JP4809695B2 - 赤外線センサ評価装置 - Google Patents
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Description
また、本発明は、簡易な構成で赤外線センサ素子の特性を評価することが可能な赤外線センサ評価装置を提供することを目的とする。
赤外線センサ素子が感知可能な波長の光を生成する光源と、
前記光源にて生じる熱の影響を受けない距離に設置され、前記赤外線センサ素子が複数形成されたウェーハを固定する固定台と、
前記光源が生成した光を、前記固定台に固定された前記ウェーハ上に複数形成された赤外線センサ素子のうち、評価対象の赤外線センサ素子のみへと導く光学系と、
前記評価対象の赤外線センサ素子が出力した信号の出力値に基づいて前記評価対象の赤外線センサ素子の特性を評価する評価部と、を備え、
前記光学系は、
入力端と出力端とを有し、前記入力端に入射した光を前記出力端から出射する光ファイバと、
前記光ファイバの入力端に備えられて、前記光源からの光を前記光ファイバの入力端に供給する入力レンズと、
前記光ファイバの出力端に備えられて、前記光ファイバを通過した光を、平行光に変換して前記赤外線センサ素子に照射する出力レンズと、からなる、ことを特徴とする。
本実施形態に係る赤外線センサ評価装置の構成を図1に示す。
本実施形態に係る赤外線センサ評価装置1は、固定台11と、レーザ発振器12と、電源13と、チョッパ装置14と、光学系15と、プリアンプ16と、ロックインアンプ17と、コンピュータ18と、からなる。
回転速度センサ14−3は、チョッパブレード14−1の回転速度を検出し、検出した回転速度を示す回転速度検出信号を出力するものである。
電源13は、レーザ発振器12に電力を供給して、レーザ発振器12は、レーザ光を出力する。
例えば、上記実施形態では、センサ素子3xがウェーハ2上に形成された状態で、このセンサ素子3xの特性を評価するようにした。しかし、例えば、複数のセンサ素子3xを切り離された状態で整列させて、赤外線センサ評価装置1が各センサ素子3xの特性を評価するようにしてもよい。
また、光学系15は、光ファイバ15−1の代わりにミラー、プリズムで構成されたものであってもよい。
2 ウェーハ
3x センサ素子
Claims (1)
- 赤外線センサ素子が感知可能な波長の光を生成する光源と、
前記光源にて生じる熱の影響を受けない距離に設置され、前記赤外線センサ素子が複数形成されたウェーハを固定する固定台と、
前記光源が生成した光を、前記固定台に固定された前記ウェーハ上に複数形成された赤外線センサ素子のうち、評価対象の赤外線センサ素子のみへと導く光学系と、
前記評価対象の赤外線センサ素子が出力した信号の出力値に基づいて前記評価対象の赤外線センサ素子の特性を評価する評価部と、を備え、
前記光学系は、
入力端と出力端とを有し、前記入力端に入射した光を前記出力端から出射する光ファイバと、
前記光ファイバの入力端に備えられて、前記光源からの光を前記光ファイバの入力端に供給する入力レンズと、
前記光ファイバの出力端に備えられて、前記光ファイバを通過した光を、平行光に変換して前記赤外線センサ素子に照射する出力レンズと、からなる、
ことを特徴とする赤外線センサ評価装置。
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