の吸着面が基準浮上高さ位置に位置するように、一対の引出アーム昇降用エアシリンダ33の駆動により一対の引出アーム27を上昇させて、一対の引出用吸着パッド31によって基板Wの裏面を吸着する。また、一対の第1ローラ出没用エアシリンダ67の駆動により複数の第1規制ローラ63を基準浮上高さ位置に対して没入させる。
第1ステップの終了後に、複数の浮上ユニット21のノズル21nからエアを噴出させつつ、引出アーム移動用モータ39の駆動により一対の引出アーム27を第1基板処理装置3のポート3pに離反するX軸方向(X軸方向の他方側)へ移動させることにより、図8に示すように、第1基板処理装置3から第1隣接領域A1に基板Wを浮上させた状態で引き出す。
第2ステップの終了後に、一対の第1ローラ出没用エアシリンダ67の駆動により複数の第1規制ローラ63を基準浮上高さ位置に対して突出させて、複数のローラ移動用エアシリンダ81の駆動により複数の押えローラ89をX軸方向の一方側へ移動させることにより、複数の押えローラ89と複数の規制ローラ63,73によって基板WのX軸方向側の両端面を挟持する。また、一対の引出用吸着パッド31による吸着状態を解除して、一対の引出アーム昇降用エアシリンダ33の駆動により一対の引出アーム27を下降させる。
第3ステップの終了後に、複数の浮上ユニット21のノズル21nからエアを噴出させつつ、第1ローラ回転用モータ65及び第2ローラ回転用モータ75の駆動により複数の第1規制ローラ63及び複数の第2規制ローラ73を回転させかつ複数の押えローラ89を併せて回転(連動して回転)させることにより、図9に示すように、第1隣接領域A1から第2隣接領域A2へ基板Wを浮上させた状態で搬送する。
第4ステップの終了後に、第2基板処理装置5のポート5pにX軸方向に離反させた一対の送出用吸着パッドの吸着面が基準浮上高さ位置に位置するように、一対の送出アーム昇降用エアシリンダ51の駆動により一対の送出アーム45を上昇させて、一対の送出用吸着パッド49によって基板Wの裏面を吸着する。そして、複数のローラ移動用エアシリンダ81の駆動により複数の押えローラ89をX軸方向の他方側へ移動させることにより、複数の押えローラ89と複数の規制ローラ63,73による挟持状態を解除する。また、一対の第2ローラ出没用エアシリンダ77の駆動により複数の第2規制ローラ73を基準浮上高さ位置に対して没入させる。
第5ステップの終了後に、複数の浮上ユニット21のノズル21nからエアを噴出させつつ、送出アーム移動用モータ57の駆動により一対の送出アーム45を第2基板処理装置5のポート5pに接近するX軸方向へ移動させることにより、図10に示すように、第2隣接領域A2から第2基板処理装置5の所定位置(取入位置に位置決めした収納ケージ15の収納部)に位置した基板Wを送り出す。そして、送出用吸着パッド49による吸着状態を解除して、送出アーム昇降用エアシリンダ51の駆動により一対の送出アーム45を下降させる。
A1 第1隣接領域
A2 第2隣接領域
Am 中間領域
1 基板移送システム
3 第1基板処理装置
5 第2基板処理装置
19 システムベース
21 浮上ユニット
21n ノズル
27 引出アーム
31 引出用吸着パッド
39 引出アーム移動用モータ
45 送出アーム
49 送出用吸着パッド
57 送出アーム移動用モータ
63 第1規制ローラ
65 第1ローラ回転用モータ
67 第1ローラ出没用エアシリンダ
73 第2規制ローラ
75 第2ローラ回転用モータ
77 第2ローラ出没用エアシリンダ
81 ローラ移動用エアシリンダ
89 押えローラ
Claims (3)
- 第1基板処理装置から該第1基板処理装置に対してY軸方向に離隔した第2基板処理装置へ基板を浮上させた状態で搬送する基板移送システムにおいて、
前記第1基板処理装置にX軸方向に隣接する第1隣接領域、及び前記第2基板処理装置にX軸方向に隣接する第2隣接領域を有し、Y軸方向へ延びたシステムベースと、
前記システムベースにおける前記第1隣接領域から前記第2隣接領域にかけて設けられ、基板を基準浮上高さ位置まで浮上させる浮上ユニットと、
前記システムベースの前記第1隣接領域にX軸方向へ移動可能かつY軸方向に間隔を置いて設けられ、X軸方向へそれぞれ延びてあって、先端側に基板の裏面又は表面を吸着する引出用吸着パッドをそれぞれ有し、前記第1基板処理装置から前記第1隣接領域に基板を引き出す複数の引出アームと、
前記システムベースの前記第2隣接領域にX軸方向へ移動可能かつY軸方向に間隔を置いて設けられ、X軸方向へそれぞれ延びてあって、先端側に基板の裏面又は表面を吸着する送出用吸着パッドをそれぞれ有し、前記第2隣接領域から前記第2基板処理装置へ基板を送り出す複数の送出アームと、
