JP4938231B2 - 平坦度測定器 - Google Patents
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Description
被測定物の平坦度を測定するセンサと、
前記センサを移動させる移動部と、
を備え、
前記移動部は、前記センサを前記被測定物に対して相対的に水平方向に移動させるとともに、前記センサを前記被測定物に対して相対的に周回方向に移動させるように構成されたことを特徴とする平坦度測定器
が提供される。
被測定物の平坦度を測定するセンサと、
前記センサを前記被測定物上に位置させるセンサ支持部と、
を備え、
前記センサを前記センサ支持部に対して水平移動させる第1移動部と、
前記センサ支持部を前記被測定物に対して相対的に回転させる第2移動部とを有することを特徴とする平坦度測定器
が提供される。
しかしながら、この方式の構造を有する平坦度測定器は、寸法が大きくなるという課題を有していた。そのため、平坦度測定器を真空容器内に納めることが困難であった。なぜなら、図5に示すように、被測定物1は真空容器6という限られた空間内に設置されることがあり、平坦度測定器のセンサが特許文献1に記載されたXY移動方式構造である場合、真空容器6に納める事が出来なくなるからである。この理由は、上記のXY移動方式構造をとる場合、(被測定物の測定距離)×1.3〜1.5倍のレール長さが必要になり、また、この長さのレールが十字に組まれ各々の軸が最小から最大まで動作した場合、X軸長×Y軸長の面積が必要になるからである。
これに対し、本実施形態では、平坦度測定器110において、センサの移動方式として、X軸方向とY軸方向の2軸走査移動方式ではなく、1軸走査回転方式を導入した。1軸走査回転方式の平坦度測定器を用いることで、センサ位置を任意に移動できるばかりではなく、移動面積を最小限に押さえる事ができるからである。したがって、平坦度測定器の小型化・軽量化を実現することができた。
104 固定具
110 平坦度測定器
111 センサ
112 走査レール
113 回転軸受け部
114 被測定物
116 フランジ
Claims (5)
- 被測定物の略円形の被測定面の平坦度を測定するセンサと、
前記センサを移動させる移動部と、
を備え、
前記移動部は、
前記センサを前記被測定物上に位置させるよう保持し、前記センサを前記被測定物の径方向に、前記被測定物の前記被測定面に対して水平に移動させる走査レールと、
前記走査レールを、前記被測定物の前記被測定面の略中心を回転中心として、所定角度ずつ回転可能に保持する回転軸受け部と、を有し、
前記走査レールが回転していない状態で、前記センサを前記被測定物の径方向に移動させて、前記被測定物の前記被測定面の平坦度を測定する平坦度測定機。 - 請求項1に記載の平坦度測定器において、
前記回転軸受け部は略円形に構成され、かつ、前記被測定物の周囲を取り囲むように設置され、
前記センサは、前記回転軸受け部で取り囲まれた領域内を移動する平坦度測定器。 - 請求項1または2に記載の平坦度測定器において、
前記平坦度測定器は、前記被測定物との間で着脱可能であることを特徴とする平坦度測定器。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の平坦度測定器において、
前記平坦度測定器が移動可能であることを特徴とする平坦度測定器。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の平坦度測定器において、
前記被測定物はウエハステージである平坦度測定器。
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