JP4838117B2 - 光電式エンコーダ - Google Patents

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Description

【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電式エンコーダに係り、特に、メインスケールと受光素子の間に、レンズとアパーチャが挿入されたテレセントリック光学系を持つ光電式エンコーダの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開２００４−２６４２９５号公報に記載されているように、図１に示す如く、メインスケール２０と、受光部３０を構成する例えば受光素子アレイ３４の間に、レンズ４２、及び、テレセントリック光学絞りとしてのアパーチャ４４からなるレンズ光学系（テレセントリック光学系）４０を挿入して、図２に示す如く、レンズ４２とメインスケール２０のスケール２１及び受光素子アレイ３４上の受光素子３５間の距離ａ、ｂを調整することにより、倍率設定ができるようにされた光電式エンコーダが考えられている。図１において、１０は光源、ｆはレンズ４２の焦点距離である。
【０００３】
このテレセントリック光学系４０を用いた光電式エンコーダでは、メインスケール２０上の像をレンズ光学系（４２、４４）を通して受光素子アレイ３４上に投影させる。ここで、アパーチャ４４をレンズ４２の焦点位置に配置することで、メインスケール２０とレンズ４２間の距離（ギャップ）が変動しても、レンズ４２とアパーチャ４４と受光素子アレイ３４の位置関係が変動しなければ、受光素子アレイ３４上に結像される像の倍率変動を抑えることができる。
【０００４】
しかしながら、このようなテレセントリック光学系４０を用いた光電式エンコーダにおいても、受光素子３５のギャップ方向ミスアライメントによって、図３に示す如く、レンズ４２とメインスケール２０の距離ａと、レンズ４２と受光素子３５間の距離ｂの関係が変わると、受光面３１に形成される像の倍率が急激に変化してしまい、図４に示す如く、信号強度の急激な低下につながる。
【０００５】
又、レンズの歪曲収差（ディストーション）やコマ収差により、周辺部の信号検出効率が低下してしまう。
［０００６］
更に、光学系を小型化する場合には、焦点距離の小さい（汎用レンズの場合には径の小さい）レンズを用いなければならないが、収差を小さく保とうとする場合には、（１）非球面レンズを用いるか、（２）複数枚のレンズを組み合わせ（調整して）用いる必要があり、コストアップ及び調整工数増加につながる等の問題点を有していた。
［発明の開示］
［０００７］
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、信号検出効率を改善すると共に、組立許容範囲を拡大して、調整工数を低減することを課題とする。
【０００８】
本発明は、メインスケールと受光素子の間に、第１のレンズと、その焦点位置に配設されたアパーチャが挿入されたテレセントリック光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、前記アパーチャと受光素子の間に、少なくとも第２のレンズを、その焦点がアパーチャに来るように挿入して、両側テレセントリック光学系とすると共に、前記第２のレンズを、前記第１のレンズと同じ物を逆向きにしたものとし、更に、前記アパーチャを、測定軸と垂直な方向に長いスリットとすることにより、前記課題を解決したものである。
本発明は、又、メインスケールと受光素子の間に、第１のレンズと、その焦点位置に配設されたアパーチャが挿入されたテレセントリック光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、前記アパーチャと受光素子の間に、少なくとも第２のレンズを、その焦点がアパーチャに来るように挿入して、両側テレセントリック光学系とすると共に、該両側テレセントリック光学系を、一つの光軸中に偶数組設け、更に、前記アパーチャを、測定軸と垂直な方向に長いスリットとすることにより、前記課題を解決したものである。
【０００９】
ここで、前記第２のレンズを、第１のレンズと同じ物を逆向きにしたものとして、第１のレンズで発生する収差を第２のレンズで逆補正することにより、収差をほぼ完全にキャンセルできるようにすることができる。
【００１０】
又、前記第１のレンズ又は第２のレンズの少なくともいずれか一方を、歪曲収差は大きいが安価な、球状のボールレンズ、光線をレンズ媒質内で放物線状に屈折させる、屈折率分布型のＧＲＩＮレンズ（セルフォックレンズとも称する）、又は、ドラムレンズとして、小型で安価に構成できるようにすることができる。
［００１１］
［００１３］
本発明によれば、第１のレンズで発生する収差を第２のレンズで逆補正することができるので、収差を低減し、信号検出効率を改善することができる。
【００１４】
又、第２のレンズと受光素子のギャップが変化しても、光学倍率を一定に保てるため、ギャップ方向の組立許容範囲を拡大して、調整工数を低減することができる。
又、前記アパーチャを、測定軸と垂直な方向に長いスリットとして、受光素子に到達する光量を増やし、光源を低電力化して、その信頼性を高めることができる。
あるいは、前記両側テレセントリック光学系を、一つの光軸中に偶数組設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】テレセントリック光学系を用いた光電式エンコーダの要部構成を示す斜視図である。
【図２】同じく平面図である。
【図３】同じく受光素子のギャップ方向ミスアライメントによる倍率変動を説明するための光路図である。
【図４】同じく信号強度変動の例を示す線図である。
【図５】第１の比較例の要部構成を示す斜視図である。
【図６】同じく光路図である。
【図７】第２の比較例の要部構成を示す光路図である。
【図８】第３の比較例の要部構成を示す光路図である。
【図９】第４の比較例の要部構成を示す光路図である。
【図１０】第５の比較例の要部構成を示す光路図である。
【図１１】第６の比較例の要部構成を示す光路図である。
【図１２】参考例の要部構成を示す光路図である。
【図１３】本発明の実施形態の要部構成を示す斜視図である。
【図１４】第７の比較例の要部構成を示す光路図である。
【図１５】同じく作用を示す線図である。
【図１６】第８の比較例の要部構成を示す光路図である。
【００１６】
以下図面を参照して、参考例及び本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１７】