前記システムベースのX軸方向の一端側に鉛直な軸心周りに回転可能かつ前記第1隣接領域から前記第2隣接領域にかけてY軸方向に間隔を置いて設けられた複数の規制ローラと、
前記システムベースのX軸方向の他端側に鉛直な軸心周りに回転可能かつ前記第1隣接領域から前記第2隣接領域にかけてY軸方向に間隔を置いて設けられ、それぞれX軸方向へ移動可能であって、複数の前記規制ローラと協働して基板のX軸方向側の両端面を挟持する複数の押えローラと、を具備し、
複数の前記規制ローラ及び複数の前記押えローラのうち、前記第1基板処理装置側寄りのローラ及び前記第2基板処理装置側寄りのローラは、前記基準浮上高さ位置に対して出没可能に構成され、前記第1基板処理装置から前記第1隣接領域に基板を引き出す前に前記第1基板処理装置側寄りのローラを前記基準浮上高さ位置に対して没入させ、かつ前記第1隣接領域から前記第2隣接領域へ基板を浮上させた状態で搬送する前に前記第1基板処理装置側寄りのローラ及び前記第2基板処理装置側寄りのローラを前記基準浮上高さ位置に対して突出させ、かつ前記第2基板処理装置から前記第2隣接領域に基板を送り出す前に前記第2基板処理装置側寄りのローラを前記基準浮上高さ位置に対して没入させるように構成され、
各引出アームがそのX軸方向の移動によってY軸方向に隣接する前記第1基板処理装置側寄りのローラの間を通って進退可能に構成され、各送出アームがそのX軸方向の移動によってY軸方向に隣接する前記第2基板処理装置側寄りのローラの間を通って進退可能に構成されたことを特徴とする基板移送システム。 - 複数の前記引出アームをX軸方向へ移動させる引出アーム移動用アクチュエータと、
複数の前記送出アームをX軸方向へ移動させる送出アーム移動用アクチュエータと、
複数の前記押えローラをX軸方向へ移動させるローラ移動用アクチュエータと、
複数の前記規制ローラと複数の前記押えローラのうち少なくともいずれかの複数のローラを回転させるローラ回転用アクチュエータと、
前記第1基板処理装置側寄りのローラを前記基準浮上高さ位置に対して出没させる第1ローラ出没用アクチュエータと、
前記第2基板処理装置側寄りのローラを前記基準浮上高さ位置に対して出没させる第2ローラ出没用アクチュエータと、を具備したことを特徴とする請求項1に記載の基板移送システム。 - 請求項1に記載の基板移送システムを用いて、第1基板処理装置から該第1基板処理装置に対してY軸方向に離隔した第2基板処理装置へ基板を浮上させた状態で搬送する基板移送方法において、
複数の前記引出アームを前記第1基板処理装置のポートに接近するX軸方向へ移動させて、複数の前記引出用吸着パッドによって前記第1基板処理装置の所定位置に位置した基板を裏面又は表面を吸着すると共に、前記第1基板処理装置側寄りのローラを前記基準浮上高さ位置に対して没入させる第1ステップと、
前記第1ステップの終了後に、前記浮上ユニットを動作させつつ、複数の前記引出アームを前記第1基板処理装置のポートに離反するX軸方向へ移動させて、前記第1基板処理装置から前記第1隣接領域に基板を引き出す第2ステップと、
前記第2ステップの終了後に、前記第1基板処理装置側寄りのローラを前記基準浮上高さ位置に対して突出させて、複数の前記押えローラをX軸方向の一方側へ移動させて、複数の前記押えローラと複数の規制ローラによって基板のX軸方向側の両端面を挟持すると共に、複数の前記引出用吸着パッドによる吸着状態を解除する第3ステップと、
前記第3ステップの終了後に、複数の前記規制ローラ及び複数の前記押えローラを回転させて、前記第1隣接領域から前記第2隣接領域へ基板を浮上させた状態で搬送する第4ステップと、
前記第4ステップの終了後に、前記第2基板処理装置のポートにX軸方向に離反させた複数の前記送出用吸着パッドによって基板の裏面又は表面を吸着し、複数の前記押えローラをX軸方向の他方側へ移動させて、複数の前記押えローラと複数の前記規制ローラによる挟持状態を解除すると共に、前記第2基板処理装置側寄りのローラを前記基準浮上高さ位置に対して没入させる第5ステップと、
前記第5ステップの終了後に、複数の前記送出アームを前記第2基板処理装置のポートに接近するX軸方向へ移動させて、前記第2隣接領域から前記第2基板処理装置へ基板を送り出して、複数の前記引出用吸着パッドによる吸着状態を解除する第6ステップと、を具備したことを特徴とする基板移送方法。
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