JP4866504B2 - 基板搬送装置、その駆動システム及び動作方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板搬送装置に関し、特に、共通回転軸上に複数アームアセンブリを有する装置である。
【0002】
【従来技術】
米国特許第5,720,590号は、同軸駆動シャフトとフレームに静止して結合した磁気駆動ステータとシャフト上に磁気駆動ロータとからなる駆動セクションを有する分節されたアーム搬送装置を開示している。米国特許第5,577,879号及び米国特許第5,765,983号は、スカラアームを開示している。非同軸並列である2つのスカラアーム装置は、日本企業3社から販売打診されている。MECS社のUTW及びUTVシリーズのロボット、RORZE社のRRシリーズのロボット、JEL社のLTHR、STHR、SPRの各シリーズのロボットである。
【0003】
【発明の概要】
本発明の1つの実施例による基板搬送装置は、駆動セクションと、2つの独立した可動アームアセンブリと、基板ホルダとから構成されている。該アームアセンブリは、共通回転軸上の該駆動セクションに結合されている。基板ホルダは、該アームアセンブリに結合されている。
【0004】
本発明の他の実施例による基板搬送装置は、2つの独立した可動アームアセンブリと、基板ホルダと、駆動セクションとを含んでいる。該基板ホルダは、該アームアセンブリに結合されている。該駆動セクションは、フレームと第1駆動部により回転自在に該フレームと結合しているプーリと該アームアセンブリと結合された第2及び第3駆動部とを有している。該プーリは、伝動部材により2つのアームアセンブリに結合されている。
【0005】
本発明の他の実施例による基板搬送装置駆動システムは、フレームと磁気駆動ステータと駆動シャフトアセンブリとプーリとを含んでいる。該ステータは、該フレームと静止して結合されている。該駆動シャフトアセンブリは、少なくとも3つの同軸シャフトを有している。各シャフトは、別々の磁気駆動ステータに対して整列した磁気駆動セクションを有している。該プーリは、該シャフトの1本によりフレームと結合されている。
【0006】
本発明の他の実施例による基板搬送装置は、N本の独立して可動なアームアセンブリと基板ホルダとアームアセンブリの各々が独立して回転せしめる手段とを含んでいる。各アームアセンブリは、アームアセンブリの少なくとも1部を回転出来るA本の回転軸を有している。N及びAは、共に1より大なる整数である。該基板ホルダは、該アームアセンブリと結合されている。該回転手段は、該アームアセンブリをA本の軸各々を中心に回転させ得る。該回転手段は、M個のモータを含んでいる。Mは、Aの最小値のN倍より小なる整数である。
【0007】
本発明の1つの方法による基盤搬送装置を駆動せしめる方法は、フレームと該フレームに回転自在にマウントされたプーリと該フレームに回転自在にマウントされた2つのアームアセンブリとを有する装置を提供するステップと、前記2つのアームアセンブリが回転するとき、前記プーリを前記フレームに対して回転せしめる前記プーリが前記フレームに対して同一方向に前記アームアセンブリの双方を回転せしめるステップと、2つの該アームアセンブリがフレームに対して独立的に回転させられその結果該アームアセンブリが独立的に伸長及び収縮している間該フレームの静止位置に該プーリを保持するステップとを含んでいる。
【0008】
【発明の実施の形態】
前述の形態及び本発明の他の特徴は、以下の記載にて説明され、また添付した図面に関連する。
図1を参照すると、本発明の特徴を含む基板加工装置10の一部上面図を示している。たとえ本発明が図中に示された実施例を参照して説明されたとしても、本発明は実施例の複数の変形形態を取り得ることが出来ることは理解されるであろう。更に、多くの適当なサイズ、形状、タイプの要素又は材質が使用出来る。
【0009】
基板加工装置10は、全体として基板搬送装置12と基板処理装置14とを含んでいる。基板処理装置14は、搬送装置12と結合されているロードロック16と、メインチャンバ18に結合されている加工チャンバ(図示せず)と、基板搬送ロボット(図示せず)を有している。種々の異なるタイプの基板加工装置は、従来技術では既知であり、例えば米国特許第5,765,983号、米国特許第5,512,320号、米国特許第4,715,921号等に開示されており、これらは本明細書に組み入れられる。しかしながら、どのような適当なタイプの基板加工装置も構成可能である。
【0010】
