JP4800009B2 - メッキ装置 - Google Patents
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Description
9 銅メッキ槽(メッキ槽)
15 アンローダエリア
17 ローダエリア
19 LMガイドレール
21 メッキ治具搬送装置
27 LMガイドアクチュエータ(治具上下動装置)
29 キャリア部
31 シリコンウェハ(半導体ウェハ;電子回路基板)
33 メッキ治具
35 クランプ装置
39 クランプ用穴部
41 電極ピン
43 導電線
45 クランプ軸部
49 クランプアーム
51 掛止部
53 掛止用穴部
67 メッキ治具挿入部
69 治具挿入ガイド部
71 側壁
73 給電シャフト(給電部)
77 エアシリンダ(給電シャフト駆動部)
89 スプリング
91 導電線
95 メッキ液受け皿
97 支持部材
99 受け皿用LMガイド
101 エアシリンダ(受け皿駆動部)
Claims (2)
- 電子回路基板をメッキするメッキ装置であって、
少なくとも1つのメッキ槽と、前記メッキ槽の一方の側方に設けられるガイドレールの上を移動して、前記電子回路基板を保持するメッキ治具を前記メッキ槽へ搬送するメッキ治具搬送装置と、前記ガイドレールと前記メッキ槽との間に設けられる隔壁と、を備え、
前記メッキ治具搬送装置は、前記ガイドレールの上を移動するベース部と、前記ベース部に立設される支柱部と、前記支柱部に沿って上下方向に延びるように設けられ、前記メッキ治具を前記メッキ槽内へ投入及び引き上げるための治具上下動装置と、前記治具上下動装置で上下方向に駆動されると共に、前記隔壁の上方を通って前記メッキ槽へ延びるように設けられるキャリア部と、前記キャリア部に設けられ、前記メッキ治具をクランプするクランプ装置と、を含み、
前記隔壁の上方を通って前記メッキ槽へ延びるように設けられ、前記キャリア部の長手方向に沿って箱形状に形成され、前記メッキ治具から落ちるメッキ液を収容するメッキ液受け皿と、前記支柱部に前記ガイドレールと略平行に設けられ、前記メッキ液受け皿をガイドする受け皿用ガイドと、前記受け皿用ガイドの上を移動可能に設けられ、前記メッキ液受け皿の長手方向の一端側を支持する支持部材と、前記受け皿用ガイドに設けられ、前記支持部材を前記受け皿用ガイドに沿って移動させる駆動部と、を有し、
前記隔壁の上端は、前記受け皿用ガイドが設けられる位置より高く形成され、
前記メッキ液受け皿は、前記メッキ槽から前記メッキ治具が引き上げられた時には、引き上げられたメッキ治具の下方位置に移動し、前記メッキ治具が前記メッキ槽内へ投入及び引き上げられる時には、前記下方位置から外れた待機位置に移動し、前記メッキ治具が搬出される時には、前記メッキ治具の下方位置に位置して追従可能に構成されることを特徴とするメッキ装置。 - 請求項1に記載のメッキ装置であって、
前記隔壁の上端側が断面L字状に形成され、前記断面L字状の内側が前記メッキ槽に向いていることを特徴とするメッキ装置。
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