JP4940854B2 - Method for arranging liquid material and method for producing color filter substrate - Google Patents
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Description
本発明は、液状材料の配置方法、表示装置の製造方法、及び吐出ヘッド、並びに吐出装置に関する。 The present invention relates to a liquid material arrangement method, a display device manufacturing method, a discharge head, and a discharge device.
一般に、各種の表示装置（電気光学装置）においては、カラー表示を可能にするためにカラーフィルタが設けられている。このカラーフィルタは、例えば、ガラスやプラスチックなどで構成された基板上に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のドット状のフィルタエレメントを、いわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などといった所定の配列パターンで配列させたものがある。 Generally, in various display devices (electro-optical devices), a color filter is provided to enable color display. This color filter has, for example, a dot-shaped filter element of each color of R (red), G (green), and B (blue) on a substrate made of glass or plastic, so-called stripe arrangement, delta arrangement, Some are arranged in a predetermined arrangement pattern such as a mosaic arrangement.
例えば特許文献１に開示されているように、表示装置のその他の例としては、例えば配置される色要素の数を増やして、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（黄）、Ｃ（シアン）の６色の色要素を配置した６色配置があった。このような６色配置のカラーフィルタは、色要素の数を増やすことによって、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）３色の色要素を配置した３色配置に比べてきめの細かい色表現を再現することが実現可能になる。
For example, as disclosed in
上記カラーフィルタの製造方法において、複数種類の液状材料（インク）をそれぞれの液状材料（インク）に対応した複数の領域に吐出して形成することも可能である。しかし、色要素が多くなると使用する液状材料（インク）の種類が多くなるため、混色を発生させる機会も増える。 In the color filter manufacturing method, a plurality of types of liquid materials (inks) can be discharged and formed in a plurality of regions corresponding to the respective liquid materials (inks). However, as the number of color elements increases, the number of types of liquid materials (inks) to be used increases, so the opportunity for color mixing increases.
本発明の目的は、液滴吐出方法において、混色を低減させるとともに、効率的に配置することが可能な液状材料の配置方法、表示装置の製造方法、及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a liquid material arrangement method, a display device manufacturing method, a liquid droplet ejection head, and a liquid droplet ejection apparatus that can reduce color mixing and can be efficiently arranged in the liquid droplet ejection method. Is to provide.
本発明の液状材料の配置方法は、液状材料を吐出し、基板上に配置する液状材料の配置方法であって、前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部とを備えているとともに、前記第１の領域部を複数備えた第１の着色領域群と、前記第２の領域部を複数備えた第２の着色領域群と、を有しており、前記第１の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第１の領域部に前記液状材料を配置する工程と、前記第２の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程とを、備え、前記第１の領域部及び前記第２の領域部に交互に前記液状材料を吐出することを特徴とする。 The liquid material arrangement method of the present invention is a liquid material arrangement method in which a liquid material is discharged and disposed on a substrate, and the substrate is different from the first region portion and the first region portion. A first colored region group including a plurality of the first region portions, a second colored region group including a plurality of the second region portions, and a second colored region group including a plurality of the second region portions. And disposing the liquid material in at least one of the first colored region groups, and at least one of the second colored region groups. And a step of disposing the liquid material in the region portion, and discharging the liquid material alternately to the first region portion and the second region portion.
この発明によれば、第１の領域部と、第１の領域部より面積の広い第２の領域部とに液状材料を交互に配置するから、液状材料が隔壁を乗り越えて隣接する領域部に、はみ出しにくくなるので、混色を低減することができる。 According to this invention, since the liquid material is alternately arranged in the first region portion and the second region portion having a larger area than the first region portion, the liquid material crosses the partition wall and is adjacent to the adjacent region portion. , It is difficult to protrude, and color mixing can be reduced.
本発明の液状材料の配置方法は、前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、前記第１の領域部の位置に対して離間する位置に配置された前記第２の領域部に前記液状材料を吐出することが望ましい。 In the method of arranging a liquid material according to the present invention, in the step of arranging the liquid material in the second region portion, the second region portion arranged at a position separated from the position of the first region portion. It is desirable to discharge the liquid material.
この発明によれば、液状材料を配置するときに、先に選択した第１の領域部と、この第１の領域部の後に選択した第２の領域部とが、離間するように選択するから、液状材料が隔壁を乗り越えて隣接する領域部に、よりはみ出しにくくなるので、混色を低減することができる。 According to the present invention, when the liquid material is disposed, the first region selected earlier and the second region selected after the first region are selected so as to be separated from each other. Further, since the liquid material is more difficult to protrude from the adjacent region portion over the partition wall, color mixture can be reduced.
本発明の液状材料の配置方法は、前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、前記第１の領域部に前記液状材料を配置した後に、時間を経過させてから、前記第２の領域部に前記液状材料を吐出することが望ましい。 In the method of arranging a liquid material according to the present invention, in the step of arranging the liquid material in the second region portion, after the liquid material is arranged in the first region portion, a time elapses, and then the second material portion is arranged. It is desirable to discharge the liquid material to the two regions.
この発明によれば、液状材料を配置するときに、第１の領域部と、第２の領域部とで、時間をずらして液状材料を配置するから、第１の領域部と、第２の領域部とでは、液状材料に含まれる溶媒成分の蒸発時間に差が生じるので、第１の領域部と、第２の領域部との混色を低減することができる。 According to the present invention, when the liquid material is disposed, the liquid material is disposed with a time lag between the first region portion and the second region portion. Therefore, the first region portion, the second region portion, Since there is a difference in the evaporation time of the solvent component contained in the liquid material with the region portion, color mixing between the first region portion and the second region portion can be reduced.
本発明の液状材料の配置方法は、前記第１の領域部に前記液状材料を配置する工程及び前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、前記液状材料を略同時に吐出することが望ましい。 In the liquid material arranging method of the present invention, the liquid material is ejected substantially simultaneously in the step of arranging the liquid material in the first region and the step of arranging the liquid material in the second region. Is desirable.
この発明によれば、第１の着色領域群及び第２の着色領域群に液状材料を略同時に配置するから、１回の走査で多色の液状材料を配置することができるので、効率的である。 According to the present invention, since the liquid materials are disposed substantially simultaneously in the first colored region group and the second colored region group, the multicolor liquid material can be disposed in one scan, which is efficient. is there.
本発明のカラーフィルタ基板の製造方法は、液状材料を吐出し、基板上に配置し、前記液状材料を乾燥することにより膜パターンを有するカラーフィルタ基板の製造方法であって、前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部とを備えているとともに、前記第１の領域部を複数備えた第１の着色領域群と、前記第２の領域部を複数備えた第２の着色領域群と、を有しており、前記第１の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第１の領域部と、前記第２の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第２の領域部とを交互に選択して前記液状材料を配置することを特徴とする。 A method for producing a color filter substrate of the present invention is a method for producing a color filter substrate having a film pattern by discharging a liquid material, disposing the material on the substrate, and drying the liquid material. A first colored region group including a plurality of the first region portions, and a second colored region group including a first region portion and a second region portion having an area different from that of the first region portion, A second colored region group including a plurality of region parts, and at least one of the first colored region group and the second colored region group. The liquid material is arranged by alternately selecting at least one of the second region portions.
この発明によれば、第１の領域部と第２の領域部とを交互に選択して液状材料を配置すると、第１の領域部と、第２の領域部との混色を低減することができ、使用する液状材料が多色であっても高品質で、高精度なカラーフィルタ基板を提供できる。 According to this invention, when the liquid material is arranged by alternately selecting the first region portion and the second region portion, the color mixture between the first region portion and the second region portion can be reduced. Even if the liquid material used is multicolor, it is possible to provide a high-quality and highly accurate color filter substrate.
本発明の吐出ヘッドは、基板上に液状材料を吐出する吐出ヘッドであって、前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部と、を備えており、前記第１の領域部と、前記第２の領域部とを交互に選択して前記液状材料を吐出するときに、前記液状材料が吐出される順番に対応してノズルが配置されていることを特徴とする。 The discharge head of the present invention is a discharge head that discharges a liquid material onto a substrate, and the substrate includes a first region portion, a second region portion having an area different from the first region portion, When the liquid material is discharged by alternately selecting the first region portion and the second region portion, nozzles are arranged corresponding to the order in which the liquid material is discharged. It is characterized by being.
この発明によれば、液状材料が吐出される順番に対応してノズルが配置されているから、多色の液状材料を１回の走査で配置することができるので、生産効率の高い吐出ヘッドを提供できる。 According to the present invention, since the nozzles are arranged corresponding to the order in which the liquid materials are ejected, it is possible to arrange the multicolor liquid materials in one scan, so that an ejection head with high production efficiency can be obtained. Can be provided.
本発明の吐出装置は、基板上に液状材料を吐出する吐出装置であって、前述に記載の吐出ヘッドを搭載していることを特徴とする。 The discharge device of the present invention is a discharge device that discharges a liquid material onto a substrate, and is characterized by mounting the discharge head described above.
