JP2007103967A - 二次元画像検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アクティブマトリクス基板1上に設けられた光導電性を有する光導電膜2と、光導電膜2上において、第2の絶縁保護膜7の配置領域内にさらに設けられた共通電極3とを備える。第2の絶縁保護膜7は光導電膜2より広い領域に形成されており、共通電極3の少なくとも端部と光導電膜2の露出面と第2の絶縁保護膜7の露出部とを覆う、X線が透過する材料からなる第3の絶縁保護膜32とを備え、X線画像を検出する。
【選択図】図5
Description
本発明の参考形態について図1ないし図4に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
本発明の実施の形態について、図5および図6に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、説明の便宜上、前記した参考形態で説明した構成と同一の構成については同じ参照番号を付記し、その説明を省略する。
本発明の実施の形態について図7および図8に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、説明の便宜上、前記した実施の形態1で説明した構成と同一の構成については同じ参照番号を付記し、その説明を省略する。
2 光導電膜(半導体層)
3 共通電極(電極層)
7 第2の絶縁保護膜(絶縁層)
8 画素電極
9 ゲート電極(電極配線)
10 ソース電極(電極配線)
11 薄膜トランジスタ(TFT)(スイッチング素子)
12 電荷蓄積容量
20 容器(遮蔽部材)
21 露出部(端部)
22 X線遮蔽部材
31 露出部(端部)
32 第3の絶縁保護膜(保護膜)
Claims (4)
- 格子状に配列された電極配線、各格子点毎に設けられたスイッチング素子、および該スイッチング素子を介して上記電極配線に接続される電荷蓄積容量上に、絶縁層を介して画素電極が配置されているアクティブマトリクス基板と、
上記アクティブマトリクス基板上に設けられた光導電性を有する半導体層と、
上記半導体層上において、上記絶縁層の配置領域内にさらに設けられた電極層とを備えるとともに、
上記絶縁層は上記半導体層より広い領域に形成されており、
上記電極層の少なくとも端部と上記半導体層の露出面と上記絶縁層の露出部とを覆う、X線が透過する材料からなる保護膜とを備え、X線画像を検出することを特徴とする二次元画像検出器。 - 上記保護膜は、上記電極層と上記半導体層の露出面と上記絶縁層の露出部との全体を覆うことを特徴とする請求項1記載の二次元画像検出器。
- 上記保護膜は、沿面放電を防止する絶縁膜であることを特徴とする請求項1又は2記載の二次元画像検出器。
- 上記絶縁層が、樹脂からなることを特徴とする請求項1、2又は3記載の二次元画像検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006353388A JP4846562B2 (ja) | 1999-08-04 | 2006-12-27 | 二次元画像検出器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1999221160 | 1999-08-04 | ||
JP22116099 | 1999-08-04 | ||
JP2006353388A JP4846562B2 (ja) | 1999-08-04 | 2006-12-27 | 二次元画像検出器 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2000165136A Division JP3910341B2 (ja) | 1999-08-04 | 2000-06-01 | 二次元画像検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007103967A true JP2007103967A (ja) | 2007-04-19 |
JP4846562B2 JP4846562B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=38030523
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006353388A Expired - Fee Related JP4846562B2 (ja) | 1999-08-04 | 2006-12-27 | 二次元画像検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4846562B2 (ja) |
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