JP4828190B2 - 洗浄剤 - Google Patents
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Description
洗浄剤の洗浄力を評価するために、1cm×2cmのシリコンウエハ上に500nmの厚みになるように、有機EL材料である銅フタロシアニン(和光純薬製)を真空蒸着した。次いで、該有機EL材料が蒸着されたシリコンウエハを、50gのε−カプロラクトンと50gのジメチルスルホキシドから成る洗浄剤に15℃で3分間浸漬し、洗浄した。洗浄後、該シリコンウエハを100mLのイソプルピルアルコールに室温で30秒間浸漬し、リンスした。続いて、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上に残存している銅フタロシアニン量を測定するために、赤外分光光度計(パーキンエルマー社:スペクトラムワン)を用いて透過法にて1600cm−1のピーク面積を定量した。洗浄前の該ピーク面積を100%とし、有機EL材料を蒸着していないシリコンウエハの該ピーク面積を0%としたところ、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上の銅フタロシアニン残存率は3%以下(検出限界以下)であった。
実施例1のε−カプロラクトンの代わりに、洗浄剤としてプロピレンカーボネートを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力を評価したところ、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上の銅フタロシアニン残存率は3%以下(検出限界以下)であった。
実施例1の洗浄剤の代わりに、30gのε−カプロラクトンと70gのジメチルスルホキシドから成る洗浄剤を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力を評価したところ、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上の銅フタロシアニン残存率は3%以下(検出限界以下)であった。
実施例1の洗浄剤の代わりに、80gのε−カプロラクトンと20gのジメチルスルホキシドから成る洗浄剤を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力を評価したところ、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上の銅フタロシアニン残存率は5%であった。
実施例1の洗浄剤の代わりに、70gのε−カプロラクトン、20gのジメチルスルホキシドと10gのメチルプロピレンジグリコールから成る洗浄剤を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力を評価したところ、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上の銅フタロシアニン残存率は6%であった。
実施例1の洗浄剤の代わりに、100%のε−カプロラクトンを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力を評価したところ、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上の銅フタロシアニン残存率は81%であった。
実施例1の洗浄剤の代わりに、100%のジメチルスルホキシドを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力評価を試みたが、ジメチルスルホキシドが凝固して洗浄できなかった。
実施例1の洗浄剤の代わりに、洗浄剤としてアセトンを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力を評価したところ、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上の銅フタロシアニン残存率は100%であった。
真空蒸着した有機EL材料を銅フタロシアニンの代わりにトリス(8−ヒドロキシキノリネート)アルミニウム(III)(Alq3)にしたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力を評価したところ、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上のAlq3残存率は3%以下(検出限界以下)であった。
真空蒸着した有機EL材料を銅フタロシアニンの代わりに(N−(1−ナフチル)−N−フェニル)ベンジジン(α−NPD)にしたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力を評価したところ、洗浄、リンスしたシリコンウエハ上のα−NPD残存率は3%以下(検出限界以下)であった。
Claims (2)
- 有機EL材料が付着した被洗浄物を洗浄するための洗浄剤であって、ε−カプロラクトンまたは/および炭酸プロピレン並びにジメチルスルホキシドからなる組成物であって、ε−カプロラクトンまたは/および炭酸プロピレンの含有量が5〜80質量%であり、ジメチルスルホキシドの含有量が20〜95質量%である組成物を90質量%以上含有してなることを特徴とする洗浄剤。
- 有機EL材料が付着した装置又は物品を請求項1に記載の洗浄剤を用いて洗浄することを特徴とする洗浄方法。
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JP4421322B2 (ja) * | 2004-02-19 | 2010-02-24 | 株式会社トクヤマ | 物品の洗浄方法 |
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2005
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