この実施例において、基板搬送装置12は、全体としてフレーム20と、台車22と、ロボット24と、フレーム20に沿って台車を移動させる台車駆動部26と、基板カセット30を着脱自在に保持する手段28と、を含んでいる。装置12は、カセット30から基板を取り出し、基板処理装置14のロードロック16へと基板を挿入する為に使用される。一旦基板処理装置14が基板の処理を終了すると、装置12は、ロードロック16からカセット30へと基板を戻す為に使用される。作業者は、処理の終了した基板によってカセットを充填した後にカセット30を取外し、その場所に未加工基板が詰った新しいカセットを置く。装置12は、幾つかの適当な数のカセット30を保持するようにさせることが可能である。装置は大気圧下で稼動するのが好ましいが、例えば真空の如き、他の適当な圧力の下で使用することも可能である。搬送装置12は、基板を整列させるアライナ(図示せず)を有することも可能である。変形例においては、装置12は、アライナを有する必要は無く、例えば基板処理装置14等にアライナを配置することも可能である。装置12は、基板バッファを有することも可能である。装置12は、コンピュータコントローラ11に接続されていて、このコントローラはフレーム20に対する台車20の動きを制御し、ロボット24の動きも制御している。
【0011】
図2を参照すると、ロボット24は、全体としてフレーム32、回転駆動部34、可動アームアセンブリ36、2つのエンドエフェクタ38、39を含んでいる。エンドエフェクタ38、39は、その上に基板Sを保持するようになされている。エンドエフェクタ38、39は、アームアセンブリ36の端に取付けられている。駆動部34は、アームアセンブリ36を動作するようになされており、カセット30及びロードロック16に対してエンドエフェクタ38、39を動作する。駆動部34は、フレーム32により台車22にマウントされている。フレーム32は、ロボット24を差込式のアセンブリとして台車22上に保持し、電子制御回路ボード40をマウントするフレームを提供する。台車22は、フレーム20に対して移動自在にマウントされている。台車22は、B位置とC位置の間に示された矢印Aの様にフレーム20に沿って移動可能である。同様な基板搬送装置は米国特許出願第08/891,523号に記載されており、これは本明細書に組み入れる。変形例において、本発明の特徴は、基板搬送ロボットの適当な形態を基板処理装置14内部のロボット又は他の形態の基板搬送装置に含まれるように使用することも可能である。変形例において、幾つかの適当なタイプの軌道システム又はフレームに沿って移動自在に台車を支持するシステムを使用することが出来る。ロボット24は、幾つかの適当な型で台車に結合することも出来る。他の変形例においては、移動可能な台車22によるロボット再配置機構を提供する必要が無く、例えば駆動部34をフレーム20の1箇所にのみ留める等とする。好ましい実施例において、垂直駆動モータ56は、フレーム32の底部に結合されて、フレーム32中でロボット24を垂直方向に上下動させる。しかしながら、変形例においては、垂直可動システムの適当な幾つかのタイプが構成可能であり、又は垂直可動システムを提供する必要がない。フレーム32及びロボット24は、垂直移動ケージと軌道システムを使用することが可能であり、例えば米国特許出願第08/873,693号等に開示されており、これは本明細書に組み入れる。
【0012】
図3及び図3Aを参照すると、回転駆動部34は、全体として駆動シャフトアセンブリ41と3つのモータ42,44,46とを含んでいる。変形例においては、駆動部は3つ以上のモータを有することも可能である。駆動シャフトアセンブリ41は、3つの駆動シャフト50a,50b,50cを有している。変形例においては、3つ以上の駆動シャフトを設けることも可能である。第1モータ42は、ステータ48aと中間シャフト50aに結合されたロータ60aとを含んでいる。第2モータ44は、ステータ48bと外側シャフト50bに結合されたロータ60bとを含んでいる。第3モータ46は、ステータ48cと内側シャフト50cに結合されたロータ60cとを含んでいる。3つのステータ48a,48b,48cは、垂直高さすなわち管内の異なる位置にて、管52に静止して取り付けられている。この実施例によると、第1ステータ48aは、中間ステータであり、第2ステータ48bは上部ステータ、第3ステータ48cは下部ステータである。各々のステータは、全体として電磁気的コイルを含んでいる。3本のシャフト50a,50b,50cは同軸シャフトとして配置されている。3つのロータ60a,60b,60cは、永久磁石で構成されるのが好ましいが、代替的に永久磁石を有しない磁気誘導ロータで構成され得る。スリーブ62が、好ましくはロータ60とステータ48の間に配置され、ロボット24を真空環境中にて使用できるようにし、駆動シャフトアセンブリ41が真空環境下に置かれ、且つステータ48が真空環境外に置かれる。しかし、もしロボット24を大気圧環境でのみの使用を企図するのであれば、スリーブ62を設ける必要はない。