この発明によれば、液状材料を効率的に配置できる吐出ヘッドを搭載しているので、生産性を向上することが可能な吐出装置を提供できる。
また、本発明の液状材料の配置方法は、吐出した液状材料を基板上に配置する液状材料の配置方法であって、前記基板に形成された複数の領域部に前記液状材料を配置する工程を有し、前記領域部毎に前記液状材料を配置する際、少なくとも隣接する前記領域部をあけて前記液状材料を配置することを特徴とする。
この発明によれば、隣接する領域部には連続して液状材料が配置されず、時間差をもって液状材料が配置されるため、先に配置された液状材料に含まれる溶媒成分が蒸発することで、隣接する領域部に後から配置された液状材料と混ざることが低減される。
さらに、本発明の液状材料の配置方法は、複数のノズル列より吐出した液状材料を基板上に配置する液状材料の配置方法であって、前記基板に形成された複数の領域部に前記液状材料を配置する工程を有し、各領域部は、各領域部に隣接する領域部に対して前記液状材料を吐出するノズル列とは異なるノズル列から前記液状材料を吐出することを特徴とする。
この発明によれば、異なるノズル列から液状材料を吐出することにより、吐出のタイミングに時間差が生じ、隣接する領域部どうしでは液状材料を配置する時に時間差ができるため、先に配置された液状材料に含まれる溶媒成分が蒸発することで、隣接する領域部に後から配置された液状材料と混ざることが低減される。
According to this invention, since the ejection head capable of efficiently arranging the liquid material is mounted, it is possible to provide an ejection apparatus capable of improving productivity.
The liquid material arranging method of the present invention is a liquid material arranging method in which the discharged liquid material is arranged on a substrate, and the step of arranging the liquid material in a plurality of regions formed on the substrate. And when arranging the liquid material for each of the region portions, the liquid material is arranged at least in the adjacent region portions.
According to the present invention, the liquid material is not continuously disposed in the adjacent region portion, and the liquid material is disposed with a time difference, so that the solvent component contained in the previously disposed liquid material evaporates, Mixing with the liquid material disposed later in the adjacent region is reduced.
Furthermore, the liquid material arrangement method of the present invention is a liquid material arrangement method in which the liquid material discharged from a plurality of nozzle rows is arranged on a substrate, and the liquid material is disposed in a plurality of regions formed on the substrate. And each region portion discharges the liquid material from a nozzle row different from the nozzle row that discharges the liquid material to a region portion adjacent to each region portion.
According to the present invention, since the liquid material is discharged from different nozzle rows, a time difference is generated in the discharge timing, and a time difference can be caused when the liquid material is disposed between the adjacent region portions. As a result, the solvent component contained in the gas evaporates, so that mixing with the liquid material disposed later in the adjacent region is reduced.
以下、本発明の液状材料の配置方法、表示装置の製造方法、及び吐出ヘッド、並びに吐出装置について実施形態を挙げ、添付図面に沿って詳細に説明する。ここで、本発明の特徴的な構成及び方法について説明する前に、まず、吐出方法で用いられる基板、吐出方法、について説明する。
＜基板について＞
Embodiments of a liquid material arrangement method, a display device manufacturing method, a discharge head, and a discharge device according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Here, before describing the characteristic configuration and method of the present invention, first, a substrate and a discharge method used in the discharge method will be described.
<About substrate>
液状材料の配置方法で使用される基板としては、ガラス、石英ガラス、プラスチックなど各種のものを用いることができる。
＜液滴吐出法について＞
Various substrates such as glass, quartz glass, and plastic can be used as the substrate used in the liquid material arranging method.
<Droplet ejection method>
液状材料の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。ここで、帯電制御方式は、液状材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で液状材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、液状材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加してノズル先端側に液状材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には液状材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると液状材料間に静電的な反発が起こり、液状材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から液状材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。 Examples of the liquid material discharge technique include a charge control method, a pressure vibration method, an electromechanical conversion method, an electrothermal conversion method, and an electrostatic suction method. Here, in the charge control method, a charge is applied to a liquid material by a charging electrode, and the flight direction of the liquid material is controlled by a deflection electrode and discharged from a discharge nozzle. In addition, the pressurized vibration method is a method in which an ultra-high pressure of about 30 kg / cm 2 is applied to the liquid material and the liquid material is discharged to the nozzle tip side. When discharged from the discharge nozzle and applied with a control voltage, electrostatic repulsion occurs between the liquid materials, and the liquid material scatters and is not discharged from the discharge nozzle. In addition, the electromechanical conversion method utilizes the property that a piezoelectric element (piezoelectric element) deforms in response to a pulsed electric signal, and a flexible substance is placed in a space where a liquid material is stored by the deformation of the piezoelectric element. Pressure is applied through the liquid material, and the liquid material is pushed out from the space and discharged from the discharge nozzle.
また、電気熱変換方式は、液状材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、液状材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の液状材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、液状材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルにメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから液状材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。なお、液滴吐出法により吐出される液状材料の一滴の量は例えば１ピコリットル〜３００ピコリットルである。 In addition, the electrothermal conversion method is a method in which a liquid material is rapidly vaporized by a heater provided in a space in which the liquid material is stored to generate bubbles, and the liquid material in the space is discharged by the pressure of the bubbles. It is. In the electrostatic attraction method, a minute pressure is applied to a space in which a liquid material is stored, a meniscus is formed in the discharge nozzle, and an electrostatic attractive force is applied in this state before the liquid material is drawn out. In addition to this, techniques such as a system that uses a change in the viscosity of a fluid due to an electric field and a system that uses a discharge spark are also applicable. The droplet discharge method has an advantage that the use of the material is less wasteful and a desired amount of the material can be accurately disposed at a desired position. The amount of one drop of the liquid material discharged by the droplet discharge method is, for example, 1 picoliter to 300 picoliter.
（実施形態）
＜カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタ基板＞
図１は、カラーフィルタ基板の製造工程を示す図（ａ）〜（ｌ）である。（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）、（ｉ）、（ｋ）は、平面図であり、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）、（ｊ）、（ｌ）は、各平面図のＡ−Ａ線に沿って切断した断面図である。図２は、カラーフィルタ基板の製造工程の手順を示す概略フローチャートである。図３は、カラーフィルタ基板の模式図である。
(Embodiment)
<Color filter substrate manufacturing method and color filter substrate>
FIG. 1 is a diagram (a) to (l) showing a manufacturing process of a color filter substrate. (A), (c), (e), (g), (i), (k) are plan views, and (b), (d), (f), (h), (j), (L) is sectional drawing cut | disconnected along the AA line of each top view. FIG. 2 is a schematic flowchart showing the procedure of the manufacturing process of the color filter substrate. FIG. 3 is a schematic diagram of a color filter substrate.
図２に示すステップＳ１では、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、透光性を有するガラスやプラスチック等で構成された基板１２の表面上に、スピンコーティング（回転塗布）、流延塗布、ロール塗布などの種々の方法によって放射線感応性素材６Ａを塗布する。この放射線感応性素材６Ａとしては、樹脂組成物であることが好ましい。塗布後における上記放射線感応性素材６Ａの厚さは、通常０．１μｍ〜１０μｍであり、好ましくは０．５μｍ〜３．０μｍである。
In step S1 shown in FIG. 2, as shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), spin coating (spin coating), flow coating is performed on the surface of the
