JPH0624266B2 - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
- Publication number
- JPH0624266B2 JPH0624266B2 JP58223443A JP22344383A JPH0624266B2 JP H0624266 B2 JPH0624266 B2 JP H0624266B2 JP 58223443 A JP58223443 A JP 58223443A JP 22344383 A JP22344383 A JP 22344383A JP H0624266 B2 JPH0624266 B2 JP H0624266B2
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- JP
- Japan
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- laser beam
- aperture member
- aperture
- laser
- reflection mirror
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08018—Mode suppression
- H01S3/0804—Transverse or lateral modes
- H01S3/0805—Transverse or lateral modes by apertures, e.g. pin-holes or knife-edges
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜発明の技術分野＞ 本発明はレーザビーム位置検出手段を備えたレーザ装置
に関するものである。
に関するものである。
＜従来技術＞ 従来この種のレーザ装置としては第１図に示すものがあ
つた。
つた。
第１図(a)において、１は交流高電圧の電源、２，３は
相対向して配置されるそれぞれの電極、４は各電極２，
３間に発生される無声放電、５は部分反射ミラー、６は
全反射ミラー、７は部分反射ミラー５の近傍に配設され
るモードセレクシヨン用のアパーチャ、８はレーザ媒質
ガスのガス流であり、第１図(a)に示すように紙面と直
角の方向に流れている。９は発生されるレーザビームで
ある。第１図(b)，(c)において、７０は前記アパーチヤ
７を構成するアパーチヤ部材であり、その中心であるレ
ーザ光軸上に円形の開口部７１が設けられる。また、ア
パーチヤ部材７０には、開口部７１の外周に直径方向に
延出する溝部７２が形成され、この溝部７２内には温度
検出素子である熱電対７３が設けられている。７４はア
パーチヤ部材７０を冷却するために、このアパーチヤ部
材７０内の通路７５を流通する冷却水で、第１図(c)に
矢印で示されている流れとなる。
相対向して配置されるそれぞれの電極、４は各電極２，
３間に発生される無声放電、５は部分反射ミラー、６は
全反射ミラー、７は部分反射ミラー５の近傍に配設され
るモードセレクシヨン用のアパーチャ、８はレーザ媒質
ガスのガス流であり、第１図(a)に示すように紙面と直
角の方向に流れている。９は発生されるレーザビームで
ある。第１図(b)，(c)において、７０は前記アパーチヤ
７を構成するアパーチヤ部材であり、その中心であるレ
ーザ光軸上に円形の開口部７１が設けられる。また、ア
パーチヤ部材７０には、開口部７１の外周に直径方向に
延出する溝部７２が形成され、この溝部７２内には温度
検出素子である熱電対７３が設けられている。７４はア
パーチヤ部材７０を冷却するために、このアパーチヤ部
材７０内の通路７５を流通する冷却水で、第１図(c)に
矢印で示されている流れとなる。
次に上記第１図の動作について説明する。まず、各電極
２，３間に電源１から交流高電圧を印加し、各電極２，
３間に無声放電４を発生させる。一方、各電極２，３間
にレーザー媒質ガスのガス流８を流し、レーザ媒質ガス
を上記の無声放電４によつて励起することによりレーザ
光を生成させる。無声放電４をはさんで部分反射ミラー
５と全反射ミラー６とを相対向して配置し、また部分反
射ミラー５の近傍に円形の開口部７１を有するアパーチ