【0013】
第3シャフト50cは内側シャフトであり、下部ステータ48cから伸長している。内側シャフトは下部ステータ48cに整列した第3ロータ60cを有している。中間シャフト50aは、中間ステータ48aから上方向に伸長している。中間シャフトは、第1ステータ48aに整列した第1ロータ60aを有している。外側シャフト50bは、上部ステータ48bから上方向に伸長している。外側シャフトは、上部ステータ48bに整列した第2ロータ60bを有している。種々のベアリングが、シャフト50と管52に対して提供され、各シャフトが互いにかつ管52に対して独立して回転出来るようにしている。この実施例において、各シャフト50は、位置センサ64を伴っている。位置センサ64は、各シャフトに対する及び/又は管52に対するシャフト50の回転位置のコントローラ11に信号を送る為に使用されている。幾つかの好適なセンサが使用可能であり、例えば光学式又は静電誘導式等が使用可能である。
【0014】
図3から明らかなように、可動アームアセンブリ36は、全体として2本のアーム66,68及びプーリ70を含んでいる。しかしながら、変形例においては、該可動アームアセンブリが、アーム本数を2本より多くしたり又は付加部品を含み得る。第1アーム66は、全体としてインナーアーム72、前方アーム74、ブリッジ76、基板ホルダ38(図2参照)を含んでいる。図3Aを参照すると、インナーアーム72は外側シャフト50bと静止して結合されており、それ故図3に表示された回転中心軸Dの外側シャフト50bに伴ってインナーアーム72が回転する。プーリ70は中間シャフト50aの上端に固定結合されている。第2アーム68は、内側シャフト50cの上端に固定結合されたインナーアーム78を有している。プーリ70及びインナーアーム78は共に、中心軸Dを中心に回転する様にマウントされている。
【0015】
図3Bを参照すると、第1アーム66のインナーアーム72は、ポスト80と該ポスト80の上に回転自在にマウントされたプーリ82とを含んでいる。ポスト80は、インナーアーム72のフレーム73に静止してマウントされている。伝動部材86の第1セット84は、プーリ70とプーリ82の間を伸長している。伝動部材の好適な幾つかの形態が提供可能であり、例えばベルト、バンド又はチェーン等がある。2つより多いか少ない伝動部材86は、第1セット84及び/又は以下に記載する伝動部材の他のセットに対して設けることが可能である。シャフト88は、プーリ82と固定結合されているので、軸E上のプーリ82と共に回転する。シャフト88は、ポスト80上で回転される様に保持されている。シャフト88の高さは、第2アーム68のインナーアーム78の高さよりも少し高い為、インナーアーム72と前方アーム74の間をインナーアーム78が通過することを許容している。前方アーム74は、シャフト88の上端に固定結合されているフレーム90を有し、それ故、前方アーム74のフレーム90は軸Eを中心にシャフト88とプーリ82と共に回転する。前方アーム74は、プーリ92、ポスト94、プーリ96、伝動部材86の第2セット98を含んでいる。プーリ92は、ポスト80の上端に固定結合されている。ポスト94は、フレーム90に固定配置されている。プーリ96は、ポスト94の上に回転自在に保持されている。伝動部材の第2セット98は、2つのプーリ92、96及びブリッジ76の部分100の間を伸長している。ブリッジ76は、プーリ96と固定結合されている為、軸Fを中心にプーリ96と共に回転する。ブリッジ76は、プーリセクション100とC形状セクション102を有している。C形状セクションのスパン104は、充分に大きい為、第2アーム68(図3参照)の前方アーム106がその間を通るのを許容している。エンドエフェクタ38(図2参照)は、C形状セクション102の上端108に結合されている。
【0016】
