JP4882967B2 - 圧力温度センサ - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態が適用された圧力温度センサについて説明する。図1は本実施形態にかかる圧力温度センサの正面断面図、図2は図1に示す二点鎖線部分の拡大図である。
これら図1および図2に基づいて本実施形態の圧力温度センサの構成について説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は第1実施形態に対して、図1に示す二点鎖線部分、具体的には金属端子8の構造を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は第1実施形態に対して、図1に示す二点鎖線部分、具体的には金属端子8の構造を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は第3実施形態に対して、断熱性ゲル材を加えたものでありその他に関しては第3実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は第1実施形態に対して、熱アンテナが備えられており、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
上記各実施形態において、ハウジング11には収容凹部12の外周壁面にねじ部13が形成されており、このねじ部13により圧力温度センサが適所に取り付けられる。しかしながら、ハウジング11の形態はこれに限られるものではない。
Claims (10)
- 測定媒体の圧力および温度に応じたセンサ出力信号を出力するセンサチップ(4)と、
一面に凹部(2)を備え、前記凹部(2)に前記センサチップ(4)が備えられるケースプラグ(1)と、
中空部(12)を有すると共に、前記中空部(12)に前記ケースプラグ(1)が挿入されることで前記ケースプラグ(1)と一体に組みつけられるハウジング(11)と、
前記測定媒体の圧力が印加されると共に、前記測定媒体の温度が伝導され、前記ケースプラグ(1)における前記凹部(2)が備えられる前記一面と前記ハウジング(11)のうち前記一面と対向する一面との間に配置されるメタルダイヤフラム(14)と、
前記メタルダイヤフラム(14)の外縁部分に配置され、前記メタルダイヤフラム(14)を前記ハウジング(11)に対して固定する枠状のウェルド(15)と、
前記ケースプラグ(1)と前記ハウジング(11)とが組み付けられることで形成される前記凹部(2)、前記メタルダイヤフラム(14)および前記ウェルド(15)で囲まれる部分を圧力温度検出室(17)とし、前記圧力温度検出室(17)内を充填するオイル(18)と、
前記センサチップ(4)と電気的に接続され、外部への電気的な接続を行うターミナル(7)と、
前記センサチップ(4)と前記ターミナル(7)とを電気的に接続するワイヤ(9)と、
前記ケースプラグ(1)に備えられ、前記センサチップ(4)に接続されていると共に、前記メタルダイヤフラム(14)もしくは前記ウェルド(15)に接続されており、前記センサチップ(4)と前記メタルダイヤフラム(14)もしくは前記ウェルド(15)とを熱的に接続する金属端子(8)と、を備えていることを特徴とする圧力温度センサ。 - 前記金属端子(8)は十字型の底部(8a)を有していると共に、前記底部(8a)のうち前記十字型の交点もしくは該交点と各端部との間に前記メタルダイヤフラム(14)に向かって突出する中央突出部(8b)と、前記底部(8a)のうち前記十字型の各端部に前記中央突出部(8b)と同方向に突出する端部突出部(8c)とを有しており、
前記中央突出部(8b)には前記センサチップ(4)を保持すると共に、前記センサチップ(4)と接続される保持部(8d)が備えられており、前記センサチップ(4)を前記保持部(8d)にて保持した状態において前記金属端子(8)のうち前記中央突出部(8b)が前記センサチップ(4)に接続され、前記金属端子(8)のうち前記端部突出部(8c)が前記メタルダイヤフラム(14)もしくは前記ウェルド(15)に接続されることにより、前記センサチップ(4)と前記メタルダイヤフラム(14)もしくは前記ウェルド(15)とが前記金属端子(8)を介して熱的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力温度センサ。 - 前記金属端子(8)は前記底部(8a)が前記ケースプラグ(1)に覆われるようにインサート成形されており、前記中央突出部(8b)が前記ケースプラグ(1)内から前記凹部(2)内に突出し、前記端部突出部(8c)が前記ケースプラグ(1)の前記凹部(2)の側壁に沿って形成されると共に、前記メタルダイヤフラム(14)に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力温度センサ。
- 前記金属端子(8)は前記底部(8a)が前記凹部(2)の底面と接するようにして前記凹部(2)内に配置され、前記中央突出部(8b)が前記凹部(2)内に突出し、前記端部突出部(8c)が前記凹部(2)の側壁に沿って形成されると共に前記メタルダイヤフラム(14)に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力温度センサ。
- 前記金属端子(8)は前記底部(8a)が前記ケースプラグ(1)に覆われるようにインサート成形されており、前記中央突出部(8b)が前記ケースプラグ(1)内から前記凹部(2)内に突出し、前記端部突出部(8c)が前記ケースプラグ(1)に覆われ、かつ前記端部突出部(8c)の先端が前記ケースプラグ(1)のうち前記凹部(2)が備えられる前記一面から露出するようにインサート成形されていると共に、前記端部突出部(8b)の先端が前記ウェルド(15)に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力温度センサ。
- 前記中央突出部(8b)の先端が前記ウェルド(15)に接続されていることを特徴とする請求項5に記載の圧力温度センサ。
- 前記金属端子(8)は十字型の底部(8a)を有していると共に、前記底部(8a)のうち前記十字型の交点に前記メタルダイヤフラム(14)に向かって突出する中央突出部(8b)と、前記底部(8a)のうち前記十字型の各端部に前記中央突出部(8b)と同方向に突出する端部突出部(8c)とを有しており、
前記センサチップ(4)は台座(5)と接合されており、前記金属端子(8)は前記底部(8a)が前記凹部(2)の底面と接するようにして前記凹部(2)内に配置され、前記中央突出部(8b)が前記台座(5)を貫通して前記センサチップ(4)のうち前記台座(5)と接合される面に接続されており、前記端部突出部(8c)が前記凹部(2)の側壁に沿って形成されると共に、前記メタルダイヤフラム(14)に接続されており、前記センサチップ(4)と前記メタルダイヤフラム(14)とが前記金属端子(8)を介して熱的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力温度センサ。 - 前記センサチップ(4)は、断熱性ゲル材(23)で覆われており、前記センサチップ(4)と前記圧力温度検出室(17)内に充填された前記オイル(18)とは離間された構成とされていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の圧力温度センサ。
- 前記ハウジング(11)のうち前記メタルダイヤフラム(14)および前記ウェルド(15)が備えられる一面と反対の面には、前記測定媒体の温度を前記メタルダイヤフラム(14)に伝導する熱アンテナ(24)が取り付けられていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の圧力温度センサ。
- 前記ハウジング(11)のうち前記メタルダイヤフラム(14)が配置される前記一面の前記ケースプラグ(1)が備えられる反対側に前記ケースプラグ(1)と反対側に延びる測定媒体導入孔(25)が備えられていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の圧力温度センサ。
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