この樹脂組成物は、例えば、（ｉ）バインダー樹脂、多官能性単量体、光重合開始剤等を含有する、放射線の照射により硬化する放射線感応性樹脂組成物や、（ｉｉ）バインダー樹脂、放射線の照射により酸を発生する化合物、放射線の照射により発生した酸の作用により架橋し得る架橋性化合物等を含有する、放射線の照射により硬化する放射線感応性樹脂組成物などを用いることができる。これらの樹脂組成物は、通常、その使用に際して溶媒を混合して液状組成物として調製されるが、この溶媒は、高沸点溶媒でも低沸点溶媒でもよい。放射線感応性素材６Ａとしては、（ａ）ヘキサフルオロプロピレンと不飽和カルボン酸（無水物）と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体との共重合体、（ｂ）放射線の照射により酸を発生する化合物、（ｃ）放射線の照射により発生した酸の作用により架橋しうる架橋性化合物、（ｄ）前記（ａ）成分以外の含フッ素有機化合物、並びに、（ｅ）前記（ａ）〜（ｄ）成分を溶解しうる溶媒、を含有する組成物であることが好ましい。
This resin composition includes, for example, (i) a radiation-sensitive resin composition that contains a binder resin, a polyfunctional monomer, a photopolymerization initiator, and the like and is cured by irradiation with radiation, and (ii) a binder resin, A radiation-sensitive resin composition that contains a compound that generates an acid upon irradiation with radiation, a crosslinkable compound that can be cross-linked by the action of an acid generated upon irradiation with radiation, and the like that is cured by irradiation with radiation can be used. These resin compositions are usually prepared as a liquid composition by mixing a solvent when used, and this solvent may be a high-boiling solvent or a low-boiling solvent. As the radiation
次に、図２のステップＳ２では、放射線感応性素材６Ａに所定のパターンマスクを介して放射線を照射（露光）する。なお、放射線とは、可視光、紫外線、Ｘ線、電子線などが含まれるが、波長が１９０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲にある放射線（光）が好ましい。
Next, in step S2 of FIG. 2, the radiation
次に、図２のステップＳ３では、図１（ｃ）、（ｄ）に示すように、放射線感応性素材６Ａを現像することによって、隔壁（バンク）６Ｂを形成する。この隔壁６Ｂは、上記パターンマスクに対応した形状（ネガパターン又はポジパターン）に構成される。隔壁６Ｂの形状としては、例えば、方形状の領域７を平面上において縦横に配列させることのできるように画成する格子状であることが好ましい。なお、放射線感応性素材６Ａを現像するのに用いられる現像液としては、アルカリ現像液が用いられる。このアルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、硅素ナトリウム、メタ硅素ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ［４，３，０］−５−ノネン等の水溶液が好ましい。このアルカリ現像液には、例えば、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤等を適量添加することもできる。また、アルカリ現像液による現像後は、通常、水洗が行われる。
Next, in step S3 of FIG. 2, as shown in FIGS. 1C and 1D, the radiation
次に、図２のステップＳ４では、図１（ｅ）、（ｆ）に示すように、上記隔壁６Ｂは、例えば２００℃程度にてベーク（焼成）して隔壁６Ｃとなる。この焼成温度は、上記の放射線感応性素材６Ａに応じて適宜調整される。また、ベーク処理を要しない場合もあり得る。なお、本実施形態では、隔壁６Ｃは遮光性の素材で構成されているために、各領域７を画成する（区画する）文字通りの隔壁としての機能と、領域７以外の部分を遮光する遮光層としての機能とを併せ持つものとなっている。もっとも、隔壁としての機能のみを有するように構成しても構わない。この場合、隔壁とは別に、金属等で構成される遮光層を別途形成してもよい。
Next, in step S4 of FIG. 2, as shown in FIGS. 1E and 1F, the
次に、図２のステップＳ５では、図１（ｇ）、（ｈ）に示すように隔壁６Ｃによって画成される領域７にフィルタエレメント材料１３を導入する。領域７は、同図に示すように、第１の領域部７ａと、第１の領域部７ａより面積の広い第２の領域部７ｂとが、ある。また、第１の領域部７ａを複数（この場合３個）備えた第１の着色領域群７Ａと、第２の領域部７ｂを複数（この場合３個）備えた第２の着色領域群７Ｂとが、ある。そこで、着色材（顔料、染料など）を混入したフィルタエレメント材料１３を各領域７に導入する方法としては、フィルタエレメント材料１３を、溶媒などと混合することによって機能液としての液状材料Ｍに形成し、後述する液滴吐出ヘッド２２（図４、図５参照）を用いてこの液状材料Ｍを各領域７に導入する。
Next, in step S5 of FIG. 2, the filter element material 13 is introduced into the
フィルタエレメント材料１３を各領域７に導入する順番としては、例えば、第１の着色領域群７Ａに有する第１の領域部７ａの一つにフィルタエレメント材料１３Ｙ（黄の着色材）を導入し、次に、第２の着色領域群７Ｂに有する第２の領域部７ｂの一つにフィルタエレメント材料１３Ｒ（赤の着色材）を導入する。次に、第１の領域部７ａの一つにフィルタエレメント材料１３Ｍ（マゼンダの着色材）を導入し、次に、第２の領域部７ｂの一つにフィルタエレメント材料１３Ｂ（青の着色材）を導入する。さらに、第１の領域部７ａの一つにフィルタエレメント材料１３Ｃ（シアンの着色材）を導入し、次に、第２の領域部７ｂの一つにフィルタエレメント材料１３Ｇ（緑の着色材）を導入する。このようにすれば、液滴８を配置するときに着弾させる位置が離れているので、液滴８が隔壁６Ｃを乗り越えて生じるような混色を低減させることができる。順番はこれに限定されるものではなく、液状材料としたフィルタエレメント材料を吐出する際、ある着色領域からみて走査方向（装置構成等については後述）および走査方向と交わる方向に並ぶ着色領域に異なるフィルタエレメント材料が配置される時には、導入する順番が連続しないようにすればどのような順番でも構わない。なお、基板１２上へのフィルタエレメント材料１３（１３Ｙ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｇ）の配置は、１回の走査によって実行される。複数回の走査で実行することも可能であるが、時間的な効率からしても１回の走査で実行される方が好ましい。
As an order of introducing the filter element material 13 into each
次に、図２のステップＳ６では、図１（ｉ）、（ｊ）に示すように、上記のフィルタエレメント材料１３（図１の例では１３Ｙ（黄の着色材）、１３Ｒ（赤の着色材）、１３Ｍ（マゼンダの着色材）、１３Ｂ（青の着色材）、１３Ｃ（シアンの着色材）、１３Ｇ（緑の着色材））を、減圧、加熱などによる乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、フィルタエレメント材料１３を仮固化若しくは仮硬化する。そして、フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）を形成する。 Next, in step S6 of FIG. 2, as shown in FIGS. 1 (i) and (j), the filter element material 13 (13Y (yellow colorant) in the example of FIG. 1), 13R (red colorant) is used. ), 13M (magenta colorant), 13B (blue colorant), 13C (cyan colorant), 13G (green colorant)) are dried by reduced pressure, heating, or the like at a low temperature (for example, 60 ° C.). The filter element material 13 is temporarily solidified or temporarily cured by performing pre-baking (temporary baking) by firing. Then, the filter element 3 (3Y, 3R, 3M, 3B, 3C, 3G) is formed.
次に、図２のステップＳ７では、上記のようにして形成されたカラーフィルタを検査する。この検査は、例えば、肉眼若しくは顕微鏡等で、上記隔壁６Ｃ及び表示要素であるフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）を観察する。この場合、カラーフィルタを撮影し、その撮影画像に基づいて自動的に検査を行っても構わない。この検査によって、表示要素であるフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）に欠陥が見つかった場合には、そのカラーフィルタを以下に説明する基体再生工程に移行させる。
Next, in step S7 of FIG. 2, the color filter formed as described above is inspected. In this inspection, for example, the
ここで、フィルタエレメント３の欠陥とは、フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）が欠如している場合（いわゆるドット抜け）、フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）が形成されてはいるが、領域７内に配置されたフィルタエレメント材料１３の量（体積）が多すぎたり少なすぎたりして不適切である場合や、フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）が形成されてはいるが、塵埃等の異物が混入していたり付着していたりする場合などである。
Here, the defect of the filter element 3 means that when the filter element 3 (3Y, 3R, 3M, 3B, 3C, 3G) is absent (so-called dot missing), the filter element 3 (3Y, 3R, 3M, 3B). 3C, 3G) is formed, but the amount (volume) of the filter element material 13 disposed in the
次に、図２のステップＳ８では、上記検査において欠陥が発見されなかった場合には、例えば２００℃程度の温度でベーク（焼成）処理を行い、カラーフィルタのフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）を完全に固化若しくは硬化させる。欠陥が発見された場合は、除材される。このベーク処理の温度はフィルタエレメント材料１３（１３Ｙ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｇ）の組成等によって適宜に決定できる。また、特に高温に加熱することなく、単に通常とは異なる雰囲気（窒素ガス中や乾燥空気中等）などで乾燥若しくはエージングさせるだけでもよい。そして、カラーフィルタは、そのフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）が、フィルタエレメント３Ｙ、フィルタエレメント３Ｒ、フィルタエレメント３Ｍ、フィルタエレメント３Ｂ、フィルタエレメント３Ｃ、フィルタエレメント３Ｇの順番で形成されている。
Next, in step S8 of FIG. 2, if no defect is found in the inspection, a baking (baking) process is performed at a temperature of about 200 ° C., for example, and the filter element 3 (3Y, 3R, 3M) of the color filter is obtained. 3B, 3C, 3G) are completely solidified or cured. If a defect is found, it will be removed. The baking temperature can be appropriately determined depending on the composition of the filter element material 13 (13Y, 13R, 13M, 13B, 13C, 13G). Further, it may be simply dried or aged in a different atmosphere (in nitrogen gas or in dry air) without heating to a particularly high temperature. In the color filter, the filter element 3 (3Y, 3R, 3M, 3B, 3C, 3G) is in the order of the
最後に、図１（ｋ）、（ｌ）に示すように、上記フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）の上に透明な保護層１４を形成する。そして、カラーフィルタ基板ＣＦが完成する。
Finally, as shown in FIGS. 1 (k) and 1 (l), a transparent
次に、以上説明したカラーフィルタ基板の製造工程において形成されたカラーフィルタ基板について説明する。 Next, the color filter substrate formed in the manufacturing process of the color filter substrate described above will be described.
図３に示すように、カラーフィルタ基板ＣＦは、６色のフィルタエレメント３（３Ｙ（黄）、３Ｒ（赤）、３Ｍ（マゼンダ）、３Ｂ（青）、３Ｃ（シアン）、３Ｇ（緑））を備えている。このフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）は、基板１２の上に形成されている。カラーフィルタ基板ＣＦが、本実施形態における製造方法で製造されているから、混色を低減させることが実現可能となり、高品質で、高精度なカラーフィルタ基板を提供できる。
As shown in FIG. 3, the color filter substrate CF includes six color filter elements 3 (3Y (yellow), 3R (red), 3M (magenta), 3B (blue), 3C (cyan), 3G (green)). It has. The filter element 3 (3Y, 3R, 3M, 3B, 3C, 3G) is formed on the
＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、上記の実施形態に用いることのできる液滴吐出ヘッドの構成について説明する。
<Configuration of droplet discharge head>
Next, the configuration of a droplet discharge head that can be used in the above embodiment will be described.
図４は、液滴吐出ヘッドを示す図である。（ａ）は、概略斜視図である。（ｂ）は、ノズルの配列を示す模式図である。 FIG. 4 is a diagram showing a droplet discharge head. (A) is a schematic perspective view. (B) is a schematic diagram which shows the arrangement | sequence of a nozzle.