図3、図3A、図3Cを参照すると、第2アーム68は、全体としてインナーアーム78、アウターアーム106、エンドエフェクタ39(図2参照)を含んでいる。インナーアーム78は、全体としてフレーム110、ポスト112、プーリ114、伝動部材86の第3セット116を含んでいる。フレーム110は、軸Dを中心に回転するように内側シャフト50cと静止して結合されている。プーリ70は、フレーム110の開放空間の中に伸長している。ポスト112は、フレーム110に静止して結合されている。プーリ114は、ポスト112上で回転自在にマウントされている。伝動部材の第3セット116は、2つのプーリ70と114の間に伸長している。シャフト118は、プーリ114と静止して結合され、軸Gのポスト112上で回転自在に保持されている。シャフト118の高さは、第1アーム66の前方アーム74が第2アーム68のインナーアーム78と前方アーム106の間の通過を許容するに充分でなければならない。前方アーム106は、全体としてフレーム120、プーリ122、伝動部材86の第4セット124、ポスト126、プーリ128を含んでいる。フレーム120は、軸Gを中心にシャフト118と共に回転するようにシャフト118と静止して結合されている。プーリ122は、ポスト112の上端と静止して結合されている。ポスト126は、フレーム120と静止して結合されている。プーリ128は、ポスト126上に回転自在に保持されている。伝動部材の第4セット124は、2つのプーリ122、128の間を伸長している。第2エンドエフェクタ39(図2参照)は、プーリ128と固定結合され、軸H上のプーリ128と共に回転する。
【0017】
図3A中にて一番良く理解できるメインプーリ70は、全体として下部プーリセクション70aと上部プーリセクション70bを含んでいる。2つのプーリセクション70a、70bは、互いに同調して軸Dを中心に回転するために互いに固定結合されている。下部プーリセクション70aは、第1アームのインナーアーム66のフレーム73内部に配置されている。伝動部材の第1セット84は、下部プーリセクション70a上にマウントされている。上部プーリセクション70bは、第2アームのインナーアーム78のフレーム110内部に配置されている。伝動部材の第3セット116は、上部プーリセクション70b上にマウントされている。
【0018】
3つのモータ42、44、46は、独立して動作出来、2本のアーム66、68を別々に又は同時に独立して動作する。アーム66、68は、基板を取出し、または静置する為の2つのエンドエフェクタ38、39を伸長及び収縮させる為に可動であり、駆動部34は、軸Dを中心に可動アームアセンブリ36を全体的に回転可能とし、台車22及び基板の供給源と目標位置であるロードロック16とカセット30に対して、可動アームアセンブリ36を新しい方向に向ける。
【0019】
第1アーム66を伸長及び収縮させるために、第2モータ44は、中間シャフト50aに関して外側シャフト50bを回転させるべく動作する。好ましくは、中間シャフト50aは、第1アーム66が伸長及び収縮している間は静止せしめられる。しかし、プーリ70は、伸長又は収縮している間わずかに動くことが出来得る故、可動アームアセンブリ36全体の回転始期または終期における搬送プロセスの迅速性が得られる。プーリ70が静止し、インナーアーム72が動いている間、プーリ82は、伝動部材の第1セット84によって回転されている。このことは、次に、軸Eを中心に前方アーム74のフレーム90を回転させる。なぜならプーリ92は、ポスト80に静止して結合されているからであり、該ポストはフレーム73に静止して結合されている故、プーリ96とプーリセクション100は、フレーム90に関して伝動部材の第2セット98により回転させられる。プーリ82、92、96は、それぞれに関して大きさが決められることが好ましく、それによりエンドエフェクタ38が直線的な放射方向の内及び外に動くことを許容する。
【0020】
第2アーム68を伸長及び収縮させるために、第3モータ46は、中間シャフト50aに関して内側シャフト50cを回転させるべく動作する。好ましくは、中間シャフト50aは、第1アーム66が伸長及び収縮している間は静止せしめられる。しかし、プーリ70は、伸長又は収縮している間にわずかに動くことが出来得る故、可動アームアセンブリ36全体の回転始期または終期における搬送プロセスの迅速性が得られる。プーリ70が静止し、インナーアーム78が動いている間、プーリ114は、伝動部材の第3セット116によって回転されている。このことは、次に、軸Gを中心に前方アーム106のフレーム120を回転させる。なぜならプーリ122は、ポスト112に静止して結合されているからであり、ポスト112はフレーム110に静止して結合されている故、プーリ128は、フレーム120に関して伝動部材の第4セット124により回転させられる。プーリ114、122、128は、それぞれに関して大きさが決められることが好ましく、それによりエンドエフェクタ39が直線的な放射方向の内及び外に動くことを許容する。
