JP4955377B2 - チップ間隔の測定装置とその測定方法 - Google Patents
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Description
13 接着シート
A 保持手段
A1 エキスパンド装置(エキスパンド手段)
B 画像処理手段
B1 カメラ(撮影手段)
C チップ
F 制御手段
E 照射手段
G チップ間隔
M 測定装置
W ウエハ(板状部材)
Claims (5)
- リングフレームの内側に接着シートを介して支持され、切断によってチップ状に個片化された板状部材を測定対象物とし、その各チップ間隔を測定する測定装置であって、
前記測定装置は、
前記測定対象物を移動可能に保持する保持手段と、
前記測定対象物に光を照射する照射手段と、
前記測定対象物を撮影する撮影手段を含み、撮影した画像から前記チップ間隔を測定する画像処理手段と、
前記保持手段の移動を制御する制御手段とからなり、
前記制御手段は、前記撮影手段で撮影した画像の中に所定閾値の明るさよりも明るい部分があるか否かの判定、又は当該画像の中に縞模様になっている部分が含まれているか否かの判定、若しくはその両判定を行う機能と、その判定結果に基づいて前記保持手段を移動制御する機能と、を備えること
を特徴とするチップ間隔の測定装置。 - 前記測定装置は、前記接着シートを引き伸ばすことによって前記各チップ間隔を拡張するエキスパンド手段を有すること
を特徴とする請求項1に記載のチップ間隔の測定装置。 - 前記制御手段は、前記画像の中に所定閾値の明るさよりも明るい部分があると判定した場合、又は、当該画像の中に縞模様になっている部分が含まれていると判定した場合、若しくは、その両判定を得た場合に、前記保持手段を移動制御すること
を特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のチップ間隔の測定装置。 - 前記画像処理手段は、撮影した画像から各チップの近接しあう各辺部を認識してチップ間隔を測定すること
を特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のチップ間隔の測定装置。 - リングフレームの内側に接着シートを介して支持され、切断によってチップ状に個片化された板状部材を測定対象物とし、その各チップ間隔を測定する測定方法であって、
前記測定方法は、
保持手段によって前記測定対象物を移動可能に保持し、その測定対象物に光を照射した状態で、当該測定対象物を撮影し、撮影した画像から前記チップ間隔を測定する際に、その画像の中に所定閾値の明るさよりも明るい部分があるか否かの判定、又は当該画像の中に縞模様になっている部分が含まれているか否かの判定、若しくはその両判定を行い、この判定結果に基づいて前記保持手段を移動制御すること
を特徴とするチップ間隔の測定方法。
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