図４（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、複数のノズル２７が配列されてなるノズル列２８を有する。同図に示す基準方向Ｓは液滴吐出ヘッド２２の標準の走査方向を示し、配列方向Ｔはノズル列２８におけるノズル２７の配列方向を示す。同図に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、ノズル列２８（２８Ｙ、２８Ｒ、２８Ｍ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｇ）を備えている。これらのノズル列２８（２８Ｙ、２８Ｒ、２８Ｍ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｇ）は、ノズル２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）を備えている。そして、ノズル２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）は、６色（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（黄）、Ｃ（シアン））の液状材料Ｍ（図５参照）を略同時に吐出することができる。
As shown in FIG. 4A, the
図４（ｂ）に示すように、ノズル列２８（２８Ｙ、２８Ｒ、２８Ｍ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｇ）において、ノズル２７の数は例えば一列当たり１８０個であり、ノズル２７の孔径は例えば２８μｍであり、ノズル２７のピッチは例えば１４１μｍである。
As shown in FIG. 4B, in the nozzle row 28 (28Y, 28R, 28M, 28B, 28C, 28G), the number of
図５は、液滴吐出ヘッドの主要部を部分的に示す図である。（ａ）は、概略斜視図であり、（ｂ）は、概略断面図である。 FIG. 5 is a diagram partially showing a main part of the droplet discharge head. (A) is a schematic perspective view, (b) is a schematic sectional drawing.
図５（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、ステンレス等で構成されるノズルプレート２９と、これに対向する振動板３１と、これらを互いに接合する複数の仕切り部材３２とを有する。このノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切り部材３２によって複数の材料室３３と液溜り３４とが形成される。これらの材料室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。
As shown in FIG. 5A, the
振動板３１には材料供給孔３６が形成されている。この材料供給孔３６には材料供給装置３７が接続される。この材料供給装置３７は、液状材料Ｍを材料供給孔３６へ供給する。このように供給された材料Ｍは、液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って材料室３３に充満する。
A
図５（ｂ）に示すように、ノズルプレート２９には、材料室３３から液状材料Ｍを噴出するためのノズル２７が設けられている。また、振動板３１の材料室３３に臨む面の裏面には、この材料室３３に対応させて材料加圧体３９が取り付けられている。この材料加圧体３９は、圧電素子４１並びにこれを挟持する対の電極４２ａ及び４２ｂを有する。圧電素子４１は、電極４２ａ及び４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより材料室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する液状材料Ｍが液溜り３４から通路３８を通って材料室３３へ流入する。
As shown in FIG. 5B, the
その後、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状に戻り、これにより、材料室３３も元の容積に戻るため、材料室３３の内部にある液状材料Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７から液状材料Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部には、液滴８の飛行曲りやノズル２７の孔詰まりなどを防止するために、例えば、Ｎｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥材料層４３が設けられる。
Thereafter, when the energization to the
＜液滴吐出装置の構成＞
次に、上記の実施形態に用いることのできる液滴吐出装置の構成について説明する。
<Configuration of droplet discharge device>
Next, the configuration of a droplet discharge device that can be used in the above embodiment will be described.
図６は、液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図である。図７は、液滴吐出装置の主要部を部分的に示す部分斜視図である。 FIG. 6 is a schematic perspective view showing the overall configuration of the droplet discharge device. FIG. 7 is a partial perspective view partially showing a main part of the droplet discharge device.
図６に示すように、液滴吐出装置ＩＪは、前述にて説明した液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して走査方向Ｘに走査移動させる走査駆動手段としての走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して走査方向と交差（直交）するＹ方向に送る送り駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置ＩＪ内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、液滴吐出装置ＩＪの全般の制御を司るコントロール装置２４とを有する。
As shown in FIG. 6, the droplet discharge device IJ includes a
上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１の各装置は、ベース９の上に設置される。また、これらの各装置は、必要に応じてカバー１５によって覆われる。
The head
基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボットなどの基板移載機構５８とを有する。基板移載機構５８は、基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを有する。この吸着パッド６４は空気吸引（真空吸着）などによって基板１２を吸着保持することができるように構成されている。
The
また、液滴吐出ヘッド２２の走査軌跡下であって、送り駆動装置２１の一方の脇位置に、キャッピング装置７６及びクリーニング装置７７が配設されている。さらに、送り駆動装置２１の他方の脇位置には電子天秤７８が設置されている。ここで、キャッピング装置７６は液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズル２７（図４参照）の乾燥を防止するための装置である。クリーニング装置７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための装置である。電子天秤７８は、液滴吐出ヘッド２２内の個々のノズル２７（図４参照）から吐出される液滴８の重量をノズル２７（図４参照）毎、ノズル列２８毎、あるいは、液滴吐出ヘッド２２毎に測定する装置である。さらに、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ８１が取り付けられている。
In addition, a
また、コントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、キーボード等の入力装置６７と、ＣＲＴ等の表示装置６８とを有する。コンピュータ本体部６６には、図８に示すＣＰＵ（中央処理ユニット）６９と、各種情報を記憶する情報記録媒体であるメモリ７１とを備えている。
The
次に、図７を参照して、液滴吐出ヘッド２２の周囲に配置されたヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、その他の手段について説明する。
Next, referring to FIG. 7, the head
図７に示すように、ヘッド位置制御装置１７は、ヘッドユニット２６に取り付けられた液滴吐出ヘッド２２を平面（水平面）内にて回転させるαモータ４４と、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘと略直交する方向である送り方向Ｙと平行な軸線周りに揺動回転させるβモータ４６と、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘと平行な軸線周りに揺動回転させるγモータ４７と、液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを有する。
As shown in FIG. 7, the head
また、基板位置制御装置１８は、基板１２を載せるテーブル４９と、このテーブル４９を平面（水平面）内にて回転させるθモータ５１とを有する。また、走査駆動装置１９は、走査方向Ｘへ伸びるＸガイドレール５２と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを有する。このＸスライダ５３は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｘガイドレール５２に沿って走査方向Ｘへ平行移動する。
The substrate
さらに、送り駆動装置２１は、送り方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを有する。Ｙスライダ５６は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｙガイドレール５４に沿って送り方向Ｙへ平行移動する。
Further, the
Ｘスライダ５３やＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精密に行うことができる。したがって、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の送り方向Ｙ上の位置などを高精度に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御やその他任意の方法によって実現することができる。
The linear motor that is pulse-driven in the
上記テーブル４９には、基板１２の平面位置を規制する位置決めピン５０ａ、５０ｂが設けられている。基板１２は、後述する基板供給装置２３によって位置決めピン５０ａ、５０ｂに走査方向Ｘ側及び送り方向Ｙ側の端面を当接させた状態で、位置決め保持される。テーブル４９には、このような位置決め状態で保持された基板１２を固定するための、例えば空気吸引（真空吸着）などの、公知の固定手段を設けることが望ましい。
The table 49 is provided with
図７に示すように、液滴吐出装置ＩＪにおいて、テーブル４９の上方に複数組（図示例では２組）の撮像装置９１Ｒ、９１Ｌ及び９２Ｒ、９２Ｌが配置されている。ここで、撮像装置９１Ｒ、９１Ｌ及び９２Ｒ、９２Ｌは、鏡筒のみを示し、他の部分及びその支持構造は省略してある。これらの観察手段である撮像装置としては、ＣＣＤカメラ等を用いることができる。なお、図６には、これらの撮像装置について図示を省略してある。
As shown in FIG. 7, in the droplet discharge device IJ, a plurality of sets (two sets in the illustrated example) of
図８は、液滴吐出装置の制御系のブロック図である。 FIG. 8 is a block diagram of a control system of the droplet discharge device.
図８に示すように、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、液滴吐出ヘッド２２内の圧電素子４１（図５（ｂ）参照）を駆動するヘッド駆動回路７２の各機器は、入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。また、基板供給装置２３、入力装置６７、表示装置６８、キャッピング装置７６、クリーニング装置７７及び電子天秤７８も、上記と同様に入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。
As shown in FIG. 8, the head
メモリ７１は、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｋ Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）、ＭＤ（ＭｉｎｉＤｉｓｃ）、などのディスク型記録媒体で、これらを用いてデータを読み取る外部記憶装置などを含む概念である。機能的には、液滴吐出装置ＩＪの動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、基板１２内における吐出位置を座標データとして記憶するための記憶領域や、図７に示す送り方向Ｙへの基板１２の送り移動量を記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域や、その他各種の記憶領域が設定される。
The
ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体であるメモリ７１内に記憶されたプログラムソフトに従って、基板１２の表面の所定位置に、液状材料Ｍを吐出するための制御を行うものである。具体的には、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部１５１、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部１５２、電子天秤７８を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部１５３、及び、液滴吐出によって液状材料Ｍを基板１２の表面上に着弾させ、所定のパターンにて描画するための描画演算部１５４を有する。
The
上記描画演算部１５４には、液滴吐出ヘッド２２を描画のための初期位置へ設置するための描画開始位置演算部１５５、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する走査制御演算部１５６、基板１２を送り方向Ｙへ所定の送り移動量だけずらすための制御を演算する送り制御演算部１５７、液滴吐出ヘッド２２内のノズル２７のうちのいずれを作動させて液状材料Ｍを吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部１５８などを有する。
The drawing
なお、上述の各機能を、ＣＰＵ６９を用いるプログラムソフトによって実現しているが、上述の各機能を、ＣＰＵ６９を用いない電子回路によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いても構わない。
Each function described above is realized by program software using the
次に、液滴吐出装置の動作を説明する。 Next, the operation of the droplet discharge device will be described.
図９は、液滴吐出装置ＩＪの動作を示すフローチャートである。 FIG. 9 is a flowchart showing the operation of the droplet discharge device IJ.
図９に示すように、オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置ＩＪ（図６、図７参照）が作動すると、ステップＳ３１では、初期設定が実現される。具体的には、図６に示すヘッドユニット２６や基板供給装置２３やコントロール装置２４などが予め決められた初期状態にセットされる。
As shown in FIG. 9, when the droplet discharge device IJ (see FIGS. 6 and 7) is activated by turning on the power by the operator, the initial setting is realized in step S31. Specifically, the
次に、ステップＳ３２では、重量測定タイミングが到来する。 Next, in step S32, the weight measurement timing comes.
