JP4802491B2 - センサーモジュールおよびこれを用いたカメラモジュール - Google Patents
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Description
また、セラミックスやプラスチックで形成された中空パッケージにセンサーチップをパッケージングし、これに保護材を取り付けたものを配線基板に実装し、その後、このセンサーパケージを覆うように赤外線カットフィルタ、レンズ、さらにレンズ用保護カバーを組み込んだセンサーモジュールが開発されている(特許文献2〜6)。
一方、特許文献7に開示されるような構造では、薄型化は可能であるものの、個々のセンサーチップを配線基板に実装する際に、センサーチップのアクティブ面と同一面に位置する電極パッドと配線基板の端子電極との接合が行われるため、この実装時、さらに、赤外線カットフィルタ、レンズ等の配設時にアクティブ面に汚染が生じ易く、信頼性の低下、加工歩留まりの低下を来たしていた。また、アクティブ面の汚染防止のために、センサーチップの実装加工条件に制約が生じ、センサーチップの電極パッドと配線基板の端子電極との接合信頼性の維持が困難な場合があった。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、薄型で信頼性の高いセンサーモジュールを提供することを目的とする。
本発明の他の態様として、前記導電性バンプを構成する前記Auめっき層の厚みが0.03μm以上であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記導電性バンプと前記センサーチップの電極パッドとの接合面に異方性導電部材が介在するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記センサーチップは、前記電極パッド上にめっきAuバンプを有するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記保護材と前記リブとが一体成型されたものであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記保護材は、赤外線カットフィルターであるような構成とした。
また、本発明のカメラモジュールは、上述のいずれかのセンサーモジュールと、レンズおよびレンズ保護材が装着されているとともに脚部を有するカバー部材と、を備え、前記センサーモジュールの前記開口部を跨ぐように、該カバー部材が前記脚部を介して前記配線基板上に配設されているような構成とした。
図1は、本発明のセンサーモジュールの一実施形態を示す断面図であり、図2は図1に示されるセンサーモジュールの鎖線で囲まれた部位Aの拡大断面図である。図1及び図2において、本発明のセンサーモジュール1は、センサーチップ11と保護材12と配線基板21とを備えており、配線基板21の開口部23内に保護材12を挿入するようにしてセンサーチップ11がフリップチップ方式で実装されている。
また、保護材12は、センサーチップのアクティブ面13の外側領域であって電極パッド15の内側領域に、リブ17を介して配設され、空隙部18を介してアクティブ面13と対向するものである。
また、配線基板21は、開口部23を備えた基材22と、基材22の一方の面22aの開口部22周縁部に配設された複数の回路端子電極24と、基材22の他方の面22bに配設された回路配線25とを備えている。この回路配線25は表裏導通ビア(図示せず)を介して所望の回路端子電極24に接続されている。また、回路電極端子24を除く基材22の両面には絶縁層27a,27bが配設されている。
また、本発明では、保護材12とリブ17が一体成型されたもの、例えば、ガラスや樹脂板に化学エッチングあるいはブラスト加工を施したり、ガラス材料、樹脂材料を用いて熱成型することにより、リブ17が回廊形状に突出した保護材12を使用することができる。このようなリブ17と一体型の保護材12を使用する場合、エポキシ系、アクリル系等の接着剤を用いてリブ17をセンサーチップ11に固着することができる。
配線基板21が有する開口部23は、保護材12が挿入可能で、かつ、回路端子電極24に突設された導電性バンプ26が、センサーチップ11の電極パッド15と接続できるような形状、寸法で形成されている。したがって、通常、開口部23の開口形状は、保護材12の形状と相似であり、回路端子電極24が、センサーチップ11の電極パッド15上に位置するような形状とする。