【0021】
第1モータ42は、メイン軸Dを中心にアームアセンブリ36全体が回転する為に2つのモータ44、46に関連して使用されている。第1モータ42は、中間シャフト50aを回転させる為に回転し、これによってよってメインプーリ70を回転させる。モータ44、46は、モータ42と同一方向かつ同一スピードで動作せしめられ、プーリ70と共にインナーアーム72、78が回転させられる。従って、伝動部材の第1セット84と第2セット116は、プーリ82、114の各々を回転しない。その結果、前方アーム74、106は、各々のインナーアーム72、78に対して回転されず、またプーリ96、128は、回転されないため、エンドエフェクタ38、39は回転しない。
【0022】
本発明は、4軸駆動と2つの分離した静止したメインプーリに対して4つのモータを有する2つの非同軸スカラアームというよりはむしろ、3軸駆動と共通メイン回転プーリに対する3つのモータだけを使用して、独立して伸長及び収縮を伴う回転同軸にある2つのスカラアームロボットを提供する。本発明の同軸回転する2つのスカラアームは、非同軸の2つのスカラアームよりも小さな装置床面積を有するロボットを許容する。小さい装置床面積は、スループットを上昇可能させる。なぜならより短い伸長及び収縮距離を提供することが可能になるからである。小さな装置床面積は、製造床面積当りのコストも削減する。
【0023】
図1及び図2は、1枚の基板Sのみを保持する様にしたエンドエフェクタ38、39を有する可動可能なアームアセンブリ36を示している。しかしながら、他の形態のエンドエフェクタが使用可能である。例えば、図4に示される様に、可動アームアセンブリ36’には、単一基板用エンドエフェクタ39と複数枚基板保持用の複数基板エンドエフェクタ38’の取付けが可能である。本発明は、米国特許出願第09/044,820号等に開示された搬送方法が使用可能であり、これは本明細書に組み入れる。可動アームアセンブリは、自身に基板アライナを付加することも可能であり、重量保持方法のみ、真空保持方法のみ、又は重力/真空を組み合わせた保持方法を使用することも可能であり、米国特許出願第08/889,526号等に開示されており、これは本明細書に組み入れる。
【0024】
前述の説明が発明の実施例についてのみであることは容易に理解されであろう。複数の変形例及び改良例が、発明から離れることなく当業者によって考案されることは可能である。よって、本発明は、変形例、改良例、及びクレーム記載の範囲内にある全ての変形例を包含することを意味している。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の特徴を含む基板加工装置の一部上面図である。
【図2】 図1に示す基板搬送装置の一部展開分解組立図である。
【図3】 基板搬送装置の1部を示す断面図である。
【図3A】 図3に示す駆動ユニットの拡大断面図である。
【図3B】 図3に示す駆動ユニットの左側アームの拡大断面図である。
【図3C】 図3に示す駆動ユニットの右側アームの拡大断面図である。
【図4】 可動アームアセンブリの変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 基板加工装置
12 基板搬送装置
14 基板処理装置
16 ロードロック
18 メインチャンバ
20、32、73、90、110、120 フレーム
22 台車
24 ロボット
26 台車駆動部
28 装置
30 カセット
34 回転駆動部
36 可動アームアセンブリ
38、39 エンドエフェクタ
40 電子制御回路ボード
52 管
56 垂直駆動モータ
66 第1アーム
68 第2アーム
41 駆動シャフトアセンブリ
42、44、46 モータ
48a、48b、48c ステータ
50a、50b、50c、88、118 シャフト
60a、60b、60c ロータ
62 スリーブ
64 位置センサ
70、70a、70b、82、92、96、114、122、128 プーリ
72、78 インナーアーム
74 前方アーム
76 ブリッジ
80、94、112、126 ポスト
84、98、116、124 伝動部材セット
86 伝動部材
100 プーリセクション
102 C型形状セクション
104 スパン
106 アウターアーム
Claims (29)
- 基板搬送装置であって、
駆動セクションと、