次に、ステップＳ３３では、図７に示すヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によって、電子天秤７８の所まで移動させる。
Next, in step S33, the
次に、ステップＳ３４では、図５に示すノズル２７から吐出される液状材料Ｍの量を、図６に示す電子天秤７８を用いて測定する。
Next, in step S34, the amount of the liquid material M discharged from the
次に、ステップＳ３５では、このように測定されたノズル２７の吐出特性に合わせて、各ノズル２７の圧電素子４１（図５（ｂ）参照）に印加する電圧を調節する。
Next, in step S35, the voltage applied to the piezoelectric element 41 (see FIG. 5B) of each
次に、ステップＳ３６では、クリーニングタイミングが到来する。 Next, in step S36, the cleaning timing comes.
次に、ステップＳ３７では、図６に示すヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によってクリーニング装置７７の所まで移動させる。
Next, in step S37, the
次に、ステップＳ３８では、図６に示すクリーニング装置７７によって液滴吐出ヘッド２２をクリーニングする。
Next, in step S38, the
次に、ステップＳ３９では、図６に示す基板供給装置２３を作動させて基板１２をテーブル４９へ供給する。なお、基板１２をテーブル４９へ供給するのは、重量測定タイミングやクリーニングタイミングが到来しない場合、或いは、重量測定やクリーニングが終了した場合に実行される。具体的には、基板収容部５７内の基板１２を吸着パッド６４によって吸着保持し、昇降軸６１、第１アーム６２及び第２アーム６３を移動させて基板１２をテーブル４９まで搬送し、さらにテーブル４９の適所に予め設けてある位置決めピン５０ａ、５０ｂ（図７参照）に押し付ける。
Next, in step S39, the board |
次に、ステップＳ４０では、図７に示すように、撮像装置９１Ｒ、９１Ｌによって基板１２を観察しながら、θモータ５１の出力軸を微小角度単位で回転させることにより、テーブル４９を平面（水平面）内にて回転させ、基板１２を位置決めする。より具体的には、基板１２の左右両端にそれぞれ形成されたアライメントマークを、図７に示す上記一対の撮像装置９１Ｒ、９１Ｌ又は９２Ｒ、９２Ｌによってそれぞれ撮影し、これらのアライメントマークの撮像位置によって基板１２の平面姿勢を演算して求め、この平面姿勢に応じてテーブル４９を回転させて角度θを調整する。
Next, in step S40, as shown in FIG. 7, while observing the
次に、ステップＳ４１では、図６に示すヘッド用カメラ８１によって基板１２を観察しながら、液滴吐出ヘッド２２によって描画を開始する位置を演算によって決定する。
Next, in step S41, the position at which drawing is started by the
次に、ステップＳ４２では、図６に示す走査駆動装置１９及び送り駆動装置２１を適宜に作動させて、液滴吐出ヘッド２２を描画開始位置へ移動させる。
Next, in step S42, the
このとき、液滴吐出ヘッド２２は、図４に示す基準方向Ｓが走査方向Ｘに合致した姿勢となるようにしてもよく、或いは、基準方向Ｓが所定角度で走査方向に対して傾斜する姿勢となるように構成してもよい。この所定角度は、ノズル２７のピッチと、基板１２の表面上において液状材料Ｍを着弾させるべき位置のピッチとが異なる場合が多く、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させるときに、配列方向Ｔに配列されたノズル２７のピッチの送り方向Ｙの寸法成分が基板１２の送り方向Ｙの着弾位置のピッチと幾何学的に等しくなるようにするための措置である。
At this time, the
次に、ステップＳ４３では、液滴吐出ヘッド２２が描画開始位置に置かれると、液滴吐出ヘッド２２は走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移動される。この走査中において、液滴吐出ヘッド２２のノズル２７から吐出される液滴８が基板１２の表面上へ連続的に吐出される。
Next, in step S43, when the
なお、液滴８の吐出量は、一度の走査によって図４に示す液滴吐出ヘッド２２がカバーすることのできる吐出範囲において全量が吐出されるように設定されており、液滴吐出ヘッド２２のノズル２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）から６色の液状材料が略同時に吐出される。
Note that the discharge amount of the
次に、ステップＳ４４では、液滴吐出ヘッド２２は、基板１２に対する１ライン分の走査が終了する。
Next, in step S <b> 44, the
次に、ステップＳ４５では、液滴吐出ヘッド２２は、反転移動して初期位置へと復帰する。
Next, in step S45, the
次に、ステップＳ４６では、液滴吐出ヘッド２２は、送り方向Ｙに所定量（設定された送り移動量だけ）移動する。その度、ステップＳ１３で再び走査され、液状材料Ｍが吐出され、これ以降、上記の動作を繰り返し行って、複数ラインに亘って走査が行われる。ここで、１ライン分の走査が終了すると、そのまま送り方向Ｙに所定量移動し、反転して、逆向きに走査されるというように、交互に走査方向を反転させるように駆動してもよい。
Next, in step S46, the
次に、ステップＳ４７では、基板１２内のカラーフィルタ領域一列分について液状材料Ｍの吐出が完了する。
Next, in step S47, the discharge of the liquid material M is completed for one row of color filter regions in the
次に、ステップＳ４８では、ＣＦ（カラーフィルタ）全列終了していない場合、ステップＳ４９に処理が進み、次列ＣＦ域へ移動して、再びステップＳ４３〜ステップＳ４８までの動作を繰り返す。そして、最終的に基板１２上の全列のカラーフィルタ領域に対して液状材料Ｍの吐出が終了する。
Next, in step S48, when all the CF (color filter) columns have not been completed, the process proceeds to step S49, moves to the next column CF area, and the operations from step S43 to step S48 are repeated again. Finally, the discharge of the liquid material M is completed with respect to the color filter regions in all rows on the
次に、ステップＳ５０では、図６に示す基板供給装置２３又は別の搬出機構によって、処理後の基板１２が外部へ排出される。
Next, in step S50, the processed
次に、ステップＳ５１では、描画終了の指示を出す。 Next, in step S51, a drawing end instruction is issued.
次に、ステップＳ５２では、図６におけるＣＰＵ６９は、液滴吐出ヘッド２２をキャッピング装置７６の所まで搬送し、そのキャッピング装置７６によって液滴吐出ヘッド２２に対してキャッピング処理を施す。
Next, in step S52, the
以上説明した液滴吐出装置ＩＪは、本発明に係る液滴吐出ヘッド２２を搭載しており、１回の走査で６色の液状材料Ｍをこの液滴吐出ヘッド２２から吐出することができるので、基板１２に対して液状材料Ｍの配置を効率的に実施できる。
The droplet discharge apparatus IJ described above is equipped with the
以上のような実施形態では、次のような効果が得られる。 In the embodiment as described above, the following effects are obtained.
（１）第１の領域部と、第１の領域部より面積の広い第２の領域部とに液状材料Ｍを交互に配置するから、液滴８が隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する領域部７に、はみ出しにくくなるので、混色を低減することができる。
（２）液状材料Ｍを配置するときに、先に選択した第１の領域部と、この第１の領域部の後に選択した第２の領域部とが、離間するように選択するから、液滴８が隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する領域部７に、よりはみ出しにくくなるので、混色を低減することができる。
（３）液状材料Ｍを配置するときに、第１の領域部と、第２の領域部とで、時間をずらして液滴８を配置するから、第１の領域部と、第２の領域部とでは、液状材料Ｍに含まれる溶媒成分の蒸発時間に差が生じるので、第１の領域部と、第２の領域部との混色を低減することができる。
（４）第１の着色領域群及び第２の着色領域群に液状材料Ｍを液滴８として略同時に配置するから、１回の走査で６色の液状材料Ｍを配置することができるので、効率的である。
（５）第１の領域部と第２の領域部とを交互に選択して液状材料Ｍを液滴８として配置すると、第１の領域部と、第２の領域部との混色を低減することができ、使用する液状材料Ｍが６色であっても高品質で、高精度なカラーフィルタ基板ＣＦを提供できる。
（６）液滴８が吐出される順番に対応してノズル２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）が液滴吐出ヘッド２２に配置されているから、６色の液状材料Ｍを一つの方向に１回の走査で配置することができるので、生産効率の高い液滴吐出ヘッド２２を提供できる。しかも、混色を低減することが可能になるから、描画品質が向上することを期待できる。
（７）液状材料Ｍを効率的に配置できる液滴吐出ヘッド２２を搭載しているので、描画品質の向上と、生産性の向上とを実現することが可能な液滴吐出装置ＩＪを提供できる。
(1) Since the liquid material M is alternately arranged in the first region portion and the second region portion having a larger area than the first region portion, the
(2) When the liquid material M is disposed, the first region selected earlier and the second region selected after the first region are selected so as to be separated from each other. Since the
(3) When the liquid material M is disposed, since the
(4) Since the liquid material M is disposed almost simultaneously as the
(5) When the first region portion and the second region portion are alternately selected and the liquid material M is disposed as the
(6) Since the nozzles 27 (27Y, 27R, 27M, 27B, 27C, and 27G) are arranged on the
(7) Since the
＜表示装置（電気光学装置）及び表示装置の製造方法＞
次に、表示装置（電気光学装置）及び本実施形態に係る液滴吐出装置を用いた表示装置の製造方法について説明する。
<Display device (electro-optical device) and display device manufacturing method>
Next, a method for manufacturing a display device using the display device (electro-optical device) and the droplet discharge device according to the present embodiment will be described.
