JP4846562B2 - 二次元画像検出器 - Google Patents
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Description
本発明の参考形態について図1ないし図4に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
本発明の実施の形態について、図5および図6に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、説明の便宜上、前記した参考形態で説明した構成と同一の構成については同じ参照番号を付記し、その説明を省略する。
本発明の他の参考形態について図7および図8に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、説明の便宜上、前記した実施の形態1で説明した構成と同一の構成については同じ参照番号を付記し、その説明を省略する。
2 光導電膜(半導体層)
3 共通電極(電極層)
7 第2の絶縁保護膜(絶縁層)
8 画素電極
9 ゲート電極(電極配線)
10 ソース電極(電極配線)
11 薄膜トランジスタ(TFT)(スイッチング素子)
12 電荷蓄積容量
20 容器(遮蔽部材)
21 露出部(端部)
22 X線遮蔽部材
31 露出部(端部)
32 第3の絶縁保護膜(保護膜)
Claims (2)
- 格子状に配列された電極配線、各格子点に設けられたスイッチング素子、および該スイッチング素子を介して上記電極配線に接続される電荷蓄積容量上に、感光性を有する有機絶縁膜を介して画素電極が配置されているアクティブマトリクス基板と、
上記アクティブマトリクス基板上に設けられた光導電性を有する半導体層と、
上記半導体層上において、上記有機絶縁膜の配置領域内にさらに設けられた電極層とを備えるとともに、
上記有機絶縁膜は上記半導体層より広い領域に形成されており、
上記電極層の端部と上記半導体層の露出面と上記有機絶縁膜の露出部とを覆うように形成領域が制約されているとともに、X線を遮蔽する材料からなる保護膜を備え、X線画像を検出することを特徴とする二次元画像検出器。 - 上記有機絶縁膜が、樹脂からなることを特徴とする請求項1記載の二次元画像検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006353388A JP4846562B2 (ja) | 1999-08-04 | 2006-12-27 | 二次元画像検出器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1999221160 | 1999-08-04 | ||
JP22116099 | 1999-08-04 | ||
JP2006353388A JP4846562B2 (ja) | 1999-08-04 | 2006-12-27 | 二次元画像検出器 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000165136A Division JP3910341B2 (ja) | 1999-08-04 | 2000-06-01 | 二次元画像検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007103967A JP2007103967A (ja) | 2007-04-19 |
JP4846562B2 true JP4846562B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=38030523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006353388A Expired - Fee Related JP4846562B2 (ja) | 1999-08-04 | 2006-12-27 | 二次元画像検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4846562B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8373331B2 (en) | 2010-09-15 | 2013-02-12 | Visteon Global Technologies, Inc. | Use of piezo motor to operate a ring pointer over display |
WO2024106235A1 (ja) * | 2022-11-15 | 2024-05-23 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置および光検出装置の製造方法ならびに電子機器 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6127350U (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-18 | 日本電気株式会社 | 密着形イメ−ジセンサ |
JPS6421957A (en) * | 1987-07-16 | 1989-01-25 | Fuji Xerox Co Ltd | Image sensor |
JPH0621413A (ja) * | 1992-06-29 | 1994-01-28 | Sony Corp | 固体撮像装置及びそのワイヤボンディング方法 |
JP2983767B2 (ja) * | 1992-07-10 | 1999-11-29 | 三洋電機株式会社 | 固体撮像素子の製造方法 |
JPH0982932A (ja) * | 1995-09-20 | 1997-03-28 | Hitachi Ltd | 固体撮像素子 |
JP3447510B2 (ja) * | 1997-04-09 | 2003-09-16 | Necエレクトロニクス株式会社 | 固体撮像素子、その製造方法及び固体撮像装置 |
JP3311273B2 (ja) * | 1997-08-22 | 2002-08-05 | 株式会社東芝 | 撮像装置 |
JP4183784B2 (ja) * | 1997-09-09 | 2008-11-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶パネルの作製方法 |
-
2006
- 2006-12-27 JP JP2006353388A patent/JP4846562B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007103967A (ja) | 2007-04-19 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100817 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101018 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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