ヤ７を配設すれば、円形のレーザビーム９を外部に取り
出すことができる。この場合、部分反射ミラー５と全反
射ミラー６との相互の対向位置の調整、すなわちアライ
メントが不良であれば、レーザビーム９のモードの対称
性が崩れ、このためアパーチヤ部材７０における各部分
に温度分布が生じる。そこで、アパーチヤ部材７０に設
けられている熱電対７３からの出力が均一になる様に、
各部分反射ミラー５と全反射ミラー６との相互の対向位
置を調整する手段、例えば上記各ミラー５，６の角度を
調整する手段により、適宜に調整することにより、レー
ザ光路を適正なものとしてレーザビームの光軸からのず
れを正し、対称性の良好なモードのレーザビーム９を発
生させることが可能となる。ここで、冷却水７４は、ア
パーチヤ部材７０の温度レベル上昇を抑制するために流
されるものである。
２，３間に電源１から交流高電圧を印加し、各電極２，
３間に無声放電４を発生させる。一方、各電極２，３間
にレーザー媒質ガスのガス流８を流し、レーザ媒質ガス
を上記の無声放電４によつて励起することによりレーザ
光を生成させる。無声放電４をはさんで部分反射ミラー
５と全反射ミラー６とを相対向して配置し、また部分反
射ミラー５の近傍に円形の開口部７１を有するアパーチ
ヤ７を配設すれば、円形のレーザビーム９を外部に取り
出すことができる。この場合、部分反射ミラー５と全反
射ミラー６との相互の対向位置の調整、すなわちアライ
メントが不良であれば、レーザビーム９のモードの対称
性が崩れ、このためアパーチヤ部材７０における各部分
に温度分布が生じる。そこで、アパーチヤ部材７０に設
けられている熱電対７３からの出力が均一になる様に、
各部分反射ミラー５と全反射ミラー６との相互の対向位
置を調整する手段、例えば上記各ミラー５，６の角度を
調整する手段により、適宜に調整することにより、レー
ザ光路を適正なものとしてレーザビームの光軸からのず
れを正し、対称性の良好なモードのレーザビーム９を発
生させることが可能となる。ここで、冷却水７４は、ア
パーチヤ部材７０の温度レベル上昇を抑制するために流
されるものである。
かかる従来のレーザ装置は、レーザビーム位置検出手段
として、アパーチヤ部材７０の温度上昇を検出する手段
を用いているため、一般に数秒の応答時間を要すると共
に、アパーチヤ部材７０の温度レベル上昇抑制のため、
該アパーチヤ部材70の冷却を行う必要がある。又、周囲
雰囲気への熱拡散の影響を受け、正確な温度検出が行え
ず、レーザビーム位置検出精度が悪いと共に、アパーチ
ヤ部材７０がその構造上大型化され、レーザビーム品質
に対し何らかの悪影響を与えるという種々の不都合があ
つた。
として、アパーチヤ部材７０の温度上昇を検出する手段
を用いているため、一般に数秒の応答時間を要すると共
に、アパーチヤ部材７０の温度レベル上昇抑制のため、
該アパーチヤ部材70の冷却を行う必要がある。又、周囲
雰囲気への熱拡散の影響を受け、正確な温度検出が行え
ず、レーザビーム位置検出精度が悪いと共に、アパーチ
ヤ部材７０がその構造上大型化され、レーザビーム品質
に対し何らかの悪影響を与えるという種々の不都合があ
つた。
＜発明の概要＞ そこで、本発明は以上のような従来の実情に鑑み、レー
ザビームを該レーザビームの中心から十分に離れた点で
直接検出する構成により、応答時間が早く、しかもレー
ザビーム品質に悪影響を与えることがない等従来の欠点
を悉く解消できるレーザ装置を提供することを目的とす
る。
ザビームを該レーザビームの中心から十分に離れた点で
直接検出する構成により、応答時間が早く、しかもレー
ザビーム品質に悪影響を与えることがない等従来の欠点
を悉く解消できるレーザ装置を提供することを目的とす
る。
＜発明の実施例＞ 以下、本発明の実施例を第２図〜第６図に基づいて説明
する、尚、第２図(a)において、第１図(a)と同一要素の
ものには同一符号を付してある。
する、尚、第２図(a)において、第１図(a)と同一要素の
ものには同一符号を付してある。
即ち、第２図(a)において、８０はモードセレクシヨン
用のアパーチヤ７の前面側に相対向して設けられたレー
ザビーム位置検出手段で、第２図(b)に示すようにレー
ザビームの光軸上に開口径Ａの開口部８５Ａを有するア
パーチヤ部材と、該アパーチヤ部材８５の内周部に周方