共通回転軸において前記駆動セクションと結合している2つの独立可動アームアセンブリであってこのアームアセンブリの各々の前方アームリンクが前記駆動セクションの共通のモータに連動しているアームアセンブリと、
第1及び第2の基板ホルダ軸(F,H)において前記アームアセンブリの各々の前方アームリンクと結合している基板ホルダ(38,39)と、からなり
前記第1及び第2の基板ホルダ軸は、前記2つの独立可動アームアセンブリの伸長及び収縮の間に、同時に前記共通回転軸と同軸上に位置することが可能であることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記アームアセンブリの各々は、前記共通回転軸に肩部を有しかつ前記基板ホルダと結合している末端にリスト部を有するスカラアームからなり、前記リスト部は前記基板ホルダ軸の各々に設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記駆動セクションは、フレームと、前記共通回転軸において前記フレームと回転自在に結合しているプーリとからなることを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
- 第1及び第2の伝動部材をさらに含み、前記第1の伝動部材は、前記プーリと前記アームアセンブリの第1のアームアセンブリの肩部との間に接続され、前記第2の伝動部材は、前記プーリと前記アームアセンブリの第2のアームアセンブリの肩部との間に接続されていることを特徴とする請求項3記載の基板搬送装置。
- 前記駆動セクションは、3つのモータから構成され、 第1モータが前記プーリと結合し、第2モータが前記アームアセンブリの第1アームアセンブリの肩部と結合し、第3モータが前記アームアセンブリの第2アームアセンブリの肩部と結合していることを特徴とする請求項4記載の基板搬送装置。
- 前記モータの各々は、前記フレームと静止して結合している磁気ステータと、磁気的に駆動されるロータとからなることを特徴とする請求項5記載の基板搬送装置。
- 前記ロータ及び前記ステータは、各々の間にスリーブを有することを特徴とする請求項6記載の基板搬送装置。
- 前記駆動セクションは、ロータを各々有する3本の同軸シャフトを含むことを特徴とする請求項6記載の基板搬送装置。
- 基板加工装置のハウジングと前記フレームを結合するためのマウントハウジングと、前記マウントハウジングに対して前記フレームを垂直駆動する垂直駆動ユニットからなることを特徴とする請求項3記載の基板搬送装置。
- 基板搬送装置であって、
2つの独立した可動アームアセンブリと、
第1及び第2の基板ホルダ軸において前記アームアセンブリに結合している基板ホルダと、
フレームと、第1駆動部によって前記フレームと回転自在に結合されているプーリと、前記アームアセンブリに結合している第2及び第3駆動部と、を有する駆動セクションと、からなり、
前記プーリは伝動部材により前記2つのアームアセンブリの両方に動作可能に結合しており、
前記第1及び第2の基板ホルダ軸は、前記2つの独立した可動アームアセンブリの伸長および収縮の間に、同時に前記共通回転軸と同軸上に位置することが可能であることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記アームアセンブリは、共通回転軸において前記フレームと回転自在に結合されていることを特徴とする請求項10記載の基板搬送装置。
- 前記駆動部は、磁気的に駆動されるセクションを有する少なくとも3本の同軸駆動シャフトと、前記フレームに静止して結合されている磁気的に駆動するステータとからなることを特徴とする請求項11記載の基板搬送装置。
- 前記プーリは、前記可動アームアセンブリの内の第1可動アームアセンブリの中に配置されている第1セクションと、前記可動アームアセンブリの内の第2可動アームアセンブリの中に配置されている第2セクションとからなることを特徴とする請求項10記載の基板搬送装置。
- 前記伝動部材は、前記プーリの第1セクション上の第1伝動ベルトと前記プーリの第2セクション上の第2伝動ベルトからなり、前記プーリの前記第1及び第2セクションは、互いに垂直方向にオフセットしていることを特徴とする請求項13記載の基板搬送装置。
- 前記駆動部は、前記フレームに沿った異なる高さで、前記フレームと静止して結合されている3つの磁気的駆動ステータからなることを特徴とする請求項10記載の基板搬送装置。
- 基板搬送装置のアームアセンブリのアームを駆動する基板搬送装置駆動システムであって、
フレームと、
前記フレームに静止して結合されている磁気駆動ステータと、