第１の比較例は、図１に示したようなテレセントリック光学系４０を持つ光電式エンコーダにおいて、図５に示す如く、アパーチャ４４の反対側に、第１のレンズ４２と同じレンズ５２を、その焦点がアパーチャ４４に来るように逆向きに挿入して、両側テレセントリック光学系５０としたものである。図において、ｆは、レンズ４２、５２の焦点距離である。
【００１８】
本比較例においては、第１のレンズ４２と第２のレンズ５２が同じ物であるため、第１のレンズ４２で発生する収差を第２のレンズ５２でほぼ完全に逆補正することができ、収差をほぼ完全にキャンセルして、信号検出効率を大きく改善することができる。
【００１９】
又、第２のレンズ５２の焦点がアパーチャ４４に来るように挿入されているので、図６に示す如く、第２のレンズ５２を出た光は平行光となり、第２のレンズ５２と受光面３１のギャップが変化しても光学倍率を一定（１倍）に保てるため、ギャップ方向の組立許容範囲を広くすることができ、調整工数を低減することができる。
【００２０】
なお、前記第１、第２のレンズ４２、５２としては、図６に示したように平凸レンズを外向きに用いるだけでなく、図７に示す第２の比較例のように、平凸レンズを内向きに用いたり、あるいは図８に示す第３の比較例のように、両凸レンズを用いたり、あるいは図９に示す第４の比較例のように、ボールレンズを用いて小型化及び低コスト化を図ったり、あるいは図１０に示す第５の比較例のように、ＧＲＩＮレンズを用いて小型化、低コスト化を図ったり、あるいは図１１に示す第６の比較例のようにドラムレンズを用いて小型化、低コスト化を図ることができる。
【００２１】
又、図１２に示す参考例のように、第２のレンズ５４を第１のレンズ４２とは異なる物として、入側と出側の光学倍率を１倍以外に変えることもできる。図において、Ｆは、第２のレンズ５４の焦点距離である。
【００２２】
この場合、収差は取り切れない恐れがあるが、ギャップ方向の組立許容範囲は拡大する。
【００２３】
又、アパーチャの形状を、円形ではなく、図１３に示す本発明の実施形態のように、測定軸と垂直な方向に長いスリット４６として、受光面３１に到達する光量を増やし、光源１０を低電力化して、その信頼性を高めることができる。
【００２４】
更に、両側テレセントリック光学系５０のアパーチャの数を、図１４に示す第７の比較例のように、測定軸方向に増やして、図１５に示す如く、像の重ね合わせによりスケール上視野（ＦＯＢ）を拡大し、平均化効果により、汚れやうねりに対してロバストとすると共に、受光面３１に到達する光量を増やして、光源１０を低電力化し、その信頼性を高めることもできる。
【００２５】
又、追加するレンズの数は１つに限定されず、図１６に示す第８の比較例のように、レンズ６２、６４、アパーチャ６６からなる両側テレセントリック光学系６０を、もう１組追加することもできる。ここで、レンズ６２、６４は、レンズ４２、５２と同じでも違っていても良い。又、追加する両側テレセントリック光学系の数も１組に限定されず、２組以上追加しても良い。
【００２６】
本発明は、インデックス格子と受光素子が別体とされたもの、両者が一体とされた受光素子アレイを有するもの、どちらにも適用可能できる。更に、透過型のエンコーダだけでなく、反射型のエンコーダにも適用できる。

Claims (2)

  1. メインスケールと受光素子の間に、第１のレンズと、その焦点位置に配設されたアパーチャが挿入されたテレセントリック光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、
    前記アパーチャと受光素子の間に、少なくとも第２のレンズを、その焦点がアパーチャに来るように挿入して、両側テレセントリック光学系とすると共に、
    前記第２のレンズを、前記第１のレンズと同じ物を逆向きにしたものとし、
    更に、前記アパーチャを、測定軸と垂直な方向に長いスリットとしたことを特徴とする光電式エンコーダ。
  2. メインスケールと受光素子の間に、第１のレンズと、その焦点位置に配設されたアパーチャが挿入されたテレセントリック光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、
    前記アパーチャと受光素子の間に、少なくとも第２のレンズを、その焦点がアパーチャに来るように挿入して、両側テレセントリック光学系とすると共に、
    該両側テレセントリック光学系を、一つの光軸中に偶数組設け、
    更に、前記アパーチャを、測定軸と垂直な方向に長いスリットとしたことを特徴とする光電式エンコーダ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108709573A (zh) * 2017-04-06 2018-10-26 株式会社三丰 编码器

Families Citing this family (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8175666B2 (en) * 2002-04-26 2012-05-08 Grove Instruments, Inc. Three diode optical bridge system
US7186969B2 (en) * 2003-02-12 2007-03-06 Mitutoyo Corporation Optical configuration for imaging-type optical encoders
JP4398744B2 (ja) * 2003-02-12 2010-01-13 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
EP1701138B1 (en) * 2005-03-11 2016-02-17 Mitutoyo Corporation Photoelectric encoder
EP1729102B1 (en) * 2005-05-24 2019-04-24 Yonathan Gerlitz Detector with miniature optics for constant energy collection from different distances
US7227124B2 (en) * 2005-06-20 2007-06-05 Mitutoyo Corporation Illumination configuration for imaging-type optical encoders
US7469839B2 (en) * 2005-09-14 2008-12-30 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Reflective optical encoder