向に等間隔で複数個装着されたレーザビーム検出素子か
らなる。レーザビーム検出素子８４はアパーチャ部材８
５の前面側で、アパーチャ部材８５の開口径Ａ以上の径
の円に沿って配置されている。ここで、アパーチャ部材
８５の前面側とは無声放電４によって励起生成されたレ
ーザ光が入射される側、すなわち第２図(a)では中央側
に面した側をいう。
用のアパーチヤ７の前面側に相対向して設けられたレー
ザビーム位置検出手段で、第２図(b)に示すようにレー
ザビームの光軸上に開口径Ａの開口部８５Ａを有するア
パーチヤ部材と、該アパーチヤ部材８５の内周部に周方
向に等間隔で複数個装着されたレーザビーム検出素子か
らなる。レーザビーム検出素子８４はアパーチャ部材８
５の前面側で、アパーチャ部材８５の開口径Ａ以上の径
の円に沿って配置されている。ここで、アパーチャ部材
８５の前面側とは無声放電４によって励起生成されたレ
ーザ光が入射される側、すなわち第２図(a)では中央側
に面した側をいう。
ここで、ＴＥＭｏｏモード１ｋＷ出力のＣｏ２レーザを
例にとつた場合、部分反射ミラー５の反射率は４０％、
レーザ内部定在波の光レーザビーム検出素子８４位置で
の右向きパワーは２．５ｋＷ、左向きパワーは１ｋＷで
ある。
例にとつた場合、部分反射ミラー５の反射率は４０％、
レーザ内部定在波の光レーザビーム検出素子８４位置で
の右向きパワーは２．５ｋＷ、左向きパワーは１ｋＷで
ある。
そして、定在波の1/e２強度直径ｗはおよそ13ｍｍ、モ
ードセレクシヨン用のアパーチヤ７の開口径φａは１．
７ｗであつて２２ｍｍ、アパーチヤ部材８５の開口径Ａ
は３２ｍｍであり、各レーザビーム検出素子８４の受光
面積は４ｍｍ２である。
ードセレクシヨン用のアパーチヤ７の開口径φａは１．
７ｗであつて２２ｍｍ、アパーチヤ部材８５の開口径Ａ
は３２ｍｍであり、各レーザビーム検出素子８４の受光
面積は４ｍｍ２である。
次にその作用について説明する。
共振器内に形成されるレーザの定在波は右向き（部分反
射ミラー５方向）と左向きとがある。右向き定在波はモ
ードセレクシヨン用のアパーチヤ７で形が決定され、部
分反射ミラー５に入り、１ｋＷのパワーを外部に放出
し、１．５ｋＷの反射光は全反射ミラー６に向い、反射
されてアパーチヤ７に復する。この過程で、右向き定在
波は光増幅を受けて２．５ｋＷのパワーとなると同時
に、裾野の長い拡がりを持つビーム形状になつており、
アパーチヤ７で端切り（裾野のカツト）される。
射ミラー５方向）と左向きとがある。右向き定在波はモ
ードセレクシヨン用のアパーチヤ７で形が決定され、部
分反射ミラー５に入り、１ｋＷのパワーを外部に放出
し、１．５ｋＷの反射光は全反射ミラー６に向い、反射
されてアパーチヤ７に復する。この過程で、右向き定在
波は光増幅を受けて２．５ｋＷのパワーとなると同時
に、裾野の長い拡がりを持つビーム形状になつており、
アパーチヤ７で端切り（裾野のカツト）される。
アパーチヤ７で端切りするパワーは右向き全パワーの１
％前後、即ち、数Ｗ〜数１０Ｗで、その強度分布は第３
図に示す正規分布とほぼ等しい光強度分布に表わすよう
になる。
％前後、即ち、数Ｗ〜数１０Ｗで、その強度分布は第３
図に示す正規分布とほぼ等しい光強度分布に表わすよう
になる。
よつて、アパーチヤ７の前方向に設置されたレーザビー
ム検出素子８４には、右向き内部定在波パワーの一部が
直接入射することになり、この入射パワーは数ｍＷであ
る。
ム検出素子８４には、右向き内部定在波パワーの一部が
直接入射することになり、この入射パワーは数ｍＷであ
る。
レーザビーム検出素子８４は以上のようなパワーを検出
するもので良く、サーモパイル、熱電対、焦電素子、サ
ーミスタ、ボロメータ、赤外線フオトダイオード等を使
用すれば良い。
するもので良く、サーモパイル、熱電対、焦電素子、サ
ーミスタ、ボロメータ、赤外線フオトダイオード等を使
用すれば良い。
次に、レーザビーム中心がアパーチヤ部材８５の中心と
一致しない場合、レーザビーム検出素子８４の出力は明
確なアンバランスを示す。即ち、レーザビームの中心と
アパーチヤ部材８５の開口部８５Ａの中心が±１ｍｍず
れた場合の検出パワーを、両者の中心が同一の時を１と
して第４図に示す。尚、図においては、着目しているレ