図１０は、本実施形態に係る液晶装置の製造工程の手順を示すフローチャートである。図１１は、当該製造方法によって製造される表示装置（電気光学装置）の一例としての液晶装置を示す図である。図１２は、図１１のＩＸ−ＩＸ線に沿った液晶装置の断面図である。最初に、液晶装置の構造について、図１１及び図１２を参照しながら説明する。なお、この液晶装置は、単純マトリクス方式でフルカラー表示を行う半透過反射型の液晶装置である。 FIG. 10 is a flowchart showing a procedure of manufacturing steps of the liquid crystal device according to the present embodiment. FIG. 11 is a diagram illustrating a liquid crystal device as an example of a display device (electro-optical device) manufactured by the manufacturing method. 12 is a cross-sectional view of the liquid crystal device taken along line IX-IX in FIG. First, the structure of the liquid crystal device will be described with reference to FIGS. This liquid crystal device is a transflective liquid crystal device that performs full-color display using a simple matrix method.
図１１に示すように、液晶装置１０１は、液晶パネル１０２に半導体チップ等として構成された液晶駆動用ＩＣ１０３ａ及び液晶駆動用ＩＣ１０３ｂを実装し、配線接続要素としてのＦＰＣ（フレキシブル印刷回路）１０４を液晶パネル１０２に接続したものである。この液晶装置１０１は、液晶パネル１０２の裏面側に照明装置１０６をバックライトとして設けることによって構成されている。
As shown in FIG. 11, in the
液晶パネル１０２は、第１基板１０７ａと第２基板１０７ｂとをシール材１０８によって貼り合わせることによって形成される。シール材１０８は、例えば、スクリーン印刷などによってエポキシ系樹脂を第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面に環状（周回状）に付着することによって形成される。また、図１２に示すように、シール材１０８の内部には導電性材料によって球状又は円筒状に形成された導通材１０９が分散状態で含まれる。
The
図１２に示すように、第１基板１０７ａは透明なガラス、透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ａを有する。この基材１１１ａの内側表面（図１２の上側表面）には反射膜１１２が形成されている。また、その上に絶縁膜１１３が積層され、その上に第１電極１１４ａが矢印Ｄ方向から見てストライプ状（図１１参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ａが形成される。また、基材１１１ａの外側表面（図１２の下側表面）には偏光板１１７ａが貼着などによって装着される。
As shown in FIG. 12, the
図１１においては、第１電極１１４ａの配列を判り易くするために、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１ａ上に形成されている。
In FIG. 11, in order to make the arrangement of the
図１２に示すように、第２基板１０７ｂは透明なガラスや透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ｂを有する。この基材１１１ｂの内側表面（図１２の下側表面）にはカラーフィルタ１１８が形成され、その上に第２電極１１４ｂが上記第１電極１１４ａと直交する方向へ矢印Ｄから見てストライプ状（図１１参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ｂが形成されている。また、基材１１１ｂの外側表面（図１２の上側表面）には偏光板１１７ｂが貼着などによって装着されている。
As shown in FIG. 12, the
図１１においては、第２電極１１４ｂの配列を判り易くするために、第１電極の場合と同様に、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１ａ上に形成されている。
In FIG. 11, in order to make the arrangement of the
図１２に示すように、第１基板１０７ａ、第２基板１０７ｂ及びシール材１０８によって囲まれる間隙、いわゆるセルギャップ内には液晶Ｌ、例えばＳＴＮ（スーパー捩れネマチック）液晶、が封入されている。第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面には微小で球形のスペーサ１１９が多数分散され、これらのスペーサ１１９がセルギャップ内に存在することにより、そのセルギャップが均一に維持されるようになっている。
As shown in FIG. 12, liquid crystal L, for example, STN (super twisted nematic) liquid crystal is sealed in a gap surrounded by the
第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂとは互いに直交する方向に伸びるように配設されている。それらが平面的に交差する部分は、図１２の矢印Ｄ方向から見てドットマトリクス状に配列されている。そして、そのドットマトリクス状の各交差点が一つの表示ドットを構成する。カラーフィルタ１１８は、各色要素であるフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）を矢印Ｄ方向から見て所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などのパターンで配列させることによって構成されている。
The
マトリクス状に配列される表示ドットを選択的にオン状態にすることにより、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂの外側に文字、数字などといった像が表示される。このようにして像が表示される領域が有効表示領域であり、図１１及び図１２において矢印Ｖによって示される。
By selectively turning on the display dots arranged in a matrix, images such as letters and numbers are displayed outside the
図１２に示すように、反射膜１１２はＡＰＣ合金、アルミニウムなどといった光反射性材料によって形成される。また、この反射膜１１２には、第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂの交点である各表示ドットに対応する位置に開口１２１が形成されている。したがって、開口１２１は図１２の矢印Ｄから見て表示ドットと同様にマトリクス状に配列されている。
As shown in FIG. 12, the
第１電極１１４ａ及び第２電極１１４ｂは、例えば、透明導電材であるＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）によって形成される。また、配向膜１１６ａ、１１６ｂは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付着させることによって形成される。これらの配向膜１１６ａ、１１６ｂがラビング処理を受けることにより、第１基板１０７ａ及び第２基板１０７ｂの表面上における液晶分子の初期配向が決定される。
The
図１１に示すように、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂよりも広い面積に形成されており、これらの基板をシール材１０８によって貼り合わせたとき、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂの外側へ張り出す基板張出部１０７ｃを有する。そして、この基板張出部１０７ｃには、第１電極１１４ａから伸び出る引出し配線１１４ｃ、シール材１０８の内部に存在する導通材１０９（図１２参照）を介して第２基板１０７ｂ上の第２電極１１４ｂと導通する引出し配線１１４ｄ、液晶駆動用ＩＣ１０３ａの入力用バンプ、すなわち入力用端子に接続される金属配線１１４ｅ、及び、液晶駆動用ＩＣ１０３ｂの入力用バンプに接続される金属配線１１４ｆなどといった各種の配線が所定のパターンにて形成されている。
As shown in FIG. 11, the
このとき、第１電極１１４ａから伸びる引出し配線１１４ｃ及び第２電極１１４ｂに通電する引出し配線１１４ｄは、それらの電極と同じ材料であるＩＴＯによって形成される。また、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂの入力側の配線である金属配線１１４ｅ、１１４ｆは、電気抵抗値の低い金属材料、例えばＡＰＣ合金によって形成される。このＡＰＣ合金は、主としてＡｇを含み、これにＰｄ及びＣｕを添加した合金、例えば、Ａｇ；９８ｗｔ％、Ｐｄ；１ｗｔ％、Ｃｕ；１ｗｔ％の組成を有する合金である。
At this time, the lead-out
液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂは、ＡＣＦ（異方性導電膜）１２２によって基板張出部１０７ｃの表面に接着されて実装される。すなわち、本実施形態では、基板上に半導体チップが直接に実装される構造、いわゆるＣＯＧ（チップオングラス）方式の液晶パネルとして形成されている。このＣＯＧ方式の実装構造においては、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子によって、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂの入力側バンプと金属配線１１４ｅ、１１４ｆとが導電接続され、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂの出力側バンプと引出し配線１１４ｃ、１１４ｄとが導電接続される。
The liquid
ＦＰＣ１０４は、可撓性の樹脂フィルム１２３と、チップ部品１２４を含んで構成された回路１２６と、金属配線端子１２７とを有する（図１１参照）。回路１２６は樹脂フィルム１２３の表面に半田付け、その他の導電接続手法によって直接に搭載される。また、金属配線端子１２７はＡＰＣ合金、Ｃｒ、Ｃｕその他の導電材料によって形成される。ＦＰＣ１０４のうち金属配線端子１２７が形成された部分は、第１基板１０７ａのうち金属配線１１４ｅ、１１４ｆが形成された部分にＡＣＦ１２２によって接続される。そして、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子により、基板側の金属配線１１４ｅ、１１４ｆとＦＰＣ側の金属配線端子１２７とが導通する。
The
ＦＰＣ１０４の反対側の辺端部には外部接続端子１３１が形成され、この外部接続端子１３１が図示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路から伝送される信号に基づいて液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂが駆動され、第１電極１１４ａ及び第２電極１１４ｂの一方に走査信号が供給され、他方にデータ信号が供給される。これにより、有効表示領域Ｖ内に配列された表示ドットが個々に電圧制御され、その結果、液晶Ｌの配向が個々に制御される。
An
照明装置１０６は、アクリル樹脂などによって構成された導光体１３２と、この導光体１３２の光出射面１３２ｂに設けられた拡散シート１３３と、導光体１３２の光出射面１３２ｂの反対側に設けられた反射シート１３４と、発光源としてのＬＥＤ（発光ダイオード）１３６とを有する。
The
ＬＥＤ１３６は、ＬＥＤ基板１３７に支持され、そのＬＥＤ基板１３７は、例えば導光体１３２と一体に形成された支持部（図示せず）に装着される。ＬＥＤ基板１３７が支持部の所定位置に装着されることにより、ＬＥＤ１３６が導光体１３２の側辺端面である光取込み面１３２ａに対向する位置に置かれる。なお、緩衝部材１３８は液晶パネル１０２に加わる衝撃を緩衝するためのものであって、液晶パネル１０２と照明装置１０６との間に挿入されている。
The
ＬＥＤ１３６が発光すると、その光は光取込み面１３２ａから取り込まれて導光体１３２の内部へ導かれ、反射シート１３４や導光体１３２の壁面で反射しながら伝播する間に光出射面１３２ｂから拡散シート１３３を通して外部へ平面光として出射される。
When the
以上説明した液晶装置１０１は、太陽光、室内光といった外部光が十分に明るい場合には、図１２において第２基板１０７ｂ側から外部光が液晶パネル１０２の内部へ取り込まれ、その光が液晶Ｌを通過した後に反射膜１１２で反射して再び液晶Ｌへ供給される。液晶Ｌは、これを挟持する第１電極１１４ａ、第２電極１１４ｂによって表示ドット毎に配向制御される。したがって、液晶Ｌへ供給された光は表示ドット毎に変調され、その変調によって偏光板１１７ｂを通過する光と通過できない光とによって液晶パネル１０２の外部に文字、数字などといった像が表示され、反射型の表示が行われる。
In the
他方、外部光の光量が充分に得られない場合には、ＬＥＤ１３６が発光して導光体１３２の光出射面１３２ｂから平面光が出射され、その光が反射膜１１２に形成された開口１２１を通して液晶Ｌへ供給される。このとき、反射型の表示と同様に、供給された光が、配向制御される液晶Ｌによって表示ドット毎に変調される。これにより、外部へ像が表示され、透過型の表示が行われる。
On the other hand, when a sufficient amount of external light cannot be obtained, the
次に、液晶装置の製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing a liquid crystal device will be described.