KR100926616B1 (ko) * 2005-09-14 2009-11-11 아바고 테크놀로지스 이씨비유 아이피 (싱가포르) 피티이 리미티드 투과성 광 인코더 및 방법
US7552873B2 (en) * 2005-09-14 2009-06-30 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Transmissive optical encoder
US20070120047A1 (en) * 2005-11-25 2007-05-31 Wong Weng F Ring-configured photodiode array and optical encoders using the same
JP4791811B2 (ja) * 2005-12-06 2011-10-12 株式会社ミツトヨ 光電式ロータリエンコーダ
JP4953653B2 (ja) * 2006-02-15 2012-06-13 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
US7466002B2 (en) * 2006-06-19 2008-12-16 Mitutoyo Corporation Incident light angle detector for light sensitive integrated circuit
JP5186091B2 (ja) * 2006-06-23 2013-04-17 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
JP5087239B2 (ja) * 2006-06-26 2012-12-05 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
JP4976823B2 (ja) * 2006-11-15 2012-07-18 株式会社ミツトヨ 光学式エンコーダ
JP2008292352A (ja) * 2007-05-25 2008-12-04 Mitsutoyo Corp 反射型エンコーダ
US20080297649A1 (en) * 2007-05-31 2008-12-04 Igor Subbotin Methods and apparatus providing light assisted automatic focus
US8082524B2 (en) * 2008-04-15 2011-12-20 Luminescent Technologies, Inc. Mask patterns for use in multiple-exposure lithography
EP2277012B1 (en) * 2008-05-16 2014-07-30 Parker-Hannifin Corporation Probe for determining an absolute position of a rod of a cylinder
JP5112989B2 (ja) * 2008-08-20 2013-01-09 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
DE112009002101T5 (de) 2008-08-28 2012-01-12 Faro Technologies, Inc. Mit einem Index versehender optischer Encoder, Verfahren zum Indexieren eines optischen Encoders und Verfahren zum dynamischen Einstellen von Verstärkung und Offset in einem optischen Encoder
JP5160360B2 (ja) * 2008-09-30 2013-03-13 オリンパス株式会社 エンコーダ
EP2175245B1 (fr) * 2008-10-09 2010-08-11 Delphi Technologies, Inc. Système optique pour la mesure rapide de la position d'un corps en mouvement
US7608813B1 (en) 2008-11-18 2009-10-27 Mitutoyo Corporation Scale track configuration for absolute optical encoder including a detector electronics with plurality of track detector portions
JP2010230409A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Olympus Corp 光学式エンコーダ
US8526754B2 (en) * 2009-05-28 2013-09-03 Aptina Imaging Corporation System for enhancing depth of field with digital image processing
US8094323B2 (en) * 2009-06-26 2012-01-10 Mitutoyo Corporation Displacement encoder including phosphor illumination source
US8492703B2 (en) * 2009-08-04 2013-07-23 Mitutoyo Corporation Lens aberration correction in a doubly telecentric displacement sensor
JP5679643B2 (ja) * 2009-09-11 2015-03-04 キヤノン株式会社 光学式エンコーダ
EP2314990B1 (en) * 2009-10-23 2014-05-14 Mitutoyo Corporation Photoelectric encoder
BR112012006216B1 (pt) * 2010-02-01 2020-06-16 Lg Electronics Inc. Refrigerador e método para controlar o mesmo
JP2011161695A (ja) * 2010-02-06 2011-08-25 Ricoh Co Ltd エンコーダセンサ及び画像形成装置
JP5562076B2 (ja) * 2010-03-10 2014-07-30 キヤノン株式会社 光学式エンコーダおよび変位計測装置