ーザビーム検出素子からレーザビームが遠方にずれる場
合を負のずれ量としてある。
一致しない場合、レーザビーム検出素子８４の出力は明
確なアンバランスを示す。即ち、レーザビームの中心と
アパーチヤ部材８５の開口部８５Ａの中心が±１ｍｍず
れた場合の検出パワーを、両者の中心が同一の時を１と
して第４図に示す。尚、図においては、着目しているレ
ーザビーム検出素子からレーザビームが遠方にずれる場
合を負のずれ量としてある。
ここでレーザビーム検出素子の検出能を次式にて表わ
す。
す。
かかる検出能からわかることは、例えば１０％のパワー
変形を検知可能なレーザビーム検知素子を用いることに
より、０．０３ｍｍの精度でレーザビームの位置検出が
できるということである。
変形を検知可能なレーザビーム検知素子を用いることに
より、０．０３ｍｍの精度でレーザビームの位置検出が
できるということである。
以上の説明から明らかなように、レーザビーム位置検出
手段８０は、アパーチヤ部材８５とレーザビーム検出素
子８４とによつて、レーザビーム位置検出を、レーザビ
ームの中心から十分に離れた点で、直接レーザビームを
検出することにより行うようにしたから、レーザビーム
の軸ずれに対する反応が早く、応答性が良好であり、レ
ーザビーム品質にも何ら悪影響を与えないため、安定し
たレーザビームが得られる。従つて、レーザビーム検出
素子８４からの信号の差が最小となるように、全反射ミ
ラー６あるいは部分反射ミラー５を駆動することによ
り、軸対称性の良好なシングルモードの発振を安定して
得ることができる。
手段８０は、アパーチヤ部材８５とレーザビーム検出素
子８４とによつて、レーザビーム位置検出を、レーザビ
ームの中心から十分に離れた点で、直接レーザビームを
検出することにより行うようにしたから、レーザビーム
の軸ずれに対する反応が早く、応答性が良好であり、レ
ーザビーム品質にも何ら悪影響を与えないため、安定し
たレーザビームが得られる。従つて、レーザビーム検出
素子８４からの信号の差が最小となるように、全反射ミ
ラー６あるいは部分反射ミラー５を駆動することによ
り、軸対称性の良好なシングルモードの発振を安定して
得ることができる。
尚、上記実施例によれば、レーザビーム位置検出手段８
０のアパーチヤ部材８５とモードセレクシヨン用のアパ
ーチヤ７とを別体に構成したが、第５図に示す如くこれ
らを一体化して構成しても良い。この場合、アパーチヤ
部材８６にモードセレクシヨン用の開口径φａの開口部
８６Ａを設け、更に、この開口径φａより十分離れた位
置であるところの同軸上Ａなる径の部分にレーザビーム
検出素子８４を埋め込み装着する。
０のアパーチヤ部材８５とモードセレクシヨン用のアパ
ーチヤ７とを別体に構成したが、第５図に示す如くこれ
らを一体化して構成しても良い。この場合、アパーチヤ
部材８６にモードセレクシヨン用の開口径φａの開口部
８６Ａを設け、更に、この開口径φａより十分離れた位
置であるところの同軸上Ａなる径の部分にレーザビーム
検出素子８４を埋め込み装着する。
又、第６図に示すように、アパーチヤ部材８７の前面周
部にレーザビームの反射部８８を設け、この反射部８８
による反射光を別位置に設置した検出素子８４により検
出するように構成しても良く、要は、発生されたレーザ
ビームの光路内に配設され、レーザビームの光軸上に開
口部を有するアパーチヤ部材と、該アパーチャ部材の前
面側で該アパーチャ部材の開口部径以上の径の円に沿っ
た複数部位に配設され、入射されたレーザビームを検出
する複数のレーザビーム検出素子を設ければよい。
部にレーザビームの反射部８８を設け、この反射部８８
による反射光を別位置に設置した検出素子８４により検
出するように構成しても良く、要は、発生されたレーザ
ビームの光路内に配設され、レーザビームの光軸上に開
口部を有するアパーチヤ部材と、該アパーチャ部材の前
面側で該アパーチャ部材の開口部径以上の径の円に沿っ
た複数部位に配設され、入射されたレーザビームを検出
する複数のレーザビーム検出素子を設ければよい。
また、レーザビーム位置検出手段８０とモードセレクシ
ヨン用のアパーチヤ７の配置位置関係は第２図に示した
本発明の一実施例のほかに第７図，第８図，第９図に示
すものがある。第７図において、第２図実施例と異なる