また、絶縁層27a,27bは、例えば、ポリベンゾオキサゾール樹脂、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、カルド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂等の電気絶縁性のフィルムまたはオーバーコート材により形成することができ、厚みは5〜50μmの範囲で設定することができる。
金属ペーストバンプ28は、円錐形状、先端が突起状の円柱形状が好ましく、突出高さは20〜100μm、太さは10〜100μmの範囲で設定することができる。
また、Niめっき層29aの厚みは3〜5μm、Auめっき層29b厚みは0.03μm以上、好ましくは0.05〜0.1μmの範囲で設定することがきる。
上述のような異方性導電部材31を介した電極パッド15と導電性バンプ26との接合は、例えば、加熱温度180℃、接合荷重0.7〜2N/バンプ程度の加熱圧着により行うことができる。
尚、上述の実施形態は例示であり、本発明のセンサーモジュールはこれらの実施形態に限定されるものではない。
[実施例1]
(センサーチップの作製)
まず、厚み600μmのシリコンウエハを準備し、5.08mm×7.08mmの長方形で多面付けに区画した。上記のシリコンウエハのXY方向(シリコンウエハの表面に平行な平面)の熱膨張係数は3ppmであった。
次に、センサーチップのアクティブ面と電極パッドが配設されている領域との中間の領域に、樹脂組成物(協立化学産業(株)製 ワールドロック)をスクリーン印刷により塗布し、半硬化させて、リブ(幅80μm、高さ35μm)を形成した。その後、厚み550μmのガラス基板を上記のリブに当接し、リブを硬化させて固着した。
次に、シリコンウエハをダイヤモンドカッターでダイシングして、各センサーチップを得た。このセンサーチップは、空隙部を介してアクティブ面を被覆する保護材を備え、寸法は5mm×7mmであり、高さ約1.18mmであり、極めて小型であった。
また、両面に厚み18μmのCu箔を設けた厚み25μmのポリイミド樹脂基板を準備し、所望部位に表裏導通ビア用の微細貫通孔(直径200μm)を複数形成した。次いで、スルーホール銅めっきを行った後、このポリイミド樹脂基板の両面にネガ型ドライフィルム(旭化成(株)製 AQ−2558)をラミネートし、一方の面を回路配線用フォトマスクを介して露光、現像し、他方の面を回路端子電極用フォトマスクを介して露光、現像することにより、各面にレジストパターンを形成した。次いで、レジストパターンをマスクとし、不用のCu箔を塩化第二鉄溶液によるエッチングで除去し、回路配線と回路端子電極(直径200μmの円形電極)を形成した。
次いで、4.15mm×6.15mmの大きさの開口部を打ち抜きで形成した。形成した開口部の長辺方向には、11個(計22個)の回路端子電極が位置するものであった。これにより、配線基板(12mm×20mm)を得た。
厚み35μmの異方性導電フィルム(日立化成工業(株)製 ANISOLM FC)を、外形が0.1mm×6.1mmの長方形状に打ち抜いた。次いで、この異方性導電フィルムをセンサーチップの2列に配列された電極パッドの各配列上に載置し、各電極パッドと、回路端子電極上の導電性バンプとを位置合せして加熱圧着(180℃、1.2N/バンプ、圧着時間5秒間)した。
次に、センサーチップと配線基板との隙間、および保護材の端部と開口部の端面との隙間を埋めるように液状封止樹脂(日立化成工業(株)製 CEL−C)を流し込み硬化(150℃、30分間)させて両者を固定した。これにより、本発明のセンサーモジュールを得た。このセンサーモジュールは、高さが1.18mmであり、極めて薄いものであった。
(センサーチップの作製)
まず、実施例1と同様にして、550μmのガラス基板をリブに当接して固着する工程までを行った。
次いで、ダイヤモンドカッターを用いて、各面付けのセンサーチップの境界部位のガラス板を1mmの幅で研削除去した。これにより各センサーチップにリブを介して4mm×6mmのガラス基板からなる保護材が配設され、各センサーチップの電極パッドが露出した状態となった。
次に、シリコンウエハをダイヤモンドカッターでダイシングして、各センサーチップを得た。このセンサーチップは、空隙部を介してアクティブ面を被覆する保護材を備え、5mm×7mmであり、高さ約1.18mmであり、極めて小型であった。
実施例1と同様にして、配線基板を作製した。
(フリップチップ実装)
次に、厚み35μmの異方性導電フィルム(日立化成工業(株)製 ANISOLM FC)を、外形が0.1mm×6.1mmの長方形状に打ち抜いた。次いで、この異方性導電フィルムをセンサーチップの2列に配列された電極パッド(スタッドAuバンプ)の各配列上に載置し、各電極パッド(スタッドAuバンプ)と、回路端子電極上の導電性バンプとを位置合せして加熱圧着(180℃、1.2N/バンプ、圧着時間5秒間)した。