US8598509B2 (en) * 2010-03-11 2013-12-03 Stratasys, Inc. Optical encoder
JP5391115B2 (ja) * 2010-03-18 2014-01-15 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
US8637805B2 (en) * 2010-03-29 2014-01-28 Mitutoyo Corporation Optical encoder using off-axis imaging through a lens
US8982349B2 (en) 2010-03-31 2015-03-17 Konica Minolta Optics, Inc. Measuring optical system, and color luminance meter and colorimeter using the same
CN102192761B (zh) * 2010-04-22 2013-06-05 廊坊开发区莱格光电仪器有限公司 敞开式激光限束扫描标尺光栅传感器
EP2381222A1 (de) 2010-04-22 2011-10-26 Schneeberger Holding AG Führungssystem mit relativ zueinander bewegbaren Körpern und Vorrichtung zur Bestimmung einer Position mittels optischem Abtasten einer Massskala.
US8309906B2 (en) 2010-06-10 2012-11-13 Mitutoyo Corporation Absolute optical encoder with long range intensity modulation on scale
US8547648B2 (en) 2010-09-24 2013-10-01 Himax Semiconductor, Inc. Micro-lens module
TWI476438B (zh) * 2010-09-30 2015-03-11 Himax Semiconductor Inc 微型鏡頭模組
US9030503B2 (en) * 2011-01-18 2015-05-12 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Anamorphic eyepiece with a microlens array for a panoramic field of view
US9029757B2 (en) 2011-12-23 2015-05-12 Mitutoyo Corporation Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder
US9018578B2 (en) 2011-12-23 2015-04-28 Mitutoyo Corporation Adaptable resolution optical encoder having structured illumination and spatial filtering
US8941052B2 (en) 2011-12-23 2015-01-27 Mitutoyo Corporation Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder
US9080899B2 (en) 2011-12-23 2015-07-14 Mitutoyo Corporation Optical displacement encoder having plural scale grating portions with spatial phase offset of scale pitch
EP2592392B1 (de) * 2012-03-09 2013-09-04 Hexagon Technology Center GmbH Optoelektronische Lagemessvorrichtung
WO2014018584A1 (en) * 2012-07-24 2014-01-30 Trustees Of Boston University Partitioned aperture wavefront imaging method and system
US20140071461A1 (en) * 2012-09-07 2014-03-13 Sung Ping Sun Precise Interpolation Method on Optical Encoder
JP6199596B2 (ja) 2012-12-17 2017-09-20 株式会社ミツトヨ 光学エンコーダ用の照明部
EP2743650B1 (en) 2012-12-17 2017-05-31 Mitutoyo Corporation Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder
DE102013110190B4 (de) * 2013-09-16 2023-04-13 Ic-Haus Gmbh Sensorvorrichtung
DE102013220190B4 (de) * 2013-10-07 2021-08-12 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Messteilung und lichtelektrische Positionsmesseinrichtung mit dieser Messteilung
DE102015209716B4 (de) 2014-05-29 2023-04-20 Mitutoyo Corporation Optischer Codierer mit anpassbarer Auflösung
JP6098999B2 (ja) * 2014-09-16 2017-03-22 株式会社安川電機 エンコーダ及びエンコーダ付きモータ
US10185303B2 (en) * 2015-02-21 2019-01-22 Kla-Tencor Corporation Optimizing computational efficiency by multiple truncation of spatial harmonics
JP2018513385A (ja) 2015-04-22 2018-05-24 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド 指標付き光学エンコーダ