ところは、レーザビーム位置検出手段８０を全反射ミラ
ー６側にとりつけたことである。第８図は第７図配置を
反転したものである。第９図は第８図実施例におけるビ
ーム位置検出手段８０を部分反射ミラー５と全反射ミラ
ー６で囲まれる共振器領域の外に出したものである。第
７図，第８図，第９図いずれの場合でも、モードセレク
シヨン用アパーチヤ７によつて端切りされたレーザビー
ムが伝搬に従つて裾野の拡がつた形になり、その裾野の
レーザパワーを直接ビーム位置検出手段８０で検出する
機能は変らず、前記第２図実施例と同様の効果を発揮し
得るものである。
ヨン用のアパーチヤ７の配置位置関係は第２図に示した
本発明の一実施例のほかに第７図，第８図，第９図に示
すものがある。第７図において、第２図実施例と異なる
ところは、レーザビーム位置検出手段８０を全反射ミラ
ー６側にとりつけたことである。第８図は第７図配置を
反転したものである。第９図は第８図実施例におけるビ
ーム位置検出手段８０を部分反射ミラー５と全反射ミラ
ー６で囲まれる共振器領域の外に出したものである。第
７図，第８図，第９図いずれの場合でも、モードセレク
シヨン用アパーチヤ７によつて端切りされたレーザビー
ムが伝搬に従つて裾野の拡がつた形になり、その裾野の
レーザパワーを直接ビーム位置検出手段８０で検出する
機能は変らず、前記第２図実施例と同様の効果を発揮し
得るものである。
＜発明の効果＞ 以上説明したように本発明によれば、アパーチヤ部材と
レーザビーム検出素子とによつて、レーザビーム中心か
ら十分離れた点で直接レーザビームを検出して、レーザ
ビーム位置検出を行う構成にしたから、応答性の良いレ
ーザビーム位置検出が行えると共に、レーザビーム品質
にも悪影響を与えないため安定したレーザビームを得る
ことができる。又、従来の装置のように冷却手段が必要
となることがない等の利点もあり、装置の簡略化、小形
化を図ることができる。
レーザビーム検出素子とによつて、レーザビーム中心か
ら十分離れた点で直接レーザビームを検出して、レーザ
ビーム位置検出を行う構成にしたから、応答性の良いレ
ーザビーム位置検出が行えると共に、レーザビーム品質
にも悪影響を与えないため安定したレーザビームを得る
ことができる。又、従来の装置のように冷却手段が必要
となることがない等の利点もあり、装置の簡略化、小形
化を図ることができる。
第１図(a)は従来のレーザ装置を示す概略正面図、同図
(b)，(c)は同上装置におけるアパーチヤの正面図及び側
面図、第２図(a)は本発明に係るレーザ装置の一実施例
を示す概略正面図、同図(b)は同上実施例におけるレー
ザビーム位置検出手段の正面図、第３図はレーザビーム
検出素子に入射するレーザビームの光強度分布を示すグ
ラフ、第４図はレーザビームの軸ずれに対する位置検出
能を説明するためのグラフ、第５図及び第６図は夫々本
発明の他の実施例を示す図で、夫々(a)は正面図，(b)は
側断面図、第７図〜第９図は夫々本発明の他の実施例の
構成要部を示す概略正面図である。 ８０……レーザビーム位置検出手段、８４……レーザビ
ーム検出素子、８５，８６，８７……アパーチヤ部材、
８５Ａ，８６Ａ……開口部
(b)，(c)は同上装置におけるアパーチヤの正面図及び側
面図、第２図(a)は本発明に係るレーザ装置の一実施例
を示す概略正面図、同図(b)は同上実施例におけるレー
ザビーム位置検出手段の正面図、第３図はレーザビーム
検出素子に入射するレーザビームの光強度分布を示すグ
ラフ、第４図はレーザビームの軸ずれに対する位置検出
能を説明するためのグラフ、第５図及び第６図は夫々本
発明の他の実施例を示す図で、夫々(a)は正面図，(b)は
側断面図、第７図〜第９図は夫々本発明の他の実施例の
構成要部を示す概略正面図である。 ８０……レーザビーム位置検出手段、８４……レーザビ
ーム検出素子、８５，８６，８７……アパーチヤ部材、
８５Ａ，８６Ａ……開口部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｓ 3/097 (72)発明者 小川 周治 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社応用機器研究所内 (72)発明者 葛本 昌樹 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社応用機器研究所内 (56)参考文献 特開 昭58−93294（ＪＰ，Ａ) 特公 昭57−19584（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (2)
