JP4897008B2 - ステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 - Google Patents
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- 定盤に支持されX軸方向に移動するX軸移動体と、
前記定盤に支持されY軸方向に移動すると共に、前記X軸移動体のX軸方向の移動をガイドするように構成されたY軸移動体と、
X軸方向に互いに離間して配置され、前記Y軸移動体を駆動する一対のシャフトモータと、
前記Y軸移動体を前記定盤上で支持する支持手段と、を備え、
一対の前記シャフトモータのそれぞれは、前記定盤との間に空間が形成されるように前記定盤に固定されたシャフト部と、前記Y軸移動体に固定され前記シャフト部に沿って可動な可動部と、を有しており、
前記支持手段は、X軸方向における前記Y軸移動体の一端部を前記定盤に対して非接触で支持するエアパッドと、X軸方向における前記Y軸移動体の他端部を支持すると共に前記Y軸移動体のY軸方向の移動をガイドする転がりガイドと、を含み、
前記エアパッドの少なくとも一部は、一対の前記シャフトモータのうち一方のシャフトモータにおける前記シャフト部及び前記定盤間の前記空間に入り込んでおり、
前記転がりガイドは、
Y軸方向に沿って延設され、一対の前記シャフトモータのうち他方のシャフトモータにおける前記シャフト部及び前記定盤間の前記空間に入り込んだガイドレールと、
前記Y軸移動体に設けられていると共に前記ガイドレールに摺動可能に係合され、該他方のシャフトモータにおける前記シャフト部及び前記定盤間の前記空間に入り込んだランナブロックと、を含んでいることを特徴とするステージ装置。 - 前記Y軸移動体は、
X軸方向に延び、前記X軸移動体のX軸方向の移動をガイドするガイドビームと、
X軸方向における前記ガイドビームの端部に設けられ、前記可動部及び前記ランナブロックに固定されたステーと、を含み、
前記Y軸移動体の前記ステーの一部は、前記他方のシャフトモータにおける前記シャフト部及び前記定盤間の前記空間に入り込んでいることを特徴とする請求項1記載のステージ装置。 - 前記Y軸移動体は、2つの前記ランナブロックと1つの前記エアパッドにより3点支持されていることを特徴とする請求項1又は2記載のステージ装置。
- 請求項1〜3の何れか一項記載のステージ装置を備えたことを特徴とする半導体検査装置。
- 請求項1〜3の何れか一項記載のステージ装置を備えたことを特徴とする半導体露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009065930A JP4897008B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | ステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 |
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JP2010219389A JP2010219389A (ja) | 2010-09-30 |
JP4897008B2 true JP4897008B2 (ja) | 2012-03-14 |
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JP2009065930A Active JP4897008B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | ステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4897008B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09253969A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-09-30 | Nippon Thompson Co Ltd | ボールスプラインを備えたテーブル装置 |
JP3290087B2 (ja) * | 1997-01-30 | 2002-06-10 | キヤノン株式会社 | 静圧軸受を用いた位置決め装置 |
JP3884637B2 (ja) * | 2001-10-09 | 2007-02-21 | 住友重機械工業株式会社 | ステージユニット及びx−yステージ装置 |
JP4586367B2 (ja) * | 2004-01-14 | 2010-11-24 | 株式会社ニコン | ステージ装置及び露光装置 |
JP4421431B2 (ja) * | 2004-09-16 | 2010-02-24 | 住友重機械工業株式会社 | ステージスライダ機構 |
JP4970410B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2012-07-04 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置及び半導体検査装置 |
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Publication number | Publication date |
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JP2010219389A (ja) | 2010-09-30 |
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A621 | Written request for application examination |
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