図１０に示すように、上記構成の液晶装置１０１は、第１基板１０７ａを形成する工程と、第２基板１０７ｂを形成する工程と、これら第１基板１０７ａと、第２基板１０７ｂとを貼り合せる工程とがある。通常、第１基板１０７ａを形成する工程と、第２基板１０７ｂを形成する工程とは、それぞれが独自に実行される。
As shown in FIG. 10, in the
まず、第１基板１０７ａを形成する（図１０のステップＳ７１〜ステップＳ７６）。ステップＳ７１では、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基板の表面に液晶パネル１０２の複数個分の反射膜１１２をフォトリソグラフィ法などによって形成する。さらに、その上に絶縁膜１１３を周知の成膜法を用いて形成する。
First, the
次に、ステップＳ７２では、フォトリソグラフィ法などを用いて第１電極１１４ａ、引出し配線１１４ｃ、１１４ｄ及び金属配線１１４ｅ、１１４ｆを形成する。
Next, in step S72, the
次に、ステップＳ７３では、第１電極１１４ａの上に塗布、印刷などによって配向膜１１６ａを形成する。
Next, in step S73, an alignment film 116a is formed on the
次に、ステップＳ７４では、形成された配向膜１１６ａに対してラビング処理を施すことにより液晶の初期配向を決定する。 Next, in step S74, the initial alignment of the liquid crystal is determined by subjecting the formed alignment film 116a to a rubbing process.
次に、ステップＳ７５では、例えばスクリーン印刷などによってシール材１０８を環状に形成する。
Next, in step S75, the sealing
さらに、ステップＳ７６では、さらにその上に球状のスペーサ１１９を分散する。以上により、液晶パネル１０２の第１基板１０７ａ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第１基板が形成される。
In step S76,
次に、第２基板１０７ｂを形成する。（図１０のステップＳ８１〜ステップＳ８４）。ステップＳ８１では、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基材を用意し、その表面に液晶パネル１０２の複数個分のカラーフィルタ１１８を形成する。このカラーフィルタ１１８の形成工程は、図１及び図２に示した製造方法を用いて行われる。隔壁６Ｃ若しくは遮光層の中のフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）の形成は、図６及び図７に示す液滴吐出装置ＩＪを用いて行われる。より具体的には、液滴吐出ヘッド２２（図４（ａ）、（ｂ）参照）のノズル２７からフィルタエレメント材料１３（１３Ｙ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｇ）としての液滴８（図５（ａ）、（ｂ）参照）を吐出することにより実行される。
Next, the
次に、ステップＳ８２では、マザー基板の上にフォトリソグラフィ法によって第２電極１１４ｂを形成する。
Next, in step S82, the
次に、ステップＳ８３では、塗布、印刷などの手法によって配向膜１１６ｂを形成する。
Next, in step S83, the
次に、ステップＳ８４では、その配向膜１１６ｂに対してラビング処理が施されて液晶の初期配向を決める。以上により、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第２基板が形成される。
Next, in step S84, the
次に、液晶装置１０１を形成する。（図１０のステップＳ９１〜ステップＳ９６）。ステップＳ９１では、大面積のマザー第１基板及びマザー第２基板が形成された後、それらのマザー基板をシール材１０８を間に挟んでアライメント、すなわち位置合わせした上で互いに貼り合わせる。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を含んでいて未だ液晶が封入されていない状態の空のパネル構造体が形成される。
Next, the
次に、ステップＳ９２では、完成したパネル構造体の所定の位置にスクライブ溝、すなわち分断用溝を形成し、さらにそのスクライブ溝を基準としてパネル構造体に応力又は熱を加え、或いは光を照射する等の方法により基板をブレイク（破断）させることによって分断する。これにより、各液晶パネル部分のシール材１０８の液晶注入用開口１１０（図１１参照）が外部へ露出する状態の、いわゆる短冊状の空のパネル構造体が形成される。
Next, in step S92, a scribe groove, that is, a dividing groove is formed at a predetermined position of the completed panel structure, and further, stress or heat is applied to the panel structure based on the scribe groove, or light is irradiated. The substrate is divided by breaking (breaking) the substrate by such a method. As a result, a so-called strip-shaped empty panel structure in which the liquid crystal injection opening 110 (see FIG. 11) of the sealing
次に、ステップＳ９３では、露出した液晶注入用開口１１０を通して各液晶パネル部分の内部に液晶Ｌを注入し、さらに各液晶注入用開口１１０を樹脂などによって封止する。通常の液晶注入処理は、液晶パネル部分の内部を減圧し、内外圧力差によって液晶を注入することによって行われる。例えば、貯留容器の中に液晶を貯留し、その液晶が貯留された貯留容器と短冊状の空パネルとをチャンバなどに入れ、そのチャンバなどを真空状態にしてからそのチャンバの内部において液晶の中に短冊状の空パネルを浸漬する。その後、チャンバを大気圧に開放すると、空パネルの内部は真空状態なので、大気圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口１１０を通してパネルの内部へ導入される。
Next, in step S93, liquid crystal L is injected into each liquid crystal panel portion through the exposed liquid crystal injection opening 110, and each liquid crystal injection opening 110 is sealed with a resin or the like. A normal liquid crystal injection process is performed by decompressing the inside of the liquid crystal panel portion and injecting liquid crystal by a difference between the internal and external pressures. For example, liquid crystal is stored in a storage container, the storage container storing the liquid crystal and a strip-shaped empty panel are placed in a chamber or the like, and the chamber or the like is evacuated and then the liquid crystal is stored inside the chamber. Immerse the strip-shaped empty panel in Thereafter, when the chamber is opened to the atmospheric pressure, the interior of the empty panel is in a vacuum state, so that the liquid crystal pressurized by the atmospheric pressure is introduced into the panel through the liquid
次に、ステップＳ９４では、液晶注入後の液晶パネル構造体のまわりには液晶が付着するので、液晶注入処理後の液晶パネル構造体を洗浄する。 Next, in step S94, since liquid crystal adheres around the liquid crystal panel structure after the liquid crystal is injected, the liquid crystal panel structure after the liquid crystal injection process is washed.
次に、ステップＳ９５では、液晶注入及び洗浄が終わった後の短冊状パネルに対して、再び所定位置にスクライブ溝を形成する。さらに、そのスクライブ溝を基準にして短冊状パネルを分断する。このことにより、複数個の液晶パネル１０２が個々に切り出される。
Next, in step S95, a scribe groove is formed again at a predetermined position on the strip-shaped panel after liquid crystal injection and cleaning are completed. Further, the strip-like panel is divided based on the scribe groove. As a result, the plurality of
次に、ステップＳ９６では、このようにして作製された個々の液晶パネル１０２に対して、図１１に示すように、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂを実装し、照明装置１０６をバックライトとして装着し、さらにＦＰＣ１０４を接続することにより、目標とする液晶装置１０１を完成させる。
Next, in step S96, the liquid
また、本実施形態のカラーフィルタ基板ＣＦの製造方法では、液滴吐出ヘッド２２（図４及び図５参照）を搭載した液滴吐出装置ＩＪ（図６及び図７参照）を用いることにより液状材料Ｍを吐出することによってフィルタエレメント３を形成するようにしているので、フォトリソグラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要がない。また材料を浪費することもない。 Further, in the method for manufacturing the color filter substrate CF of the present embodiment, a liquid material is obtained by using a droplet discharge device IJ (see FIGS. 6 and 7) equipped with a droplet discharge head 22 (see FIGS. 4 and 5). Since the filter element 3 is formed by discharging M, it is not necessary to go through a complicated process like the method using the photolithography method. Also, no material is wasted.
本実施形態で使用可能な記録媒体は、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｋ Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）、ＭＤ（ＭｉｎｉＤｉｓｃ）、などである。このような記録媒体を使用すれば、データを素早く読み取ることができるので、生産効率を向上させることができる。 Recording media that can be used in the present embodiment include semiconductor memories such as RAM (Random Access Memory) and ROM (Read Only Memory), hard disks, CD-ROM (Compact Disk Read Only Memory), DVD (Digital Versatile Disc), and the like. MD (MiniDisc), etc. If such a recording medium is used, data can be read quickly, so that production efficiency can be improved.