前記磁気駆動ステータの各々に半径方向で整列している磁気被駆動セクションを、各々が有している少なくとも3本の同軸シャフトを有する駆動シャフトアセンブリと、
前記アームを動かすために前記シャフトの1つによって前記フレームに回転自在に結合しているプーリと、 からなり、
前記プーリが、前記アームの伸長及び収縮の間に僅かに移動可能であり、前記プーリが回転固定である場合の伸長及び収縮に比べて、前記アームアセンブリ全体の回転開始時または回転終了時の基板搬送プロセスの速度が増大することを特徴とする基板搬送装置駆動システム。 - 前記シャフトの中間シャフトは、前記プーリと結合されていて、前記ステータの中間ステータは、前記中間シャフトの前記磁気被駆動セクションに整列されていることを特徴とする請求項16記載の基板搬送装置駆動システム。
- 前記フレームに対する前記シャフトの位置をセンシングする少なくとも3つの位置センサを更に有することを特徴とする請求項16記載の基板搬送装置駆動システム。
- 前記フレームを他の部品に結合するマウントと前記フレームを前記マウントに結合する垂直駆動部とを更に有することを特徴とする請求項16記載の基板搬送装置駆動システム。
- 前記プーリは、第1伝動ベルトを動かす第1セクションと、垂直方向にオフセットして第2伝動ベルトを動かす第2セクションからなることを特徴とする請求項16記載の基板搬送装置駆動システム。
- 前記少なくとも3本の同軸シャフトのいずれか1は、前記プーリを通って伸長し、かつ前記プーリに対して回転自在であることを特徴とする請求項16記載の基板搬送装置駆動システム。
- 基板搬送装置であって、
N個の独立に移動自在な各アームアセンブリであって前記アームアセンブリの各々の少なくとも一部が回転出来るA本の回転軸を有する(N及びAは1より大なる整数)アームアセンブリであってこのアームアセンブリの各々の前方アームが前記駆動セクションの共通のモータに連動しているアームアセンブリと、
第1及び第2基板ホルダ軸において前記アームアセンブリの各々の前方アームリンクと結合されている基板ホルダと、
A本の軸の各々を中心に前記アームアセンブリを独立的に回転する手段であって、M個のモータから構成されている(MはAの最小値のN倍より小なる整数である)回転する手段と、を含み、
前記基板ホルダ軸が、伸長及び収縮の間に、同時に前記共通回転軸と同軸上に位置することが可能であることを特徴とする基板搬送装置。 - Nは2であり、Aは各アームアセンブリに対して2であり、Mは3であることを特徴とする請求項22記載の基板搬送装置。
- 前記モータの各々は、磁気駆動するステータと、磁気駆動されるロータとからなることを特徴とする請求項22記載の基板搬送装置。
- 前記回転手段は、前記ロータを有するM本の同軸シャフトを含むことを特徴とする請求項24記載の基板搬送装置。
- プーリが前記M本同軸シャフトのいずれか1と結合されており、N本の伝動ベルトが前記プーリから前記N個の可動アームアセンブリの各々の一部にまで伸長しており、前記プーリが、前記アームの伸長及び収縮の間に僅かに移動可能であり、前記プーリが回転固定のある場合の伸長及び収縮に比べて、前記可動アームアセンブリ全体の回転開始時または回転終了時の基板搬送プロセスの速度が増大することを特徴とする請求項25記載の基板搬送装置。
- Aは、少なくとも2つの前記アームアセンブリに対して同一であることを特徴とする請求項22記載の基板搬送装置。
- 前記アームの少なくとも2つの回転軸の1つは、共通軸であることを特徴とする請求項22記載の基板搬送装置。
- 基板搬送装置を動作せしめる方法であって、
フレームと前記フレームに回転自在にマウントされているプーリと前記フレームに回転自在にマウントされている2つのアームアセンブリを有する装置を提供するステップと、
前記2つのアームアセンブリが回転するとき、前記プーリを前記フレームに対して回転せしめる前記プーリが前記フレームに対して同一方向に前記アームアセンブリの双方を回転せしめるステップと、
前記2つのアームアセンブリが前記フレームに対して独立して回転し前記アームアセンブリが独立的に伸長及び収縮している間前記フレームの静止位置に前記プーリを保持するステップと、からなり、
前記プーリが、前記アームの伸長及び収縮の間に僅かに移動可能であり、前記プーリが回転固定のある場合の伸長及び収縮に比べて、前記可動アームアセンブリ全体の回転開始時または回転終了時の基板搬送プロセスの速度が増大することを特徴とする基板搬送装置動作方法。
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