JP6883939B2 (ja) * 2015-09-14 2021-06-09 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
US9651404B2 (en) 2015-09-29 2017-05-16 Mitutoyo Corporation Optical encoder having an optical portion comprising dual lenses and an aperture portion positioned in relation to a moiré grating
US10126560B2 (en) * 2016-02-18 2018-11-13 National Engineering Research Center for Optical Instrumentation Spectrum-generation system based on multiple-diffraction optical phasometry
US10077991B2 (en) 2016-09-27 2018-09-18 Mitutoyo Corporation Optical encoder configured to mitigate undesired interfering light components
CN115047548A (zh) 2017-05-24 2022-09-13 纽约市哥伦比亚大学理事会 色散工程化介电超表面的宽带消色差平坦光学部件
EP3676973A4 (en) 2017-08-31 2021-05-05 Metalenz, Inc. INTEGRATION OF LENS WITH PERMEABLE METAL SURFACE
CN107622808A (zh) * 2017-09-11 2018-01-23 江苏天瑞仪器股份有限公司 一种多孔透光部件
CN107576681A (zh) * 2017-09-11 2018-01-12 江苏天瑞仪器股份有限公司 一种用于具有多准直器设备的遮光部件
JP7148262B2 (ja) 2018-04-19 2022-10-05 株式会社ミツトヨ リニアエンコーダ
JP7252809B2 (ja) 2019-03-28 2023-04-05 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダおよび光電式エンコーダにおける演算方法
US11978752B2 (en) 2019-07-26 2024-05-07 Metalenz, Inc. Aperture-metasurface and hybrid refractive-metasurface imaging systems
US11874144B2 (en) * 2020-07-28 2024-01-16 Li Lin Displacement measurement system
CN113315897B (zh) * 2021-05-20 2023-04-14 江西欧迈斯微电子有限公司 Aa方法、测试标尺、aa设备、摄像模组和电子设备
US11927769B2 (en) 2022-03-31 2024-03-12 Metalenz, Inc. Polarization sorting metasurface microlens array device
US11823406B1 (en) * 2023-07-19 2023-11-21 Mloptic Corp. Moiré-based distance measurement system

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05288544A (ja) * 1992-04-14 1993-11-02 Japan Radio Co Ltd 変位測定装置
JPH0771930A (ja) * 1993-08-31 1995-03-17 Hitachi Denshi Ltd スリット光プロジェクタ
JPH085571A (ja) * 1994-06-21 1996-01-12 New Kurieishiyon:Kk 検査装置
JPH09244255A (ja) * 1996-03-13 1997-09-19 Nikon Corp 液晶用露光装置
DE10226444A1 (de) * 2002-06-13 2004-01-15 Samland, Thomas, Dipl.-Math. Vorrichtung und Verfahren zur mikrooptischen Positionsmessung

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2003A (en) * 1841-03-12 Improvement in horizontal windivhlls
US3454777A (en) 1964-05-14 1969-07-08 Sequential Electronic Systems Measurement of object displacements and velocities
DD103056B1 (de) * 1972-01-12 1980-11-26 Kurt Schuch Einrichtung zum messen von verschiebungen
GB1504691A (en) 1974-03-15 1978-03-22 Nat Res Dev Measurement apparatus
DE7508197U (de) 1974-03-15 1976-02-05 National Research Development Corp. London Vorrichtung zum messen der verschiebung eines ersten elementes bezueglich eines zweiten
JPS59134006A (ja) 1983-01-24 1984-08-01 Nissan Motor Co Ltd 車両用空調装置
JPS59134006U (ja) * 1983-02-24 1984-09-07 横河電機株式会社 光学式機械量測定装置
JPH07119625B2 (ja) 1986-02-27 1995-12-20 キヤノン株式会社 変位検出装置
CH669457A5 (ja) 1986-02-18 1989-03-15 Mettler Instrumente Ag
GB8616240D0 (en) 1986-07-03 1986-08-13 Renishaw Plc Opto-electronic scale reading apparatus
JPS63250522A (ja) * 1987-04-08 1988-10-18 Toshiba Corp 光学式ロ−タリ・エンコ−ダ