＜電子機器＞
次に、電子機器の具体例について説明する。
図１３は、電子機器としてのパーソナルコンピュータの斜視図である。
<Electronic equipment>
Next, specific examples of electronic devices will be described.
FIG. 13 is a perspective view of a personal computer as an electronic apparatus.
図１３に示すように、パーソナルコンピュータ４９０は、液晶装置１０１（図１１及び図１２参照）を有する液晶パネルとしての液晶表示部１０２を備えている。また、液晶装置１０１（図１１及び図１２参照）は、ＰＨＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ・Ｈａｎｄｙ・Ｐｈｏｎｅ・Ｓｙｓｔｅｍ）などの携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ（Ｐｏｉｎｔ・Ｏｆ・Ｓａｌｅｓ）端末、ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリング・ワークステーション（Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ・Ｗｏｒｋ・Ｓｔａｔｉｏｎ：ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器などの様々な電子機器に適用できる。
As shown in FIG. 13, the
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造及び形状に設定できる。 As described above, the present invention has been described with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes modifications as described below, as long as the object of the present invention can be achieved. It can be set to any other specific structure and shape.
（変形例１）
前述の実施形態では、６種類のノズル２７Ｙ、ノズル２７Ｒ、ノズル２７Ｍ、ノズル２７Ｂ、ノズル２７Ｃ、ノズル２７Ｇ（図４参照）が液滴吐出ヘッド２２に配置される構成としたが、これに限らない。例えば６種類のノズル２７Ｙ、ノズル２７Ｒ、ノズル２７Ｍ、ノズル２７Ｂ、ノズル２７Ｃ、ノズル２７Ｇが６種類の液滴吐出ヘッド２２に別々に存在する構成にしてもよい。このようにしても、各ノズル２７から液状材料Ｍを液滴８として吐出する順番が決められているので、本実施形態と同様の効果が得られる。
(Modification 1)
In the above-described embodiment, the six types of
（変形例２）
前述の実施形態では、ノズル２７Ｙ、ノズル２７Ｒ、ノズル２７Ｍ、ノズル２７Ｂ、ノズル２７Ｃ、ノズル２７Ｇを液滴吐出ヘッド２２に一列ずつ配置される構成としたが、これに限らない。例えば複数列ずつ（二列以上）配置する構成にしてもよい。このようにすれば、ノズル２７Ｙ、ノズル２７Ｒ、ノズル２７Ｍ、ノズル２７Ｂ、ノズル２７Ｃ、ノズル２７Ｇの数が増えるので、効率的に描画をすることができる。
(Modification 2)
In the above-described embodiment, the
（変形例３）
前述の実施形態では、第１の領域部７ａからスタートして、第１の領域部７ａと、第２の領域部７ｂとを交互に液滴８を配置するようにして、フィルタエレメント３を３Ｙ→３Ｒ→３Ｍ→３Ｂ→３Ｃ→３Ｇの順序で形成するようにしたが、これに限らない。例えばこれとは逆に、第２の領域部７ｂからスタートして、第２の領域部７ｂと、第１の領域部７ａとを交互に液滴８を配置するようにして、フィルタエレメント３を３Ｒ→３Ｍ→３Ｂ→３Ｃ→３Ｇ→３Ｙの順序で形成してもよい。このようにしても、本実施形態と同様の効果が得られる。
(Modification 3)
In the above-described embodiment, the filter element 3 is 3Y by starting from the
（変形例４）
前述の実施形態で、例えば、液滴吐出装置ＩＪ（図６及び図７参照）では、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させてマザー基板を走査し、マザー基板を送り駆動装置２１によって移動させることにより、液滴吐出ヘッド２２のマザー基板に対する送り動作を実現しているが、これに限らない。例えばこれとは逆に、マザー基板の移動によって走査を実行し、液滴吐出ヘッド２２の移動によって送り動作を実行することもできる。さらには、液滴吐出ヘッド２２を移動させずにマザー基板を移動させたり、双方を相対的に逆方向に移動させたりするなど、少なくともいずれか一方を相対的に移動させ、液滴吐出ヘッド２２がマザー基板の表面に沿って相対的に移動するいずれの構成とすることができる。このようにしても実施形態と同様の効果がある。
(Modification 4)
In the above-described embodiment, for example, in the droplet discharge device IJ (see FIGS. 6 and 7), the
（変形例５）
前述の実施形態で、液滴吐出装置ＩＪ（図６及び図７参照）が製造に使用されるのは、上述のカラーフィルタや液晶装置としたが、これに限らない。例えばＥＬ装置、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ・Ｅｍｉｓｓｉｏｎ・Ｄｉｓｐｌａｙ：フィールドエミッションディスプレイ）などの電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ・Ｄｉｓｐｌｙ・Ｐａｎｅｌ：プラズマディスプレイパネル）、電気泳動装置すなわち荷電粒子を含有する機能性液状体である液状材料を各画素の隔壁間の凹部に吐出し、各画素を上下に挟持するように配設される電極間に電圧を印加して荷電粒子を一方の電極側に寄せて各画素での表示をする装置、薄型のブラウン管、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ―Ｒａｙ・Ｔｕｂｅ：陰極線管）ディスプレイなど、基板（基材）を有し、その上方の領域に所定の層を形成する工程を有する様々な表示装置（電気光学装置）に用いることができる。
(Modification 5)
In the above-described embodiment, the droplet discharge device IJ (see FIGS. 6 and 7) is used for manufacturing the above-described color filter and liquid crystal device, but is not limited thereto. For example, an EL device, an electron emission device such as a field emission display (FED), a plasma display panel (PDP), an electrophoretic device, that is, a functional liquid containing charged particles. Liquid material is discharged into the recesses between the partition walls of each pixel, and a voltage is applied between the electrodes arranged to sandwich each pixel up and down to bring the charged particles toward one electrode and display on each pixel Various display devices having a substrate (base material) and forming a predetermined layer in a region above the substrate (base material), such as a thin film cathode ray tube, a CRT (Cathode-Ray Tube) display, etc. It can be used for an electro-optical device.
３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）…フィルタエレメント、６（６Ｂ、６Ｃ）…隔壁、７…領域、７ａ…第１の領域部、７ｂ…第２の領域部、７Ａ…第１の着色領域群、７Ｂ…第２の着色領域群、８…液滴、１２…基板、２２…液滴吐出ヘッド、２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）…ノズル、２８（２８Ｙ、２８Ｒ、２８Ｍ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｇ）…ノズル列、１０１…液晶装置、１０２…液晶パネル、４９０…電子機器としてのパーソナルコンピュータ、ＣＦ…表示基板としてのカラーフィルタ基板、ＩＪ…液滴吐出装置、Ｍ…液状材料。 3 (3Y, 3R, 3M, 3B, 3C, 3G) ... filter element, 6 (6B, 6C) ... partition, 7 ... region, 7a ... first region portion, 7b ... second region portion, 7A ... first 1 colored region group, 7B ... second colored region group, 8 ... droplet, 12 ... substrate, 22 ... droplet ejection head, 27 (27Y, 27R, 27M, 27B, 27C, 27G) ... nozzle, 28 ( 28Y, 28R, 28M, 28B, 28C, 28G) ... Nozzle array, 101 ... Liquid crystal device, 102 ... Liquid crystal panel, 490 ... Personal computer as electronic equipment, CF ... Color filter substrate as display substrate, IJ ... Droplet ejection Device, M ... Liquid material.
Claims (4)
前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部とを備えているとともに、前記第１の領域部を複数備えた第１の着色領域群と、前記第２の領域部を複数備えた第２の着色領域群と、を有しており、
前記第１の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第１の領域部に前記液状材料を配置する工程と、
前記第２の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程とを、備え、
前記第１の領域部及び前記第２の領域部に交互に前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。 A liquid material is disposed by discharging a liquid material and placing the liquid material on a substrate.
The substrate includes a first region portion and a second region portion having an area different from that of the first region portion, and a first colored region group including a plurality of the first region portions. And a second colored region group comprising a plurality of the second region portions,
Disposing the liquid material in at least one of the first region of the first colored region group;
Arranging the liquid material in at least one second region of the second colored region group, and
A method for arranging a liquid material, wherein the liquid material is alternately discharged to the first region portion and the second region portion.
前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、
前記第１の領域部の位置に対して離間する位置に配置された前記第２の領域部に前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。 In the arrangement method of the liquid material according to claim 1,
In the step of arranging the liquid material in the second region portion,
An arrangement method of a liquid material, characterized in that the liquid material is discharged to the second area portion arranged at a position separated from the position of the first area portion.
前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、
前記第１の領域部に前記液状材料を配置した後に、時間を経過させてから、前記第２の領域部に前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。 In the arrangement method of the liquid material according to claim 1 or 2,
In the step of arranging the liquid material in the second region portion,
A method of arranging a liquid material, comprising: discharging the liquid material to the second region after a lapse of time after the liquid material is arranged in the first region.
前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部とを備えているとともに、前記第１の領域部を複数備えた第１の着色領域群と、前記第２の領域部を複数備えた第２の着色領域群と、を有しており、
前記第１の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第１の領域部と、前記第２の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第２の領域部に対して交互に前記液状材料を配置することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。 A method for producing a color filter substrate having a film pattern by discharging a liquid material, placing the liquid material on the substrate, and drying the liquid material,
The substrate includes a first region portion and a second region portion having an area different from that of the first region portion, and a first colored region group including a plurality of the first region portions. And a second colored region group comprising a plurality of the second region portions,
The liquid material is alternately arranged with respect to at least one of the first colored region group and at least one of the second colored region group. A method of manufacturing a color filter substrate characterized by the above.
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