(センサーチップの作製)
Au線(田中電子工業(株)製 GBCタイプ)を使用し、センサーチップの電極パッドに形成したスタッドAuバンプを形成し、実施例2と同様にして、センサーチップを作製した。このセンサーチップは、空隙部を介してアクティブ面を被覆する保護材を備え、5mm×7mmであり、高さ約1.18mmであり、極めて小型であった。
回路端子電極上の導電性バンプを構成するAuめっき層の厚みを0.05μmとした他は、実施例2と同様にして、配線基板を得た。
(フリップチップ実装)
次に、各電極パッド(スタッドAuバンプ)と、回路端子電極上の導電性バンプとを位置合せして加熱圧着(180℃、1.2N/バンプ、圧着時間5秒間)した。
次に、センサーチップと配線基板との隙間、および保護材の端部と開口部の端面との隙間を埋めるように液状封止樹脂(日立化成工業(株)製 CEL−C)を流し込み硬化(150℃、30分間)させて両者を固定した。これにより、本発明のセンサーモジュールを得た。このセンサーモジュールは、高さが1.18mmであり、極めて薄いものであった。
11…センサーチップ
12…保護材
13…アクティブ面
14…引き出し線
15…電極パッド
17…リブ
18…空隙部
19…めっきAuバンプ
20…スタッドAuバンプ
21…配線基板
23…開口部
24…回路端子電極
25…回路配線
26…導電性バンプ
28…金属ペーストバンプ
29a…Niめっき層
29b…Auめっき層
31…異方性導電部材
36…封止部材
Claims (9)
- センサーチップと、該センサーチップの表面のアクティブ面に空隙部を介して対向するように配設された保護材と、開口部内に前記保護材を挿入するように前記センサーチップをフリップチップ方式で実装した配線基板と、を備え、
前記センサーチップは前記アクティブ面の外側領域に複数の引き出し配線を介して電極パッドを有し、
前記保護材は、前記センサーチップのアクティブ面の外側領域であって前記電極パッドの内側領域にリブを介して配設され、該リブは前記配線基板から離間しており、
前記配線基板は、前記開口部を備えた基材と、該基材の一方の面の前記開口部の周縁部に配設された複数の回路端子電極と、前記基材の他方の面に配設された回路配線と、該回路配線と前記回路端子電極とを接続する表裏導通ビアと、前記回路端子電極上に突設された導電性バンプを有し、該導電性バンプと前記センサーチップの電極パッドとが接合され、
前記導電性バンプを被覆し、かつ、前記センサーチップと前記配線基板との隙間、および前記保護材と前記開口部の端面との隙間を封止するとともに、前記配線基板の前記回路配線が配設されている面上には存在しないように封止部材を備えていることを特徴とするセンサーモジュール。 - 前記導電性バンプは、前記回路端子電極上に突設された金属ペーストバンプと、該金属ペーストバンプと前記回路端子電極とを被覆するように配設されたNi/Auめっき層を有することを特徴とする請求項1に記載のセンサーモジュール。
- 前記導電性バンプを構成する前記Auめっき層の厚みが0.03μm以上であることを特徴とする請求項2に記載のセンサーモジュール。
- 前記導電性バンプと前記センサーチップの電極パッドとの接合面に異方性導電部材が介在することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記センサーチップは、前記電極パッド上にめっきAuバンプを有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記センサーチップは、前記電極パッド上にスタッドAuバンプを有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記保護材と前記リブとが一体成型されたものであることを特徴する請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記保護材は、赤外線カットフィルターであることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 請求項1乃至請求項8のいずれかに記載のセンサーモジュールと、レンズおよびレンズ保護材が装着されているとともに脚部を有するカバー部材と、を備え、 前記センサーモジュールの前記開口部を跨ぐように、該カバー部材が前記脚部を介して前記配線基板上に配設されていることを特徴とするカメラモジュール。
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