JP2610624B2 (ja) 1987-08-26 1997-05-14 株式会社 ミツトヨ 光学式変位検出器
GB2210525B (en) 1987-09-30 1991-11-20 Okuma Machinery Works Ltd Optical encoder
US5075562A (en) 1990-09-20 1991-12-24 Eastman Kodak Company Method and apparatus for absolute Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface
JP3089055B2 (ja) * 1991-08-14 2000-09-18 日本電産コパル株式会社 光学式変位検出装置
US5652426A (en) * 1993-04-19 1997-07-29 Ricoh Company, Ltd. Optical encoder having high resolution
DE4323712C2 (de) 1993-07-15 1997-12-11 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
JPH11508359A (ja) * 1995-06-22 1999-07-21 ３ディブイ・システムズ・リミテッド 改善された光学測距カメラ
US6229140B1 (en) * 1995-10-27 2001-05-08 Canon Kabushiki Kaisha Displacement information detection apparatus
US5751492A (en) 1996-06-14 1998-05-12 Eastman Kodak Company Diffractive/Refractive lenslet array incorporating a second aspheric surface
US5900983A (en) * 1997-08-22 1999-05-04 Lucent Technologies Inc. Level-setting optical attenuator
US5974207A (en) * 1997-12-23 1999-10-26 Lucent Technologies, Inc. Article comprising a wavelength-selective add-drop multiplexer
US6621496B1 (en) * 1999-02-26 2003-09-16 Micron Technology, Inc. Dual mode DDR SDRAM/SGRAM
US6393191B1 (en) * 1999-04-01 2002-05-21 Jds Uniphase Corporation Optical terminal for optical fibers with output angle control
US6635863B1 (en) * 1999-08-06 2003-10-21 Mitutoyo Corporation Optical encoder
US6610975B2 (en) * 2000-12-07 2003-08-26 Harmonic Drive Systems, Inc. Optical encoder
JP4565248B2 (ja) 2001-01-30 2010-10-20 株式会社ニコン 位置検出装置およびその調整方法
US6856466B2 (en) * 2001-07-05 2005-02-15 Science & Engineering Associates, Inc. Multiple imaging system
JP2003021787A (ja) 2001-07-06 2003-01-24 Nikon Corp 観察装置
JP3743426B2 (ja) 2002-02-13 2006-02-08 オムロン株式会社 光学式エンコーダ
CN2581980Y (zh) * 2002-11-22 2003-10-22 四川大学 激光照明玻璃微珠折射率测量的装置
JP4658452B2 (ja) * 2003-02-07 2011-03-23 オリンパス株式会社 光学式エンコーダ
US7186969B2 (en) 2003-02-12 2007-03-06 Mitutoyo Corporation Optical configuration for imaging-type optical encoders
EP1701138B1 (en) * 2005-03-11 2016-02-17 Mitutoyo Corporation Photoelectric encoder
US7038776B1 (en) * 2005-03-25 2006-05-02 Raytheon Company Polarimeter to simultaneously measure the stokes vector components of light

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05288544A (ja) * 1992-04-14 1993-11-02 Japan Radio Co Ltd 変位測定装置
JPH0771930A (ja) * 1993-08-31 1995-03-17 Hitachi Denshi Ltd スリット光プロジェクタ
JPH085571A (ja) * 1994-06-21 1996-01-12 New Kurieishiyon:Kk 検査装置
JPH09244255A (ja) * 1996-03-13 1997-09-19 Nikon Corp 液晶用露光装置
DE10226444A1 (de) * 2002-06-13 2004-01-15 Samland, Thomas, Dipl.-Math. Vorrichtung und Verfahren zur mikrooptischen Positionsmessung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108709573A (zh) * 2017-04-06 2018-10-26 株式会社三丰 编码器
US10677614B2 (en) 2017-04-06 2020-06-09 Mitutoyo Corporation Encoder
CN108709573B (zh) * 2017-04-06 2022-02-01 株式会社三丰 编码器

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