- 【請求項１】発生されたレーザビームの光路内に配設さ
れ、レーザビームの光軸上に開口部を有するアパーチャ
部材と、該アパーチャ部材の前面側で該アパーチャ部材
の開口部径以上の径の円に沿った複数部位に配設され、
入射されたレーザビームのパワーを検出する複数のレー
ザビーム検出素子と、からなるレーザビーム位置検出手
段を備えたことを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項２】レーザビーム検出素子は、相互の出力差が
最小となるように共振器ミラー角度を調整する手段に出
力する構成である特許請求の範囲第１項記載のレーザ装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58223443A JPH0624266B2 (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | レーザ装置 |
| DE19843415009 DE3415009A1 (de) | 1983-04-20 | 1984-04-19 | Laservorrichtung |
| FR848406306A FR2544922B1 (fr) | 1983-04-20 | 1984-04-20 | Dispositif laser |
| US06/602,584 US4914671A (en) | 1983-04-20 | 1984-04-20 | Laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58223443A JPH0624266B2 (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60115273A JPS60115273A (ja) | 1985-06-21 |
| JPH0624266B2 true JPH0624266B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=16798218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58223443A Expired - Lifetime JPH0624266B2 (ja) | 1983-04-20 | 1983-11-28 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624266B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0746736B2 (ja) * | 1986-10-09 | 1995-05-17 | 株式会社東芝 | 気体レーザ装置 |
| JP4883040B2 (ja) * | 2008-04-07 | 2012-02-22 | パナソニック株式会社 | スラブレーザの外部整形光学装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5844948B2 (ja) * | 1980-07-07 | 1983-10-06 | 橋本化成工業株式会社 | 加熱回転炉の内部逆送装置 |
| JPS5893294A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-02 | Hitachi Ltd | レ−ザ発振装置 |
-
1983
- 1983-11-28 JP JP58223443A patent/JPH0624266B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60115273A (ja) | 1985-06-21 |
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